真空管的製作方法

2023-06-08 01:43:16 2

真空管的製作方法
【專利摘要】本發明涉及一種PECVD設備的【技術領域】，尤其是一種真空管。其包括外管、內管、真空腔、端部密封板和吸熱層，外管與內管連接，外管與內管之間設有真空腔，外管一端設有端部密封板，內管外壁上設有一層吸熱層，內管長度大於外管，內管伸出外管一端上設有螺紋。這種真空管結構簡單、緊湊並且合理，裝配方便快捷，連接可靠，保溫效果和密封效果好，抗腐蝕性高，提高了熱利用效率，延長了真空管的使用壽命，大大提高了真空管工作的可靠性，易於使用推廣。
【專利說明】真空管
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種PECVD設備的【技術領域】，尤其是一種真空管。
【背景技術】
[0002]現有的真空管保溫效果和密封效果比較差，抗腐蝕性比較低，降低了熱利用效率，縮短了真空管的使用壽命，大大降低了真空管工作的可靠性。

【發明內容】

[0003]為了克服現有的真空管保溫效果差、熱利用效率低、使用壽命短以及工作可靠性低的不足，本發明提供了 一種真空管。
[0004]本發明解決其技術問題所採用的技術方案是:一種真空管，包括外管、內管、真空腔、端部密封板和吸熱層，外管與內管連接，外管與內管之間設有真空腔，外管一端設有端部密封板，內管外壁上設有一層吸熱層。
[0005]根據本發明的另一個實施例，進一步包括內管長度大於外管，內管伸出外管一端上設有螺紋。
[0006]本發明的有益效果是，這種真空管結構簡單、緊湊並且合理，裝配方便快捷，連接可靠，保溫效果和密封效果好，抗腐蝕性高，提高了熱利用效率，延長了真空管的使用壽命，大大提高了真空管工作的可靠性，易於使用推廣。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。
[0008]圖1是本發明的結構示意圖。
[0009]圖中1.外管，2.內管，3.真空腔，4.端部密封板，5.吸熱層，6.螺紋。
【具體實施方式】
[0010]如圖1是本發明的結構示意圖，一種真空管，包括外管1、內管2、真空腔3、端部密封板4、吸熱層5和螺紋6,外管I與內管2連接,夕卜管I與內管2之間設有真空腔3,外管I一端設有端部密封板4，內管2外壁上設有一層吸熱層5，內管2長度大於外管1，內管2伸出外管I 一端上設有螺紋6。
[0011]使用時，外管I與內管2的一端密封連接，另一端通過密封板4密封，內管2的長度大於外管1，內管2伸出外管I 一端上設有螺紋，外管I與內管2之間為真空腔3，內管2外壁上設有一層吸熱層5。這種真空管結構簡單、緊湊並且合理，裝配方便快捷，連接可靠，保溫效果和密封效果好，抗腐蝕性高，提高了熱利用效率，延長了真空管的使用壽命，大大提高了真空管工作的可靠性，易於使用推廣。
【權利要求】
1.一種真空管，包括外管(I)、內管(2)、真空腔(3)、端部密封板(4)和吸熱層(11)，夕卜管(I)與內管(2)連接，其特徵是，外管(I)與內管(2)之間設有真空腔(3)，外管(I) 一端設有端部密封板(4 )，內管(2 )外壁上設有一層吸熱層(11)。
2.根據權利要求1所述的真空管，其特徵是，內管(2)長度大於外管(1)，內管(2)伸出外管(I) 一端上設有螺紋(6)。
【文檔編號】F16L59/02GK103511795SQ201210217130
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2012年6月28日 優先權日:2012年6月28日
【發明者】沈文偉 申請人:沈文偉