用於化學製程的支架的製作方法

2023-10-27 22:49:37 2

專利名稱：用於化學製程的支架的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及光罩生產技術領域，尤其涉及一種用於化學製程的支架。
背景技術：
隨著科技的不斷發展，光罩所涉及的領域越來越廣，相關行業對光罩的需求量也不斷增加，而且需求時間更加緊張，時效已成為企業非常重視的問題。與此同時，光刻機曝光速度越來越快，曝光完一張小版幾分鐘就能完成。但是化學藥液腐蝕速度沒有提高，化學製程這個環節嚴重影響了光罩製程效率。現有的光罩製程中，單次化學製程僅能製程一片鉻版，生產效率非常低，無法滿足 快速生產的需求；同時，每一次化學制過程中的化學腐蝕都會由於液體和操作過程不一而存在偏差，且偏差方向不固定，整套版的套合精度不高。

實用新型內容本實用新型實施例所要解決的技術問題在於，提供一種用於化學製程的支架，有效提高製程效率，降低生產成本。為了解決上述技術問題，本實用新型實施例提出了一種用於化學製程的支架，包括支架本體，所述支架本體上設置有用於容置版材的容置腔，所述容置腔至少一側壁上設置有若干用於卡置所述版材的卡槽。進一步地，所述卡槽沿所述容置腔深度方向平行排布。進一步地，所述卡槽均勻分布或陣列排布於所述容置腔側壁上。進一步地，所述卡槽對應設置於所述容置腔的兩相對側壁上。進一步地，所述卡槽對應設置於所述容置腔的四側壁上，且兩相對側壁上的所述卡槽相對應。進一步地，形成所述卡槽的凸條底部與所述容置腔底面留有空隙。本實用新型實施例的有益效果是通過設置具有版材容置腔的支架，於容置腔內設置若干用於卡置版材的卡槽，實現版材的批量製程，從而大大提高版材的化學製程效率，進而提高光罩生產效率，降低生產成本；同時，採用批量製程，保證每片版材偏差相同，進而有效提高整套版的套合精度。

圖I是本實用新型實施例的支架的一種實施方式結構圖。圖2是本實用新型實施例的支架的另一種實施方式結構圖。圖3是本實用新型實施例的支架的使用狀態示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型做進一步具體說明。[0016]如圖f圖3所示，本實用新型實施例提供一種用於化學製程的支架，包括支架本體1，所述支架本體I上設置有用於容置版材2的容置腔3，所容置腔3至少一側壁上設置有若干條卡槽4用於卡置所述版材2。較佳地，所述卡槽4呈縱向平行陣列排布。所述容置腔3也可用於盛裝化學處理試劑以浸泡處理所述版材2。如圖I所示，在本實施例中，所述卡槽4對應設置於所述容置腔3兩相對側壁上，所述容置腔3為但不限於矩形，其兩個相對的側壁上設置有若干矩形陣列排布的所述卡槽4;作為一種實施方式，所述卡槽4也可如圖2所示對應設置於所述容置腔3的四側壁上，且兩相對側壁上的所述卡槽4相對應。兩相鄰的所述卡槽4之間的間距沒有特殊限定，所述卡槽4可按照一定排布方式均勻分布於所述容置腔3的側壁上，也可採用陣列排布方式進行設置。本實用新型實施例中，所述卡槽4由若干矩形陣列排布的凸條5兩兩相鄰形成，為保證所述支架在工作時，不影響所述版材2的化學製程效果，確保所述容置腔3內化學藥液的流動性，所述凸條5底部與所述容置腔3底面間留有空隙。請參考圖3，以下對採用本實用新型實施例的所述支架進行批量化學製程的具體方法作詳細說明，本實施例陳述的方法中所採用的所述版材2為鉻版。I、從光刻機中將曝光好的鉻版取下，放到本實用新型實施例所述支架上。然後將新的版材2放到光刻機中繼續曝光，待所述支架上放上同條件下曝光好的一定量的所述版材2之後，再同時進行後續製程。2、把放置有一定量的所述版材2的所述支架放到顯影液裡顯影，多片所述版材2同時被化學腐蝕。在進行化學腐蝕時，多片腐蝕的過程和單片腐蝕過程幾乎一樣，沒有很大的區別。由於多片所述版材2在所述支架的卡槽4內形成垂直均勻的分布，且所述支架本身通透性很好，不會影響化學藥液的流動性，故能保證多片批量化學製程時每張所述版材2均能被腐蝕得均勻透徹。3、將顯影好的所述版材2再拿去清洗，清洗好後再接著蝕刻,蝕刻好後再進行清洗等後續製程，進而批量完成所述版材2的化學製程。對所述版材2進行化學製程時，所有製程均不必像往常一樣一張張的進行，均可將所述版材2放置於所述支架上以同時進行各項製程。與傳統的單片化學製程相比，採用本實用新型實施例的所述支架實現批量製程，具有如此優點；I、傳統的單片化學製程一次只能製程一片所述版材2，製程效率低，無法滿足快速生產的需求；而採用本實用新型實施例的所述支架進行批量製程，一次可製程多片，大大提高製程效率。2、傳統的單片化學製程由於生產方式等因素需要較多的工作人員才能完成一定任務量的工作，且機器的利用率較低；而採用本實用新型實施例的所述支架進行批量製程，由於一次可製程多片，大大減少工作人員工作量，進而減少工作時間及工作人員，降低生產成本，同時充分提高機器的使用率，以創造更多價值。3、由於每次化學腐蝕都會因液體濃度和操作過程不一而導致偏差，且偏差方向無法固定，採用傳統的單片化學製程則會使每片所述版材2的偏差不一，致使整套版套合時精度不高；而採用本實用新型實施例的所述支架進行批量製程，雖然無法避免每片所述版材2的偏差，但由於同時同條件下腐蝕,偏差都會往同一個方向，這樣整套版套合時,套合精度會更高。以上所述是本實用新型的具體實施方式
，應當指出，對於本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾， 這些改進和潤飾也視為本實用新型的保護範圍。
權利要求1.一種用於化學製程的支架，其特徵在於，包括支架本體，所述支架本體上設置有用於容置版材的容置腔，所述容置腔至少一側壁上設置有若干用於卡置所述版材的卡槽。
2.如權利要求I所述的用於化學製程的支架，其特徵在於，所述卡槽沿所述容置腔深度方向平行排布。
3.如權利要求I所述的用於化學製程的支架，其特徵在於，所述卡槽均勻分布或陣列排布於所述容置腔側壁上。
4.如權利要求I所述的用於化學製程的支架，其特徵在於，所述卡槽對應設置於所述容置腔的兩相對側壁上。
5.容置腔的四側壁上，且兩相對側壁上的所述卡槽相對應。
6.如權利要求I所述的用於化學製程的支架，其特徵在於，形成所述卡槽的凸條底部與所述容置腔底面留有空隙。
專利摘要本實用新型實施例公開了一種用於化學製程的支架，包括支架本體，所述支架本體上設置有用於容置版材的容置腔，所述容置腔至少一側壁上設置有若干用於卡置所述版材的卡槽。本實用新型實施例的用於化學製程的支架，通過於支架上設置若干陣列排布的卡槽，實現版材的批量製程，有效提高版材的化學製程效率，降低生產成本，同時，還能加強套版的套合精度。
文檔編號G03F1/64GK202693993SQ20122024067
公開日2013年1月23日 申請日期2012年5月25日 優先權日2012年5月25日
發明者杜武兵, 鄧阿慶 申請人:深圳市路維電子有限公司