抗氣壓吹擊聲電傳感器的製作方法
2023-12-04 22:05:26 1
專利名稱：抗氣壓吹擊聲電傳感器的製作方法
技術領域：
本發明涉一種傳聲器，特別是涉及一種抗氣壓吹擊聲電傳感器。
背景技術：
微機電系統(Microelectro廬 Mechanical 廬 Systems,MEMS)麥克風(MEMS MIC),是一種聲電傳感器(用於聲音信號轉換為電信號的器件)，為實現聲音信號轉換為電信號，傳感器有一個可震動的膜片，同時必須有一個聲音的入口(音孔)，聲音由音孔進入傳感器，引起傳感器膜片震動，產生電信號。MEMS MIC的膜片較薄，厚度約為2um，在受到氣壓吹擊時極易受到損壞。MEMS傳感器在裝配到手機或其他電器產品過程中，通常用壓縮空氣吹洗焊接後的元件，以去除焊接後的殘渣，在氣壓吹擊時氣壓由音孔進入傳感器，衝擊震動膜片，容易導致震動的膜片破損，從而產生產品失效。
發明內容
本發明所要解決的技術問題是提供一種抗氣壓吹擊聲電傳感器，在組裝工序的氣壓吹擊過程中，可有效降低或阻止氣壓衝擊對震動膜片的影響。技術方案如下
一種抗氣壓吹擊聲電傳感器，包括設置有音孔的外殼，在所述外殼在音孔的位置設置有至少一層防護網。進一步所述防護網粘貼在所述外殼的內壁面或者外壁面。進一步所述外殼設置有凹陷部，所述音孔開在所述凹陷部。進一步所述防護網選用聲學專用的防塵網或防水網。進一步所述防護網選用無紡布或戈爾防護網。與現有技術相比，本發明具有以下優點
普通MEMS傳感器音孔沒有防護裝置，本發明中，由於設置有防護網，在組裝工序的氣壓吹擊過程中，防護網減小了氣壓對膜片衝擊力，可有效降低或阻止氣壓衝擊對震動膜片的影響，保護傳感器在裝配過程中不受到損傷。
圖I是本發明中抗氣壓吹擊聲電傳感器的結構 圖2a是本發明中無紡布一的放大 圖2b是本發明中無紡布二的放大 圖3是本發明中Gore防護網的放大圖。
具體實施例方式為使本發明的上述目的、特徵和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖和具體實施方式
對本發明作進一步詳細的說明。如圖I所示，是本發明中抗氣壓吹擊聲電傳感器的結構圖。抗氣壓吹擊聲電傳感器的結構包括防護網11、凹陷部12、音孔13、外殼14和接線板15，ASIS晶片、MEMS晶片和震動膜片等部件設置在接線板15上，並位於外殼14內部，外殼14固定在接線板15上。在外殼14的音孔13的位置向內凹陷，形成凹陷部12，音孔13位於凹陷部12，防護網11粘貼在音孔13的位置。防護網11可以粘貼在外殼14的內壁面，也可以粘貼在外殼14的外壁面，或者直接粘貼在震動I吳片上。本發明中，聲音信號可由防護網11進入音孔13，並傳導進外殼14內部，但普通氣壓通過防護網11時受到衰減。聲波在傳播時，如果被一個大小接近於或小于波長的物體阻擋，就繞過這個物體，繼續進行。人耳能接收到的頻率範圍是20-20000HZ，所以人耳能接收到的波長範圍是
0.017-17m。但是，普通聲學絲網的網眼直徑約為50um，小于波長，故聲音可以繞過防護網進入MIC內部。在本發明中，壓縮空氣在進入MIC會受到防護網11的阻擋(原理類似防風網)，高壓空氣遇到防護網11的阻擋，速度降低或被阻擋在外面，降低了空氣對膜片的衝擊力。MEMS粘接防護網11吹擊實驗驗證
一、實驗目的
驗證MIC音孔處粘接耐回流的防護網11能否減輕高壓風槍對MIC的損壞程度。二、具體實驗步驟
1、驗證MIC粘接不同層數防護網11對MIC自身靈敏度和頻響的影響；
2、驗證粘接防護網11之後，模擬客戶條件，用高壓風槍吹擊MIC，MIC的損壞程度。三、實驗結果
I、粘接防護網11之後，MIC自身靈敏度變化值〈O. 6dB (三層)，頻響基本無變化。2、粘接有防護網11
在抗風槍吹擊方面，粘接防護網11之後,在風槍距離MIC 3-4cm之外，可以減輕風槍對MIC的損壞。四、具體實驗數據
I、粘接不同層數防護網11，對Mic自身靈敏度和頻響影響的實驗數據如下
權利要求
1.一種抗氣壓吹擊聲電傳感器，包括設置有音孔的外殼，其特徵在於在所述外殼在音孔的位置設置有至少一層防護網。
2.如權利要求I所述的抗氣壓吹擊聲電傳感器，其特徵在於所述防護網粘貼在所述外殼的內壁面或者外壁面。
3.如權利要求I或者2所述的抗氣壓吹擊聲電傳感器，其特徵在於所述外殼設置有凹陷部，所述音孔開在所述凹陷部。
4.如權利要求3所述的抗氣壓吹擊聲電傳感器，其特徵在於所述防護網選用聲學專用的防塵網或防水網。
5.如權利要求4所述的抗氣壓吹擊聲電傳感器，其特徵在於所述防護網選用無紡布或戈爾防護網。
全文摘要
本發明提供了一種抗氣壓吹擊聲電傳感器，包括設置有音孔的外殼，在所述外殼在音孔的位置設置有至少一層防護網。普通MEMS傳感器在音孔位置沒有防護裝置，本發明中，由於設置有防護網，在組裝工序的氣壓吹擊過程中，防護網減小了氣壓對膜片衝擊力，可有效降低或阻止氣壓的衝擊對震動膜片的影響，保護傳感器在裝配過程中不受到損傷。
文檔編號H04R1/02GK102938867SQ201210486259
公開日2013年2月20日 申請日期2012年11月26日 優先權日2012年11月26日
發明者李明 申請人:山東共達電聲股份有限公司