管路清洗裝置的製作方法
2023-06-01 18:13:51 1
本實用新型涉及半導體製造領域，特別涉及一種管路清洗裝置。
背景技術：
在半導體製造工藝中，需要使用各種氣體，這些氣體很多都會通過氣體管路傳輸，氣體管路在長期使用中，氣體中攜帶的粒子經常會黏附在管壁上，特別是一些易被氧化的氣體，被氧化後的粉塵顆粒黏附在管壁上，例如：SiH4被氧化後形成粉塵顆粒掛在管壁上。此外，粘滯性氣體長期使用會在氣體管壁上黏附且容易脫落。同時，氣體管路在90度彎角處容易形成雜質殘留，且容易液化的氣體會在90度彎角處累積。對於在工藝中要求的高純度氣體來說，無論是黏附在氣體管路上的粉塵，還是殘留在管路彎角處的沉積物，一旦隨著氣體進入大批量生產環節，這對產品質量的影響將是致命的。
在實際生產過程中，特別是特殊氣體(例如：WF6、SiH4、CCl4或B2H6等)在長期使用下都會在管壁上黏有汙染物，一旦真空破壞，這些黏著物就會被氧化形成顆粒，從而影響產品質量，於是這樣管路就需要更換新的管路。因此造成極大的浪費，而且影響生產。但是人工使用去離子水清洗效率低，同時難以保證水汽對半導體製造設備真空度的要求，也不適合大批量集成電路生產的要求，因此目前手段主要以更換管路為主。
因此，設計一種管路清洗裝置來清洗受到汙染的管路是本領域技術人員需要解決的一個技術問題。
技術實現要素：
本實用新型的目的在於提供一種管路清洗裝置，以解決現有技術中管路清洗不方便的問題。
為解決上述技術問題，本實用新型提供的一種管路清洗裝置，所述管路清洗裝置包括：清洗液槽，所述清洗液槽通過一液體泵與傳輸管道的接入端連接，所述傳輸管道的另一端連接待清洗管路後通入所述清洗液槽；所述傳輸管道的接入端還連接一氣體泵，所述傳輸管道的接入端通過管道選擇裝置與所述液體泵連通或者與所述氣體泵連通。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述管路清洗裝置還包括加熱裝置，所述加熱裝置設置在待清洗管路前的傳輸管道上。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述加熱裝置包括加熱套件和設置在所述加熱套件內的制熱件，所述加熱套件套在傳輸管道上。
優選的，在所述管路清洗裝置中，每個加熱套件內的制熱件的數量為2～8個。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述加熱裝置包括2～6套所述加熱套件和所述制熱件。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述管道選擇裝置為三通閥。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述管路清洗裝置還包括過濾裝置，所述過濾裝置設置在所述清洗液槽內。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述過濾裝置包括過濾網。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述傳輸管道連接待清洗管路後通入所述過濾裝置。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述傳輸管道通過柔性軟管連通待清洗管路。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述柔性軟管的接口採用真空接連徑向密封接口方式。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述清洗液槽設置有槽蓋板。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述槽蓋板是透明蓋板。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述槽蓋板設有若干通氣孔。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述清洗液槽還設置有排水件。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述清洗液槽還設置有清洗液注入件。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述管路清洗裝置還包括一裝置載體，所述清洗液槽設置在所述裝置載體內。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述裝置載體底部設置有多個腳輪。
優選的，在所述管路清洗裝置中，所述裝置載體上設置有載體蓋板。
本實用新型提供的管路清洗裝置，通過控制管道選擇裝置來選擇連通液體泵，然後通過液體泵可使得清洗液槽內的清洗液進入傳輸管道以及與傳輸管道連接的待清洗管路中，通過清洗液衝洗待清洗管路，從而實現對於待清洗管路的清洗工作。進一步的，使用後的清洗液再通入至所述清洗液槽中，從而實現循環清洗的功能。更進一步的，通過控制管道選擇裝置來選擇連通氣體泵，然後可通過氣體泵向傳輸管道以及與傳輸管道連接的待清洗管路內通入氣體來吹乾已清洗的管路。
附圖說明
圖1是本實用新型實施例的管路清洗裝置的立體結構示意圖；
圖2是本實用新型實施例的加熱裝置的立體結構示意圖；
圖3是本實用新型實施例的裝置載體的立體結構示意圖；
圖4是本實用新型實施例設有裝置載體的管路清洗裝置的立體結構示意圖；
圖5是本實用新型實施例的管路清洗裝置的使用模式的示意圖；
其中，10-清洗液槽，11-槽蓋板，12-排水件，13-清洗液注入件，20-液體泵，30-傳輸管道，40-待清洗管路，50-氣體泵，60-管道選擇裝置，70-加熱裝置，71-加熱套件，72-制熱件，80-過濾裝置，100-裝置載體，101-腳輪，102-載體蓋板，1-循環清洗線路，2-吹乾線路，3-加熱線路。
具體實施方式
為了使本實用新型的目的、特徵和優點能夠更加明顯易懂，請參閱附圖。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，並非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關係的改變或大小的調整，在不影響本實用新型所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內容得能涵蓋的範圍內。
如圖1所示，本實用新型實施例的一種管路清洗裝置，所述管路清洗裝置包括：清洗液槽10，所述清洗液槽10通過一液體泵20與傳輸管道30的接入端連接，所述傳輸管道30的另一端連接待清洗管路40後通入所述清洗液槽10；所述傳輸管道30的接入端還連接一氣體泵50，所述傳輸管道30的接入端通過管道選擇裝置60與所述液體泵20連通或者與所述氣體泵50連通。
本發明的方案中，待清洗管路通過傳輸管道接入到管路清洗裝置中完成清洗。例如，傳輸管道可以包括第一傳輸管道和第二傳輸管道，待清洗管路可設置於第一傳輸管道和第二傳輸管道之間，第二傳輸管道通入到所述清洗液槽中；可以理解的是，傳輸管道也可以僅通過第一傳輸管道連接待清洗管路，然後將待清洗管路的出口通入到清洗液槽中。通過兩種不同的傳輸連接方式均可完成清洗並實現清洗的循環，可根據實際需要選擇其它的傳輸連接方式。
繼續參考圖1所示，所述管路清洗裝置還包括加熱裝置70，所述加熱裝置70設置在待清洗管路40前的傳輸管道30上，通過加熱裝置70對傳輸管道30內的氣體進行加熱，從而實現對清洗後的待清洗管路40進行烘乾的作用。可以理解的是，傳輸管道、液體泵、氣體泵和加熱裝置等可以固定在清洗液槽上，也可以由其本身剛性自行支撐。
如圖2所示，所述加熱裝置70包括加熱套件71和設置在所述加熱套件71內的制熱件72，所述加熱套件71套在傳輸管道30上，通過制熱件72制熱後轉移到傳輸管道內，從而實現加熱的功能，加熱套件71還可起到保護和支撐制熱件72的作用，例如，加熱套件71可為陶瓷套，制熱件72可為加熱棒。優選的，每個加熱套件71內的制熱件72的數量為2～8個，通過設置多個制熱件72增強制熱作用。進一步的，所述加熱裝置70包括2～6套所述加熱套件71和所述制熱件72，通過設置多個加熱套件71和制熱件72來增強加熱作用。在其它實施例中，加熱裝置70所產生的加熱效果需要根據實現需要對加熱套件71或制熱件72的數目進行增減，本實施例中在實際測試中作為較佳選擇，實現較佳效果。
在本發明中，通過加熱裝置70可將傳輸管路中的氣體加熱，從而提高對待清洗管路的吹乾效果，在具體的實施方式中，繼續參考圖2所示，所述加熱裝置70可設置在兩個三通管之間，所述兩個三通管連通到所述傳輸管道30，通過兩個三通管將加熱裝置70並行接入到傳輸管道30中，通過控制三通管來選擇是否經過具有加熱裝置70的傳輸管道30，選擇是否需要加熱功能，滿足不同的需要。
優選的，所述管道選擇裝置60為三通閥，傳輸管道30的接入端通過控制三通閥來選擇連通至液體泵或氣體泵，從而起到選擇衝洗或吹乾的功能，並使不同的裝置彼此獨立，防止相互影響。
繼續參考圖1所示，所述管路清洗裝置還包括過濾裝置80，所述過濾裝置80設置在所述清洗液槽10內，通過過濾裝置80過濾掉循環的清洗液中部分雜質，較佳的滿足清洗液循環使用的效果。優選的，所述過濾裝置80包括過濾網，通過過濾網來進行過濾，並通過更換的過濾網實現較佳的過濾效果。優選的，所述傳輸管道30連接待清洗管路40後通入所述過濾裝置80，當清洗液衝洗待清洗管路40會產生較多的雜質，過濾裝置80設置在連接待清洗管路40後可較佳的起到過濾的作用，當然在其它實施例中，過濾裝置80也可以設置在循環衝洗環節的其它位置，例如清洗液槽到傳輸管道的出口處等。
優選的，所述傳輸管道30通過柔性軟管連接待清洗管路，考慮到待清洗管路具有不同的長度等，通過柔性軟管來滿足清洗不同的管路需要，柔性軟管具有較好的靈活性。優選的，所述柔性軟管的接口採用真空接連徑向密封(VCR，Vacuum Coupling Radius)接口方式，實現管路之間較佳的連接。
繼續參考圖1所示，所述清洗液槽10設置有槽蓋板11，通過槽蓋板11起一定的保護作用。優選的，所述槽蓋板11是透明蓋板，便於操作者觀察清洗液槽10內。進一步的，所述槽蓋板11設有若干通氣孔，通過通氣孔來排出吹乾時的氣體，避免引起清洗液飛濺。
優選的，所述清洗液槽10還設置有排水件12，當清洗工作完成後或其它需要時，通過排水件12可將清洗液槽10中的清洗液排放掉，例如，排水件12為設在清洗液槽10底部的排水管，排水管上可設有開關閥門。優選的，所述清洗液槽10還設置有清洗液注入件13，通過清洗液注入件13方便清洗液的注入，例如，清洗液注入件13為設在清洗液槽10上部的注入管，從而方便的向清洗液槽10內加入清洗液。
如圖3和圖4所示，所述管路清洗裝置還包括一裝置載體100，所述清洗液槽10設置在所述裝置載體100內，通過裝置載體100為管路清洗裝置的部件提供支撐和保護的功能。優選的，所述裝置載體100底部設置有多個腳輪101，通過腳輪101實現移動的功能，從而方便管路清洗裝置的轉移，例如，可安裝3個或4個腳輪101。所述裝置載體100上面設置有載體蓋板102，載體蓋板102可用來放置待清洗管路，閒置時也可以作為工作檯使用，載體蓋板102可從裝置載體拆除或組裝上，作為可從裝置載體拆卸下來的蓋板，滿足實際操作過程中多種需要。
下面詳細說明本實用新型的管路清洗裝置的使用。
如圖5所示，本實用新型的管路清洗裝置有3種模式，其中如圖中所示的1號線路為循環清洗線路，首先將清洗液加入清洗液槽，然後通過液體泵將清洗液傳輸到待清洗管路進行衝洗，最後清洗液經過過濾裝置的過濾後再回到清洗液槽，實現循環清洗，方便繼續使用，避免了浪費。清洗液在待清洗管路裡充分循環衝洗，即使待清洗管路的90度死角也能完全清洗到，具有較佳的清洗效果。在整個清洗管路的過程中，注入在清洗液槽的液體在封閉的管路裡自動循環，具有較高的安全性。清洗液具有多種選擇，例如，可選用H2O2、醇類(乙醇、異丙醇IPA等)、去離子水等，可根據實際需要選用。
同時，通過管道選擇裝置可切換到2號線路，2號線路為吹乾線路，通過氣體泵將氣體通入到清洗後的待清洗管路中，從而實現吹乾管路的功能。進一步的，3號線路為加熱線路，通過加熱的氣體實現快速、徹底的吹乾，滿足不同的需要。
本實用新型提供的管路清洗裝置，通過控制管道選擇裝置來選擇連通液體泵，然後通過液體泵可使得清洗液槽內的清洗液進入傳輸管道以及與傳輸管道連接的待清洗管路中，通過清洗液衝洗待清洗管路，從而實現對於待清洗管路的清洗工作。進一步的，使用後的清洗液再通入至所述清洗液槽中，從而實現循環清洗的功能。更進一步的，通過控制管道選擇裝置來選擇連通氣體泵，然後可通過氣體泵向傳輸管道以及與傳輸管道連接的待清洗管路內通入氣體來吹乾已清洗的管路。
上述僅為本實用新型的優選實施例而已，並不對本實用新型起到任何限制作用。任何所屬技術領域的技術人員，在不脫離本實用新型的技術方案的範圍內，對本實用新型揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本實用新型的技術方案的內容，仍屬於本實用新型的保護範圍之內。