一種用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置製造方法
2023-10-05 17:20:14
一種用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，所述裝置至少包括：圓環形支撐盤；至少三根測量柱，設置在所述圓環形支撐盤表面，所述測量柱的長度為目標定位尺寸；支撐梁，穿過圓環形支撐盤的中心且與所述圓環形支撐盤相連接；手柄，安裝在所述支撐梁的下表面中心處。本實用新型的用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，可以方便地將氣體噴頭安裝在腔室頂部，不需要額外的調試，可以確保氣體噴頭到腔室頂部的距離為所需要的數值。
【專利說明】一種用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體製造設備領域，特別是涉及一種用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置。
【背景技術】
[0002]化學氣相沉積鍍膜設備是目前製備半導體材料的一種重要的設備，用以在半導體襯底、基片或晶片上沉積各種功能的薄膜。在化學氣相沉積鍍膜工藝中，通常通過腔室上的氣體噴頭將氣體引入處理腔室中，再對氣體做處理並進行薄膜沉積。由此可見，氣體噴頭是鍍膜設備中非常重要的部件，使用一段時間之後需要更換氣體噴頭。對於NOVELLUS SequalC2機臺，氣體噴頭安裝在腔室的頂部，在更換氣體噴頭時，氣體噴頭的下表面距離腔室的頂面必須嚴格定位於目標尺寸值，例如100.5mm，否則將導致薄膜的厚度及均勻性不滿足工藝要求。
[0003]目前更換氣體噴頭的流程是先拆除老的氣體噴頭，再安裝新的氣體噴頭，最後用深度遊標卡尺調試氣體噴頭到腔室頂部的距離為100.5mm。由於氣體噴頭是三點定位，存在一規定槓桿效應，當改變一個陶瓷柱的尺寸時，另外一面會往相反的方向改變距離，導致調試過程是一個循序漸進、及其緩慢並且需要很多反覆的過程，作業效率很低。
[0004]本實用新型提供的裝置可以將安裝和調試作為一個工序來完成，安裝的時候同時將氣體噴頭三個定位點距離腔室頂部的尺寸固定在所需要的值，省去了額外調試的過程，避免了槓桿效應，從而提高作業效率。
實用新型內容
[0005]鑑於以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在於提供一種用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，用於解決現有技術中安裝調試過程緩慢、作業效率低的問題。
[0006]為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，所述裝置至少包括:
[0007]圓環形支撐盤；
[0008]至少三根測量柱，設置在所述圓環形支撐盤表面，所述測量柱的長度為目標定位尺寸；
[0009]支撐梁，穿過圓環形支撐盤的中心且與所述圓環形支撐盤相連接；
[0010]手柄，安裝在所述支撐梁的下表面中心處。
[0011]作為本實用新型用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置一種優化的結構，所述測量柱通過定位銷固定在所述支撐盤表面。
[0012]作為本實用新型用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置一種優化的結構，所述測量柱均勻分布於所述圓環形支撐盤表面。
[0013]作為本實用新型用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置一種優化的結構，所述目標定位尺寸為 99.5mm、100.1mm 或者 100.5mm。
[0014]作為本實用新型用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置一種優化的結構，所述支撐梁為一對互相垂直的十字結構。
[0015]作為本實用新型用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置一種優化的結構，通過所述裝置將氣體噴頭安裝在腔室的頂部，所述氣體噴頭為空心圓柱形噴頭，所述空心圓柱形噴頭上表面設置有與所述空心圓柱形噴頭連通的氣體供應管以及用於與腔室頂部固定連接的螺紋孔，所述空心圓柱形噴頭的下表面設置有多個用於將氣體噴入腔室的氣體噴射孔。
[0016]作為本實用新型用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置一種優化的結構，安裝時，所述氣體噴頭置於所述圓環形支撐盤表面的測量柱之間，由測量柱卡住氣體噴頭。
[0017]如上所述，本實用新型的用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，至少包括:圓環形支撐盤；至少三根測量柱，設置在所述圓環形支撐盤表面，所述測量柱的長度為目標定位尺寸；支撐梁，穿過圓環形支撐盤的中心且與所述圓環形支撐盤相連接；手柄，安裝在所述支撐梁的下表面中心處。本實用新型的裝置，可以方便地將氣體噴頭安裝在腔室頂部，不需要額外的調試，可以確保氣體噴頭到腔室的距離為所需要的數值。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0018]圖1為本實用新型的用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置的立體示意圖。
[0019]圖2為本實用新型圓環形支撐盤上設置有定位銷的示意圖。
[0020]圖3為本實用新型用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置的俯視圖。
[0021]圖4為本實用新型的氣體噴頭的立體示意圖。
[0022]圖5為本實用新型利用安裝調試裝置安裝氣體噴頭的示意圖。
[0023]元件標號說明
[0024]100安裝調試的裝置
[0025]101圓環形支撐盤
[0026]102測量柱
[0027]103支撐梁
[0028]104手柄
[0029]105定位銷
[0030]200空心圓柱形噴頭
[0031]201氣體供應管
[0032]202螺紋孔
【具體實施方式】
[0033]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優點及功效。
[0034]請參閱圖1至圖5。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，並非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關係的改變或大小的調整，在不影響本實用新型所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內容得能涵蓋的範圍內。同時，本說明書中所引用的如「上」、「下」、「左」、「右」、「中間」及「一」等的用語，亦僅為便於敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的範圍，其相對關係的改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本實用新型可實施的範疇。
[0035]如圖1所示，本實用新型提供一種用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置100，所述裝置100至少包括圓環形支撐盤101、至少三根測量柱102、支撐梁103以及手柄104。
[0036]所述圓環形支撐盤101的內徑與待安裝的氣體噴頭的直徑一致，其外徑不限。本實施例中，所述圓環形支撐盤101的外徑為125mm。
[0037]所述圓環形支撐盤101的表面上設置有至少三根測量柱102，每一根測量柱102的長度L相等，且長度為滿足工藝要求的目標定位尺寸。一般，測量柱102有三種規格，根據不同的工藝更換測量柱102，以使氣體噴頭安裝成不同的尺寸。例如，工藝TEOS Stat1nO需將目標定位尺寸調成100.5mm ;其他stat1nl_5調成100.1mm,工藝FSG調成99.5mm。
[0038]進一步地，如圖2所示，在所述圓環形支撐盤101表面設置有定位銷105，通過定位銷105外表面的螺紋將測量柱102與定位銷105擰緊，從而將測量柱102固定在所述圓環形支撐盤101表面。如圖2中，測量柱102沿所示箭頭方向擰入定位銷105。當然，也可以通過其他合適的方式將測量柱102固定在所述圓環形支撐盤101上，在此不限。
[0039]所述測量柱102可以是圓柱、長方體等任何合適的形狀。本實施例中，所述測量柱102為上、下兩個圓柱套接的結構，如圖1所示，上面的圓柱直徑稍大於下面的圓柱的直徑。氣體噴頭放置在圓柱形支撐盤101上後，剛好由測量柱102卡住。
[0040]另外，所述測量柱102均勻地分布於所述圓環形支撐盤101的表面。本實施例中，測量柱102為3根，測量柱102與圓環形支撐盤101的中心所在的線互成120°。相應地，若測量柱102為4根，測量柱102與圓環形支撐盤101的中心所在的線互成90°，以此類推。
[0041]所述支撐梁103穿過圓環形支撐盤101的中心且與所述圓環形支撐盤101相連接。優選地，所述支撐梁103與圓環形支撐盤101為一體結構。所述支撐梁103與圓環形支撐盤101形成的一體結構相比圓形支撐盤，由於有鏤空部分，其重量要輕很多，便於技術人員在安裝氣體噴頭時單手操作，省力，並且由於氣體噴頭的下表面不可能做到完全平整，所以鏤空部分能減少調試裝置與氣體噴頭表面的接觸，減少誤差。
[0042]所述支撐梁103的作用一方面在安裝氣體噴頭時可以支撐氣體噴頭，另一方面，還可以為手柄104的設置提供支點。所述手柄104安裝在所述支撐梁103下表面的中心處，利用手柄104，技術人員可以較容易地託舉起氣體噴頭。
[0043]所述支撐梁103可以是穿過中心的單條梁，也可以穿過中心的一對相互垂直的十字結構，也可以是穿過中心的互成120°的三條梁，在此不限。本實施例中，所述支撐梁103優選為穿過中心的一對相互垂直的十字結構，如圖3所示。
[0044]請參閱圖4，待安裝的氣體噴頭為空心圓柱形噴頭200，所述空心圓柱形噴頭200上表面設置有與所述空心圓柱形噴頭200連通的氣體供應管201以及用於與腔室頂部固定連接的螺紋孔202，所述空心圓柱形噴頭200的下表面設置有多個用於將氣體噴入腔室的氣體噴射孔(未予以圖示)。從外界提供的工藝氣體流經氣體供應管，在所述空心圓柱形噴頭中進行擴散，最終從噴射孔中噴出，鍍到腔室中的晶圓表面。
[0045]利用本實用新型的安裝調試裝置將氣體噴頭安裝在腔室的頂部，其安裝過程如下:
[0046]首先，將氣體噴頭200放置於所述安裝調試裝置100上，如圖5所示；
[0047]然後，一隻手握住手柄104並將氣體噴頭200置於將要安裝的腔室位置，使測量柱102的上表面緊貼腔室的頂部表面，另一隻手擰緊氣體噴頭200的螺紋孔202上與陶瓷柱連接的螺絲，擰緊之後，氣體噴頭200下表面到腔室頂部的距離即為所需的目標定位尺寸，本實施例目標定位尺寸為100.5mm。
[0048]結果表明，採用現有技術的安裝調試方法安裝完所有的氣體噴頭需要2小時，而採用本實用新型提供的裝置來安裝同樣的氣體噴頭僅需約20分鐘。
[0049]綜上所述，本實用新型提供一種用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，所述裝置至少包括:圓環形支撐盤；至少三根測量柱，設置在所述圓環形支撐盤表面，所述測量柱的長度為目標定位尺寸；支撐梁，穿過圓環形支撐盤的中心且與所述圓環形支撐盤相連接；手柄，安裝在所述支撐梁的下表面中心處。本實用新型的裝置，可以方便地將氣體噴頭安裝在腔室頂部，不需要額外的調試，可以確保氣體噴頭到腔室的距離為所需要的數值。
[0050]所以，本實用新型有效克服了現有技術中的種種缺點而具高度產業利用價值。
[0051]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用於限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及範疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術領域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
【權利要求】
1.一種用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特徵在於，所述裝置至少包括: 圓環形支撐盤； 至少三根測量柱，設置在所述圓環形支撐盤表面，所述測量柱的長度為目標定位尺寸； 支撐梁，穿過圓環形支撐盤的中心且與所述圓環形支撐盤相連接； 手柄，安裝在所述支撐梁的下表面中心處。
2.根據權利要求1所述的用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特徵在於:所述測量柱通過定位銷固定在所述支撐盤表面。
3.根據權利要求1所述的用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特徵在於:所述測量柱均勻分布於所述圓環形支撐盤表面。
4.根據權利要求1所述的用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特徵在於:所述目標定位尺寸為 99.5mm、100.1mm 或者 100.5mm。
5.根據權利要求1所述的用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特徵在於:所述支撐梁為一對互相垂直的十字結構。
6.根據權利要求1所述的用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特徵在於:通過所述裝置將氣體噴頭安裝在腔室的頂部，所述氣體噴頭為空心圓柱形噴頭，所述空心圓柱形噴頭上表面設置有與所述空心圓柱形噴頭連通的氣體供應管以及用於與腔室頂部固定連接的螺紋孔，所述空心圓柱形噴頭的下表面設置有多個用於將氣體噴入腔室的氣體噴射孔。
7.根據權利要求1所述的用於腔室氣體噴頭安裝調試的裝置，其特徵在於:安裝時，所述氣體噴頭置於所述圓環形支撐盤表面的測量柱之間，由測量柱卡住氣體噴頭。
【文檔編號】H01L21/67GK204144227SQ201420584306
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年10月10日 優先權日:2014年10月10日
【發明者】王曉晨 申請人:中芯國際集成電路製造(北京)有限公司