一種傳感器響應測量裝置製造方法
2024-03-06 04:51:15
專利名稱:一種傳感器響應測量裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種傳感器響應測量裝置，包括氣路反應時間測定管路和傳感器響應時間測定管路；氣路反應時間測定管路包括：在氣源後依次連接減壓器、被測樣機，被測樣機的出口與截止閥和壓力傳感器分別連接；傳感器響應時間測定管路包括：在氣源後依次連接減壓器、流量控制器，流量控制器的出口與截止閥和被測樣機分別連接，被測樣機的出口與壓力傳感器連接。可以快速測量質量流量控制器中傳感器的響應時間。
【專利說明】一種傳感器響應測量裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種質量流量控制器，尤其涉及一種傳感器響應測量裝置。
【背景技術】
[0002]質量流量控制器(Mass Flow Controller,以下全部簡稱MFC)應用於精密的測量和控制氣體的質量流量。在一定範圍內的氣壓和溫度的變化情況下，它的測量和控制精度不受影響。
[0003]如圖1所示，MFC由分流器、傳感器、電路板和調節閥四個部分組成，分流器、傳感器及電路板的測量部分組成了 MFC的流量測量單元。調節閥與電路板的控制部分組成了MFC的控制系統。
[0004]當氣體進入MFC時，氣流首先由傳感器和分流器一分為二:氣體的一部分流入傳感器，其質量流量的大小由傳感器測量；氣體的其它部分流過分流器，其大小由分流器決定。分流器的規格與量程範圍的大小成比例。流經傳感器的氣體會使傳感器電橋產生一個微小的電壓差，該電壓差通過電路板上的流量放大電路，最後顯示出氣體的真實流量。將真實的流量與設定(期望流量)進行比較並調節閥的大小即達到了控制功能。
[0005]影響質量流量控制器性能主要有三個要素:傳感器的溫漂、質量流量控制器的PID調節和電磁閥性能。質量流量控制器改進系統主要針對這三個要素，強化MFC的工作性能，增強可靠性。
[0006]現有技術中對傳感器響應時間測試的裝置和方法複雜且不夠精確。
【發明內容】
[0007]本實用新型的目的是提供一種可以快速、精確的測量質量流量控制器中傳感器的響應時間的傳感器響應測量裝置。
[0008]本實用新型的目的是通過以下技術方案實現的:
[0009]本實用新型的傳感器響應測量裝置，包括氣路反應時間測定管路和傳感器響應時間測定管路；
[0010]所述氣路反應時間測定管路包括:在氣源後依次連接減壓器、被測樣機，所述被測樣機的出口與截止閥和壓力傳感器分別連接；
[0011]所述傳感器響應時間測定管路包括:在氣源後依次連接減壓器、流量控制器，所述流量控制器的出口與所述截止閥和所述被測樣機分別連接，所述被測樣機的出口與所述壓力傳感器連接。
[0012]由上述本實用新型提供的技術方案可以看出，本實用新型實施例提供的傳感器響應測量裝置，由於包括氣路反應時間測定管路和傳感器響應時間測定管路，通過管路切換可以快速、精確的測量質量流量控制器中傳感器的響應時間。
【附圖說明】
[0013]圖1為質量流量控制器的結構示意圖；
[0014]圖2為本實用新型實施例中氣路反應時間測定管路的結構示意圖；
[0015]圖3為本實用新型實施例中傳感器響應時間測定管路的結構示意圖。
[0016]圖中:
[0017]1、氣源，2、減壓器，3、被測樣機，4、截止閥，5、壓力傳感器，6、流量控制器。
【具體實施方式】
[0018]下面將對本實用新型實施例作進一步地詳細描述。
[0019]本實用新型的傳感器響應測量裝置，其較佳的【具體實施方式】是:
[0020]包括氣路反應時間測定管路和傳感器響應時間測定管路；
[0021]所述氣路反應時間測定管路包括:在氣源後依次連接減壓器、被測樣機，所述被測樣機的出口與截止閥和壓力傳感器分別連接；
[0022]所述傳感器響應時間測定管路包括:在氣源後依次連接減壓器、流量控制器，所述流量控制器的出口與所述截止閥和所述被測樣機分別連接，所述被測樣機的出口與所述壓力傳感器連接。
[0023]所述被測樣機、截止閥和壓力傳感器與電源和示波器連接。
[0024]傳感器作為整個系統的核心部件更是重中之重，所以對傳感器的測試就變得很重要。本實用新型的傳感器響應測試裝置，可以快速測量質量流量控制器中傳感器的響應時間。
[0025]具體實施例:
[0026]如圖2所示，在氣源後接上減壓器，然後將被測樣機接入氣路中。接下來用三通將截止閥閥和壓力傳感器分別接在被測樣機後。這裡要求氣路足夠短。
[0027]這裡將被測樣機通電，並將流量檢測信號接在示波器上。同理將截止閥通電，並將截止閥供電電源接在示波器上，將壓力傳感器通電並將檢測信號接在示波器上。
[0028]測試時，將被測樣機設定到指定流量並通氣，這時截止閥不通，氣體從壓力傳感器流過。
[0029]當將截止閥打開的瞬間，氣體大多數從截止閥流出，壓力傳感器信號驟變，即可從示波器中壓力傳感器信號響應讀取氣路反應時間A。
[0030]接下來將氣路改變:
[0031]如圖3所示，將原被測樣機位置換為流量控制器來控制流量。將被測樣機放在壓力傳感器前面。將被測樣機閥置全開。
[0032]測試時，設定流量控制器為指定流量並通氣，這時截止閥不通，氣體從壓力傳感器流過。當將截止閥打開的瞬間，氣體大多數從截止閥流出，被測樣機的流量檢測信號和壓力傳感器信號驟變，即可從示波器中被測樣機的流量檢測信號中讀取響應時間B。
[0033]時間B減時間A即為被測樣機的傳感器響應時間。
[0034]以上所述，僅為本實用新型較佳的【具體實施方式】，但本實用新型的保護範圍並不局限於此，任何熟悉本【技術領域】的技術人員在本實用新型披露的技術範圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護範圍之內。因此，本實用新型的保護範圍應該以權利要求書的保護範圍為準。
【權利要求】
1.一種傳感器響應測量裝置，其特徵在於，包括氣路反應時間測定管路和傳感器響應時間測定管路； 所述氣路反應時間測定管路包括:在氣源後依次連接減壓器、被測樣機，所述被測樣機的出口與截止閥和壓力傳感器分別連接； 所述傳感器響應時間測定管路包括:在氣源後依次連接減壓器、流量控制器，所述流量控制器的出口與所述截止閥和所述被測樣機分別連接，所述被測樣機的出口與所述壓力傳感器連接。2.根據權利要求1所述的傳感器響應測量裝置，其特徵在於，所述被測樣機、截止閥和壓力傳感器與電源和示波器連接。
【文檔編號】G01F25-00GK204269202SQ201420738482
【發明者】吳薇, 蔣興東, 李甲 [申請人]北京七星弗洛爾電子設備製造有限公司