集成電路變壓器的製作方法
2023-12-03 19:17:21 4
專利名稱：集成電路變壓器的製作方法
技術領域：
本發明是有關於一種集成電路變壓器，特別是有關於一種具高耦合係數(k)的集成電路變壓器。
背景技術：
為了模擬和射頻(RF)產品的不同應用，變壓器因而逐漸地集成於晶片上。變壓器的其中一個要求為高耦合係數(k)。變壓器的耦合係數(k)取決於同時穿過變壓器的主線圈(primary winding)和副線圈(secondary winding)兩者的總磁通量(flux lines)。高耦合係數意指會有高能量從主線圈傳遞至副線圈，在傳輸期間變壓器會有低的能量損失。現有的集成電路變壓器通常會以增加主線圈和副線圈的匝數(turn counts)來改 善變壓器的耦合係數(k)。然而，越多的線圈匝數會需要越大的布局面積，因而會增加製造成本。因此，需要一種新型的具高耦合係數(k)的集成電路變壓器。
發明內容
因此，本發明的目的在於提供新型的具高耦合係數(k)的集成電路變壓器。本發明揭露的一個實施例提供一種集成電路變壓器，設置於基板上。集成電路變壓器包括第一線圈狀金屬圖案，設置於基板上，第一線圈狀金屬圖案包括內圈部分和外圈部分；第二線圈狀金屬圖案，設置於基板上，且橫向位於內圈部分和外圈部分之間；介電層，設置於第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案上；第一通孔，穿過介電層形成，且電性連接至第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案其中之一；第一重布線圖案，設置於介電層上，電性連接至第一通孔且沿第一通孔延伸，其中第一重布線圖案覆蓋至少一部分第一線圈狀金屬圖案和至少一部分第二線圈狀金屬圖案。本發明揭露的另一實施例提供一種集成電路變壓器，設置於基板上。集成電路變壓器包括第一線圈狀金屬圖案，設置於基板上，第一線圈狀金屬圖案包括內圈部分和外圈部分；第二線圈狀金屬圖案，設置於基板上，且橫向位於內圈部分和外圈部分之間；第一 T型導電物，設置於第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案上，且電性連接至第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案其中之一，其中第一 T型導電物覆蓋第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案兩者。本發明所提出的集成電路變壓器，通過重布線圖案與通孔，能夠增強集成電路變壓器的耦合係數(k)。
圖Ia為本發明一實施例的集成電路變壓器的上視圖。圖Ib為沿圖Ia的A-A』切線的剖面圖。圖2a為本發明另一實施例的集成電路變壓器的上視圖。
圖2b為沿圖2a的A-A』切線的剖面圖。圖2c為沿圖2a的B-B』切線的剖面圖。圖3a為本發明又另一實施例的集成電路變壓器的上視圖。圖3b為沿圖3a的A_A』切線的剖面圖。圖3c為沿圖3a的B-B』切線的剖面圖。圖4a為本發明更又另一實施例的集成電路變壓器的上視圖。圖4b為沿圖4a的A_A』切線的剖面圖。
具體實施方式
以下以各實施例詳細說明並伴隨著
的範例，作為本發明的參考依據。在附圖或說明書描述中，相似或相同的部分皆使用相同的圖號。且在附圖中，實施例的形狀或是厚度可擴大，並以簡化或是方便標示。再者，附圖中各組件的部分將分別描述說明，值得注意的是，圖中未繪示或描述的組件，為所屬技術領域中具有通常知識者所知的形式。圖Ia為本發明一實施例的集成電路變壓器500a的上視圖。圖Ib為沿圖Ia的A-A』切線的剖面圖。本發明一實施例的集成電路變壓器為晶片上變壓器(on-chiptransformer)。如圖Ia和圖Ib所示，集成電路變壓器500a設置於基板200上，且基板200上形成有介電層202。第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208設置於基板200上。第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208具有相似的形狀且互相平行。第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208的形狀可包括正方形、八邊形或圓形，然而，第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208也可依據設計而具有其他不同的形狀。在本發明一實施例中，第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208可利用圖案化集成電路的頂層金屬層(圖未顯示)的方式來形成。並且，第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208位於相同層別(layer level);意即第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208為共平面。在本發明一實施例中，第一線圈狀金屬圖案222可視為集成電路變壓器500a的主線圈(primary winding),而第二線圈狀金屬圖案208可視為集成電路變壓器500a的副線圈(secondary winding)。第一線圈狀金屬圖案222可包括內圈部分206和外圈部分210。而第二線圈狀金屬圖案208是橫向地(laterally)設於內圈部分206和外圈部分210之間。第二線圈狀金屬圖案208具有兩個末端，分別連接至兩個彼此隔開的金屬圖案224和226。而金屬圖案224和226分別耦接至開關SI和S2，用來傳輸感應電流。金屬圖案224和226的層別低於第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208的層別。內圈部分206的末端207a通過金屬圖案221連接至外圈部分210的末端211a。金屬圖案221、第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208皆位於相同層別；意即金屬圖案221、第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208為共平面。介電層214，設置於第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208上。在本實施例中，鰭狀通孔(via fin) 216a，穿過介電層214形成，且電性連接至第二線圈狀金屬圖案208。在另一實施例中，可使用一系列彼此隔開的通孔(圖未顯示)來代替鰭狀通孔216a，以電性連接至第二線圈狀金屬圖案208。並且，另一鰭狀通孔217是穿過介電層214形成以電性連接內圈部分206的另一末端207b和外圈部分210的另一末端211b。因此，內圈部分206通過鰭狀通孔217和金屬圖案221連接至外圈部分210。第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的末端211c和21 Id分別電性連接至開關Pl和P2，用來傳輸輸入電流。如圖Ia所示，鰭狀通孔216a和217的上視圖為條狀。鰭狀通孔216a沿著第二線圈狀金屬圖案208延伸，而鰭狀通孔217從內圈部分206的末端207b延伸至外圈部分210的末端211b。在本發明另一實施例中，彼此隔開之一系列通孔(圖未顯示)可沿著第二線圈狀金屬圖案208配置，以代替鰭狀通孔216a。在本發明一實施例中，鰭狀通孔216a可與其他柱狀通孔一起形成，用作接合墊(bonding pad)的電性連接。如圖Ia和圖Ib所示，重布線圖案(redistribution pattern) 218a,設置於介電層214上，電性連接至鰭狀通孔216a且沿鰭狀通孔216a延伸。如圖Ia所示，在上視圖中，重布線圖案218a覆蓋第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208兩者。重布線圖案218a的形狀類似於第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208的形狀，但重布線圖案218a的寬度等於第二線圈狀金屬圖案208和第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和外圈部分210的總寬度，加上第二線圈狀金屬圖案208分別與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和外圈部分210之間間隙寬度的總合。重布線圖案218a從第二線圈狀金屬圖案208橫向延伸至內圈部分206的內邊緣240a和外圈部分210的外邊緣242b。 重布線圖案218a具有一對平行的邊緣230a、232a，分別對齊內圈部分206的內邊緣240a和外圈部分210的外邊緣242b。在如圖Ib所示的集成電路變壓器500a的剖面圖中，重布線圖案218a和鰭狀通孔216a可共同構成T型導電物220a，而T型導電物220a可視為第二線圈狀金屬圖案208的延伸部分。在本發明另一實施例中，重布線圖案218a和用來代替鰭狀通孔216a之一系列彼此隔開的通孔也可共同構成T型導電物220a。T型導電物220a覆蓋第二線圈狀金屬圖案208，以及第一線圈狀金屬圖案222相鄰於第二線圈狀金屬圖案208的兩個相對側壁244a和244b的內圈部分206和外圈部分210。由於耦合效應不僅會發生於第二線圈狀金屬圖案208與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和外圈部分210的橫向空間之間，而且會發生於重布線圖案218a(耦接至第二線圈狀金屬圖案208)與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和外圈部分210的垂直空間之間，因而可改善集成電路變壓器500a的耦合係數k。另外，鰭狀通孔216a與其他柱狀通孔一起形成，用作接合墊的電性連接，且重布線圖案218a可通過圖案化導電重布線層的方式來形成，用於定義接合墊，因而不需要額外的製程和設計規則。圖2a為本發明另一實施例的集成電路變壓器500b的上視圖。圖2b為沿圖2a的A-A』切線的剖面圖。圖2c為沿圖2a的B-B』切線的剖面圖。如圖2a至圖2c所示，在本實施例中，彼此隔開的鰭狀通孔216bl和216b2，穿過介電層214形成，且電性連接至第二線圈狀金屬圖案208。如圖2a至圖2c所示，彼此隔開的重布線圖案218bl和218b2，設置於介電層214上，分別電性連接至鰭狀通孔216b I和216b2且沿鰭狀通孔216b I和216b2延伸。在本發明一實施例中，從上視圖看去，重布線圖案218bl和218b2分別覆蓋第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208兩者。特別地，重布線圖案218bl覆蓋第二線圈狀金屬圖案208和第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210兩者，而重布線圖案218b2覆蓋第二線圈狀金屬圖案208和第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206兩者。重布線圖案218bl和218b2的形狀類似於第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208的形狀。重布線圖案218bl的寬度等於第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和第二線圈狀金屬圖案208的總寬度，加上上述兩者之間的間隙寬度的總合。重布線圖案218b2的寬度等於第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和第二線圈狀金屬圖案208的總寬度，加上上述兩者之間的間隙寬度的總合。特別地，如圖2a和圖2b所示，重布線圖案218bl從第二線圈狀金屬圖案208橫向延伸至第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的外邊緣242b。如圖2a和圖2c所示，重布線圖案218b2從第二線圈狀金屬圖案208橫向延伸至第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206的內邊緣240a。重布線圖案218b I具有一對平行的邊緣230b I、232b I，分別對齊第二線圈狀金屬圖案208的內邊緣244a和第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的外邊緣242b。另外，重布線圖案218b2具有一對平行的邊緣230b2、232b2，分別對齊第二線圈狀金屬圖案208的外邊緣244b和第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206的內邊緣240a。在如圖2b和圖2c所示的集成電路變壓器500b的剖面圖中，重布線圖案218bl和鰭狀通孔216bl可共同構成T型導電物220bl，或者重布線圖案218b2和鰭狀通孔216b2可共同構成T型導電物220b2，而T型導電物220bl或220b2可視為第二線圈狀金屬圖案208的延伸部分。T型導電物220bl覆蓋第二線圈狀金屬圖案208和相鄰於第二線圈狀金屬圖案208的單一側壁244b的第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210，以及T型導電物220b2覆蓋第二線圈狀金屬圖案208和相鄰於第二線圈狀金屬圖案208的單一側壁244a
的第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206。由於耦合效應不僅會發生於第二線圈狀金屬圖案208與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206/外圈部分210的橫向空間內，而且會發生於重布線圖案218bl/218b2(耦接至第二線圈狀金屬圖案208)與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206/外圈部分210的垂直空間之間，因而可改善集成電路變壓器500b的耦合係數k。另外，鰭狀通孔216bl和216b2與其他柱狀通孔一起形成，用作接合墊的電性連接，且重布線圖案218bl和218b2可通過圖案化導電重布線層的方式來形成，用以定義接合墊，因而不需要額外的製程和設計規則。圖3a為本發明另一實施例的集成電路變壓器500c的上視圖。圖3b為沿圖3a的A-A』切線的剖面圖。圖3c為沿圖3a的B-B』切線的剖面圖。如圖3a至圖3c所示，在本實施例中，鰭狀通孔216c，穿過介電層214形成，且電性連接至第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210。如圖3a至圖3c所示，重布線圖案218c，設置於介電層214上，電性連接至鰭狀通孔216c且沿鰭狀通孔216c延伸。在本發明一實施例中，從上視圖看去，重布線圖案218c覆蓋第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和第二線圈狀金屬圖案208兩者。重布線圖案218c的形狀類似於第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208的形狀，但重布線圖案218c的寬度等於第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和第二線圈狀金屬圖案208的總寬度，加上上述兩者之間的間隙寬度的總合。特別地，如圖3a和圖3b所示，重布線圖案218c從第二線圈狀金屬圖案208的內邊緣244a橫向延伸至第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的外邊緣242b。重布線圖案218c具有一對平行的邊緣230c、232c，分別對齊第二線圈狀金屬圖案208的內邊緣244a和第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的外邊緣242b。在如圖3b和圖3c所示的集成電路變壓器500c的剖面圖中，重布線圖案218c和鰭狀通孔216c可共同構成T型導電物220c，而T型導電物220c可視為第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的延伸部分。T型導電物220c覆蓋第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和相鄰於第一線圈狀金屬圖案222的單一側壁242a的第二線圈狀金屬圖案208。由於耦合效應不僅會發生於第二線圈狀金屬圖案208與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206/外圈部分210的橫向空間之間，而且會發生於重布線圖案218c (耦接至第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210)與第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的垂直空間之間，因而可改善集成電路變壓器500c的耦合係數k。另外，鰭狀通孔216c與其他柱狀通孔一起形成，用作接合墊的電性連接，且重布線圖案218c可通過圖案化導電重布線層的方式來形成，用來定義接合墊，因而不需要額外的製程和設計規則。在本發明其他實施例中，可形成分別連接至第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206/外圈部分210的兩個T型導電物。圖4a為本發明另一實施例的集成電路變壓器500d的上視圖。圖4b為沿圖4a的A-A』切線的剖面圖。如第4a至4b所示，在本實施例中，彼此隔開的鰭狀通孔216dl和216d2，穿過介電層214形成，且分別電性連接至第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和外圈部分210。如第4a至4b圖所示，彼此隔開的重布線圖案218dl和218d2，設置於介電層214上，分別電性連接至鰭狀通孔216dl和216d2且分別沿鰭狀通孔216dl和216d2延伸。在本發明一實施例中，從上視圖看去，重布線圖案218dl覆蓋第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和第二線圈狀金屬圖案208兩者，而重布線圖案218d2分別覆蓋第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和第二線圈狀金屬圖案208兩者。重布線圖案218dl和218d2的形狀類似於第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬 圖案208的形狀。重布線圖案218dl的寬度小於第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和第二線圈狀金屬圖案208的總寬度，加上第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和第二線圈狀金屬圖案208之間的間隙寬度；重布線圖案218d2的寬度小於第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和第二線圈狀金屬圖案208的總寬度，加上第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和第二線圈狀金屬圖案208之間的間隙寬度。特別地，如圖4a和圖4b所示，重布線圖案218dl從第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的外邊緣242b橫向延伸至第二線圈狀金屬圖案208的一部分，而重布線圖案218d2從第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206的內邊緣240a橫向延伸至第二線圈狀金屬圖案208的一部分。重布線圖案218dl具有一對平行的邊緣230dl、232dl，其中邊緣232dl對齊第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的外邊緣242b，而邊緣230dl與第二線圈狀金屬圖案208的外邊緣244b平行。另外，重布線圖案218d2具有一對平行的邊緣230d2、232d2，其中邊緣232d2對齊第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206的內邊緣240a，而邊緣230d2與第二線圈狀金屬圖案208的內邊緣244a平行。重布線圖案218dl和218d2通過間隙S彼此隔開，而間隙S位於第二線圈狀金屬圖案208的正上方。在如圖4b所示的集成電路變壓器500d的剖面圖中，重布線圖案218dl/218d2和鰭狀通孔216dl/216d2可共同構成T型導電物220dl/220d2，可視為第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210/內圈部分206的延伸部分。T型導電物220dl/220d2覆蓋第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210/內圈部分206和相鄰於第一線圈狀金屬圖案222的第二線圈狀金屬圖案208。由於耦合效應不僅會發生於第二線圈狀金屬圖案208與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206/外圈部分210的橫向空間之間，而且會發生於重布線圖案218dl/218d2(耦接至第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210/內圈部分206)與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206/外圈部分210的垂直空間之間，因而可改善集成電路變壓器500d的耦合係數k。另外，鰭狀通孔216dl和216d2與其他柱狀通孔一起形成，用作接合墊的電性連接，且重布線圖案218dl和218d2可通過圖案化導電重布線層的方式來形成，用來定義接合墊，因而不需要額外的製程和設計規則。本發明實施例提供了集成電路變壓器500a飛00d。上述集成電路變壓器包括T型導電物，可增加位於變壓器相同層別的主線圈和副線圈的耦合面積，以改善耦合係數k。上述T型導電物位於變壓器主線圈和副線圈的上方層。且上述T型導電物由通孔和重布線圖案構成，且電性連接至變壓器主線圈和副線圈的其中之一，其中上述重布線圖案可利用圖案化導電重布線層的方式來形成以定義接合墊，因而不需要額外的製程和設計規則。並且，上述T型導電物的重布線圖案與變壓器的彼此相鄰的主線圈和副線圈垂直重疊。因此，由於耦合效應不僅會發生於變壓器的主線圈和副線圈的橫向空間之間，而且會發生於重布線圖案(耦接至主線圈或副線圈)與變壓器的主線圈或副線圈的垂直空間之間，因而可改善集成電路變壓器500a 500d的耦合係數k。
雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，因此本發明的保護範圍當視權利要求所界定為準。
權利要求
1.一種集成電路變壓器，設置於基板上，包括 第一線圈狀金屬圖案，設置於該基板上，該第一線圈狀金屬圖案包括內圈部分和外圈部分； 第二線圈狀金屬圖案，設置於該基板上，且橫向位於該內圈部分和該外圈部分之間； 介電層，設置於該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案上； 第一通孔，穿過該介電層形成，且電性連接至該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案的其中之一；以及 第一重布線圖案，設置於該介電層上，電性連接至該第一通孔且沿該第一通孔延伸，其中該第一重布線圖案覆蓋至少一部分該第一線圈狀金屬圖案和至少一部分該第二線圈狀金屬圖案。
2.如權利要求I所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一通孔電性連接至該外圈部分，且該第一重布線圖案從該外圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案。
3.如權利要求I所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一通孔電性連接至該內圈部分，且該第一重布線圖案從該內圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案。
4.如權利要求2或3所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一重布線圖案具有一對平行邊緣，分別對齊該第一線圈狀金屬圖案的第一邊緣和該第二線圈狀金屬圖案的第二邊緣。
5.如權利要求3所述的集成電路變壓器，其特徵在於，更包括 第二通孔，電性連接至該外圈部分；以及 第二重布線圖案，設置且延伸於該介電層上，電性連接至該第二通孔且沿該第二通孔延伸，其中該第二重布線圖案從該外圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案。
6.如權利要求5所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一重布線圖案和該第二重布線圖案彼此隔開。
7.如權利要求I所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一通孔電性連接至該第二線圈狀金屬圖案，且該第一重布線圖案從該內圈部分橫向延伸至該外圈部分。
8.如權利要求7所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一重布線圖案具有一對平行邊緣，分別對齊該內圈部分的第三邊緣和該外圈部分的第四邊緣。
9.如權利要求I所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一通孔電性連接至該第二線圈狀金屬圖案，且該第一重布線圖案從該第二線圈狀金屬圖案橫向延伸至該內圈部分或該外圈部分。
10.如權利要求9所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一重布線圖案具有一對平行邊緣，分別對齊該第二線圈狀金屬圖案的第三邊緣和該內圈部分或該外圈部分的第四邊緣。
11.如權利要求I所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一重布線圖案的寬度等於該第二線圈狀金屬圖案和該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分及/或該外圈部分的總寬度加上該第二線圈狀金屬圖案與該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分及/或該外圈部分之間間隙的寬度。
12.如權利要求I所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一重布線圖案的寬度小於該第二線圈狀金屬圖案和該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分或該外圈部分的總寬度加上該第二線圈狀金屬圖案與該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分或該外圈部分之間間隙的寬度。
13.如權利要求I所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案設置於相同層別。
14.一種集成電路變壓器，設置於基板上，包括 第一線圈狀金屬圖案，設置於該基板上，該第一線圈狀金屬圖案包括內圈部分和外圈部分； 第二線圈狀金屬圖案，設置於該基板上，且橫向位於該內圈部分和該外圈部分之間；以及 第一 T型導電物，設置於該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案上，且電性連接至該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案其中之一，其中該第一 T型導電物覆蓋該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案兩者。
15.如權利要求14所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一T型導電物包括 第一通孔，穿過位於該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案上的介電層形成；以及 第一重布線圖案，設置於該介電層上，電性連接至該第一通孔且沿該第一通孔延伸。
16.如權利要求15項所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一通孔電性連接至該第二線圈狀金屬圖案，且該第一重布線圖案從該內圈部分橫向延伸至該外圈部分。
17.如權利要求14所述的集成電路變壓器，其特徵在於，更包括第二T型導電物，與該第一 T型導電物隔開，其中該第一 T型導電物和該第二 T型導電物分別電性連接至該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分和該外圈部分。
18.如權利要求17所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第二T型導電物包括 第二通孔，穿過該介電層；以及 第二重布線圖案，設置於該介電層上，電性連接至該第二通孔且沿該第二通孔延伸，其中該第一重布線圖案從該內圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案，且該第二重布線圖案從該外圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案。
19.如權利要求14所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一T型導電物的寬度等於該第二線圈狀金屬圖案和該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分及/或該外圈部分的總寬度加上該第二線圈狀金屬圖案與該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分及/或該外圈部分之間間隙的寬度。
20.如權利要求14所述的集成電路變壓器，其特徵在於，該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案設置於相同層別。
全文摘要
本發明提供一種集成電路變壓器，集成電路變壓器是設置在基板上。上述集成電路變壓器包括第一線圈狀金屬圖案，包括內圈部分和外圈部分；第二線圈狀金屬圖案，橫向位於內圈部分和外圈部分之間；介電層，設置於第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案上；第一通孔，穿過介電層形成，且電性連接至第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案的其中之一；第一重布線圖案，設置於介電層上，電性連接至第一通孔且沿第一通孔延伸，其中第一重布線圖案覆蓋至少一部分第一線圈狀金屬圖案和至少一部分第二線圈狀金屬圖案。本發明所提出的集成電路變壓器，能夠增強集成電路變壓器的耦合係數(k)。
文檔編號H01L23/538GK102867809SQ201210227749
公開日2013年1月9日 申請日期2012年7月2日 優先權日2011年7月6日
發明者洪建州, 張正佶, 李東興, 黃偉哲 申請人:聯發科技股份有限公司