一種閉環控制電源輸入的方法
2023-04-29 06:07:56
專利名稱：一種閉環控制電源輸入的方法
技術領域：
本發明涉及離子注入機電源輸入的控制方法。此方法通過返回量控制輸入量，可以使得軟體對電源的控制更加精確，從一定程度上減少了輸入誤差，並且誤差隨著時間的推移而逐漸變小。
背景技術：
半導體集成電路製造エ藝已發展到12英寸晶片、納米技術節點時期。隨著晶圓片尺寸越來越大，単元器件尺寸越來越小，對半導體エ藝設備的性能要求也就越來越高。離子注入機是半導體集成電路器件製造エ藝中必不可少的關鍵設備。為了提高離子注入機的性能，使其滿足現代大晶圓片、納米器件生產エ藝的要求和適應將來半導體エ藝技術的發展，必須要開發高效的全自動控制系統。
離子注入機中，有許多的電源，包括高壓源，電流源等等。這些電源的控制好壞直接影響了引出束流的穩定性。一般的電源控制時，只是將輸入量設置後就不再更改，只是監測電源是否報錯，對於電源自身的不穩定性可能造成的返回量偏差不能予以很好的調節。
發明內容
本發明主要是為了更加準確的控制電源，獲取精確的穩定的目標返回量。具體步驟如下根據需要，設置初始電源輸入量⑴，電源此時會獲取電源輸入量⑵。〈2>待輸入量送達到電源後，將輸入量實際設置到電源(3)。此時電源會根據輸入量做出改變(4)，與此同吋，目標返回量受電源影響做出改變(5)。〈3>採集目標返回量(6)，然後檢測返回量是否超出範圍(7)。如果超出範圍(11)，則報錯，退出(12)。如果未超出範圍(8)，則將目標返回值實際採集量與期望值做比較(9)，根據比較結果結合某種算法(例如，PID)計算出合適輸入量(10)。〈4>將新計算出的合適輸入量發送給電源，電源獲取電源輸入量(2)，從而進行下一輪的閉環循環流程。本發明具有如下顯著優點I.減少了目標返回量實際返回量與期望量的誤差，並且隨時間推移誤差呈減少趨勢。2.增加了電源輸出的穩定性。
具體實施例方式下面結合具體實施例對本發明作進ー步詳細描述，但不作為對本發明專利的限定。如圖I所示，我們想要控制偏壓電源的輸入量為2A(2)，同時利用PID算法獲得合適輸入量(10)。首先，將2A作為初始電源輸入量設置到偏壓電源(I)，電源控制器將這2A作為輸入量實際設置到電源(3)，偏壓電源根據2A這個輸入量作出改變(4)，同時目標返回量受電源影響作出改變(5)。電源控制器採集此目標返回量(6)，如果偏壓足夠精確，並且忽略其他一切影響因素的話，此採集值應該為2A，但實際上此返回值受到各方面的影響，並不等於2A。對此返回值進行檢測(7)，檢測它是否超出正常範圍，比如，是否小於了 IA或者大於了 4A。如果超出了範圍(11)，那麼直接出錯退出(12)，因為此時電源返回值誤差太大，電源本身出現了問題。如果沒有超出範圍(8)，那麼我們可以調節電源輸入量，來獲得2A這個目標設定量。通過目標返回量實際採集量，可能是I. 8A或者2. 4A，與期望的2A做比較
(9)，利用PID算法計算出，如果想要獲得2A的輸入量時合適的輸入量(10)，而電源控制器又獲得了這個電源輸入量(2)，然後將它設定給電源(3)，完成一個閉環的循環。經過多個閉環循環後，偏壓的時間返回值將越來越接近於2A。
圖I為閉環控制電源輸入流程說明圖。本發明的特定實施例已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求
1.一種閉環控制電源輸入的方法其特徵在於會設置初始電源輸入量(I)作為閉環控制，校準的基礎。
2.—種閉環控制電源輸入的方法其特徵在於會不斷檢測檢測返回量是否超出範圍(7)，當超出範圍(11)時，會報錯，退出(12)。
3.—種閉環控制電源輸入的方法其特徵在幹返回值未超出範圍(8)，會進行目標返回量實際採集量與期望量做比較(9)，井根據比較結果結合某種算法(例如，PID)計算出合適輸入量(10)。
4.一種閉環控制電源輸入的方法其特徵在於閉環開始後，通過不斷的獲取電源輸入量(2)，並將輸入量實際設置到電源(3)來調節電源，使得目標返回量的實際物理返回量無限接近與期望量。
全文摘要
本發明闡述了一種閉環控制電源輸入的方法，其特徵在於將某個物理返回量通過某個算法與電源的輸入量相關聯，從而將此返回量與電源輸入量做閉環，由返回量控制輸入量。本方法涉及離子注入機，屬於半導體製造領域。本方法通過返回量控制輸入量，可以使得軟體對電源的控制更加精確，從一定程度上減少了輸入誤差，並且誤差隨著時間的推移而逐漸變小。
文檔編號G05B11/42GK102866628SQ20111018650
公開日2013年1月9日 申請日期2011年7月5日 優先權日2011年7月5日
發明者周文龍, 彭立波, 楊亞兵 申請人:北京中科信電子裝備有限公司