磷擴散爐爐管爐帽的製作方法

2023-09-16 15:23:15 3

專利名稱：磷擴散爐爐管爐帽的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體分立器件和太陽能電池片的製造領域。
背景技術：
磷擴散是半導體分立器件、集成電路晶片和太陽能電池片製作PN結所必須的一道工藝，目前這道工藝所採用的技術是熱擴散技術。半導體分立器件主要用於製造二極體、三極體、功率器件、IGBT及晶閘管等，該系列產品在國內有上百億的銷售額，產能非常龐大。另一方面作為太陽能電池片的用途，矽片運用也非常廣泛，全球70%以上的太陽能電池片是使用矽片作為電池片的。2011年已經實現25GW的產能，多晶用量達到18萬噸是半導體用量的6倍，因此太陽能的產量比半導體產量更大。國內能夠生產太陽能電池矽片廠家約120多家，而能夠生產半導體分立器件擴散片的廠家也達到幾十家。用於磷擴散的擴散爐每個廠家基本有幾十臺到上百臺，市場需求量很大 。目前市場上技術成熟的磷擴散技術主要有三種:1、採用液態三氯氧磷源擴散；2、採用噴塗磷酸水溶液後鏈式擴散；3、採用磷源紙夾層後鏈式擴散。這三種磷擴散的方法以液態磷源擴散的方法具有生產效率較高，得到PN結均勻、平整和擴散層表面良好等優點，因此運用範圍最廣，生產廠家普遍採用該方法進行大批量生產。磷擴散方法的結構圖如

圖1所示，磷擴散的化學反應方程式如下:
權利要求1.磷擴散爐爐管爐帽，包括底部封閉的圓筒形石英材質帽體，其特徵在於:所述帽體底部設有一向外凸出的開口延嘴，所述帽體底部內壁焊接有一石英卡環，所述開口延嘴設置在卡環底面與帽體底壁之間。
2.根據權利要求1所述的磷擴散爐爐管爐帽，其特徵在於:所述帽體底部外壁焊接有一石英把手。
3.根據權利要求2所述的磷擴散爐爐管爐帽，其特徵在於:所述開口延嘴長度控制在3-5cm,開口延嘴內徑控制在0.5-lcm。
4.根據權利要求3所述的磷擴散爐爐管爐帽，其特徵在於:所述卡環厚度等於帽體底部壁厚。
專利摘要本實用新型公開了一種磷擴散爐爐管爐帽，包括底部封閉的圓筒形石英材質帽體，所述帽體底部設有一向外凸出的開口延嘴，所述帽體底部內壁焊接有一石英卡環，所述開口延嘴設置在卡環底面與帽體底壁之間。所述帽體底部外壁焊接有一石英把手。本實用新型的爐帽套接在爐管開口上，爐帽採用石英材質，熱穩定性高，石英爐帽底部側面的開口延嘴正對抽風管進風口用於釋放磷擴散爐的爐管排出的三氯氧磷氣體，帽體底部內壁焊接有一石英卡環，卡環距底部剛好留有開口延嘴的寬度，爐管口部頂接在卡環上不至於堵住開口延嘴，在爐帽底部焊接石英的把手方便了操作。
文檔編號C30B31/16GK203007485SQ20132002629
公開日2013年6月19日 申請日期2013年1月17日 優先權日2013年1月17日
發明者陳功 申請人:陳功