一種電沉積裝置的製作方法
2023-10-10 04:44:39
專利名稱：一種電沉積裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種電沉積裝置，屬於電共相沉積法生產微晶金屬技術領域。
背景技術：
現有的一種用於電共相沉積的裝置，如圖1所示，包括陰極I』和陽極2』，工件4』置於陰極I』處，陽極2』為高耐蝕不溶性陽極，陰極I』與陽極2』之間為鹽溶液3』，置於鹽溶液槽(圖未示)內，其中鹽溶液3』為選取各種組分金屬的鹽後按比例預先混合成的鹽溶液，在生產過程中，鹽溶液3』的濃度下降，通過定時添加高濃度混合鹽來補充與維持鹽溶液的濃度。這種裝置產生的問題是:採用的直流電源會發生倒灌現象；鹽溶液的補充靠經驗判斷往往不準確，或者 通過化學分析然後再添加補充鹽離子濃度，往往用時長，難以及時維護。
發明內容
為克服現有技術的缺陷，本發明的目的在於提供一種防止電源電流倒灌、確保合成鹽溶液中各金屬離子濃度的電沉積裝置。所採用的技術方案為:一種電沉積裝置，包括陰極和陽極，其特徵在於:還包括高頻電源與電源分配器，所述電源分配器一端與高頻電源電連接，另一端分別與陽極、陰極電連接；所述陽極由多個陽極組組成，所述陽極組包括陽極套、陽極金屬、陽極板、配重塊及蓋板；所述陽極金屬、陽極板、配置塊置於陽極套內，所述陽極板置於所述陽極金屬上，所述配重塊置於所述透水陽極板的邊端上，所述蓋板蓋於陽極套上。優選的，所述陽極組為三組。所述電源分配器穿過蓋板與陽極組的陽極板電連接。按合成金屬元素數量將陽極套和陽極板分成幾組，根據需求將高頻電源輸出的電流經由電源分配器以時間分配的方式或功率分配的方式施於各陽極板，進一步施於各陽極金屬，陽極金屬作為陽極反應區，從而在生產過程中，確保各陽極相位一致防止電源電流倒灌；又可適時按比例溶解各陽極金屬，確保合成鹽溶液中各金屬離子濃度。
圖1為背景技術電沉積裝置的結構示意圖；圖2為本發明的結構示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖，對本發明做進一步的闡述。如圖2所示，一種電沉積裝置，包括陰極1、陽極2、高頻電源3與電源分配器4，電源分配器4 一端與高頻電源3電連接，另一端分別與陽極2、陰極電連接(圖未示)；陰極I和陽極2之間為鹽溶液6，置於鹽溶液槽(圖未示)內，陽極由3個陽極組組成，每個陽極組包括陽極套21、多塊陽極金屬22、陽極板23、配重塊24及蓋板25 ;陽極金屬22、陽極板23、配置塊24置於陽極套21內，其中，陽極板23置於陽極金屬22上，配重塊24置於陽極板23的邊端上，蓋板25蓋於陽極套21上。電源分配器4通過導線穿過蓋板25與陽極組的陽極板23電連接。按合成金屬元素數量將陽極套21和陽極板23分成三組，根據需求將高頻電源3輸出的電流經由電源分配器4以時間分配的方式或功率分配的方式施於各陽極板23，進一步施於各陽極金屬22，陽極金屬22作為陽極反應區，從而在生產過程中，確保各陽極相位一致防止電源電流倒灌；又可適時按比例溶解各陽極金屬，確保合成鹽溶液6中各金屬離子濃 度。
權利要求
1.一種電沉積裝置，包括陰極和陽極，其特徵在於:還包括高頻電源與電源分配器，所述電源分配器一端與高頻電源電連接，另一端分別與陽極、陰極電連接；所述陽極由多個陽極組組成，所述陽極組包括陽極套、陽極金屬、陽極板、配重塊及蓋板；所述陽極金屬、陽極板、配置塊置於陽極套內，所述陽極板置於所述陽極金屬上，所述配重塊置於所述透水陽極板的邊端上，所述蓋板蓋於陽極套上。
2.根據權利要求1所述的一種電沉積裝置，其特徵在於:所述陽極組為三組。
3.根據權利要求1所述的一種電沉積裝置，其特徵在於:所述電源分配器穿過蓋板與陽極組的陽極板電連接。 ·
全文摘要
本發明公開了一種電沉積裝置，包括陰極和陽極，陽極包括陽極套、陽極金屬、陽極板、配重塊及蓋板；陽極金屬、陽極板、配置塊置於陽極套內，陽極板置於所述陽極金屬上，配重塊置於所述透水陽極板的邊端上，蓋板蓋於陽極套上，且蓋板中間設有入水口。陽極套由透水有機纖維布、濾棉、增強剛性耐蝕絕緣骨架構成，陽極板由碳纖維氈和耐蝕金屬骨架構成，配重塊由高比重耐蝕金屬構成，蓋板由耐蝕絕緣板構成。本發明使陰陽極區內液流不存在滯留區；液流流速大，衝刷效果明顯。
文檔編號C25D17/00GK103160865SQ20111041530
公開日2013年6月19日 申請日期2011年12月14日 優先權日2011年12月14日
發明者黃林崎 申請人:福建通途金屬結構有限公司