包含有青色型和黃色型顏色特性的像素的彩色圖像傳感器的製作方法
2023-06-02 19:48:41 2
專利名稱:包含有青色型和黃色型顏色特性的像素的彩色圖像傳感器的製作方法
技術領域:
本發明涉及集成電路裝置,以及更具體地涉及集成電路圖像感測裝置。
技術背景CMOS圖像傳感器典型地包括形成在集成電路襯底內的圖像傳感器單 元的二維陣列。為了在傳感器內實現顏色表達,有機濾色器陣列可以形成在 圖像傳感器單元的二維陣列上並且微透鏡陣列可以形成在濾色器陣列上。濾 色器陣列可以包括與二維陣列內對應的圖像傳感器單元(即,像素)相對設 置的紅(R)、綠(G)和藍(B)濾色器的鑲嵌圖案。在授權給Kim的名 為 "Solid-State Imaging Devices Having Combined Microlens and Light Dispersion Layers for Improved Light Gathering Capacity and Methods of Forming Same"的美國專利號6517017中公開了 一種其中具有微透鏡陣列和 濾色器陣列的示範性CMOS圖像傳感器。典型的濾色器陣列可以包括紅-綠-綠-藍(RGGB)濾色器的重複的4像素鑲嵌圖案。替換的濾色器陣列可以包 括重複的黃-洋紅-青(YMC)圖案、重複的黃-青-白(YCW)圖案或重複的 青-黃_綠-洋紅(CYGM)圖案。如
圖1所示,常規的四電晶體(4T) CMOS圖像傳感器單元10包括埋 置的光電二極體(BPD)、對傳輸信號TX作出響應的圖像傳輸電晶體Tl、 對復位信號RX作出響應的復位電晶體T2、對驅動信號DX作出響應的驅動 電晶體T3和對選擇信號SX作出響應的選擇電晶體T4。選擇電晶體T4驅 動傳感器單元10的輸出節點OUT,該輸出節點電連接至對偏置信號Vb作 出響應的負載電晶體T5。驅動電晶體T3的柵極端子連接至浮動擴散(floating diffusion, FD)區,該浮動擴散區電連接至傳輸電晶體Tl的漏極和復位晶 體管T2的源極。該浮動擴散區示意性地圖示為電容器(Cfd)。浮動擴散區 在圖像傳輸電晶體T1啟動時接收來自埋置光電二極體的電荷載流子。當光 子輻射被光電二極體接收並在其中產生電子-空穴對時產生這些電荷載流 子。傳輸到浮動擴散區的電荷載流子起到偏置驅動電晶體T3的柵極端子的作用。另外,復位電晶體T2的啟動能通過電耦合浮動擴散區至正電源電壓VDD來復位浮動擴散區。另外的CMOS圖像傳感器可以利用變化維度的光電二極體來俘獲不同 顏色的光。在授權給Hwang的名為"CMOS Image Sensor and Method of Manufacturing the Same"的美國專利公開號2007/0063299中公開了 一種這樣 的圖像傳感器。在美國專利號6548833、 5965875和6964916以及美國專利
發明者淺羽哲朗 申請人:三星電子株式會社