一種矽片拋光機邊緣導輪的製作方法

2023-06-05 21:03:52 2

本發明涉及一種矽片拋光機邊緣導輪，屬於矽片拋光技術領域。

背景技術：

半導體矽材料拋光機邊緣導輪，其作用主要分兩點，一是輔助定位陶瓷板位置，使拋光頭下壓時能夠準確對正陶瓷板，二是在大盤以40rpm帶動陶瓷板旋轉時，側向支撐陶瓷板，輔助陶瓷板旋轉。在拋光過程中，邊緣導輪從側向頂住陶瓷板，並隨著陶瓷板的旋轉而旋轉，起到定位與輔助旋轉的作用，拋光頭下壓壓力為300kg/cm2，所以在拋光頭旋轉過程中，邊緣導輪側向受力。在現有的邊緣導輪結構下，中軸和固定連接臂連接處不好拆卸，上下蓋之間靠螺釘連接緊固，螺釘斷裂機率高，導致邊緣導輪整體壽命短，影響設備正常運行。

技術實現要素：

本發明的目的在於提供一種新結構的矽片拋光機邊緣導輪。

為實現上述目的，本發明採取以下技術方案：

一種矽片拋光機邊緣導輪，該導輪通過連接臂固定連接在矽片拋光機的底座上，該導輪包括轉動組件和外圈，該轉動組件包括上蓋、下蓋、中軸、軸承和軸承外套；其中，

兩個軸承通過過渡配合安裝在中軸上，該兩個軸承的外緣通過過渡配合套在軸承外套內；上蓋位於軸承外套上部，且其上緣具有一凸起；下蓋位於軸承外套下部，且其下緣具有一凸起；上蓋、軸承外套及下蓋經螺釘固定連接，且軸承外套與下蓋之間通過凹凸錯臺結構的相互咬合；

外圈安裝在轉動組件的外部，該外圈的上端和下端分別開有凹槽，其中上端凹槽與上蓋上緣的凸起卡合，下端凹槽與下蓋下緣的凸起卡合。

本發明的矽片拋光機邊緣導輪的使用環境為液體濺射環境，因此，在連接臂與中軸連接處設置有V型密封圈，上蓋和中軸、下蓋與中軸之間設置有O型密封圈，防止液體進入軸承部分影響軸承壽命。

在本發明的矽片拋光機邊緣導輪中，所述固定連接臂與所述中軸通過螺釘固定連接，易於拆卸與維修。

在本發明的矽片拋光機邊緣導輪中，所述外圈的材質為工程塑料等耐磨材料。所述外圈為一體式設計，在轉角處導出圓角，且其直徑變化處加工有斜坡形讓渡截 面，防止拋光頭下壓時卡住外圈突出部分。

本發明的優點在於：

本發明的矽片拋光機邊緣導輪可實現矽片拋光過程中陶瓷板的穩定旋轉，穩定性好，壽命長。

本發明的矽片拋光機邊緣導輪結構簡單，安裝方便，通過螺釘連接中軸與固定連接臂，易於拆卸與維修，提高了工作效率。

附圖說明

圖1為本發明矽片拋光機邊緣導輪的俯視圖。

圖2為本發明矽片拋光機邊緣導輪的半剖圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明做進一步說明，但並不意味著對本發明保護範圍的限制。

如圖1、2所示，本發明的矽片拋光機邊緣導輪，包括轉動組件和外圈1，該轉動組件包括上蓋2、下蓋3、中軸4、軸承5和軸承外套6；其中，

兩個軸承5通過過渡配合安裝在中軸4上，該兩個軸承5的外緣通過過渡配合套在軸承外套6內；上蓋2位於軸承外套6上部，且其上緣具有一凸起7；下蓋3位於軸承外套6下部，且其下緣具有一凸起8；上蓋2、軸承外套6及下蓋3經螺釘9固定連接，且軸承外套6與下蓋3之間通過凹凸錯臺結構的相互咬合。上蓋和下蓋通過螺釘進行縱向緊固連接，同時通過凹凸錯臺結構承受橫向扭力，減少了螺釘在螺紋中的橫向受力，增加了部件的使用壽命。

外圈1安裝在轉動組件的外部，該外圈1的上端和下端分別開有凹槽，其中上端凹槽10與上蓋上緣的凸起7卡合，下端凹槽11與下蓋下緣的凸起8卡合。該外圈的材質為耐磨材料，例如可以為工程塑料。該外圈可以為一體式設計，在轉角處導出圓角，並在直徑變化處設計出斜坡形讓渡截面，便於拋光頭上下動作。

在該導輪中，上蓋2和下蓋3配合軸承外套6形成閉合腔體，包裹軸承6並與其形成過渡配合，構成轉動組件，軸承帶動外圈圍繞中軸轉動。整個導輪的受力方向平行於軸承轉動方向，最大限度減小摩擦損失，使導輪轉動自如。

本發明的矽片拋光機邊緣導輪的使用環境為液體濺射環境，因此，在連接臂12與中軸4連接處設置有V型密封圈，上蓋2和中軸4、下蓋3與中軸4之間設置有O型密封圈，防止液體進入軸承部分影響軸承壽命。

該導輪通過連接臂12固定連接在矽片拋光機的底座上，連接臂12與轉動組件的中軸4通過螺釘13緊固連接。

採用該導輪對陶瓷板進行導向和定位的具體過程為：(1)將該導輪通過連接臂固定在底座上；(2)當陶瓷板隨研磨盤轉動接觸到該導輪後，導輪隨陶瓷板進行轉動；(3)當陶瓷板被施加300kg/cm2壓力加壓後，該導輪頂在陶瓷板側方用來穩固陶瓷板轉動。

本發明可實現矽片拋光過程中陶瓷板的穩定旋轉，穩定性好，壽命長。