一種石英陶瓷坩堝數控平面磨床的製作方法

2023-12-12 07:05:32 1

專利名稱：一種石英陶瓷坩堝數控平面磨床的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及數控工具機的結構領域，具體為一種石英陶瓷坩堝數控平面磨床。
背景技術：
伴隨著多晶矽行業的發展，現在製造多晶矽所需要的石英陶瓷坩堝行業也迅速發展，優質的石英陶瓷坩堝能確保多晶矽的質量，但是製造優質的石英陶瓷坩堝需要造型平整、壁厚要均勻，為了達到上述要求，提高成品率，需要對石英陶瓷坩堝底面以及四周倒角進行磨削處理，現有的磨床只能單獨對石英陶瓷坩堝進行平面磨削或倒角處理，需要把石英陶瓷坩堝分別放入不同的磨床中進行磨削，其磨削效率低。
發明內容針對上述問題，本實用新型提供了一種石英陶瓷坩堝數控平面磨床，可以使平面磨削與倒角處理在同一臺磨床加工，其使得石英陶瓷坩堝的磨削效率提高。其技術方案是這樣的一種石英陶瓷坩堝數控平面磨床，其包括床身、工作檯，其特徵在於所述床身的兩側固定安裝有導軌座，底座通過直線導軌分別安裝在所述兩側的導軌座上，所述兩側的導軌座上分別設置有齒條，傳動軸兩端固定有齒輪，所述齒輪分別與所述齒條嚙合，所述傳動軸上活動套裝有支架，橫梁連接所述支架並固定在兩側的底座上， 所述橫梁兩側分別通過直線導軌和滾珠絲槓安裝有十字拖板，所述十字拖板分別通過直線導軌和滾珠絲槓安裝有垂直拖板，平面磨頭、倒角磨頭分別安裝在所述的垂直拖板上。其進一步特徵在於所述滾珠絲杆分別與伺服電機連接；所述平面磨頭包括砂輪架、砂輪主軸和金剛石平面砂輪，所述砂輪主軸通過皮帶和皮帶輪與電機軸連接，所述倒角磨頭包括砂輪架、砂輪主軸和金剛石倒角砂輪，所述砂輪主軸通過皮帶和皮帶輪與電機軸連接；所述傳動軸為通過聯軸器連接的兩根傳動軸。本實用新型的上述結構，由於磨床上同時安裝有倒角磨頭和平面磨頭，通過拖板的移動分別實現石英陶瓷坩堝平面磨削和倒角磨削，可以使平面磨削與倒角磨削在同一臺磨床加工，其使得石英陶瓷坩堝的磨削效率高。

圖1為本實用新型石英玻璃陶瓷坩堝數控平面磨床的主視圖結構示意圖；圖2為本實用新型石英玻璃陶瓷坩堝數控平面磨床的左視圖結構示意圖。
具體實施方式
見圖1、圖2，一種石英陶瓷坩堝數控平面磨床，其包括床身1、工作檯2，床身的兩側固定安裝有導軌座3、6，底座5、7通過導軌4-1、4-2分別安裝在兩側的導軌座3、6上，兩側的導軌座3、6上分別設置有齒條14-1、14-2，傳動軸由兩根傳動軸12-1、12-2通過聯軸器 11連接而成，傳動軸兩端固定有齒輪13-1、13-2，齒輪13-1、13-2分別與齒條14_1、14_2嚙合，傳動軸上活動套裝有支架33，橫梁8連接支架33並固定在兩側的底座5、7上，橫梁兩側分別通過直線導軌16-1、16-2和滾珠絲槓17-1、17-2安裝有十字拖板15和24，十字拖板 15和24分別通過19-1、19-2和19_3、19_4，滾珠絲槓20-1和20-2安裝有垂直拖板21和 25，平面磨頭31、倒角磨頭32分別安裝在垂直拖板21、25上。平面磨頭31包括砂輪架沈-1、砂輪主軸27-1和金剛石平面砂輪觀，砂輪主軸 27-1通過皮帶34-1和皮帶輪35-1、36-1與電機軸37_1連接、倒角磨頭32包括砂輪架沈-2、砂輪主軸27-2和金剛石倒角砂輪四，砂輪主軸27-2通過皮帶34_2和皮帶輪35_2、 36-2與電機軸37-2連接。橫梁8連接在兩側的底座5、7上，伺服電機9通過減速機10驅動傳動軸上的齒輪 13-1、13-2在兩側導軌座上的齒條14-1、14-2上滾動，帶動底座5、7沿直線導軌4_1、4_2運動，從而使連接在兩側底座上的橫梁8在Z向移動，在橫梁8上左側的十字拖板15通過直線導軌16-1、16-2，滾珠絲槓17-1由伺服電機18-1驅動在Xl向移動，左側的垂直拖板21 通過直線導軌19-1、19-2和滾珠絲槓20-1由伺服電機22-1驅動在Yl向移動，在橫梁上右側的十字拖板M通過直線導軌16-1、16-2，滾珠絲槓17-2由伺服電機18_2驅動在X2向移動，右側的垂直拖板25通過直線導軌19-3、19-4和滾珠絲槓20_2由伺服電機22_2驅動在 Y2向移動。由於平面磨頭、倒角磨頭通過垂直拖板和十字拖板安裝在同一塊橫梁上，可以實現平面磨頭、倒角磨頭在XI、X2、Y1、Y2方向移動，兩側底座分別通過齒條、齒輪和直線導軌帶動橫梁在Z向移動，實現了平面磨頭、倒角磨頭在XI、Χ2、Υ1、Υ2和Z向的運動，在同一磨床上實現了對固定在工作檯上的石英陶瓷坩堝30的平面磨削和倒角磨頭削。本實用新型採用進口三菱控制系統，使磨頭在XI、Χ2、Υ1、Υ2和Z向的運行精準、 平穩，且操作簡便，實現數控三維運動，可以實現石英陶瓷坩堝平面磨削與倒角磨削在同一臺磨床精確、穩定地完成，其使得石英陶瓷坩堝的磨削效率高。
權利要求1.一種石英陶瓷坩堝數控平面磨床，其包括床身、工作檯，其特徵在於所述床身的兩側固定安裝有導軌座，底座通過直線導軌分別安裝在所述兩側的導軌座上，所述兩側的導軌座上分別設置有齒條，傳動軸兩端固定有齒輪，所述齒輪分別與所述齒條嚙合，所述傳動軸上活動套裝有支架，橫梁連接所述支架並固定在兩側的底座上，所述橫梁兩側分別通過直線導軌和滾珠絲槓安裝有十字拖板，所述十字拖板分別通過直線導軌和滾珠絲槓安裝有垂直拖板，平面磨頭、倒角磨頭分別安裝在所述的垂直拖板上。
2.根據權利要求1所述一種石英陶瓷坩堝數控平面磨床，其特徵在於所述滾珠絲杆分別與伺服電機連接。
3.根據權利要求1所述一種石英陶瓷坩堝數控平面磨床，其特徵在於所述平面磨頭包括砂輪架、砂輪主軸和金剛石平面砂輪，所述砂輪主軸通過皮帶和皮帶輪與電機軸連接， 所述倒角磨頭包括砂輪架、砂輪主軸和金剛石倒角砂輪，所述砂輪主軸通過皮帶和皮帶輪與電機軸連接。
4.根據權利要求1所述一種石英陶瓷坩堝數控平面磨床，其特徵在於所述傳動軸為通過聯軸器連接的兩根傳動軸。
專利摘要本實用新型提供了一種石英陶瓷坩堝數控平面磨床，可以使平面磨削與倒角處理在同一臺磨床加工，其使得石英陶瓷坩堝的磨削效率提高，其包括床身、工作檯，其特徵在於所述床身的兩側固定安裝有導軌座，底座通過直線導軌分別安裝在所述兩側的導軌座上，所述兩側的導軌座上分別設置有齒條，傳動軸兩端固定有齒輪，所述齒輪分別與所述齒條嚙合，所述傳動軸上活動套裝有支架，橫梁連接所述支架並固定在兩側的底座上，所述橫梁兩側分別通過直線導軌和滾珠絲槓安裝有十字拖板，所述十字拖板分別通過直線導軌和滾珠絲槓安裝有垂直拖板，平面磨頭、倒角磨頭分別安裝在所述的垂直拖板上。
文檔編號B24B7/22GK202097624SQ201020673739
公開日2012年1月4日 申請日期2010年12月22日 優先權日2010年12月22日
發明者楊建良 申請人:弘元新材料無錫有限公司