一種可在高真空中工作的波紋管夾緊模塊的製作方法

2023-08-05 00:06:01

專利名稱：一種可在高真空中工作的波紋管夾緊模塊的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及真空技術和氣動機械領域，
2、背景技術真空(Vacnnm)是指定空間內低於一個大氣壓力的氣體狀態，可分為低真空(101325 1333Ν/Π11)、中真空(1333Ν/Π11 I X I(T1Pa)、高真空(I X KT1 I X I(T5Pa)、超高真空(I X 10_5 I X I(T9Pa)、極高真空(< I X I(T9Pa)。波紋管(Bellows)是一種撓性、 薄壁、有橫向波紋的管殼零件；能補償吸收管道軸向、橫向、角向熱變形，密封性好。它分為金屬波紋管、波紋膨脹節和金屬波紋軟管三種。製造方法有滾壓成形、焊接成形、橡膠成形、機械脹形、液壓成形、滾壓成形和電沉積成形等。其材質為可以是不鏽鋼，銅、橡膠和塑料等。作用補償、吸收管道軸向、橫向、角向熱變形，吸收設備振動；密封性好。氣缸和夾緊模塊同樣是夾緊或夾持作用，夾緊模塊實際上就是小型、短行程氣缸；不同之處在於缸徑、行程和夾持力大小例如德國費斯託FESTO夾緊氣缸(型號DNCKE)缸徑Φ 40、63、100mm，行程10 2000mm和夾持力1300 8000N。FESTO夾緊模塊(型號EV)缸徑12 63mm、行程O 5mm和夾持力35 1650N。目前應用的夾緊氣缸，因為存在著氣缸內腔與活塞杆間不同程度的洩漏現象。因此夾緊氣缸不能用於高真空容器中，這是行業內的共識。現在德國費斯託FESTO公司出品一種夾緊模塊。是無活塞杆短行程氣缸，具有膜片，行程3 5mm。是用橡膠膜片執行工作的。實際測試漏氣量較大，例如費斯託FESTO的EV-63夾緊模塊，將這種夾緊模塊6個放入水中，向夾緊模塊中通入6bar壓縮空氣，肉眼可見每個模塊，氣囊與底座結合處有很小的氣泡不斷從冒出。約I個/S，這樣高漏率是不能應用在高真空腔室中的。目前市場上沒有供應國內外生產的可工作於高真空中的夾緊模塊。
3、實用新型內容本實用新型提供一種可以在高真空中工作，漏率低於lX10_5Pa/L· S(行業中可認為是不漏的)的波紋管夾緊模塊。採用焊接波紋管，其材質可以是不鏽鋼，銅或非金屬材料。一種可在高真空中工作波紋管夾緊模塊，其特徵在於後法蘭(I)將波紋管(2)等組成的夾緊模塊固定在工作位置上，並導入導出氣體、連接回位彈簧(4)、波紋管(2)和限位機構⑶；波紋管⑵內沒有活塞，保持行程走直線的限位機構⑶和回位彈簧(4)，夾緊面(5)、波紋管(2)和後法蘭(I)構成全封閉的空間。壓縮空氣推動波紋管的伸縮作用完成夾緊模塊夾緊或放鬆工作.有益效果可在高真空中工作的波紋管夾緊模塊，經實踐應用，它的各種指標均達到了設計要求，可應用於真空鍍膜等，它為高真空領域氣動元件的應用，開闢了一條嶄新的途徑。


圖I波紋管夾緊模塊說明1、後法蘭；2、波紋管；3、導向限位機構；4、回位彈簧；5、夾緊面；
具體實施方式
實施例I:見圖I一種可在高真空中工作波紋管夾緊模塊，是由後法蘭(I)，波紋管(2)，限位機構
(3)，回位彈簧(4)，夾緊面(5)組成。一種可在高真空中工作波紋管夾緊模塊，其特徵在於後法蘭(I)將波紋管(2)等組成的夾緊模塊固定在工作位置上，並導入導出氣體、連接回位彈簧(4)、波紋管(2)和限位機構(3)。波紋管(2)內沒有活塞，保持行程走直線的限位機構(3)和回位彈簧(4)，夾緊面(5)、波紋管(2)和後法蘭(I)構成全封閉的空間。氣動通過波紋管的伸縮作用完成夾緊模塊夾緊或放鬆工作。
住。只有工作面方向可以膨脹。於是壓縮空氣推動工作面向前運動。如果前面有被夾工件，工件就擋住了夾緊面繼續向前的運動。工件就被牢牢夾緊。如果沒有工件，在行程末端限位機構將夾緊面拉住。使夾緊面停止運動。當排除壓縮空氣，外部環境在一個大氣壓下。回位彈簧將夾緊面拉回初始位置。如果外部環境是真空，排除壓縮空氣後，由於夾緊模塊內部是一個大氣壓，內外壓力差過大。彈簧是拉不回來夾緊面的。這種情況就要用真空泵將夾緊模塊內部抽成真空。內外壓力差距不大的情況下加緊面就會被回位彈簧拉回到初始位置。波紋管夾緊模塊可工作於高真空中，其主要原因在於採用高密封性焊接波紋管產品組成。因為目前一些國內公司已經把波紋管做的很好了，有高密封性焊接波紋管產品。焊接波紋管，其材質可以是不鏽鋼，銅或非金屬材料。例如安徽威邁公司製作的焊接波紋管真空漏率=IXKTuiPa/! · S。使用壽命10萬次 100萬次以上。壓縮比50^-85 ^活塞杆進行往復運動是氣缸內漏主要因素，從結構、運行機制和性能完全達到了可工作於高真空中的要求。6、有益效果可在高真空中工作的波紋管夾緊模塊，經實踐應用，它的各種指標均達到了設計要求，可應用於真空鍍膜等，它為高真空領域氣動元件的應用，開闢了一條嶄新的途徑。
權利要求1.一種可在高真空中工作的波紋管夾緊模塊，其特徵在於後法蘭(I)將波紋管(2)等組成的夾緊模塊固定在工作位置上，並導入導出氣體、連接回位彈簧(4)、波紋管(2)和限位機構(3)，波紋管(2)內沒有活塞，保持行程走直線的限位機構(3)和回位彈簧(4)，夾緊面(5)與波紋管(2)和後法蘭(I)構成全封閉的空間，壓縮空氣推動波紋管的伸縮作用完成夾緊模塊夾緊或放鬆工作.。
2.根據權利要求I所述的夾緊模塊，其特徵是焊接波紋管，其材質可以是不鏽鋼，銅或非金屬材料。
專利摘要一種可在高真空中工作的波紋管夾緊模塊。屬於真空技術和氣動機械領域，其特徵是它由波紋管，夾緊面，前、後法蘭，導向限位結構，回位彈簧組成。向模塊內部充入壓縮空氣，波紋管向兩端伸長，由于波紋管徑向有一定剛度，在通用的10bar以下壓力，能保證波紋管徑向不發生變形。由于波紋管夾緊模塊是全封閉結構，沒有往復運動於氣缸內的活塞杆，所以它在真空中有很好的密封性能。經實踐測試它適用於真空鍍膜等高真空領域。
文檔編號F15B15/20GK202483986SQ20112054015
公開日2012年10月10日 申請日期2011年12月12日 優先權日2011年12月12日
發明者沈雙宇 申請人:沈雙宇