一種探針卡的製作方法

2023-07-15 10:49:31 2

一種探針卡的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種晶圓測試工具，特別涉及一種探針卡。包括印刷電路板、探針和探針固定部件，所述探針通過所述探針固定部件設置在所述印刷電路板上，所述探針貫穿所述探針固定部件，其特徵在於：所述探針固定部件內設有與探針數目相同且材質相同的中空金屬套管，所述探針分別穿過所述金屬套管且可插撥的設置在所述印刷電路板上。本實用新型的探針卡，更換壞針時，不需要拆開封裝的塑料層，直接抽出壞針更換新針即可，操作簡單快捷，提高了維修效率，同時減小了對卡和其它探針的傷害，增加了電路板的使用壽命。
【專利說明】一種探針卡
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種晶圓測試工具，特別涉及一種探針卡。
【背景技術】
[0002]當IC設計完成後，會下單給晶圓代工廠製作，晶圓製作完成後而尚未切割封裝之際，為了確保晶圓良率及避免封裝的浪費，半導體製程中須執行晶圓電性測試及分析製程，通過探針卡上的探針針測晶粒，篩選出電性功能不良的晶片，避免不良品造成後段製造成本的浪費。在晶片封裝成本逐漸提高的趨勢下，晶圓針測已經成為IC產業中重要且關鍵的一環，而隨著集成電路的器件尺寸越做越小，測試的精準度要求也越來越高，對晶圓測試時使用到的探針卡結構上的改善可以大大提高晶圓測試的精準度。
[0003]由於測試的產品不同，探針卡探針的個數不同，並且針的材質也不相同。測試中，某些針有開叉或者磨損，需要更換壞針，而更換過程中，需要拆開固定的塑料層，不僅對卡和其他針有損傷，而且維修過程麻煩，耗時多。
實用新型內容
[0004]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種探針卡，解決現有技術更換探針過程不易、耗時多，且更換過程容易對卡和其它探針造成損傷的技術問題。
[0005]本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下:一種探針卡，包括印刷電路板、探針和探針固定部件，所述探針通過所述探針固定部件設置在所述印刷電路板上，所述探針貫穿所述探針固定部件，所述探針固定部件內設有與探針數目相同且材質相同的中空金屬套管，所述探針分別穿過所述金屬套管且可插撥的設置在所述印刷電路板上。
[0006]在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以做如下改進。
[0007]優選的，所述探針與所述金屬套管均由銅或鎢製成。
[0008]優選的，所述金屬套管兩端均延伸出所述探針固定部件。
[0009]本實用新型的有益效果是:本實用新型的探針卡，每根探針都安裝在獨立的金屬套管內，更換壞針時，不需要拆開封裝的塑料層，直接抽出壞針更換新針即可，操作簡單快捷，不僅減小了對卡和其它探針的傷害，增加了電路板的使用壽命，而且減少了拆封裝材料的次數，提高維修效率；同時探針和金屬套管採用了相同的金屬材料製成，防止了套管和針直接反應，從而避免影響測試問題。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0011]附圖中，各標號所代表的部件如下:
[0012]1、印刷電路板，2、探針固定部件，3、金屬套管，4、探針。
【具體實施方式】[0013]以下結合附圖對本實用新型的原理和特徵進行描述，所舉實例只用於解釋本實用新型，並非用於限定本實用新型的範圍。
[0014]如圖1所示，本實用新型的探針卡，包括印刷電路板I和探針固定部件2，所述探針固定部件2為環氧樹脂製成封裝塑料板；探針固定部件2內設有與探針4數目相同且材質相同的多個中空金屬套管3，所述探針4分別穿過所述中空金屬套管3，且通過探針固定部件2可插撥的設置在所述印刷電路板I上。優選的，所述探針4與所述金屬套管3均由銅或鎢製成，且所述金屬套管3兩端均延伸出所述探針固定部件2。本實施例的探針卡為22pin探針卡，而在實際應用中，可以為12pin、22pin、48pin等多種探針數量。
[0015]測試時，將探針卡上的探針4直接與晶片上的焊墊或凸塊直接接觸，引出晶片訊號，再配合周邊測試儀器與軟體控制即可判斷晶片是否合格，若不合格則在晶片上做標記，達到自動化量測的目的。當探針卡上的探針開叉、磨損時，直接從金屬套管內抽出壞針，裝上新針即可。
[0016]本實用新型的探針卡，每根探針都安裝在獨立的金屬套管內，更換壞針時，不需要拆開封裝的塑料層，直接抽出壞針更換新針即可，操作簡單快捷，不僅減小了對卡和其它探針的傷害，增加了電路板的使用壽命，而且減少了拆封裝材料的次數，提高維修效率；同時探針和金屬套管採用了相同的金屬材料製成，防止了套管和針直接反應，從而避免影響測試問題。
[0017]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，並不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種探針卡，包括印刷電路板、探針和探針固定部件，所述探針通過所述探針固定部件設置在所述印刷電路板上，所述探針貫穿所述探針固定部件，其特徵在於:所述探針固定部件內設有與探針數目相同且材質相同的中空金屬套管，所述探針分別穿過所述金屬套管且可插撥的設置在所述印刷電路板上。
2.根據權利要求1所述的探針卡，其特徵在於:所述探針與所述金屬套管均由銅或鎢製成。
3.根據權利要求1所述的探針卡，其特徵在於:所述金屬套管兩端均延伸出所述探針固定部件。
【文檔編號】G01R1/073GK203479851SQ201320652293
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年10月22日 優先權日:2013年10月22日
【發明者】劉東梅 申請人:武漢新芯集成電路製造有限公司