適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統的製作方法
2023-12-05 17:25:36
專利名稱：適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種超低濃度管路系統，尤其是涉及適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統。
背景技術：
傳統的氣體發生器只能用單一標準滲透管的獲得單一的標準氣體，並且很難需要獲得小流量的動態氣體。
實用新型內容本實用新型主要是解決現有技術所存在的技術問題；提供了一種能夠配比出超低濃度小於50ppb的流量氣；捨棄了傳統的單一容器混合器進行混合，能夠是配比氣體更均勻的適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統及其配氣方法。本實用新型的上述技術問題主要是通過下述技術方案得以解決的:—種適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統，其特徵在於，包括與第一質量流量計輸出口連接的超低濃度配氣管和與第二質量流量計輸出口連接高濃度配氣管，所述超低濃度配氣管和高濃度配氣管同時接一氣體混合組件後接氣體配比輸出管，所述第一質量流量計輸入口連接零氣輸入管，所述零氣輸入管接零氣發生器，所述第二質量流量計輸A 口連接標氣輸入管，所述標氣輸入管接鋼瓶氣。在上述的一種適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統，所述超低濃度配氣管的輸入氣體濃度為小於100mL/min ;所述高濃度配氣管的輸入氣體濃度為大於等於10 mL/min0在上述的一種適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統，所述的氣體混合組件包括一螺旋狀配氣管，所述螺旋狀配氣管採用聚四氟乙烯管。在上述的一種適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統，所述超低濃度配氣管的輸入氣體濃度為5 mL/min -10 mL/min,所述所述高濃度配氣管的輸入氣體濃度為大於等於 10L/min。在上述的一種適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統，所述螺旋狀配氣管的盤旋層數為大於等於10層。在上述的一種適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統，所述超低濃度配氣管和高濃度配氣管採用不鏽鋼，內壁均經過過氧化處理。一種適用於配氣機的超低濃度管路系統的配氣方法，其特徵在於，包括以下步驟:步驟1，將第一質量流量計和第二質量流量計分別通入5 mL/min -10 mL/min和10L/min的氣體,定義Q1為5mL/min_10 mL/min !Q1為10L/min ;定義Cb為鋼瓶氣濃度；步驟2，第一質量流量計和第二質量流量計的氣體分別經過超低濃度配氣管和高濃度配氣管後進入螺旋狀配氣 管後經過若干次螺旋迴轉後在螺旋狀配氣管內均勻混合，最終的配氣稀釋濃度為
權利要求1.一種適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統，其特徵在於，包括與第一質量流量計(I)輸出口連接的超低濃度配氣管(2)和與第二質量流量計(3)輸出口連接高濃度配氣管(4)，所述超低濃度配氣管(2)和高濃度配氣管(4)同時接一氣體混合組件後接氣體配比輸出管，所述第一質量流量計(I)輸入口連接零氣輸入管(10)，所述零氣輸入管(10)接零氣發生器(7 )，所述第二質量流量計(3 )輸入口連接標氣輸入管(8 )，所述標氣輸入管(8 )接鋼瓶氣(9)。
2.根據權利要求1所述的一種適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統，其特徵在於，所述超低濃度配氣管(2)的輸入氣體濃度為小於100mL/min ;所述高濃度配氣管(4)的輸入氣體濃度為大於等於10L/min。
3.根據權利要求1所述的一種適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統，其特徵在於，所述的氣體混合組件包括一螺旋狀配氣管(6)，所述螺旋狀配氣管(6)採用聚四氟乙烯管。
4.根據權利要求1所述的一種適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統，其特徵在於，所述超低濃度配氣管(2)的輸入氣體濃度為5mL/min-10mL/min，所述所述高濃度配氣管(4)的輸入氣體濃度為大於等於10L/min。
5.根據權利要求1所述的一種適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統，其特徵在於，所述螺旋狀配氣管(6)的盤旋層數為大於等於10層。
6.根據權利要求1所述的一種適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統，其特徵在於，所述超低濃度配氣管(2)和高濃度配氣管(4)採用不鏽鋼，內壁均經過過氧化處理。
專利摘要本實用新型涉及適用於動態氣體發生器的超低濃度管路系統。包括與第一質量流量計輸出口連接的超低濃度配氣管和與第二質量流量計輸出口連接高濃度配氣管，所述超低濃度配氣管和高濃度配氣管同時接一氣體混合組件後接氣體配比輸出管，所述第一質量流量計輸入口連接零氣輸入管，所述零氣輸入管接零氣發生器，所述第二質量流量計輸入口連接標氣輸入管，所述標氣輸入管接鋼瓶氣。因此，本實用新型具有如下優點1.能夠配比出超低濃度小於50ppb的流量氣；2. 混合管採用螺旋狀的配比管進行配比混合，捨棄了傳統的單一容器混合器進行混合，能夠是配比氣體更均勻。
文檔編號B01F15/04GK203002315SQ20132000761
公開日2013年6月19日 申請日期2013年1月8日 優先權日2013年1月8日
發明者李虹傑, 李愷驊 申請人:武漢宇虹環保產業發展有限公司