一種解決離子注入機PMAC部件運行時控制程序卡機或死機的處理方法與流程

2023-12-02 08:24:16

本發明是一種軟體技術，涉及離子注入機的PMAC部件運行時數據檢測、數據傳輸、數據處理的方法，以此來解決控制程序在PMAC部件運行時卡機或死機等現象，屬於半導體器件製造的軟體領域。

背景技術：

半導體集成電路製造工藝已經發展到12英寸晶片、納米技術節點階段。隨著晶圓尺寸越來越大，單元器件尺寸越來越小，對半導體工藝設備的性能要求也越來越高。這樣對離子注入機控制程序編寫也越來越複雜。為了確保離子注入機控制程序運行時的可靠性和穩定性，確保注入晶片的工藝操作符合設計要求，必須保證離子注入機控制程序正常運行，保證控制程序在運行時不會出現卡機或死機等現象。

技術實現要素：

本發明主要是為了確保離子注入機在PMAC部件運行時控制程序不會出現卡機或死機而針對PMAC相關數據進行處理的一種方法。

本發明通過以下技術方案實現：

1、上位機對下位機發送PMAC部件執行命令成功後即返回線程，不需等至PMAC部件動作執行完成後再返回線程。

2、下位機檢測PMAC部件執行狀態是在定時器中定時檢測，而不是用Sleep延時命令來循環檢測，同時把檢測結果發送給上位機。

3、上位機用回調函數來監測下位機傳輸的PMAC部件運行狀態。

4、上位機根據需要在定時器中檢測PMAC部件運行動作是否完成。

本發明具有如下顯著優點：

1、多種PMAC部件動作可同時執行。

2、PMAC部件動作執行時不需等待其操作完成後就能對控制程序進行其他操作。

3、控制程序的運行效率和設備的執行效率得到很大提高。

具體實施方式

下面結合具體實施例對本發明作進一步詳細描述，但不作為對本發明專利限定。

如圖所示，注入機在運行時，當需要進行PMAC部件操作時，一般PMAC部件動作操作完成時間比較長，如果程序發送PMAC動作的函數是等待PMAC動作執行完成後再返回信息，即在圖中第5步中不向上位機發送成功信號，而是上位機發送命令後一直等待下位機程序執行完PMAC動作後再反饋結果，則控制程序在等待的過程中就不能進行其他操作，且發送PMAC動作的函數因為長時間佔用內存空間而造成控制程序卡機，而程序卡機又容易造成控制程序死機等現象發生。

通過如圖流程操作PMAC動作，可以同時操作多種PMAC部件動作，只要它們之間的動作不存在衝突。同時在操作PMAC部件時可以對控制程序進行其他操作，這些操作不會造成程序卡機或死機現象，大大提高了程序的工作效率和設備的執行效率。

附圖說明

圖1為解決離子注入機PMAC部件運行時控制程序卡機或死機的處理方法流程圖。

本發明專利的特定實施例已對本發明專利的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不違背本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。