一種生產線設備的監控方法及系統的製作方法

2023-05-05 22:35:41

專利名稱：一種生產線設備的監控方法及系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及生產線設備技術領域，特別是涉及一種生產線設備的監控方法及一種
生產線設備的監控系統。
背景技術：
生產線設備是現代生活中完成各類產品生產、製造或工藝過程不可缺少的硬體設
備，為儘可能降低成本及提高效率，對於生產線設備一般均配置有相應的監控系統以監控
生產線設備的運行，並在生產線設備的運行狀態不正常，或者是生產線設備所反映出的真
實條件的狀態(如氣壓值、溫度值等)不正常的時候，判斷是否觸發報警。 —般而言，所觸發的報警方式可以分為兩種情形，第一種情形的報警是針對於一
些對環境參數要求非常苛刻的情況，或者會對生產線設備造成損壞的情況，例如，刻蝕工藝
過程中的電壓值、生產線設備硬體本身的損壞等，在這種情況下， 一旦檢測到相關狀態的參
數值超出正常範圍，則立即觸發報警；然而，還有諸多對工藝過程和生產的產品影響不是特
別大的狀態參數，如壓力值，溫度值等，這種參數短時間內超出正常範圍並不會對生產線設
備或工藝結果造成不利的影響，再者這種超出正常範圍的情況也可能是因為生產線設備本
身的原因或者環境的原因產生的信號幹擾所導致的，因而針對這種情況，不必在發現異常
時就立即觸發報警，而可以在持續一段時間監控後，確定生產線設備返回的相關狀態參數
值確實處於異常狀態才觸發報警，即第二種情形的報警。 參考圖l，所述第二種情形的報警方式實現，具體可以包括如下步驟 步驟101、設置異常次數Exc印tNum為0 ; 步驟102、獲取預置的循環檢測間隔時間Interval ; 步驟103、獲取預置的容忍時間TolerenceTime ; 步驟104、每間隔所述循環檢測間隔時間Interval,檢測生產線設備的相關狀態 參數值； 步驟105、將所述狀態參數值與預置的狀態正常參數值進行比較，判斷是否超出正 常範圍，若是，則執行步驟107及後續步驟；若否，則執行步驟106，並返回步驟104 ;
步驟106、設置異常次數Exc印tNum為0 ;
步驟107、將異常次數Exc印tNum加1 ; 步驟108、判斷循環檢測間隔時間Interval與當前Exc印tNum的次數的乘積是否 大於預置的容忍時間TolerenceTime ;若是，則執行步驟109 ;否則返回步驟104 ;
步驟109、觸發報警。 現有技術中，上述監控過程中的循環檢測間隔時間是由相關技術人員在監控程序 運行之前手動配置的，而實際上生產線設備返回的狀態參數值並沒有規律可尋，該值可能 在很長的一段時間內不變化，也可能在很短的時間內變化很多次。在這種情況下，如果循環 檢測間隔時間值稍大，就不能完全地捕捉設備的實際情況；如果循環檢測間隔時間值稍小， 就會造成了在整個監控進行期間，應用程式總是在間隔很短的時間內循環讀數據，造成了系統資源的浪費。 因此，目前需要本領域技術人員迫切解決的一個技術問題就是如何能夠創新地 提出一種生產線設備的監控方法，用以儘可能客觀地捕捉生產線設備的實際情況，並節省 系統資源。

發明內容
本發明所要解決的技術問題是提供一種生產線設備的監控方法及系統，用以盡可 能客觀地捕捉生產線設備的實際情況，並節省系統資源。 為了解決上述技術問題，本發明實施例公開了一種生產線設備的監控方法，包 括 當檢測到所述生產線設備的目標狀態參數發生異常時，開啟監控線程執行以下操 作 步驟S12、獲得所述目標狀態參數的異常值及異常發生時間； 步驟S14、判斷在預設的時間範圍內，當前目標狀態參數是否發生變化；若否，則
執行步驟S16 ; 步驟S16、觸發報警。 優選的，所述的方法還包括 若在預設的時間範圍內，當前目標狀態參數發生了變化，則執行以下操作；
步驟S18、獲得所述目標狀態參數的變化值及變化發生時間； 步驟S20、判斷所述變化值是否在目標狀態參數的正常範圍內，若是，則執行步驟
S22 ;若否，則執行步驟S24 ; 步驟S22、關閉所述監控線程； 步驟S24、依據連續兩次異常發生時間的差值，縮短所述預設的時間範圍，並返回 所述步驟S14。 優選的，所述的方法還包括 由開啟的改正型互鎖線程Overrunlnterlock按照預定的時間間隔循環檢測所述
生產線設備的目標狀態參數，並判斷是否在正常範圍內，若否，則判定發生異常。 優選的，所述的方法還包括 在所述監控線程開啟後，掛起所述改正型互鎖線程；
以及， 在所述監控線程關閉後，喚醒所述改正型互鎖線程。 優選的，所述監控線程的開啟通過打開預置的開關變量觸發；所述監控線程的關
閉通過關閉預置的開關變量觸發。 優選的，所述的方法還包括 在報警完成後，關閉所述開關變量，並開啟改正型互鎖線程以清除報警。
本發明實施例還公開了一種生產線設備的監控系統，包括 監控線程開啟模塊，用於在檢測到所述生產線設備的目標狀態參數發生異常時， 開啟監控線程控制模塊，所述監控線程控制模塊包括 第一異常信息標記模塊，用於獲得所述目標狀態參數的異常值及異常發生時間；
參數變化監測模塊，用於判斷在預設的時間範圍內，當前目標狀態參數是否發生
變化；若否，則觸發報警模塊； 報警模塊，用於觸發報警。 優選的，所述的系統還包括用於在預設的時間範圍內，當前目標狀態參數發生了 變化時觸發的以下模塊； 第二異常信息標記模塊，用於獲得所述目標狀態參數的變化值及變化發生時間；
參數校驗模塊，用於判斷所述變化值是否在目標狀態參數的正常範圍內，若是，則 觸發監控線程關閉模塊；若否，則觸發時間範圍調整模塊；
監控線程關閉模塊，用於關閉所述監控線程； 時間範圍調整模塊，用於依據連續兩次異常發生時間的差值，縮短所述預設時間 範圍，並觸發所述參數校驗模塊。
優選的，所述的系統還包括 改正型互鎖線程操作模塊，用於按照預定的時間間隔循環檢測所述生產線設備的 目標狀態參數，並判斷是否在正常範圍內，若否，則判定發生異常，觸發所述監控線程開啟 模塊。 優選的，所述的系統還包括 改正型互鎖線程掛起模塊，用於在所述監控線程開啟後，掛起所述改正型互鎖線 程； 改正型互鎖線程喚醒模塊，用於在所述監控線程關閉後，喚醒所述改正型互鎖線 程。 優選的，所述監控線程開啟模塊通過打開預置的開關變量觸發；所述監控線程關
閉模塊通過關閉預置的開關變量觸發。 優選的，所述的系統還包括 報警清除模塊，用於在報警完成後，關閉開關變量，以及，開啟改正型互鎖線程。
與現有技術相比，本發明具有以下優點 本發明通過一個在檢測到生產線設備的目標狀態參數發生異常時開啟的監控線 程，基於該線程中設定的持續觀察時間監控目標狀態參數的異常值是否有變化，若在該持 續觀察時間內，目標狀態參數有變化且未回到正常範圍，則依據當次與上一次異常發生時 間的差值，縮短所述持續觀察時間，並基於該縮短後的持續觀察時間進行下一次檢測。若在 該持續觀察時間內目標狀態參數無變化，則觸發報警。 可以看出，在本發明實施例中的持續觀察時間並不是一成不變的，而是會在生產 線設備當前的目標狀態參數再次發生異常變化時，依據連續兩次異常發生的時間差值相應 地被縮短。從而不僅能真實反映、全面捕捉生產線設備目標狀態參數的實際情況，還由於合 理地縮短持續觀察時間，不至於造成資源的浪費。 本發明還可以將改正型互鎖線程與監控線程相結合，即在正常情況下仍用改正型 互鎖線程來循環檢測生產線設備的相關狀態參數，只在參數值出現異常的時候才啟動監控 線程在預設的觀察時間內進行監控，不僅易於實現，系統開銷也很小，對於相關技術人員而 言，由於對異常情況不是不加區分地立即報警，而是經過觀察後確定發生異常才報警，所以 還能提高工作效率及使用體驗。


圖1是現有技術中一種持續觀察後報警方式的步驟流程圖；
圖2是本發明的一種生產線設備的監控方法實施例1的步驟流程圖
圖3是本發明的一種生產線設備的監控方法實施例2的步驟流程圖
圖4是本發明的一種生產線設備的監控系統實施例1的結構框圖；
圖5是本發明的一種生產線設備的監控系統實施例2的結構框圖。
具體實施例方式
為使本發明的上述目的、特徵和優點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖和具體實 施方式對本發明作進一步詳細的說明。 本發明可用於眾多通用或專用的計算系統環境或配置中。例如多處理器系統、服 務器、網絡PC、小型計算機、大型計算機、包括以上任何系統或設備的分布式計算環境等等。
本發明可以在由計算機執行的計算機可執行指令的一般上下文中描述，例如程序 模塊。 一般地，程序模塊包括執行特定任務或實現特定抽象數據類型的例程、程序、對象、組 件、數據結構等等。也可以在分布式計算環境中實踐本發明，在這些分布式計算環境中，由 通過通信網絡而被連接的遠程處理設備來執行任務。在分布式計算環境中，程序模塊可以 位於包括存儲設備在內的本地和遠程計算機存儲介質中。 本發明實施例的核心構思之一在於，針對現有技術中循環檢測間隔時間的手動配
置所導致的設備報警不準或資源耗費的問題，提出一種全新的對生產線設備某些狀態參數
持續一段時間的監控後才觸發報警的方案，該方案通過一個在檢測到生產線設備的目標狀
態參數發生異常時開啟的監控線程，基於該線程中設定的持續觀察時間監控目標狀態參數
的異常值是否有變化，若在該持續觀察時間內目標狀態參數無變化，則觸發報警。 參考圖2，示出了本發明的一種生產線設備的監控方法實施例1的流程圖，具體可
以包括以下步驟 步驟S11、當檢測到所述生產線設備的目標狀態參數發生異常時，開啟監控線程執 行以下操作 步驟S12、獲得所述目標狀態參數的異常值及異常發生時間； 步驟S14、判斷在預設的時間範圍內，當前目標狀態參數是否有變化；若否，則執 行步驟S16。 應用本實施例，當在目標狀態參數出現異常時會啟動一個單獨的監控線程，基於 該監控線程中預設的時間範圍對異常參數值進行持續觀察，若在該時間範圍內該值未發生 變化，則表示生產線設備的異常一直存在，故在此時會觸發報警。 進一步而言，本發明實施例還涉及依據實際生產或工藝情況調整監控線程中的預 設時間範圍的操作，簡單來說，即如果目標狀態參數在預設的範圍內發生了變化且未回到 正常範圍(即仍為異常)，則依據當次與上一次異常發生時間的差值，縮短所述持續觀察時 間，並基於該縮短後的持續觀察時間進行下一次檢測。 具體而言，在本發明實施例還可以包括在預設的時間範圍內，當前目標狀態參數
發生了變化時(即步驟S14判斷為是時)執行的以下操作； 步驟S18、獲得所述目標狀態參數的變化值及變化發生時間；
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步驟S20、判斷所述變化值是否在目標狀態參數的正常範圍內，若是，則執行步驟
S22 ;若否，則執行步驟S24 ; 步驟S22、關閉所述監控線程； 步驟S24、依據連續兩次異常發生時間的差值，縮短所述預設時間範圍，並返回步 驟S14。 為使本領域技術人員更好地理解本發明，以下通過一個具體例子對本發明的監控 方法進一步說明。 例如，在PECVD設備的預熱腔中對矽片進行預熱時，需要對溫度進行監控，並且假 設預熱的正常溫度範圍是150°C 200°C ，每隔ls對預熱的溫度進行一次檢測，若某次檢測 到的溫度達到205t:，即超出正常範圍，則判定發生異常，此時，則開啟監控線程執行以下操 作 1)標記該次異常為異常溫度值D1 = 205"，異常發生時間Tl = 10:05:30 ;
2)判斷在預設的時間範圍TolerenceTime = 10s (即所述預熱溫度異常所能承受 的時間範圍)內，所述溫度值是否發生變化；若否，則觸發報警；若是，則執行以下3)或4);
3)如果標記的變化值D2 = 18(TC，變化發生時間T2 = 10:05:35 ;則可以發現當 前溫度已經回到正常範圍，在這種情況下，則可以關閉該監控線程； 4)如果標記的變化值D2 = 21(TC，變化發生時間T2 = 10:05:35 ;則可以發現其 變化值仍超出了正常範圍，並且T2與Tl的差值未超出TolerenceTime,在這種情況下，可以 將TolerenceTime調整為5s後，返回2)步驟，繼續等到下一個變化值D3及變化發生時間 T3後再進行處理。 需要說明的是，所述步驟S14中判斷目標狀態參數的異常值是否有變化的操作，
是基於當前獲得的目標狀態參數與上一次獲得的目標狀態參數的對比獲知的。例如，對下
一個變化值D3及變化發生時間T3的判斷，是基於上一次的變化值D2及變化發生時間T2
進行的，即假設第一次獲得的參數值為D1 = 51、第二次獲得的參數值為D2 = 52，第三次獲
得的參數值為51，則在此次循環中，是將D3與D2進行比較，判斷是否發生變化，即本例為
D3是此次循環獲得的變化值；以此類推，若獲得再下一個變化值D4及變化發生時間T4，其
是否變化的判斷則是基於上一次的變化值D3及變化發生時間T3進行的。 此外，由於每次檢測到的變化是在預設的時間範圍內發現的，故連續兩次異常發
生的時間會小於該預設時間範圍，在這種情況下，為客觀反映生產線設備目標狀態參數的
實際情況，則需要調整該時間範圍。在本發明的一種優選實施例中，所述縮短預設時間範圍
的值可以為連續兩次異常發生時間的差值。 例如，預設時間範圍為10s，第一次獲得目標狀態的異常參數的時間為10:22:55 ; 第二次獲得目標狀態的變化異常參數的時間為10:23:02 ;在這種情況下，則將預設時間範 圍重置為7s (10s-3s)，那麼第三次目標狀態參數的檢測就是基於7s這個持續觀察時間進 行的。 當然，上述縮短時間範圍的處理僅僅用作一種示例，在實際中，本領域技術人員依 據實際情況採用任一種計算方式都是可行的，例如，取連續兩次異常時間差值的平均值，或 者，取連續兩次異常時間差值的80%等，本發明對此無需加以限制。 在實際中，不排除可能出現由於硬體問題或其它故障，導致出現連續兩次異常發生的時間大於所述預設時間範圍，在這種情況下，則可以直接觸發報警。 可以看出，在本發明實施例中通過在異常情況發生時啟動監控線程，然後由該監
控線程的內部時鐘控制目標狀態參數的持續觀察時間，並且該持續觀察時間並不是一成不
變的，而是在生產線設備當前的目標狀態參數再次發生異常變化時，依據連續兩次異常發
生的時間差值，相應縮短該持續觀察時間。本發明不僅能真實反映、全面捕捉生產線設備目
標狀態參數的實際情況，還由於合理地縮短持續觀察時間，不至於造成資源的浪費。 在本發明的另一優選實施例中，上述監控線程的應用還可以與現有的改正型互鎖
線程(Overrimlnterlock)相結合， 一般而言，改正型互鎖線程的工作流程為循環檢測(如
每100ms檢測一次)生產線設備的目標狀態參數，判斷它是否在正常範圍內，如果正常，則
繼續循環檢測；如果不在正常範圍內，則立即報警，在現有技術中，這種改正型互鎖線程僅
僅能用來實現立即報警的情形。 然而，從本說明書中背景技術部分的描述可以得知，實際中有諸多情況是需要持
續觀察一段時間才觸發報警的，顯然，上述改正型互鎖線程控制的立即報警方式不能滿足
這個要求。針對這個問題，本專利發明人創造性地提出將改正型互鎖線程與監控線程相結
合的實現方案，即在正常情況下仍用改正型互鎖線程來循環檢測生產線設備的相關狀態參
數，只在參數值出現異常的時候才啟動監控線程在預設的觀察時間內進行監控，不僅易於
實現，系統開銷也很小，對於相關技術人員而言，由於對異常情況不是不加區分地立即報
警，而是經過觀察後確定發生異常才報警，所以還能提高工作效率及使用體驗。 關於所述改正型互鎖線程與監控線程相結合的實現方案，具體可以參考圖3所示
的本發明的一種生產線設備的監控方法實施例2的流程圖，可以包括以下步驟 步驟301、啟動改正型互鎖線程，該線程按照預定的時間間隔循環檢測所述生產線
設備的目標狀態參數，並判斷是否在正常範圍內，若否，則判定發生異常； 在實際中，改正型互鎖線程會定時(如100ms/次)去檢測一次目標狀態參數，如
果正常，則進行下一次檢測。 步驟302、在判定發生異常時，打開開關變量以開啟監控線程； 可以理解的是，這個監控線程可以採用觀察者的模式來訂閱由改正型互鎖線程所 操作的開關變量；如果開關變量被關閉則什麼也不做，如果開關變量被打開，則繼續下面的 操作。 步驟303、掛起所述改正型互鎖線程，並獲得所述目標狀態參數的異常值及異常發 生時間； 即在本步驟中，監控線程會中止改正型互鎖對設備的監控，而改為監控線程自己 採用觀察者的模式訂閱改正型互鎖線程所監控的設備目標狀態參數，同時取得剛才返回的 目標狀態參數的異常值和異常發生時間。 步驟304、判斷在預設的時間範圍內，當前目標狀態參數是否有變化；若否，則執 行步驟310 ; 即在設定的持續觀察時間內，如果目標狀態參數沒有發生變化，表示其在這段時 間內一直處於異常狀態，則在這種情況下，觸發報警。 例如，預設的時間範圍內為ls(ls = 1000ms)，之前標記的目標狀態參數的異常值 為210°C ，每隔100ms檢測一次目標狀態參數，從第1次至第10次所檢測到的目標狀態參數均為21(TC，則觸發報警。 若是，即表示在預設的時間範圍內所述目標狀態參數發生了變化，則執行以下步 驟； 步驟305、獲得所述目標狀態參數的變化值及變化發生時間； 在具體實現中，當在預設的時間範圍內，所述目標狀態參數相對於上述獲得的異 常值發生了變化時，應用程式會立即通知監控線程，於是監控線程就獲得了連續兩次的目 標狀態參數值和連續兩次變化發生的時間。 步驟306、判斷所述變化值是否在目標狀態參數的正常範圍內，若是，則執行步驟 307 ;若否，則執行步驟308 ; 步驟307、關閉所述開關變量以關閉所述監控線程，並且喚醒所述改正型互鎖線 程； 即在再次獲得的變化值正常的情況下，則不觸發報警，只是通過關閉開關變量關 閉所述監控線程，並再次啟動改正型互鎖線程對設備的監控。 步驟308、依據連續兩次異常發生時間的差值，縮短所述預設時間範圍，並返回步 驟304。 可以理解的是，所述異常發生時間及變化發生時間的差值表示此次異常的實際持
續時間，若小於預設的持續觀察時間，表示之前設定的時間間隔過大，在這種情況下則有可
能不能完全捕捉生產線設備相關狀態的實際情況，故需要將其相應調小。在本實施例中，優
選的是，所述縮短預設時間範圍的值可以為連續兩次異常發生的時間差值。步驟309、觸發報警。 在具體實現中，本發明實施例還可以包括以下步驟 步驟310、在報警完成後，關閉所述開關變量，並開啟改正型互鎖線程以清除報警。
即在完成報警後，將控制監控線程的開關變量，以及，改正型互鎖線程重置為初始 狀態，以進行下一次的監控處理。 需要說明的是，對於前述的各方法實施例，為了簡單描述，故將其都表述為一系列 的動作組合，但是本領域技術人員應該知悉，本發明並不受所描述的動作順序的限制，因為 依據本發明，某些步驟可以採用其他順序或者同時進行。其次，本領域技術人員也應該知 悉，說明書中所描述的實施例均屬於優選實施例，所涉及的動作和模塊並不一定是本發明 所必須的。 參考圖4，示出了本發明的一種生產線設備的監控系統實施例1的結構框圖，具體 可以包括以下模塊 監控線程開啟模塊41，用於在檢測到所述生產線設備的目標狀態參數發生異常
時，開啟監控線程控制模塊42，所述監控線程控制模塊可以包括以下模塊 第一異常信息標記模塊421，用於獲得所述目標狀態參數的異常值及異常發生時
間； 參數變化監測模塊422，用於判斷在預設的時間範圍內，當前目標狀態參數是否發 生變化；若否，則觸發報警模塊428 ;
若是，則觸發以下模塊； 第二異常信息標記模塊423，用於獲得所述目標狀態參數的變化值及變化發生時間； 參數校驗模塊424，用於判斷所述變化值是否在目標狀態參數的正常範圍內，若 是，則觸發監控線程關閉模塊425 ;若否，則觸發時間範圍調整模塊426 ;
監控線程關閉模塊425，用於關閉所述監控線程； 時間範圍調整模塊426，用於依據連續兩次異常發生時間的差值，縮短所述預設時 間範圍，並觸發所述參數校驗模塊424 ;
報警模塊427，用於觸發報警。 由於本實施例基本相應於圖2所示的實施例，故本實施例的描述中未詳盡之處， 可以參見圖2所示實施例中的相關說明，在此就不贅述了。 參考圖5，示出了本發明的一種生產線設備的監控系統實施例2的結構框圖，具體 可以包括以下模塊 改正型互鎖線程操作模塊51，用於按照預定的時間間隔循環檢測所述生產線設備 的目標狀態參數，並判斷是否在正常範圍內，若否，則判定發生異常，觸發所述監控線程開 啟模塊52; 監控線程開啟模塊52，用於在檢測到所述生產線設備的目標狀態參數發生異常 時，開啟監控線程控制模塊53，所述監控線程控制模塊53可以包括以下模塊
第一異常信息標記模塊531，用於獲得所述目標狀態參數的異常值及異常發生時 間； 改正型互鎖線程掛起模塊532 ，用於在所述監控線程開啟後，掛起所述改正型互鎖 線程； 參數變化監測模塊533，用於判斷在預設的時間範圍內，當前的目標狀態參數是否 有變化；若否，則觸發報警模塊540 ;
若是，則觸發以下模塊； 第二異常信息標記模塊534，用於獲得所述目標狀態參數的變化值及變化發生時 間； 參數校驗模塊535，用於判斷所述變化值是否在目標狀態參數的正常範圍內，若 是，則觸發監控線程關閉模塊536和改正型互鎖線程喚醒模塊537 ;若否，則觸發時間範圍 調整模塊538 ; 監控線程關閉模塊536，用於關閉所述監控線程； 改正型互鎖線程喚醒模塊537，用於在所述監控線程關閉後，喚醒所述改正型互鎖 線程； 時間範圍調整模塊538，用於依據連續兩次異常發生時間的差值，縮短所述預設時 間範圍，並觸發所述參數校驗模塊535 ;
報警模塊539，用於觸發報警。 在本實施例中優選的是，所述監控線程開啟模塊通過打開預置的開關變量觸發；
所述監控線程關閉模塊通過關閉預置的開關變量觸發。 作為另一優選實施例，本發明還可以包括 報警清除模塊540，用於在報警完成後，關閉開關變量，以及，開啟改正型互鎖線 程。
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由於本實施例基本相應於圖3所示的實施例，故本實施例的描述中未詳盡之處， 可以參見圖3所示實施例中的相關說明，在此就不贅述了。 本說明書中的各個實施例均採用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與
其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似的部分互相參見即可。 最後，還需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關係術語僅僅用來將
一個實體或者操作與另一個實體或操作區分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作
之間存在任何這種實際的關係或者順序。 以上對本發明所提供的一種生產線設備的監控方法及一種生產線設備的監控系 統進行了詳細介紹，本文中應用了具體個例對本發明的原理及實施方式進行了闡述，以上 實施例的說明只是用於幫助理解本發明的方法及其核心思想；同時，對於本領域的一般技 術人員，依據本發明的思想，在具體實施方式
及應用範圍上均會有改變之處，綜上所述，本 說明書內容不應理解為對本發明的限制。
權利要求
一種生產線設備的監控方法，其特徵在於，包括當檢測到所述生產線設備的目標狀態參數發生異常時，開啟監控線程執行以下操作步驟S12、獲得所述目標狀態參數的異常值及異常發生時間；步驟S14、判斷在預設的時間範圍內，當前目標狀態參數是否發生變化；若否，則執行步驟S16；步驟S16、觸發報警。
2. 如權利要求l所述的方法，其特徵在於，還包括若在預設的時間範圍內，當前目標狀態參數發生了變化，則執行以下操作； 步驟S18、獲得所述目標狀態參數的變化值及變化發生時間；步驟S20、判斷所述變化值是否在目標狀態參數的正常範圍內，若是，則執行步驟S22 ; 若否，則執行步驟S24;步驟S22、關閉所述監控線程；步驟S24、依據連續兩次異常發生時間的差值，縮短所述預設的時間範圍，並返回所述 步驟S 14。
3. 如權利要求l所述的方法，其特徵在於，還包括由開啟的改正型互鎖線程Overrunlnterlock按照預定的時間間隔循環檢測所述生產 線設備的目標狀態參數，並判斷是否在正常範圍內，若否，則判定發生異常。
4. 如權利要求3所述的方法，其特徵在於，還包括 在所述監控線程開啟後，掛起所述改正型互鎖線程； 以及，在所述監控線程關閉後，喚醒所述改正型互鎖線程。
5. 如權利要求1、2、3或4所述的方法，其特徵在於，所述監控線程的開啟通過打開預置 的開關變量觸發；所述監控線程的關閉通過關閉預置的開關變量觸發。
6. 如權利要求3或4所述的方法，其特徵在於，還包括 在報警完成後，關閉所述開關變量，並開啟改正型互鎖線程以清除報警。
7. —種生產線設備的監控系統，其特徵在於，包括監控線程開啟模塊，用於在檢測到所述生產線設備的目標狀態參數發生異常時，開啟 監控線程控制模塊，所述監控線程控制模塊包括第一異常信息標記模塊，用於獲得所述目標狀態參數的異常值及異常發生時間；參數變化監測模塊，用於判斷在預設的時間範圍內，當前目標狀態參數是否發生變化； 若否，則觸發報警模塊；報警模塊，用於觸發報警。
8. 如權利要求7所述的系統，其特徵在於，還包括用於在預設的時間範圍內，當前目標 狀態參數發生了變化時觸發的以下模塊；第二異常信息標記模塊，用於獲得所述目標狀態參數的變化值及變化發生時間； 參數校驗模塊，用於判斷所述變化值是否在目標狀態參數的正常範圍內，若是，則觸發 監控線程關閉模塊；若否，則觸發時間範圍調整模塊； 監控線程關閉模塊，用於關閉所述監控線程；時間範圍調整模塊，用於依據連續兩次異常發生時間的差值，縮短所述預設時間範圍，並觸發所述參數校驗模塊。
9. 如權利要求7所述的系統，其特徵在於，還包括改正型互鎖線程操作模塊，用於按照預定的時間間隔循環檢測所述生產線設備的目標 狀態參數，並判斷是否在正常範圍內，若否，則判定發生異常，觸發所述監控線程開啟模塊。
10. 如權利要求9所述的系統，其特徵在於，還包括改正型互鎖線程掛起模塊，用於在所述監控線程開啟後，掛起所述改正型互鎖線程； 改正型互鎖線程喚醒模塊，用於在所述監控線程關閉後，喚醒所述改正型互鎖線程。
11. 如權利要求7、8、9或10所述的系統，其特徵在於，所述監控線程開啟模塊通過打開 預置的開關變量觸發；所述監控線程關閉模塊通過關閉預置的開關變量觸發。
12. 如權利要求9或10所述的系統，其特徵在於，還包括 報警清除模塊，用於在報警完成後，關閉開關變量，以及，開啟改正型互鎖線程。
全文摘要
本發明公開了一種生產線設備的監控方法及系統，其中所述方法包括當檢測到所述生產線設備的目標狀態參數發生異常時，開啟監控線程執行以下操作獲得所述目標狀態參數的異常值及異常發生時間；判斷在預設的時間範圍內，當前目標狀態參數是否發生變化；若否，則觸發報警。本發明可以儘可能客觀地捕捉生產線設備的實際情況，並節省系統資源。
文檔編號G05B19/048GK101694580SQ20091023558
公開日2010年4月14日 申請日期2009年9月29日 優先權日2009年9月29日
發明者馬平 申請人:北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司;