使用雷射製造曲面基板的設備的製作方法
2023-05-04 07:34:36 1
使用雷射製造曲面基板的設備的製作方法
【專利摘要】本發明公開了一種使用雷射製造曲面基板的設備，該設備包括基板支撐件、雷射頭、第一傳送器、第二傳送器和傾角調節器。基板支撐件支撐所述曲面基板。雷射頭向支撐在所述基板支撐件上的曲面基板發射雷射束。第一傳送器水平傳送所述雷射頭或所述基板支撐件以將所述雷射束髮射到所述曲面基板上的任意位置。第二傳送器豎直傳送所述基板支撐件或所述雷射頭，從而使得所述曲面基板和所述雷射頭能夠接近或遠離彼此運動。傾角調節器根據所述雷射束在所述曲面基板上的照射位置調節所述基板支撐件的傾角，使所述基板支撐件的第一端部和第二端部在高度方面彼此不同，從而使得所述雷射束能夠垂直地進入所述曲面基板。
【專利說明】使用雷射製造曲面基板的設備
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種通過雷射製造曲面基板的設備，更具體地說涉及這樣一種通過雷射製造曲面基板的設備，其中通過向包括具有預定曲率的曲面基板的顯示設備發射雷射束而進行期望的加工。
【背景技術】
[0002]作為信息和通信時代的關鍵，用於提供各種信息的圖像顯示設備已經發展成變得更薄、更輕且更便攜，並且具有更高性能。近年來，已經製造出一種曲面圖像顯示設備，與扁平圖像顯示設備不同，這種曲面圖像顯示設備的兩端朝向中央部彎曲。
[0003]曲面圖像顯示設備展示了比扁平圖像顯示設備更為生動的圖像，並且使圖像扭曲和邊緣低識別現象(視角末端發生模糊)最小，這是因為從眼睛到中央部的距離與從眼睛到邊緣部的距離相等。此外，曲面圖像顯示設備有利地適合於大面積和寬視角。
[0004]圖1示出了使用雷射束製造的曲面基板的示例。
[0005]參照圖1，曲面基板10被彎曲成具有預定曲率，因此，雷射束L的入射角可以根據雷射束L在曲面基板10上的照射位置而變化。也就是說，當雷射束L被發射到曲面基板的中央部11時，照射位置處的切線Ila和雷射束L之間的角dl變成直角，因而雷射束L垂直進入曲面基板10。另一方面，當雷射束L被發射到曲面基板的邊緣部12時，照射位置處的切線12a與雷射束L之間的角d2變成銳角或鈍角，因而雷射束傾斜地進入曲面基板10。
[0006]如果雷射束傾斜地進入基板，則從基板反射的雷射束的量增加，因而加工效率顯著降低。這裡，加工效率被定義為在該加工中使用的雷射束的功率與入射雷射束的功率之t匕。另外，傾斜角導致雷射束不能精確地發射到基板上的期望位置，由此總體上劣化了加工精度。
[0007]而且，雷射頭和曲面基板之間的距離在曲面基板的邊緣部中與在中央部中相比發生變化。由安裝在雷射頭中的光學透鏡確定的雷射束的焦距與雷射頭和曲面基板之間的距離不同，該加工所需的雷射束的功率沒有被充分地傳輸至基板，因而該加工無法被正確地進行。
【發明內容】
[0008]本發明的一個方面提供了用於通過雷射製造曲面基板的設備，其中雷射束和曲面基板相對旋轉和移動，從而在所述曲面基板上的任何位置所述雷射束都可以垂直進入曲面基板，由此具有提高雷射束在整個曲面基板上的加工效率和加工品質的作用。
[0009]根據本發明的一個實施方式，一種使用雷射製造曲面基板的設備包括:被構造成支撐所述曲面基板的基板支撐件；雷射頭，該雷射頭被構造成向支撐在所述基板支撐件上的曲面基板發射雷射束；第一傳送器，該第一傳送器被構造成水平傳送所述雷射頭或所述基板支撐件以將所述雷射束髮射到所述曲面基板上的任意位置；第二傳送器，該第二傳送器被構造成豎直傳送所述基板支撐件或所述雷射頭，從而使得所述曲面基板和所述雷射頭能夠接近或遠離彼此運動；以及傾角調節器，該傾角調節器被構造成根據所述雷射束在所述曲面基板上的照射位置調節所述基板支撐件的傾角，使所述基板支撐件的第一端部和第二端部在高度方面彼此不同，從而使得所述雷射束能夠垂直地進入所述曲面基板。
[0010]在使用雷射製造曲面基板的設備中，所述傾角調節器可以包括:槓桿軸，該槓桿軸安裝在所述基板支撐件的中央，並用作用於所述基板支撐件的旋轉中心；第一滑動器，該第一滑動器連接至所述基板支撐件的第一端部並在水平方向上往復滑動；和第二滑動器，該第二滑動器連接至所述基板支撐件的第二端部並在所述水平方向上往復滑動。
[0011]在使用雷射製造曲面基板的設備中，所述第一滑動器可以包括:在筆直軌道上滑動的第一引導構件；和第一連杆構件，該第一連杆構件連接所述基板支撐件的第一端部和所述第一引導構件，並包括樞轉地連接至所述基板支撐件的第一端部的第一端部和樞轉地連接至所述第一引導構件的第二端部，並且所述第二滑動器可以包括:在筆直軌道上滑動的第二引導構件；和第二連杆構件，該第二連杆構件連接所述基板支撐件的第二端部和所述第二引導構件，並包括樞轉地連接至所述基板支撐件的第二端部的第一端部和樞轉地連接至所述第二引導構件的第二端部。
[0012]在使用雷射製造曲面基板的設備中，所述傾角調節器可以包括:第一筆直移動器，該第一筆直移動器安裝在所述基板支撐件的第一端部中並在豎直方向上筆直移動所述基板支撐件的第一端部；和第二筆直移動器，該第二筆直移動器安裝在所述基板支撐件的第二端部中並在豎直方向上筆直移動所述基板支撐件的第二端部。
[0013]在使用雷射製造曲面基板的設備中，所述傾角調節器可以包括:第一楔形件，該第一楔形件安裝在所述基板支撐件的第一端部中，並包括:第一上楔形件，該第一上楔形件具有朝向下側的傾斜表面；和第一下楔形件，該第一下楔形件具有朝向所述第一上楔形件的傾斜表面的傾斜表面並在水平方向上往復滑動；以及第二楔形件，該第二楔形件安裝在所述基板支撐件的第二端部中，並包括:第二上楔形件，該第二上楔形件具有朝向下側的傾斜表面；和第二下楔形件，該第二下楔形件具有面向所述第二上楔形件的傾斜表面的傾斜表面並在水平方向上往復滑動。
[0014]使用雷射製造曲面基板的設備進一步包括:位移傳感器，該位移傳感器測量所述雷射頭和所述曲面基板之間的距離，從而能夠使所述雷射頭和所述曲面基板之間的距離等於所述雷射束的焦距；以及控制器，該控制器基於由所述位移傳感器測量出的距離向所述第二傳送器發出傳送命令。
[0015]根據本發明的另一個實施方式，一種使用雷射製造曲面基板的設備，該設備包括:被構造成支撐所述曲面基板的基板支撐件；雷射頭，該雷射頭被構造成向支撐在所述基板支撐件上的曲面基板發射雷射束；第一傳送器，該第一傳送器被構造成水平傳送所述雷射頭或所述基板支撐件以將所述雷射束髮射到所述曲面基板上的任意位置；第二傳送器，該第二傳送器被構造成豎直傳送所述基板支撐件或所述雷射頭，從而使得所述曲面基板和所述雷射頭能夠接近或遠離彼此運動；以及旋轉調節器，所述旋轉調節器被構造成根據所述雷射束在所述曲面基板上的照射位置調節所述雷射頭相對於與所述曲面基板平行布置的旋轉軸的旋轉角，從而使得所述雷射束能夠垂直地進入所述曲面基板。
[0016]在使用雷射製造曲面基板的設備中，所述旋轉調節器可以包括安裝在所述雷射頭中的直流驅動馬達。
[0017]使用雷射製造曲面基板的設備可以進一步包括:位移傳感器，該位移傳感器測量所述雷射頭和所述曲面基板之間的距離，從而能夠使所述雷射頭和所述曲面基板之間的距離等於所述雷射束的焦距；以及控制器，該控制器基於由所述位移傳感器測量出的距離向所述第二傳送器發出傳送命令。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0018]從如下結合附圖進行的示例性實施方式的描述，本發明的上述和/或其他方面將變得清楚並更容易理解，其中:
[0019]圖1示出了使用雷射束製造的曲面基板的示例；
[0020]圖2是用於示意性示出根據本發明的一個實施方式的使用雷射製造曲面基板的設備的視圖；
[0021]圖3是用於說明圖2中的使用雷射製造曲面基板的設備的傾角調節器的操作的視圖；
[0022]圖4是用於示意性示出圖2的傾角調節器的第一另選示例的視圖；
[0023]圖5是用於示意性示出圖2的傾角調節器的第二另選示例的視圖；
[0024]圖6是用於示意性示出根據本發明的另一個實施方式的使用雷射製造曲面基板的設備的視圖；以及
[0025]圖7是用於說明圖6中的使用雷射製造曲面基板的設備的旋轉調節器的操作的視圖。
【具體實施方式】
[0026]下面將參照附圖描述根據本發明的使用雷射製造曲面基板的設備的實施方式。
[0027]圖2是用於示意性示出根據本發明的一個實施方式的使用雷射製造曲面基板的設備的視圖，圖3是用於說明圖2中的使用雷射製造曲面基板的設備的傾角調節器的操作的視圖。
[0028]參照圖2和圖3，根據該實施方式的使用雷射製造曲面基板的設備100，在該設備100中通過向包括具有預定曲率的曲面基板的顯示設備發射雷射束進行期望的加工，該設備包括基板支撐件110、雷射頭120、第一傳送器、第二傳送器、傾角調節器、位移傳感器160和控制器。
[0029]基板支撐件110支撐曲面基板10。在該實施方式中，曲面基板10彎曲成具有預定曲率。曲面基板10具有面向上側的凹表面和面向下側的凸表面。基板支撐件110面向曲面基板10的凸表面並支撐該曲面基板10。
[0030]雷射頭120向支撐在基板支撐件110上的曲面基板10發射雷射束L。
[0031]在該實施方式中，雷射頭120包括用於將雷射束L聚焦在曲面基板10上的物鏡(未示出)或物鏡組。
[0032]同時，雷射頭120可以包括用於將雷射束L偏轉到曲面基板10上的期望位置的電流計式掃描儀(未示出)。通常，電流計式掃描儀包括用於反射雷射束L的鏡子和用於旋轉該鏡子的驅動馬達。電流計式掃描儀通常形成一對X軸掃描儀和Y軸掃描儀，並且在以小加速度/減速度改變方向方面比較優異，這是因為其在輕質鏡子正向和反向旋轉時受到機械慣性的影響較小。
[0033]第一傳送器(未示出)水平傳送雷射頭120或基板支撐件110，以將雷射束L發射到曲面基板10上的預定位置。
[0034]由於靜止的雷射頭120能夠覆蓋有限的加工區域(例如200mmX200mm)，因此基本不可能通過一次加工覆蓋大型曲面基板(例如ImX Im或更大)的全部面積。因此，根據雷射頭120的加工面積，將曲面基板10的整個區域分成多個區域，並且在水平傳送雷射頭120或基板支撐件110的同時進行加工。
[0035]在該實施方式中，在水平傳送雷射頭120的同時進行加工。第一傳送器可以包括用於沿著X方向傳送設置有雷射頭120的整個門架結構(未示出)的第一筆直傳送單元(未不出)和安裝在門架結構中並沿著Y軸方向傳送雷射頭120的第二筆直傳送單兀(未示出)。在該實施方式中，第一傳送器的第一筆直傳送單元和第二筆直傳送單元可以通過線性馬達等實現。線性馬達的構造對本領域技術人員是顯而易見的，因此將省略其詳細描述。第二傳送器(未不出)豎直傳送基板支撐件I1或雷射頭120,從而曲面基板10和雷射頭120能夠彼此接近或遠離地運動。
[0036]在該實施方式中，根據曲面基板10在該基板支撐件110上的支撐位置曲面基板10的曲率導致曲面基板10的高度差。例如，如圖2所示，曲面基板10的邊緣部比曲面基板10的中央部相對較高。如果雷射束L被發射到基板支撐件110而雷射頭120的高度是不可變的，則曲面基板10的高度差致使雷射束L在曲面基板10的中央位置聚焦，但在曲面基板10的其他位置則不對焦。
[0037]因此，第二傳送器豎直傳送基板支撐件110或雷射頭120，從而曲面基板10和雷射頭120能夠彼此接近或遠離地運動，由此使得曲面基板10和雷射頭120之間的距離等於雷射束L的焦距。
[0038]在該實施方式中，基板支撐件110可以被豎直地傳送。例如，可以使用用於豎直傳送基板支撐件110的筆直傳送單元作為第二傳送器，並且該筆直傳送單元可以通過線性馬達等實現。
[0039]傾角調節器根據雷射束L在曲面基板10上的照射位置調節基板支撐件110的傾角，使得雷射束L可垂直地進入曲面基板10。在該實施方式中，傾角調節器調節基板支撐件110的傾角，使得基板支撐件的第一端部111和基板支撐件的第二端部112在高度方面彼此不同。
[0040]參照圖2和圖3，傾角調節器包括槓桿軸131、第一滑動器132和第二滑動器133。
[0041]槓桿軸131固定至基板支撐件110的中央的下側。基板支撐件110相對於槓桿軸131向左和向右旋轉。第一滑動器132連接至基板支撐件的第一端部111並在水平方向上往復滑動，並包括第一引導構件134和第二連杆構件135。
[0042]第一引導構件134在筆直軌道139上往復滑動。線性馬達等驅動源連接至第一引導構件134並提供用於滑動運動的驅動力。第一連杆構件135連接基板支撐件的第一端部111和第一引導構件134，其中第一連杆構件135的第一端部樞轉地連接至基板支撐件的第一端部111，而第一連杆構件135的第二端部樞轉地連接至第一引導構件134。
[0043]第二滑動器133連接至基板支撐件的第二端部112並在水平方向上往復滑動，並包括第二引導構件136和第二連杆構件137。
[0044]第二引導構件136在筆直軌道139上往復滑動。線性馬達等驅動源連接至第二引導構件136並提供用於滑動運動的驅動力。第二連杆構件137連接基板支撐件的第二端部112和第二引導構件136，其中第二連杆構件137的第一端部樞轉地連接至基板支撐件的第二端部112，而第二連杆構件137的第二端部樞轉地連接至第二引導構件136。
[0045]如圖3中的(a)所示，如果第一引導構件134和第二引導構件136向右Al滑動，則基板支撐件的第二端部112變成比基板支撐件的第一端部111相對更高，從而曲面基板10在基板支撐件的第一端部111上的局部位置處具有水平狀態。此時，雷射束L的照射位置處的切線1a正交於雷射束L，因而雷射束L能夠垂直地進入曲面基板10。
[0046]同樣，如圖3中的(b)所示，如果第一引導構件134和第二引導構件136向左A2滑動，基板支撐件的第一端部111變成比基板支撐件的第二端部112相對更高，從而曲面基板10在基板支撐件的第二端部112上的局部位置處具有水平狀態。此時，雷射束L的照射位置處的切線1b正交於雷射束L，因而雷射束L能夠垂直進入曲面基板10。
[0047]因此，通過調節第一引導構件134和第二引導構件136的滑動位置，雷射束L能夠在曲面基板10上的任何位置垂直進入曲面基板10。
[0048]位移傳感器160測量雷射頭120和曲面基板10之間的距離。如上所述，在通過傾角調節器調節基板支撐件110的傾角時，雷射頭120和曲面基板10之間的距離發生變化。位移傳感器160測量在曲面基板上的任意位置處雷射頭120和曲面基板10之間的變化後的實際距離。
[0049]控制器(未示出)基於由位移傳感器160測量出的距離向第二傳送器發出傳送命令。由位移傳感器160測量出的雷射頭120和曲面基板10之間的距離被傳輸給控制器，該控制器將雷射頭120和曲面基板10之間的測量距離與先前存儲的雷射束L的焦距進行比較。
[0050]如果測量距離和焦距彼此不同，則第二傳送器沿能夠使雷射頭120和曲面基板10之間的測量距離等於雷射束L的焦距的方向傳送基板支撐件110。
[0051]圖4是用於示意性地示出圖2的傾角調節器的第一另選示例的視圖。
[0052]參照圖4，在該另選示例中，傾角調節器包括第一筆直移動器141和第二筆直移動器 142。
[0053]第一筆直移動器141安裝在基板支撐件的第一端部111中並在豎直方向上筆直移動基板支撐件的第一端部111。第一筆直移動器141可以通過滾珠絲槓和馬達、線性馬達、氣缸等之間的組合來實現。
[0054]第二筆直移動器142安裝在基板支撐件的第二端部112中並在豎直方向上筆直移動基板支撐件的第二端部112。同樣，第二筆直移動器142可以通過滾珠絲槓和馬達、線性馬達、氣缸等之間的組合來實現。
[0055]如圖4中的(a)所示，第二筆直移動器142使基板支撐件的第二端部112變成比基板支撐件的第一端部111相對更高，從而曲面基板10可以在基板支撐件的第一端部111上的局部位置處具有水平狀態。此時，雷射束L可以在基板支撐件的第一端部111中垂直進入曲面基板10。
[0056]如圖4中的(b)所示，第一筆直移動器141使基板支撐件的第一端部111變成比基板支撐件的第二端部112相對更高，從而曲面基板10可以在基板支撐件的第二端部112上的局部位置處具有水平狀態。此時，雷射束L可以在基板支撐件的第二端部112中垂直進入曲面基板10。
[0057]因而，在通過第一筆直移動器141和第二筆直移動器142調節基板支撐件的第一端部111的高度和基板支撐件的第二端部112的高度的情況下，雷射束L能夠在曲面基板10上的任何位置垂直地進入曲面基板10。
[0058]圖5是用於示意性示出圖2的傾角調節器的第二另選示例的視圖。
[0059]參照圖5，在該另選示例中，傾角調節器包括第一楔形件151和第二楔形件152。
[0060]第一楔形件151包括第一上楔形件152和第一下楔形件153。第一上楔形件152安裝至基板支撐件的第一端部111並具有朝向下側的傾斜表面。第一下楔形件153被布置成使其傾斜表面面向第一上楔形件152的傾斜表面，並在水平方向上往復滑動。線性馬達等驅動源連接至第一下楔形件153並提供用於滑動運動的驅動力。
[0061]第二楔形件152包括第二上楔形件157和第二下楔形件158。第二上楔形件157安裝至基板支撐件的第二端部112並具有朝向下側的傾斜表面。第二下楔形件158被布置成使所述其傾斜表面面向第二上楔形件157的傾斜表面，並在水平方向上往復滑動。線性馬達等驅動源連接至第二下楔形件158並提供用於滑動運動的驅動力。
[0062]如圖5的(a)所示，如果第一下楔形件153和第二下楔形件158 二者都向左Al滑動或第一下楔形件153和第二下楔形件158中的一個向左Al滑動，則基板支撐件的第二端部112變成比基板支撐件的第一端部111相對更高，從而曲面基板10可以在基板支撐件的第一端部111上的局部位置處具有水平狀態。此時，雷射束L能夠在基板支撐件的第一端部111中垂直進入曲面基板10。
[0063]類似地，如圖5的(b)所示，如果第一下楔形件153和第二下楔形件158 二者都向右A2滑動或第一下楔形件153和第二下楔形件158中的一個向右A2滑動，則基板支撐件的第一端部111變成比基板支撐件的第二端部112相對更高，從而曲面基板10可以在基板支撐件的第二端部112上的局部位置處具有水平狀態。此時，雷射束L能夠在基板支撐件的第二端部112中垂直進入曲面基板10。
[0064]因而，第一楔形件151和第二楔形件152用來調節基板支撐件的第一端部111的高度和基板支撐件的第二端部112的高度，從而雷射束L能夠在曲面基板10上的任何位置垂直地進入曲面基板10。
[0065]在上述根據本發明的一個實施方式的使用雷射製造曲面基板的設備中，雷射束和曲面基板相對旋轉和移動，從而雷射束能夠在曲面基板上的任何位置垂直進入曲面基板，由此具有提高雷射束在整個曲面基板上的加工效率和加工品質的作用。
[0066]此外，在根據本發明的一個實施方式的使用雷射製造曲面基板的上述設備中，曲面基板的傾角通過使用連杆構件的水平滑動機構、使用筆直移動器的豎直移動機構、使用楔形形狀的水平滑動機構等來調節，從而能夠簡化用於調節曲面基板的傾角的構造，由此具有降低成本和維護所需努力的作用。
[0067]圖6是用於示意性示出根據本發明的另一個實施方式的使用雷射製造曲面基板的設備的視圖，圖7是用於說明圖6中的使用雷射製造曲面基板的設備的旋轉調節器的操作的視圖。
[0068]參照圖6和圖7，根據該示例性實施方式的使用雷射製造曲面基板的設備200包括基板支撐件110、雷射頭120、第一傳送器、第二傳送器、旋轉調節器、位移傳感器160和控制器。
[0069]基板支撐件110、雷射頭120、第一傳送器、第二傳送器、位移傳感器160和控制器與圖2中所示的基本相同，因此將省略它們的重複描述。
[0070]旋轉調節器(未示出)根據雷射束L在曲面基板10上的照射位置調節雷射頭120的旋轉角，使得雷射束L可垂直地進入曲面基板10。在該實施方式中，旋轉調節器使雷射頭120相對於旋轉軸221旋轉，該旋轉軸221與曲面基板10平行地布置並與曲面基板10間隔開預定距離。
[0071]旋轉調節器包括直流驅動(DD)馬達(未示出)。直流驅動馬達安裝在雷射頭120中，並且將其轉矩直接傳遞至雷射頭120而不需要齒輪箱等。直流驅動馬達在旋轉重載荷的雷射頭120方面是有利的，這是因為其能夠使摩擦損失最小並能夠獲得高轉矩。
[0072]如圖7的(a)所示，第一傳送器用於朝向基板支撐件的第一端部111傳送雷射頭120，雷射束120相對於旋轉軸221順時針旋轉能使雷射束L垂直進入曲面基板10的旋轉角。此時，在第二傳送器用來使雷射頭120和曲面基板10之間的距離等於雷射束L的焦距的狀態下，如果向曲面基板10發射雷射束L，則雷射束L能夠垂直進入曲面基板10。
[0073]同樣，如圖7的(b)所示，第一傳送器用於朝向基板支撐件的第二端端部112傳送雷射頭120，雷射束120相對於旋轉軸221逆時針旋轉能使雷射束L垂直進入曲面基板10的旋轉角。此時，在第一傳送器用來使雷射頭120和曲面基板10之間的距離等於雷射束L的焦距的狀態下，如果向曲面基板10發射雷射束L，則雷射束L能夠垂直進入曲面基板10。
[0074]在根據本發明的一個實施方式的使用雷射製造曲面基板的上述設備中，雷射頭被旋轉，使得雷射束能夠垂直進入曲面基板，因而驅動源被同等地分配並布置在基板支撐件和雷射頭中，由此具有簡化裝置的總體構造的作用。
[0075]根據本發明的一個實施方式，使用雷射製造曲面基板的設備能夠提高雷射束在整個曲面基板上的加工效率和加工品質。
[0076]此外，使用雷射製造曲面基板的設備能夠簡化用於調節曲面基板的傾角的構造，並降低成本和維護所需的努力。
[0077]另外，使用雷射製造曲面基板的設備能夠在基板支撐件和雷射頭中同等地分配和布置驅動源，並且簡化設備的總體結構。
[0078]儘管已經示出並描述了本發明的一些示例性實施方式，但是本領域技術人員應認識到，在不脫離本發明的原理和精神的情況下可以對這些實施方式進行改變，本發明的範圍由所附權利要求書及其等同物限定。
【權利要求】
1.一種使用雷射製造曲面基板的設備，該設備包括: 被構造成支撐所述曲面基板的基板支撐件； 雷射頭，該雷射頭被構造成向支撐在所述基板支撐件上的曲面基板發射雷射束； 第一傳送器，該第一傳送器被構造成水平傳送所述雷射頭或所述基板支撐件以將所述雷射束髮射到所述曲面基板上的任意位置； 第二傳送器，該第二傳送器被構造成豎直傳送所述基板支撐件或所述雷射頭，從而使得所述曲面基板和所述雷射頭能夠接近或遠離彼此運動；以及 傾角調節器，該傾角調節器被構造成根據所述雷射束在所述曲面基板上的照射位置調節所述基板支撐件的傾角，使所述基板支撐件的第一端部和第二端部在高度方面彼此不同，從而使得所述雷射束能夠垂直地進入所述曲面基板。
2.根據權利要求1所述的設備，其中所述傾角調節器包括: 槓桿軸，該槓桿軸安裝在所述基板支撐件的中央，並用作所述基板支撐件的旋轉中心； 第一滑動器，該第一滑動器連接至所述基板支撐件的第一端部並在水平方向上往復滑動；和 第二滑動器，該第二滑動器連接至所述基板支撐件的第二端部並在所述水平方向上往復滑動。
3.根據權利要求2所述的設備，其中: 所述第一滑動器包括:在筆直軌道上滑動的第一引導構件；和第一連杆構件，該第一連杆構件連接所述基板支撐件的第一端部和所述第一引導構件，並包括樞轉地連接至所述基板支撐件的第一端部的第一端部和樞轉地連接至所述第一引導構件的第二端部；並且所述第二滑動器包括:在筆直軌道上滑動的第二引導構件；和第二連杆構件，該第二連杆構件連接所述基板支撐件的第二端部和所述第二引導構件，並包括樞轉地連接至所述基板支撐件的第二端部的第一端部和樞轉地連接至所述第二引導構件的第二端部。
4.根據權利要求1所述的設備，其中所述傾角調節器包括: 第一筆直移動器，該第一筆直移動器安裝在所述基板支撐件的第一端部中並在豎直方向上筆直移動所述基板支撐件的第一端部；和 第二筆直移動器，該第二筆直移動器安裝在所述基板支撐件的第二端部中並在豎直方向上筆直移動所述基板支撐件的第二端部。
5.根據權利要求1所述的設備，其中所述傾角調節器包括: 第一楔形件，該第一楔形件安裝在所述基板支撐件的第一端部中，並包括:第一上楔形件，該第一上楔形件具有朝向下側的傾斜表面；和第一下楔形件，該第一下楔形件具有面向所述第一上楔形件的傾斜表面的傾斜表面並在水平方向上往復滑動；以及 第二楔形件，該第二楔形件安裝在所述基板支撐件的第二端部中，並包括:第二上楔形件，該第二上楔形件具有朝向下側的傾斜表面；和第二下楔形件，該第二下楔形件具有面向所述第二上楔形件的傾斜表面的傾斜表面並在水平方向上往復滑動。
6.根據權利要求1所述的設備，該設備進一步包括: 位移傳感器，該位移傳感器測量所述雷射頭和所述曲面基板之間的距離，從而能夠使所述雷射頭和所述曲面基板之間的距離等於所述雷射束的焦距；以及控制器，該控制器基於由所述位移傳感器測量出的距離向所述第二傳送器發出傳送命令。
7.一種使用雷射製造曲面基板的設備，該設備包括: 被構造成支撐所述曲面基板的基板支撐件； 雷射頭，該雷射頭被構造成向支撐在所述基板支撐件上的曲面基板發射雷射束； 第一傳送器，該第一傳送器被構造成水平傳送所述雷射頭或所述基板支撐件以將所述雷射束髮射到所述曲面基板上的任意位置； 第二傳送器，該第二傳送器被構造成豎直傳送所述基板支撐件或所述雷射頭，從而使得所述曲面基板和所述雷射頭能夠接近或遠離彼此運動；以及 旋轉調節器，所述旋轉調節器被構造成根據所述雷射束在所述曲面基板上的照射位置調節所述雷射頭相對於與所述曲面基板平行布置的旋轉軸的旋轉角，從而使得所述雷射束能夠垂直地進入所述曲面基板。
8.根據權利要求7所述的設備，其中所述旋轉調節器包括安裝在所述雷射頭中的直流驅動馬達。
9.根據權利要求7所述的設備，該設備進一步包括: 位移傳感器，該位移傳感器測量所述雷射頭和所述曲面基板之間的距離，從而能夠使所述雷射頭和所述曲面基板之間的距離等於所述雷射束的焦距；以及 控制器，該控制器基於由所述位移傳感器測量的距離向所述第二傳送器發出傳送命令。
【文檔編號】B23K26/50GK104227245SQ201410260742
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年6月12日 優先權日:2013年6月13日
【發明者】樸洪辰, 徐宗鉉, 曹光佑, 鄭廣鉉, 崔奇哲, 李鍾國, 尹東振 申請人:Lts有限公司