剝離裝置及剝離方法
2023-05-22 01:05:21
專利名稱：剝離裝置及剝離方法
技術領域：
本發明涉及一種剝離裝置及剝離方法，尤其涉及一種適用於在將粘接劑層的一個面被隔離片(separator)遮蓋的粘接性薄片粘貼到了被粘接體上的狀態下，將所述隔離片從粘接劑層剝離的剝離裝置及剝離方法。
背景技術：
眾所周知，為了使有機EL基板、顯示面板等板狀或者片狀的工件層疊成一體，將粘接性薄片夾在這些工件之間進行粘接。作為所述粘接性薄片，例如採用在一對呈薄膜狀的隔離片之間夾持粘接劑層而成的基材片，先將其中一個隔離片剝離而露出的粘接面粘貼到工件上，再將另一個隔離片剝 離而使粘接面露出，從而能夠在該露出的粘接面上粘合工件。已知，在這樣剝離隔離片時，通過將透明膠帶粘貼到隔離片的表面上並拉拽該透明膠帶來進行剝離。但是，每次進行剝離時都要用到透明膠帶的剝離裝置存在這樣的缺點由於必然存在要進行廢棄處理的透明膠帶，所以運行成本增加而不經濟。於是，提出了可以不用透明膠帶來進行剝離的裝置(例如，參見專利文獻I)。專利文獻I :日本特開平7-157187號公報專利文獻I中所述的剝離裝置這樣構成，為了將層壓於基板上的保護膜剝離，通過將針(needle)扎入保護膜，且使支承基板的工作檯在水平方向上移動，從而保護膜被針勾掛而能夠從基板上剝離。但是，專利文獻I所述的剝離裝置存在這樣的問題由於是在保持將針扎入保護膜的狀態下進行剝離，所以有可能因保護膜在剝離過程中撓曲變形等而導致針從保護膜中拔出，無法擔保剝離的可靠性。而這樣的問題在保護膜的剛性高的情況下，或者是在保護膜極其薄的情況下，會更加顯著。另外，由於被剝離下來的保護膜呈懸吊在針的頂端側的狀態，所以必須積極地將其分離。因此，需要向保護膜的面吹氣使保護膜從針脫落，會帶來膜被吹飛到非意圖的方向的問題。而且，由於是直到剝離動作的最終階段為止使用針的構成，所以存在轉移到下一個剝離動作的時間長、剝離效率也低的問題。
發明內容
本發明正是著眼於這樣的問題而提出來的，其目的在於，提供一種剝離裝置及剝離方法，在用針形成剝離開起始部時通過吸附機構對隔離片進行吸附，且在維持該吸附的狀態下使吸附機構向剝離方向位移而能夠將隔離片從粘接劑層剝離，而且還能夠提高剝離效率。為了達到上述目的，本發明採用了這樣的構成。
具體地，一種剝離裝置，在將具有一個面被隔離片遮蓋的粘接劑層的粘接性薄片粘貼到被粘接體上的狀態下，將所述隔離片從粘接劑層剝離，其特徵在於，包括工作檯，其對所述被粘接體進行支承；針，其對所述隔離片的端部從端部的上表面進行扎入；支承機構，其對所述針進行可位移地支承，以便在所述隔離片上形成剝離起始部；和吸附機構，其對所述隔離片進行吸附，在通過所述針來形成剝離起始部時利用所述吸附機構對隔離片賦予吸附力，當形成了剝離起始部時，使所述吸附機構與被粘接體相對地離開，以便能夠將所述隔離片剝離。在本發明中，採用如下結構所述吸附機構包含與預定的減壓泵連接的吸附墊來構成，該吸附墊通過設置成能夠以第一旋轉中心軸和第二旋轉中心軸為中心旋轉而能夠相對於被粘接體離開或靠近，以所述第二旋轉中心軸為中心的吸附墊的旋轉半徑比以所述第一旋轉中心軸為中心的吸附墊的旋轉半徑短。另外，優選所述針在俯視來看通過所述吸附墊的中心的線上扎入所述隔離片。並且，還可以這樣構成所述針通過X、Y、Z軸驅動裝置而被支承，通過驅動這些驅動裝置來進行所述扎入及形成剝離起始部的動作。另外，也可以採用這樣的結構所述粘接劑層為反應性熱熔粘接劑，在粘接性薄片通過該粘接劑層而粘貼於所述被粘接體上的狀態下將所述隔離片剝離。並且，本發明的剝離方法，在將具有一個面被隔離片遮蓋的粘接劑層的粘接性薄片粘貼到被粘接體上的狀態下，將所述隔離片從粘接劑層上剝離，其特徵在於，包括將所述被粘接體支承在工作檯上的工序；用針對所述隔離片的端部從端部的上表面進行扎入的工序；當所述針扎入隔離片時，通過吸附墊對該隔離片賦予吸附力的工序；使所述針位移，以便在所述隔離片上形成剝離起始部的工序；和在吸附了所述隔離片的狀態下，使所述吸附墊與被粘接體相對地離開而將所述隔離片從粘接劑層上剝離的工序。發明效果根據本發明，由於採用了用針形成剝離起始部、通過吸附機構對隔離片賦予吸附力且從被粘接體離開的結構，所以隔離片在被保持於吸附機構上的狀態下被剝離。因此，能夠可靠地進行隔離片剝離的同時，還可以將該隔離片有規律地進行回收。並且，由於針被用於剝離的初始動作，所以還可以轉移到將下一個隔離片進行剝離的動作。另外，在採用了將吸附墊設置成以第二旋轉中心軸為中心的旋轉半徑比以第一旋轉中心軸為中心的旋轉半徑短的情況下，通過以第二旋轉中心軸為中心的吸附墊的旋轉，可以將基於吸附的初始剝離方向容易地設定為相對於隔離片的面傾斜的方向，能夠順利地進行剝離阻力最大的初始剝離動作。並且，在針以俯視來看在通過吸附墊的中心的線上扎入隔離片的結構中，可以使由針將隔離片的端部挑起的力和由吸附墊產生的初始吸附力相互作用，能夠可靠地形成剝離起始部並防患剝離不良於未然。另外，在針藉助於X、Y、Z軸驅動裝置而被支承的結構中，通過使驅動裝置驅動而使針沿著可預先設定的移動軌跡位移，從而能夠進行用針扎入隔離片來形成剝離起始部的動作，因而不需要使工作檯及被粘接體在平面內移動就可以進行剝離。另外，如果粘接劑層是反應性熱熔粘接劑的話，在隔離片扎入於粘接劑層時形成的針孔可以在板狀部件的粘合過程中通過熔融而被填補，能夠避免發生板狀部件層疊後在這些板狀部件之間留下氣泡的問題。另外，所述反應性熱熔粘接劑是指通過加熱熔融而顯現流動性並濡溼被粘接體，但固化反應通過對熔融狀態的粘合劑進一步施加能量來進行。在本發明中，所述能量雖然沒有特別的限制，但作為該能量，可以列舉加熱、活化光照等，從對被粘接體的影響及生產效率方面來看，尤其優選活化光照。
圖I是本實施方式的剝離裝置的概要主視圖。圖2是表示剝離對象的概要立體圖。圖3是表示剝離動作開始狀態的主要部分主視圖。圖4是圖I的局部概要俯視圖。圖5是表示形成剝離起始部狀態的主要部分主視圖。附圖標記說明10剝離裝置11隔離片IlA剝離起始部12粘接劑層13基板(被粘接體)15工作檯16 針18支承機構19吸附機構30 X軸馬達(X軸驅動裝置)31 Z軸馬達(Z軸驅動裝置)33 Y軸馬達(Y軸驅動裝置)35吸附墊40輸出軸(第一旋轉中心軸)41輸出軸(第二旋轉中心軸)
S粘接性薄片
具體實施例方式下面，參照附圖對本發明的優選實施方式進行說明。在圖I中，粘貼裝置10作為這樣的裝置構成在將具有一個面被隔離片11遮蓋的粘接劑層12的粘接性薄片S粘貼到作為被粘接體的基板13上的狀態下，將所述隔離片11從粘接劑層12上剝離。隔離片11與一般被稱之為剝離片的部件實質上是相同的，作為材質可以例示聚對苯二甲酸乙二醇酯等。該隔離片由粘接劑層12側的面經剝離處理後的厚度為1011111 6011111、尤其優選為5011111左右的薄膜來構成。另外，粘接劑層12雖然沒什麼特別的限定，但優選由反應性熱熔粘接劑構成，其層厚為10 ii m 40 ii m，尤其優選為20 y m左右。在本實施方式中，如圖2所不，粘接性薄片S在基板13的多處以同等的大小隔著等間隔被粘貼在多處。所述剝離裝置10構成為具備對基板13進行支承的工作檯15 ;在隔離片11的端部上從表面扎入的針16 ;支承機構18，對所述針16進行可位移地支承，以便在隔離片11上形成剝離起始部11A(參見圖5);對隔離片11進行吸附的吸附機構19 ;將被吸附機構19吸附的隔離片11回收的回收機構20 ;以及對這些機構進行整體控制的未予圖示的控制裝置。所述工作檯15包括位於內部的未予圖示的腔室和與該腔室連通地在工作檯15的上表面開口的多個吸附孔，所述工作檯15被設置成通過與所述腔室連接的未予圖示的減壓泵的驅動，能夠將基板13吸附並對該基板13進行固定支承。該工作檯15被設成可通過 位於下表面側的直動式馬達Ml在X軸方向上移動。所述針16以從上方扎入隔離片11的端部、且將該端部朝向從粘接劑層12離開的上方拉起的方式動作，以形成剝離起始部11A。該針16沿著圖I中與紙面正交的方向設置有多個，在本實施方式中採用3根(參見圖4)，它們的上端以能夠通過調節旋鈕24A調節突出長度的狀態被保持塊24保持。如圖3所示，針16的傾斜角度0被設定為45° 60°的範圍。這是因為當小於45°時，因在隔離片11上打滑而難以扎入該隔離片11中；如果超過60°的話，形成剝離起始部IlA時的阻力過大。另外，如圖3所示，針16扎入隔離片11的位置優選為從隔離片11的端緣離開了距離LI的內側，作為LI可以例示為約1mm。所述支承機構18除了包括對針16進行支承的塊24以外，還包含將該塊24以能夠在圖I中左右方向上移動的方式支承的X軸馬達30 ;將該X軸馬達30以能夠在上下方向上移動的方式支承的Z軸馬達31 ;和將該Z軸馬達31以能夠在圖I中與紙面正交的方向(Y軸方向)上移動的方式支承的Y軸馬達33。Y軸馬達33通過未予圖示的框架被支承。因此，針16可以在X軸、Y軸及Z軸這三個彼此正交的軸向上位移。所述吸附機構19包含連接於未予圖示的減壓泵上的吸附墊35來構成。該吸附墊35與所述針16的根數對應地以3個為一組被旋轉塊37支承(參見圖4)，該旋轉塊37可相對旋轉地支承在臂38的自由端側。臂38能夠通過馬達M2在鉛直面內進行旋轉，旋轉塊37能夠通過設於臂38的自由端側的馬達M3在鉛直面內進行旋轉。另外，臂38以沿著圖I中與紙面正交的方向成一對的關係配置，且所述旋轉塊37位於這些臂38的自由端側之間。本實施方式中的吸附機構19沿Y軸方向設有多個，以各個吸附機構19分別為與在Y軸方向上排列的每個隔離片對應的方式構成。所述吸附墊35能夠以馬達M2的輸出軸40為第一旋轉中心軸沿圖I中箭頭Al方向旋轉。另外，也能夠以所述馬達M3的輸出軸41為第二旋轉中心軸沿箭頭A2方向旋轉。由此，能夠使吸附墊35相對於基板13的上表面離開或靠近。另外，以馬達M3的輸出軸41為中心的吸附墊35的旋轉半徑被設定成比以馬達M2的輸出軸40為中心的吸附墊35的旋轉半徑短。構成第二旋轉中心軸的輸出軸41的位置被設成可位於進行剝離的隔離片11的面內上方，另一方面，構成第一旋轉中心軸的輸出軸40的位置被設定在從該隔離片11的上表面間隔開的外側上方。因此，使吸附墊35吸附隔離片11並賦予後述的剝離力時的剝離方向朝箭頭A2的方向較大地傾斜，從而有效地作用初始的剝離力；另一方面，當剝離開始以後，進行完全剝離時，通過使臂38沿箭頭Al方向旋轉，從而可以將隔離片11迅速地剝離。此外，如圖3所示，吸附墊35吸附隔離片11的位置處於從隔離片11離開了距離L2的內側，作為L2可以例示約為2_。因此，吸附位置的最靠端緣的位置與針11扎入的位置之間的距離約為1mm。所述回收機構20包括吸附帶45和傳送帶46來構成，當所述臂38旋轉位移到圖I中雙點劃線所示的位置時，吸附帶45位於臂28的自由端上方，而傳送帶46位於該吸附帶45的下表面側。吸附帶45在將被吸附墊35吸附的隔離片11臨時吸附的狀態下，使隔離片11移動到傳送帶46側並將其夾在與該傳送帶46之間，被夾入的隔離片11被回收到設在傳送方向下遊側的未予圖示的回收箱內。此外，在此雖省略了圖示，但在所述臂38的自由端側設有輥，當臂38位移至圖I中雙點劃線所示的位置時，將被剝離了的隔離片11夾在該輥與吸附帶45之間。而且，該輥通過吸附帶45旋轉而從動旋轉，以便將隔離片11切實地送出到傳送帶46偵U。其次，對採用了所述剝離裝置10的剝離方法進行說明。在前工序中，如圖2所示，在基板13的預定位置上粘貼粘接性薄片S而形成剝離對象，該剝離對象被定位在工作檯15的上表面上。針16例如在圖I中雙點劃線所示的位置待機，另一方面，吸附墊35在比該圖中實線所示的位置更靠上方的位置待機。通過未予圖示的傳感器檢測出支承了剝離對象的工作檯15藉助直動馬達Ml從圖I中右側移動併到達實線位置時，直動馬達Ml便停止驅動，其後轉移到剝離動作。S卩，構成支承機構18的Y軸馬達33驅動而使Z軸馬達在Y軸方向上移動，使得保持塊24位於與應最開始進行剝離的隔離片11的端部對應的位置。隨後，驅動X軸馬達30和Z軸馬達31，使保持塊24從圖I中雙點劃線所示的位置位移到實線所示的位置，從而使針16扎入到隔離片U。其扎入的深度除了設定成針16的頂端到達粘接劑層12的位置，也可以限定為不到達粘接劑層12的深度。當針16扎入隔離片11時，在吸附墊35 —直旋轉位移到與隔離片11接觸的位置且賦予了吸附力的狀態下，使吸附墊35位移到例如約Imm左右上方。該位移通過驅動第二馬達M3使旋轉塊37旋轉來進行。此時，針16與吸附墊35的相對位置如圖4所示為針16從俯視來看位於通過吸附墊35中心的線上。在此狀態下，通過將針16從圖5中雙點劃線位置(初始扎入位置)位移到該圖中實線所示位置，從而對隔離片11的端部賦予朝上方翹起的力，並與吸附墊35—邊賦予吸附力一邊位移到上方約Imm的動作相互作用，形成剝離起始部IIA0此外，所述吸附墊35的吸附力是由減壓泵的減壓而產生的。一旦像這樣形成剝離起始部11A，則對吸附墊35進行保持的旋轉塊37沿圖I中箭頭A2朝右向旋轉，同時針16朝該圖中左側後退，從而隔離片11通過吸附墊35沿該方向剝離，針16的頂端從隔離片11拔出。而且，通過臂38沿箭頭Al方向朝右向旋轉，從而隔離片11從粘接劑層12上完全剝離。此時，工作檯13處於保持靜止位置的狀態。本實施方式中的針16採用了 3根，與此對應的各吸附墊35分別進行同樣的動作。因此，隔離片11在寬度方向(Y軸方向)上的多處受到剝離力，從而能夠進行與隔離片11、的寬度相對應的剝離。當所述臂38旋轉位移到圖I中雙點劃線所示的位置時，通過吸附墊35的吸附而被完全剝離了的隔離片11被吸附帶45所吸附。此時，吸附墊35通過壓力恢復等來解除該吸附，由此，隔離片11在被吸附帶45吸附的狀態下被傳送至傳送帶46側，在吸附帶45與該傳送帶46之間夾有隔離片11的狀態下，將由吸附帶45產生的吸附解除，隔離片11被傳送到傳送方向下遊側，最後被回收到未予圖示的回收箱中。如果像這樣一張隔離片11被剝離，則針16就朝Y軸方向移動，與對第一張隔離片11進行了剝離的吸附機構19相鄰的吸附機構19接著工作，通過該吸附機構19與針16相互作用並重複進行同樣的動作，從而將下一個隔離片11剝離。而且，當沿Y軸方向的第一排的隔離片11全部被剝離時，工作檯15朝圖I中左側移動並使下一排的隔離片11位於剝離位置，之後重複同樣的剝離。因此，根據這樣的實施方式，由於採用了在通過針16形成剝離起始部IlA的同時用吸附墊35將隔離片11剝離的結構，所以能夠得到切實地將該隔離片11剝離的效果。通過上述的記載公開了用於實施本發明的最佳構成和方法等，但本發明並不限於此。也就是說，本發明雖然主要是對特定的實施方式進行了特別的圖示和說明，但本領域的技術人員可以在不脫離本發明的技術思想和目的範圍的情況下，對以上所說明的實施方式，在形狀、材料、數量及其他詳細的構成等方面進行各種變更。因此，由於上述公開的對形狀等進行了限定的記載是為了易於理解本發明所作的示例性的記載，而並不是限定本發明，所以使用去掉了其形狀等限定的一部分或者全部限定的部件名稱進行的記載是包含在本發明中的。例如，在上述實施方式中，對在Y軸方向設置了多個具有3個為I組的吸附墊35的吸附機構19的情形做了圖示和說明，然而也可以只設置一個吸附機構，將其設置成能夠在Y軸方向上移動。只是，如果採用上述結構的話，當進行使被剝離的隔離片11移動到回收機構20側的動作時，由於能夠通過相鄰的吸附機構來進行將下一個隔離片11剝離的動作，所以在縮短剝離處理時間上更加有利。另外，在上述實施方式中，雖然就在一個基板13上粘貼有多張粘接性薄片S的對象進行了說明，但也可以適用於從粘貼有一張粘接性薄片S的基板上將隔離片11剝離的結 構。並且，針16和吸附墊35的數量只要是相互對應的數量即可，增加或者減少均無妨。總而言之，本發明只要根據隔離片11的寬度來決定針16和吸附墊35的使用數就可以。另外，也可以採用這樣的結構，在所述工作檯15上設置升降機構，使該工作檯15下降並相對地針16和吸附墊35間隔開。
權利要求
1.一種剝離裝置，在將具有一個面被隔離片遮蓋的粘接劑層的粘接性薄片粘貼到被粘接體上的狀態下，將所述隔離片從粘接劑層剝離，其特徵在於，包括 工作檯，其對所述被粘接體進行支承； 針，其對所述隔離片的端部從端部的上表面進行扎入； 支承機構，其對所述針進行可位移地支承，以便在所述隔離片上形成剝離起始部；和 吸附機構，其對所述隔離片進行吸附， 在通過所述針來形成剝離起始部時利用所述吸附機構對隔離片賦予吸附力，當形成了剝離起始部時，使所述吸附機構與被粘接體相對地離開，以便能夠將所述隔離片剝離。
2.根據權利要求I所述的剝離裝置，其特徵在於， 所述吸附機構包含與預定的減壓泵連接的吸附墊來構成，該吸附墊通過設置成能夠以第一旋轉中心軸和第二旋轉中心軸為中心旋轉而能夠相對於被粘接體離開或靠近，以所述第二旋轉中心軸為中心的吸附墊的旋轉半徑比以所述第一旋轉中心軸為中心的吸附墊的旋轉半徑短。
3.根據權利要求2所述的剝離裝置，其特徵在於， 所述針在俯視來看通過所述吸附墊的中心的線上扎入所述隔離片。
4.根據權利要求1、2或3所述的剝離裝置，其特徵在於， 所述針通過X、Y、Z軸驅動裝置而被支承，通過驅動這些驅動裝置來進行所述扎入及形成剝離起始部的動作。
5.根據權利要求I至4中的任一項所述的剝離裝置，其特徵在於， 所述粘接劑層為反應性熱熔粘接劑，在粘接性薄片通過該粘接劑層而粘貼於所述被粘接體上的狀態下將所述隔離片剝離。
6.—種剝離方法，在將具有一個面被隔離片遮蓋的粘接劑層的粘接性薄片粘貼到被粘接體上的狀態下，將所述隔離片從粘接劑層上剝離，其特徵在於，包括 將所述被粘接體支承在工作檯上的工序； 用針對所述隔離片的端部從端部的上表面進行扎入的工序； 當所述針扎入隔離片時，通過吸附墊對該隔離片賦予吸附力的工序； 使所述針位移，以便在所述隔離片上形成剝離起始部的工序；和 當形成剝離起始部時對所述隔離片賦予了吸附力的狀態下，使所述吸附墊與被粘接體相對地離開而將所述隔離片從粘接劑層上剝離的工序。
全文摘要
一種剝離裝置(10)，在將粘接性薄片(S)粘貼到基板(13)上的狀態下，將隔離片(11)從粘接劑層(12)上剝離，該裝置包括對基板(13)進行支承的工作檯(15)；從上表面扎入隔離片(11)的針(16)；使該針(16)位移而形成剝離起始部(11A)的支承機構(18)；以及將隔離片(11)吸附的吸附墊(35)。在形成剝離起始部(11A)時，吸附墊(35)對隔離片(11)賦予吸附力，在形成了剝離起始部(11A)的狀態下使吸附墊(35)向從基板離開的方向旋轉，從而能夠將隔離片(11)剝離。
文檔編號B65H41/00GK102666333SQ20108004788
公開日2012年9月12日 申請日期2010年11月15日 優先權日2009年12月22日
發明者遠藤幸一郎 申請人:三鍵株式會社