用於腐蝕性液體的加熱器的製作方法

2023-05-22 05:31:36

專利名稱：用於腐蝕性液體的加熱器的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種用於腐蝕性液體的加熱器，屬於液體加熱技術領域。
背景技術：
電加熱器大都採用陶瓷或石英，這種加熱材料不僅易破碎，且加熱效率不高，而且不能加熱酸、鹼等強氧化劑的腐蝕性液體。一些用於加熱腐蝕性液體的電加熱器是將電熱材料設置在金屬套管內，金屬套管與電熱絲之間設有金屬氧化鎂，在金屬套管外壁塗上聚四氟乙烯，雖然電加熱器具有耐腐蝕性的特點，但也存在加熱功率不高和維護保養不方便的缺陷，因此不適合半導體器件的化學腐蝕和清洗工藝中工業化產生的要求。為滿足半導體器件工業化生產的要求，目前液體加熱器採用四根氟塑料螺杆和四個連接杆連接後形成框架結構，包覆有氟塑料的電熱絲纏繞在氟塑料螺杆上，以此提高加液體的溫度均勻性及使用的可靠性，但該種結構的電熱絲在製作以及安裝過程中無法使其直徑保持完全相同， 因此還是存在發熱不均勻以及功率不高和電加熱器的體積較大的問題。

發明內容
本發明的目的是提供一種工作可靠、對液體加熱溫度均勻，便於維護保養、體積小的用於腐蝕性液體的加熱器。本發明為達到上述目的的技術方案是一種用於腐蝕性液體的加熱器，其特徵在於包括水箱、加熱組件以及上內蓋、下內蓋和水溫溫度傳感器，所述的水箱為兩端開口的筒體，且水箱的內壁具有氟塑料層或水箱由氟塑料製成，水箱的上下兩側分別設有出液口和進液口 ；所述的加熱組件包括外周壁具有氟塑料層的金屬導體和兩個以上的電加熱棒， 各電加熱棒安裝在金屬導體內，金屬導體的兩端與外周壁具有氟塑料層或由氟塑料製成的上內蓋和下內蓋連接，且上內蓋和下內蓋分別與水箱密封連接，電加熱棒的電極密封穿出上內蓋或下內蓋，金屬導體外周壁與水箱內壁之間設有液腔；所述的水箱上的出液口處安裝有水溫溫度傳感器。本發明採用兩個以上的電加熱棒並設置在金屬導體內，故能增加加熱器的功率， 電加熱棒的熱量通過金屬導體後再加熱液體，液體受熱更加均勻，由於腐蝕性液體不與電加熱棒接觸，也提高了加熱器的使用可靠性。本發明的水箱、上內蓋以及下內蓋和金屬導體均採用抗酸、抗鹼和耐高溫的氟塑料層，提高了加熱器的使用可靠，由於加熱組件設置在水箱內，不僅能減少加熱器的體積，而且將水箱與加熱器集為一體，可使加熱器實現模塊化， 方便工藝調整。本發明將上內蓋和下內蓋密封安裝在水箱兩端，方便對加熱器的維護和保養。本發明在水箱的出液口處設有水溫溫度傳感器，不僅能方便調節加熱器的功率，而且也能對加熱器起到保護作用。


下面結合附圖對本發明的實施例作進一步的詳細描述。
圖1是本發明的結構示意圖。圖2是圖1的俯視結構示意圖。其中1-上蓋，2-密封圈，3-上內蓋，4-導熱溫度傳感器，5-電加熱棒，6_金屬導體，7-液腔，8-水箱，8-1-出液口，8-2-進液口，9-下內蓋，10-下蓋，11-水溫溫度傳感器， 12-傳感器座，13-夾座。
具體實施例方式見圖1、2所示，本發明的用於腐蝕性液體的加熱器，包括水箱8、加熱組件以及上內蓋3、下內蓋9和水溫溫度傳感器11。本發明的水箱8為兩端開口的筒體，且水箱8的內壁具有氟塑料層或水箱8由氟塑料製成，使水箱8具有耐酸耐鹼的優點，該水箱8的上下兩側分別設有出液口 8-1和進液口 8-2，出液口 8-1和進液口 8-2均設有螺紋孔，液管接頭可旋接在箱體的出液口 8-1和進液口 8-2處。見圖1、2所示，本發明加熱組件包括外周壁具有氟塑料層的金屬導體6和兩個以上的電加熱棒5，可如圖1、2所示，可採用三個電加熱棒5，通電後電加熱棒5發熱，各電加熱棒5安裝在金屬導體6內，並均布安裝在金屬導體6 上，該金屬導體6可採用導熱係數高的銅或及其合金材料，金屬導體6的兩端與外周壁具有氟塑料層或由氟塑料製成的上內蓋3和下內蓋9連接，且上內蓋3和下內蓋9通過安裝在金屬導體6上的密封圈2分別與水箱8密封連接，本發明為了方便安裝上內蓋3和下內蓋 9，金屬導體6兩端分別設有凹凸面，而上內蓋3和下內蓋9上也設有對應的凸凹面，金屬導體6兩端上的凹凸面與上內蓋3和下內蓋9上的凸凹面相接，本發明在上內蓋3或下內蓋9 上設有對電加熱棒5定位的安裝孔，緊固件將上內蓋3和下內蓋9安裝在金屬導體6的兩端，水箱8兩端還安裝有上蓋1和下蓋10，該上蓋1和下蓋10分別罩在上內蓋3和下內蓋 9上，金屬導體6外周壁與水箱內壁之間設有液腔7，被加熱液體通過該液腔7時而被金屬導體6加熱。見圖1、2所示，本發明為及時了解液體的加熱溫度，水箱8的出液口 8-1處安裝有傳感器座12上，水箱8的出液口 8-1處安裝有傳感器座12，該傳感器座12旋接在水箱8的安裝孔上，水溫溫度傳感器11通過夾座13插裝在傳感器座12上。見圖1、2所示，本發明在金屬導體6上還設導熱溫度傳感器4，導熱溫度傳感器4位於電加熱棒5的同一側，且導熱溫度傳感器4的信號線密封穿出上內蓋3或下內蓋9，本發明通過水溫溫度傳感器11的導熱溫度傳感器4對加熱器起到雙保護作用。
權利要求
1.一種用於腐蝕性液體的加熱器，其特徵在於包括水箱(8)、加熱組件以及上內蓋 (3)、下內蓋(9)和水溫溫度傳感器(11)，所述的水箱⑶為兩端開口的筒體，且水箱⑶的內壁具有氟塑料層或水箱(8)由氟塑料製成，水箱(8)的上下兩側分別設有出液口(8-1) 和進液口(8-2)；所述的加熱組件包括外周壁具有氟塑料層的金屬導體(6)和兩個以上的電加熱棒(5)，各電加熱棒(5)安裝在金屬導體(6)內，金屬導體(6)的兩端與外周壁具有氟塑料層或由氟塑料製成的上內蓋⑶和下內蓋(9)連接，且上內蓋(3)和下內蓋(9)分別與水箱⑶密封連接，電加熱棒(5)的電極密封穿出上內蓋(3)或下內蓋(9)，金屬導體 (6)外周壁與水箱(8)內壁之間設有液腔(7)；所述的水箱( 上的出液口(8-1)處安裝有水溫溫度傳感器(11)。
2.根據權利要求1所述的用於腐蝕性液體的加熱器，其特徵在於所述金屬導體(6) 的兩端分別通過凹凸面與上內蓋C3)和下內蓋(9)上的凸凹面相接，且上內蓋C3)或下內蓋(9)上設有對電加熱棒(5)定位的安裝孔，緊固件將上內蓋C3)和下內蓋(9)安裝在金屬導體(6)的兩端。
3.根據權利要求1所述的用於腐蝕性液體的加熱器，其特徵在於所述的金屬導體(6) 上還設導熱溫度傳感器G)，且導熱溫度傳感器(4)位於電加熱棒(5)的同一側，導熱溫度傳感器⑷的信號線密封穿出上內蓋⑶或下內蓋(9)。
4.根據權利要求1所述的用於腐蝕性液體的加熱器，其特徵在於所述的水箱(8)兩端還安裝有上蓋(1)和下蓋(10)並分別罩在上內蓋(3)和下內蓋(9)上。
5.根據權利要求1所述的用於腐蝕性液體的加熱器，其特徵在於所述的水箱(8)的出液口(8-1)處安裝有傳感器座(12)，水溫溫度傳感器(11)通過夾座(1 插裝在傳感器座(12)上。
全文摘要
本發明涉及一種用於腐蝕性液體的加熱器，包括水箱、加熱組件以及上內蓋、下內蓋和水溫溫度傳感器，水箱為兩端開口的筒體，且水箱的內壁具有氟塑料層或水箱由氟塑料製成，水箱的上下兩側分別設有出液口和進液口；加熱組件包括外周壁具有氟塑料層的金屬導體和兩個以上的電加熱棒，各電加熱棒安裝在金屬導體內，金屬導體的兩端安裝有外周壁具有氟塑料層或由氟塑料製成的上內蓋和下內蓋，且內蓋和下內蓋分別與水箱密封連接，電加熱棒的電極密封穿出上內蓋或下內蓋，金屬導體外周與水箱內壁之間設有液腔，水箱上部安裝有傳感器座，水箱出液口處設有水溫溫度傳感器。本發明具有工作可靠、對液體加熱溫度均勻，便於維護保養、體積小的優點。
文檔編號F24H9/18GK102252417SQ20111013794
公開日2011年11月23日 申請日期2011年5月26日 優先權日2011年5月26日
發明者卞福良, 吉保國, 段小楠, 沈俊然, 金海濤, 黃宏君 申請人:常州瑞擇微電子科技有限公司, 無錫華潤微電子有限公司