電子槍發射體的製作方法
2023-07-23 10:02:56
專利名稱：電子槍發射體的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於光學鍍膜設備電子槍零部件技術領域，特別涉及一種電子槍發射體。
背景技術：
電子槍由於發射功率大，輸出束流穩定，電子束流熔點高，能夠輕易地融化高熔點 的金屬材料，蒸發過程中膜料表面平整，蒸發分布均勻，所以廣泛應用於真空鍍膜行業。 電子槍發射體是電子槍的核心部件，目前的電子槍發射體由左、右陰極、高壓電 極2個、燈絲、燈絲壓塊2個，燈絲定位塊2個、柵極、加速極、陽極、底座、頂板、絕緣固定板 和4個絕緣柱等18個結構件組成。基本工作原理是電子槍發射體上裝有燈絲，由燈絲變 壓器提供一個大的燈絲電流使燈絲髮熱後並輻射出大量熱電子形成電子束。同時燈絲加 有-4KV -10KV電壓，使燈絲產生的電子束對坩堝具有-4KV -10KV的電勢，從而使得電 子束具有很大的動能。槍體提供一個均勻磁場，使電子束髮生270度偏轉，在槍體磁場的作 用下電子束聚焦、做定向運動打入坩堝內使膜料在真空室內融化升華，實現真空鍍膜的功 能。 現在的電子槍發射體結構件較多且複雜，關鍵結構件之間位置精度不宜保證，在 槍體受熱後位置容易變動，致使電子槍在使用中容易發生打火現象，影響鍍膜時膜料蒸發 的均勻性。
實用新型內容本實用新型提供一種結構簡單、低成本、定位精度與裝配精度高的的電子槍發射 體。 —種電子槍發射體，包括固定絕緣板，所述固定絕緣板上設置頂板、陽極、左陰極、 右陰極、燈絲、加速極、柵極，所述頂板下方設置所述陽極，所述陽極下方設置所述加速極， 所述加速極下方設置燈絲和柵極，所述柵極設置在燈絲兩側，所述燈絲下方設置燈絲壓塊， 燈絲壓塊下方設置左陰極和右陰極。 本實用新型左、右陰極上端固定燈絲為電子束的發射體。燈絲上端固定有柵極，限 制電子束髮射面。柵極前端裝有加速極為電子束提供加速電壓。陽極提供的是陽極電壓，與 加速極連接在一起，並且與大地相連，這樣就形成了陽極與柵極之間具有-4KV——10KV加 速電場。固定絕緣板用來使陰極與陽極連接成一體，起到絕緣電壓的作用，頂板是用來防止 發射體免受汙染。由上述幾個結構件組成了電子槍發射體，降低製造成本。二是裝配簡單易 於操作，三是保證了關鍵部件的定位精度及裝配精度，使電子槍發射體在使用中穩定可靠。
以下結合附圖對本實用新型做進一步的說明
圖1是本實用新型結構示意圖；[0010] 圖2是本實用新型結構側面結構示意圖；。
具體實施方式
如
圖1 、圖2所示， 一種電子槍發射體，包括固定絕緣板9，所述固定絕緣板9上設 置頂板8、陽極7、左陰極1、右陰極2、燈絲4、加速極6、柵極5，所述頂板8下方設置所述陽 極7，所述陽極7下方設置所述加速極6，所述加速極6下方設置燈絲4和柵極5，所述柵極 5設置在燈絲4兩側，所述燈絲4下方設置燈絲壓塊3，燈絲壓塊3下方設置左陰極1和右 陰極2。 左陰極與右陰極之間是完全絕緣的，左陰極頂端與柵極用螺釘固定連接，柵極的 右端與右陰極的頂端覆蓋的三個面間隔距離為0. 5mm，本設計加長了左陰極與柵極的連接 尺寸，採用過渡配合方式，使柵極固定位置準確穩定，並拆卸安裝方便。避免了人工裝配時 位置固定不準確，柵極前後擺動現象，使發射體在高溫工作中柵極位置不會產生偏移，保證 了柵極與右陰極頂端的三面間隔距離尺寸，從而避免發生短路現象，使電子槍發射體運行 穩定可靠， 基本工作原理是電子槍發射體上裝有燈絲，由燈絲變壓器提供一個大的燈絲電流 使燈絲髮熱後並輻射出大量熱電子形成電子束。同時燈絲加有-4KV -10KV電壓，使燈絲 產生的電子束對坩堝具有-4KV -10KV的電勢，從而使得電子束具有很大的動能。槍體提 供一個均勻磁場，使電子束髮生270度偏轉，在槍體磁場的作用下電子束聚焦、做定向運動 打入坩堝內使膜料在真空室內融化升華，實現真空鍍膜的功能。 本實用新型左、右陰極上端固定燈絲為電子束的發射體。燈絲上端固定有柵極，限 制電子束髮射面。柵極前端裝有加速極為電子束提供加速電壓。陽極提供的是陽極電壓，與 加速極連接在一起，並且與大地相連，這樣就形成了陽極與柵極之間具有-4KV——10KV加 速電場。固定絕緣板用來使陰極與陽極連接成一體，起到絕緣電壓的作用，頂板是用來防止 發射體免受汙染。由上述幾個結構件組成了電子槍發射體，降低製造成本。二是裝配簡單易 於操作，三是保證了關鍵部件的定位精度及裝配精度，使電子槍發射體在使用中穩定可靠。
權利要求一種電子槍發射體，包括固定絕緣板，其特徵在於所述固定絕緣板上設置頂板、陽極、左陰極、右陰極、燈絲、加速極、柵極，所述頂板下方設置所述陽極，所述陽極下方設置所述加速極，所述加速極下方設置燈絲和柵極，所述柵極設置在燈絲兩側，所述燈絲下方設置燈絲壓塊，燈絲壓塊下方設置左陰極和右陰極。
專利摘要本實用新型公開了一種電子槍發射體，包括固定絕緣板，所述固定絕緣板上設置頂板、陽極、左陰極、右陰極、燈絲、加速極、柵極，本實用新型左、右陰極上端固定燈絲為電子束的發射體。燈絲上端固定有柵極，限制電子束髮射面。固定絕緣板用來使陰極與陽極連接成一體，起到絕緣電壓的作用，頂板是用來防止發射體免受汙染。由上述幾個結構件組成了電子槍發射體，降低製造成本。裝配簡單易於操作，保證了關鍵部件的定位精度及裝配精度，使電子槍發射體在使用中穩定可靠。
文檔編號C23C14/30GK201525880SQ200920092610
公開日2010年7月14日 申請日期2009年8月26日 優先權日2009年8月26日
發明者黨亞軍, 楊育興, 陳杰 申請人:河南中光學集團有限公司