測試玻璃更換的製作方法

2023-05-26 03:58:21

測試玻璃更換的製作方法
【專利摘要】一種真空鍍膜系統中用於光學測量膜特性的測試玻璃更換器，其具有能夠移動的基片座(2)，用於將至少一個基片引入通過至少一個鍍膜材料流的路徑，具有用於至少一個測試玻璃元件的底座(6)，其剛性地連接至旋轉軸(4)並且能夠相對於基片座(2)圍繞旋轉軸(4)旋轉，並且具有控制裝置，用於每種情況下將一個測試玻璃元件插入光學測量裝置的光路中並插入至少一個鍍膜材料流中，其中底座(6)具有相對於軸(4)偏心地偏移的至少兩個凹槽(7)以用於每種情況的一個測試玻璃元件，並且底座(6)相對於軸(4)的旋轉運動可以由控制裝置引起，其特徵在於，提供定心裝置(10)，通過定心裝置(10)可以對底座(6)施加扭轉力矩和保持力矩，從而將布置在凹槽(7)之一中的測試玻璃元件帶入測量裝置的測量位置。在通過該裝置的用於測試玻璃更換的方法中提出，在將布置在凹槽(7)之一中的測試玻璃元件移入測量裝置的測量位置之前，通過控制裝置引起底座(6)的旋轉運動，所述旋轉運動將所述測試玻璃元件帶入第一位置，該位置與測量位置的角距離小於凹槽(7)之間的角距離，並且之後通過定心裝置(10)將所述測試玻璃元件帶入測量位置。
【專利說明】測試玻璃更換
【技術領域】
[0001]根據獨立權利要求的前序部分，本發明涉及在真空鍍膜系統中光學測量膜特性時的測試玻璃更換。
【背景技術】
[0002]從DE102005010681A1中已知用於鍍膜過程的光學監測的測量裝置。這種測量裝置對於基片或者布置在移動的基片座上的監測玻璃的透射測量具有高的測量精度。這裡，光源布置在基片座和布置在基片座下方的光闌之間的真空室中。光接收器單元布置在光源的光路中的真空室的外部。基片座被設計為容納至少一個基片並且可以在真空室中在鍍膜源上移動。基片座優選地繞軸旋轉，其中所述至少一個基片穿過光源和光接收器單元之間的光路以用於透射測量，並且光闌遮蔽鍍膜源上的測量區域。
[0003]使用這種測量裝置，所選的基片或者旋轉基片座上的監視玻璃的透射被間歇地測量。對於具有很多層膜的鍍膜過程，在實踐中發現缺陷積累會引起相當大的膜厚度缺陷。為了消除這種缺陷積累，在若干層膜之後將測量玻璃更換為未鍍膜的玻璃通常是有益的。在多層膜系統中，在大約30-40層膜之後必須更換。使用所述的測量裝置，監測玻璃僅可在真空室打開時手動更換。這種手動更換引起耗費時間的過程中斷。另外，基片可能會被真空室打開和空氣流通以及隨後的重新抽空產生的微粒汙染。即使有另外的清潔步驟，在實踐中發現該微粒汙染遠大於沒有這種類型的過程中斷的過程中的汙染。
[0004]另外，EP0241589B1公開了一種在引言中提到的類型的測試玻璃更換器，其中，用於容納多個測試玻璃的底座安裝在基片座上，並且能夠隨基片移動以及本身能夠相對於基片移動。所述測試玻璃更換器包括控制裝置，其適合在真空條件下操作，用於一次將一塊測試玻璃插入測量裝置的光路中，以及至少一個鍍膜材料流中。
[0005]由於測試玻璃可以在真空條件下更換而不必使真空室空氣流通，使用這種測試玻璃更換器能夠克服現有技術的缺點。然而，即使使用這種測試玻璃更換器，仍發現一些缺點。尤其是，底座從開關撥動銷的突出必須被精確地阻止直到達到預先計算的底座的旋轉角。必要的旋轉角是[360° /測試玻璃的數量]。另外，必須確保測試玻璃在其通過旋轉角之後精確地布置在光學測量的光路的中央。為此，開關撥動銷和突出的非常精確的機械協調是必需的。隨時間的進程也必須非常準確的協調。實踐中還發現，精確地定心以及非常精確地機械協調的實現是很困難的，這使得測試玻璃的定位不準確以及由此的不可重複定位。由於鍍膜期間基片座的旋轉，具有測試玻璃的底座很容易移動，這還引起測試玻璃的位置發生不期望的位移。

【發明內容】

[0006]因此，本發明的目的是改進引言中所述類型的測試玻璃更換。
[0007]該目的通過獨立權利要求的特徵部分實現。測試玻璃更換器的有利的進展在從屬權利要求中限定。[0008]根據本發明的用於在真空鍍膜系統中光學測量膜特性的測試玻璃更換器，具有能夠移動的基片座，用於引導通過至少一個鍍膜材料流的路徑上的至少一個基片；具有用於測試玻璃元件的平板狀底座，其剛性地連接至旋轉軸並且圍繞旋轉軸相對於基片座旋轉；以及具有控制裝置，用於一次將一個測試玻璃元件插入光學測量裝置的光路中並且插入至少一個鍍膜材料流中；其中，底座具有至少一個相對於軸偏心偏移的凹槽用於各個測試玻璃元件，並且底座圍繞軸的旋轉運動可以由控制裝置引起，其特徵在於，具有定心裝置，通過該裝置，可以對底座施加扭轉力矩和保持力矩，以使布置在凹槽之一中的測試玻璃元件進入測量裝置的測量位置。用於塗布鍍膜材料並且在其上進行測量的測試玻璃元件的精確定位由此能夠以簡單的方式實現，而不必為了更換和/或定位測試玻璃元件而使真空室空氣流通，也不必為了定位而以非常精確的方式機械地協調各個組件。
[0009]這裡，測試玻璃元件可以是圓形的或者特別地橢圓形的測試玻璃。另外，測試玻璃元件可以被形成為在圓的一部分上擴展的玻璃環部件。
[0010]一個實施例的特徵在於定心裝置具有至少一個相對於基片座以固定角度布置的執行元件，以及至少一個相對於旋轉軸以固定角度布置並且可以被執行元件通過彈簧彈力作用的軸承元件。由於執行元件與軸承元件嚙合，平板形狀的底座固定地連接至旋轉軸並且由此各個測試玻璃元件之後可以精確地定位，因為執行元件經由軸承元件對旋轉軸和底座施加一個保持力矩，這樣，底座相對於基片座固定在它的位置至少直到底座按照計劃進一步旋轉。
[0011]在另外的實施例中，可以提供載體平板，其可以被緊固至或者被緊固至基片座並且具有用於旋轉軸的通孔以及至少一個相對於旋轉軸偏心布置的測量開口，其中，底座被布置在基片座和載體平板之間的空隙中。
[0012]該實施例中的載體平板特別用於容納執行元件，由此承載它並且將它固定在相對於基片座的固定角度。因此，執行元件可以在通過載體平板的旋轉軸上與軸承元件嚙合，並且可以產生準確的定位。另外，偏心的測量開口僅釋放一條光路以用於測量，而所提供的其它任何測試玻璃元件都被載體平板保護以免受載體平板上的真空室區域的影響。
[0013]另外的實施例的特徵在於，軸承元件被形成為中心部，其剛性地連接至旋轉軸並且具有布置在中心部邊緣的V個數量的凹口，其中至少凹口之一對應於凹槽之一，並且其中執行元件被形成為彈簧銷，其布置在載體平板上並且通過彈簧彈力經由自由端與凹口之一哨合。
[0014]可替換的實施例的特徵在於，軸承元件被形成為布置在平板狀底座上的槽狀凹口，其中，凹口對應於凹槽之一，以及特徵在於，執行元件包括球形元件、布置在載體平板上的球形元件的上止動開口以及彈簧元件，球形元件可以被布置或者被布置在平板狀底座和載體平板之間，彈簧元件被布置在載體平板上並且作用於球形元件，其中球形元件可以通過彈簧彈力與凹口嚙合。
[0015]兩種替代都具有如下優勢，由於彈簧銷或者球形元件與對應凹口之一的嚙合，定位可以非常精確，特別是如果彈簧銷端部或者球形元件的半徑與對應凹口的半徑協調，那麼彈簧銷或者球形元件可以與對應凹口基本上沒有間隙的嚙合。
[0016]根據另一實施例，控制裝置包括若干旋轉臂或突出，其數量對應於凹槽的數量。通過旋轉臂或突出可以對旋轉軸施加扭轉力矩。另外，提供了可以被移入旋轉臂或突出的相應軌道的開關撥動銷，如此，通過旋轉臂或突出，底座能夠旋轉一個角距離。
[0017]因為旋轉臂或突出的數量對應於凹槽，凹槽數量相應優選地對應於布置在底座上的測試玻璃元件的數量，由於開關撥動銷與旋轉臂或突出之一的嚙合，另外的測試玻璃可以容易地或高效地旋轉進入測量位置，而不需要執行複雜的機械協調。為了拖住旋轉臂或突出，它甚至足以將開關撥動銷移入旋轉臂或突出的軌道一段短的時間。
[0018]為了免受基片支架下方的真空室區域的影響，在底座和基片座之間布置了保護裝置，以使一次僅單獨一個測試玻璃元件暴露在其鍍膜和測量位置。優選的是，保護裝置布置在載體平板上，以使一次僅單獨一個測試玻璃元件暴露在其鍍膜和測量位置。這裡，保護裝置可以特別地是圓形平板，其與旋轉軸同軸地布置並且具有可以與測量位置對齊的單獨開□。
[0019]特別地以圓形平板形式的保護裝置提供了針對底座(包括其可移動部件，以及不打算鍍膜的測試玻璃元件)的鍍膜過程的簡單而有效的保護。保護裝置僅允許對測量位置的測試玻璃元件的鍍膜。
[0020]除了上述透射測量，測試玻璃元件上的膜特性也可以在反射中測量。反射測量的情況下，載體平板可以不形成開口。
[0021]根據本發明的通過前述類型的裝置的測試玻璃更換的方法，其特徵在於，在將布置在凹槽之一中的測試玻璃元件移入測量裝置的測量位置之前，通過控制裝置引起底座的旋轉運動，該旋轉運動將所述測試玻璃元件移入第一位置，該位置與測量位置的角距離小於凹槽之間的角距離，並且所述玻璃測試元件隨後通過定心裝置移入測量位置。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]參照附圖對本發明的優選的示例性實施例的描述將使另外的目的、特徵、優勢和可能的應用變得顯而易見。這裡，所述的和/或示意圖所示的所有特徵分別地和以任意組合地形成本發明的主題部分，不論其在權利要求中的總結或是權利要求的引用關係。
[0023]圖1示出了根據本發明的一個實施例的測試玻璃更換器，其具有相對於彈簧銷的第一位置處的中心部。
[0024]圖2示出了圖1所示的測試玻璃更換器，其具有相對於彈簧銷的第二位置處的中心部。
[0025]圖3示出了用於根據本發明的實施例的測試玻璃更換器的覆蓋平板。
[0026]圖3a示出了根據本發明的測試玻璃更換器的另外的實施例的一些組件。
[0027]圖4示出了根據本發明的實施例的測試玻璃更換器相對於具有第一操作位置處的開關撥動銷的開關裝置在基片座上的布置。
[0028]圖5示出了具有第二操作位置處的開關撥動銷的圖4所示的布置。
[0029]圖6示出了本發明的另外的實施例的執行元件和軸承元件。
[0030]圖7示出了測試玻璃更換的自動化過程的方框圖。
【具體實施方式】
[0031]測試玻璃更換器I的優選實施例在圖1中示出。在下文中，圖1中可見的測試玻璃更換器的側面優選地是上側面，而不可見的側面優選地是下側面，但是本發明的內容不限於此。
[0032]在本實施例中為圓形的載體平板3在其中央具有通孔(圖1中不可見)，通過該通孔引導旋轉軸4。
[0033]載體平板3下方具有用於容納測試玻璃元件的底座6。測試玻璃元件可以以圓形或橢圓形的形式形成或者被形成為玻璃環部件。本實施例中的載體平板3具有開口 5』，開口 5』偏心地布置並且測試玻璃元件可以通過開口 5』插入底座6或者從底座6移除。
[0034]在本實施例中，底座6具有用於容納測試玻璃元件的四個開口 7。在該實施例中，底座6被形成為圓形平板並且在其中央剛性地連接至旋轉軸4。底座6與所述旋轉軸4以及中心部11共同安裝，由此相對於載體平板3能夠旋轉。
[0035]底座6的開口 7被形成為圓孔,該孔的最大直徑略小於所使用的測試玻璃兀件的直徑。特別地，該孔被形成為盲孔。由於半徑之間的差異，測試玻璃元件的承載邊緣產生在底座6的開口 7上。
[0036]定心裝置具有至少一個相對於基片座以固定角度布置的執行元件(控制元件)以及至少一個相對於旋轉軸以固定角度布置的軸承元件，可以通過執行元件(優選地利用彈簧彈力)作用於軸承元件。這裡，彈簧彈力被理解為意指由彈性元件產生的任何力，特別是彈黃的夾緊力。
[0037]中心部11作為軸承元件被布置在載體平板3的上側面並且固定地連接至旋轉軸
4。中心部11能夠連同旋轉軸4 一起相對於載體平板3旋轉。中心部11在其外圍包括4個沿軸向的凹口 12，作為執行元件的可移動彈簧銷13與所述凹口 12嚙合。具有凹口 12的中心部11與彈簧銷13 —起組成定心裝置10。
[0038]旋轉臂14設置在中心部11的凹口 12之間的脊上，並且最初平行於載體平板3徑向地向外延伸，以使隨後在載體平板3的徑向最外邊緣區域以大約90°角向上彎曲。旋轉臂也可以附接至旋轉軸4。
[0039]彈簧銷13裝配在彈簧銷軸承18上，其允許彈簧銷13在旋轉軸4的徑向方向上移動。軸承18固定地連接至載體平板3，然而優選是可移動地。在本案中，軸承18被形成為圓柱缸體並且用螺絲固定在載體平板3上。當中心部11旋轉時，彈簧銷13克服彈簧彈力從凹口 12壓出並且越過中心部11的兩個凹口 12之間的脊。
[0040]如圖2所示，在示出的中心部11相對於彈簧銷13的位置，所述彈簧銷布置在兩個凹口 12的中間並且具有旋轉軸4和彈簧銷13之間的最大距離。如果現在通過旋轉臂14的運動使旋轉軸4相對於載體平板3輕微地旋轉，彈簧銷13由於其彈簧彈力進入緊鄰的凹口 12並且被準確地定位在該凹口 12的中央。如果不施加任何扭轉力矩，中心部11以及由此測試玻璃元件的底座6通過彈簧銷13的彈簧彈力保持在它們的位置。
[0041]本實施例中的載體平板3具有另一開口 5，其偏心地布置並且位於例如用於透射測量的光路中。
[0042]在本實施例中，載體平板3通過螺釘19a、19b、19c固定地連接至基片座2，螺釘19a、19b、19c以卡口閉合的方式固定載體平板3。
[0043]圖3示出了覆蓋平板8，其被固定至或者可以被固定至載體平板3的下側面。這裡，覆蓋平板8至載體平板3的固定留下足夠的空間以用於具有測試玻璃元件的底座6的旋轉。覆蓋平板8具有開口 9，其定位於徑向方向從而與載體平板3的開口 5對齊。由於通過中心部11的凹口 12以及彈簧銷13對底座6中的開口 7的定位，相應的測試玻璃精確地定位於載體平板3的開口 5以及覆蓋平板8的開口 9中。
[0044]在另一實施例中，載體平板、覆蓋平板以及覆蓋物通過螺釘相互連接並形成一個單元，其可以以預裝配的方式安裝在圓頂上。
[0045]在根據本發明的測試玻璃更換器的實施例中，圖3a示出了其上布置有覆蓋物3a的載體平板3。在載體平板3的下方設置作為保護裝置的覆蓋平板8，其類似於圖3的實施例具有開口 9，通過開口 9測試玻璃6a可以從下方鍍膜。覆蓋平板8通過螺釘19e、19f連接至載體平板3的下表面，其中，底座6可以在覆蓋平板8和載體平板3之間移動。
[0046]在所示的實施例中，基片以及由此測試玻璃元件從下方鍍膜。覆蓋平板8通過它的一個開口 9將鍍膜精確地限制在位於開口 5和開口 9中的測試玻璃上。通過載體平板3上的開口 5、具有測試玻璃的底座6上的開口 7以及覆蓋平板8上的開口 9的布置，光路被釋放以用於當前測試玻璃元件的透射測量。
[0047]為了將新的測試玻璃帶入鍍膜材料流並且同樣進入用於透射測量的光路中，底座6通過旋轉臂14、中心部11和旋轉軸4相對於載體平板3和覆蓋平板8旋轉，並且將依次布置的載體玻璃定位底座6的一個圓形路徑上。
[0048]圖4示出了基片座2上的測試玻璃更換器I的布置，在本實施例中，其被形成為能夠旋轉的圓頂。測試玻璃更換器I通過螺釘19d固定在圓頂的相應開口上。這裡，測試玻璃更換器I的下側面，即覆蓋平板8，指向圓頂的內部。
[0049]具有旋轉臂14的中心部11布置在圓頂的外表面。
[0050]獨立於圓頂之外，提供了與測試玻璃更換器I相關的開關裝置，該開關裝置由開關撥動銷15組成，其經由軸16連接至執行器17，藉此，開關撥動銷15可以被驅動。由於軸16的運動，開關撥動銷15可以在測試玻璃更換器I的方向上樞轉。鉸鏈裝置15a布置在軸16上以調節開關撥動銷15。
[0051]如圖5所示，開關撥動銷15定位於測試玻璃更換器I的兩個旋轉臂14之間。如果現在圓頂在鍍膜過程中旋轉，旋轉臂14中之一與開關撥動銷15接觸，以使圓頂的旋轉引起中心部11連同旋轉軸4旋轉。具有測試玻璃元件的底座6由此相對於連接至用於共同旋轉的圓頂的組件(即載體平板3和覆蓋平板8)旋轉。
[0052]如果因為圓頂的旋轉，中心部11的旋轉到達這樣的程度，即彈簧銷13已經超過旋轉軸4和彈簧銷13之間的最大距離點，那麼開關撥動銷15經由軸16的旋轉通過執行器17的作用旋轉回來。彈簧銷13的彈簧彈力引起中心部11的精確定位以及由此引起下一個測試玻璃元件在已對齊的開口 5、7和9處的精確定心。
[0053]在本實施例中，軸16從真空鍍膜室通過真空通孔向外引導，真空鍍膜室中布置有執行器17。軸16很容易手動移動或者以電機驅動的方式通過真空通孔。
[0054]當然，開關撥動銷15的驅動的另一實施例也包含在該發明中。特別地，開關撥動銷15的樞轉驅動可以具有不同於圖4所示的方向的旋轉軸。
[0055]為了旋轉圓頂，使用提供的並未在圖中示出的旋轉驅動。優選地，圓頂在測試玻璃更換期間比常規鍍膜過程期間旋轉地更慢。特別地，藉助耦合至圓頂的旋轉驅動的角度傳感器，更換過程很容易自動完成。
[0056]前述可替換地，如果圓頂是固定的，也可以使旋轉臂14旋轉。為此，為了使開關撥動銷15在兩個旋轉臂14之間樞轉，開關撥動銷15必須另外機械地旋轉以引導開關撥動銷15使彈簧銷13被引導進入緊鄰的凹口 12。
[0057]由於藉助於彈簧銷13的自定心，根據本發明的測試玻璃更換器I允許測試玻璃元件在鍍膜材料流中和/或在透射測量的光路中精確地定位。與現有技術相比，當基片座固定時更換測試玻璃元件也成為可能。
[0058]對於彈簧銷和中心部的定位，可替換地，如圖6所示，也可以形成執行元件和軸承元件。
[0059]鋼片彈簧20固定在載體平板3上的一端。球狀物25定位於載體平板3和用於測試玻璃元件的底座6之間。載體平板3具有圓形的止動開口 30，其被形成為使球狀物25具有上止動部。通過彈簧彈力，球狀物25被向下壓在底座6上；參照圖6a，其示出更換過程期間未定位的測試玻璃的布置。
[0060]用於測試玻璃元件的底座6具有槽狀凹口 35 (圓角面)，其被布置以使得:如圖6b所示，如果測試玻璃位於測量位置，球狀物25被壓入圓角面35之一。由於對球狀物25的彈簧壓力，保持平板6被止動並固定。對於下次更換，保持平板6通過能夠克服彈簧彈力的旋轉臂繞旋轉軸旋轉。圓角面35留出球狀物25的區域並且保持平板6將球狀物25向上推，如圖6a所示。
[0061]測試玻璃更換的過程如圖7所示。
[0062]旋轉編碼器剛性地耦合而不滑至基片座2 (例如圓頂，平板)的旋轉軸。
[0063]旋轉編碼器每次旋轉都在相同的旋轉角提供一個零脈衝。另外，在旋轉過程中，產生每個旋轉角的固定地限定數量的增量脈衝。優選地使用每次旋轉具有8192個脈衝的旋轉編碼器。這對應每2.6角分一個脈衝的解析度。
[0064]零脈衝經由線路發送到計數器。增量脈衝經由第二線路發送到計數器。計數器通過零脈衝重置並且通過增量脈衝遞增。由此，計數器狀態對應於基片座2的一定的旋轉角。
[0065]當前計數器狀態通過控制單元讀出。由此得知相對於零脈衝的基片座的當前旋轉角。相對於零脈衝的測試玻璃更換器I的位置可以通過校準確定。由此得知旋轉過程中測試玻璃更換器I的當前位置。
[0066]自動的測試玻璃更換過程將在下文中描述。
[0067]基片座2通過驅動旋轉。在預先確定的旋轉角，用於觸發開關撥動銷15的輸出由控制單元引起。選擇用於引起輸出的旋轉角以使開關撥動銷15恰好在更換器I的旋轉臂14通過開關撥動銷15之前樞轉。
[0068]在另一預先確定的旋轉角，用於開關撥動銷15的輸出被重置，以使開關撥動銷再次樞轉回來。選擇這樣的角度以使開關撥動銷15恰好通過兩個凹口 12之間的點；如圖1所示。在球狀物固定件的變型中，選擇角度以使球狀物25恰好進入一個圓角面35，見圖6。由此，更換過程完成。
[0069]可以控制基片座2的驅動旋轉速度。可以根據旋轉角使旋轉速度適應更換過程的任一時刻，從而一方面在最小的機械組件應力下實現安全定位，另一方面儘可能快地完成該過程。之後，旋轉速度可以再次被增加。
[0070]已知的系統實踐中僅僅對具有550mm旋轉平板直徑的小濺射系統可靠地起作用，然而根據本發明的測試玻璃更換器I也可以用於具有1500mm或更大的圓頂直徑的大系統，與小濺射系統相比，大系統具有不精確的結構。另外，根據本發明的測試玻璃更換器I幾乎可以放在基片座2 (圓頂、平板、行星傳動)的任何期望點。為了適應現有系統，僅需要提供由開關撥動銷15、軸16和執行器17組成的開關裝置。
[0071]因此，本發明的原理也適用於不是從內而外鍍膜而是從上面鍍膜的系統。在這種情況下，測試玻璃更換器I旋轉180°，以使覆蓋平板8指向向外或向上布置的鍍膜源，並且載體平板3布置在基片座的下側面。
[0072]除了上面提到的透射測量，測試玻璃元件上的膜特性也可以在反射中測量。在反射測量的情況下，支持平板3可以不形成開口 5。
[0073]參考標記列表
[0074]I 測試玻璃更換器
[0075]2 基片座
[0076]3 載體平板
[0077]3a 覆蓋物
[0078]4 旋轉軸
[0079]5 載體平板3上的開口
[0080]5 』 載體平板3上的開口
[0081]6 底座
[0082]6a 測試玻璃
[0083]7 底座6中的容納開口
[0084]8 覆蓋平板
[0085]9 覆蓋平板8的開口
[0086]10 定心裝置
[0087]11 軸承元件、中心部
[0088]12 凹口
[0089]13 執行元件、彈簧銷
[0090]14 旋轉臂
[0091]15 開關撥動銷
[0092]15a鉸鏈裝置
[0093]16 軸
[0094]17 執行器
[0095]18 彈簧銷底座
[0096]19a、b、c、d、f 螺釘
[0097]20 彈簧
[0098]25 球狀物
[0099]26 執行元件
[0100]30 止動開口
[0101]35 軸承元件、凹口
【權利要求】
1.一種測試玻璃更換器，用於光學測量真空鍍膜系統中的膜特性，其具有能夠移動的基片座(2)以用於引導在通過至少一個鍍膜材料流的路徑上的至少一個基片，具有用於至少一個測試玻璃元件的底座(6)，其剛性地連接至旋轉軸(4)並且能夠相對於所述基片座(2)繞所述旋轉軸(4)旋轉，以及具有控制裝置，其用於一次將一個測試玻璃元件插入光學測量裝置的光路中並插入所述至少一個鍍膜材料流中，其中，所述底座(6)具有至少一個相對於所述軸(4)偏心地偏移的凹槽(7)，並且所述底座(6)相對於所述軸(4)的旋轉運動能夠由所述控制裝置引起，其特徵在於，提供定心裝置(10)，通過所述定心裝置(10)可以對所述底座(6)施加扭轉力矩和保持力矩，以用於將布置在凹槽(7)之一中的測試玻璃元件帶入所述測量裝置的測量位置。
2.根據權利要求1所述的測試玻璃更換器，其特徵在於，所述定心裝置(10)具有至少一個相對於基片座(2)以固定角度布置的執行元件(13、26)以及至少一個相對於旋轉軸(4)以固定角度布置的軸承元件(11、35)，通過彈簧彈力執行元件(13、26)能夠作用於所述軸承元件(11、35)。
3.根據權利要求1-2中之一所述的測試玻璃更換器，其特徵在於，提供相對於所述基片座(2)被固定地布置或者能夠被固定地布置的載體平板(3)，其具有用於所述旋轉軸(4)的通孔以及優選地具有相對於所述旋轉軸(4)偏心地布置的至少一個測量開口(5)，其中，所述底座(6)被布置或者能夠被布置在所述基片座(2)和所述載體平板(3)之間的空隙中。
4.根據權利要求3所述的測試玻璃更換器，其特徵在於，所述軸承元件(11)被形成為剛性地連接至所述旋轉軸(4)的中心部(11)並且具有布置在所述中心部(I)的邊緣的若干凹口(12)，其中，至少所述凹口(12)之一對應於所述凹槽(7)之一，以及所述執行元件(13)被形成為彈簧銷(13)，其布置在所述載體平板(3)上並且能夠通過彈簧彈力經由自由端與所述凹口(12)之一嚙合。
5.根據權利要求3所述的測試玻璃更換器，其特徵在於，所述軸承元件(30)被形成為布置在平板狀底座(6)上的槽狀凹口(35)，其中，所述凹口(35)對應於所述凹槽(7)之一，以及所述執行元件(26)包括球形元件(25)、布置在所述載體平板(3)上的所述球形元件(25)的上止動開口(30)以及彈簧元件(20)，所述球形元件能夠被布置或者被布置在所述平板狀底座(6)和所述載體平板(3)之間，所述彈簧元件(20)布置在所述載體平板(3)上並且作用於所述球形元件(25)，其中，所述球形元件(25)能夠通過彈簧彈力與所述凹口(35)嚙合。
6.根據權利要求1-5中之一所述的測試玻璃更換器，其特徵在於，所述控制裝置包括若干旋轉臂(14)或突出，通過所述旋轉臂(14)或突出能夠對所述旋轉軸(4)施加扭轉力矩，並且具有至少一個開關撥動銷(15)，所述開關撥動銷(15)能夠被移入所述旋轉臂(8)或突出的相應軌道中，其中，所述底座(6)能夠通過所述旋轉臂(14)或突出旋轉一個角距離。
7.根據前述權利要求中之一所述的測試玻璃更換器，其特徵在於，所述底座(6)和所述基片座(2)之間布置了保護裝置，以 使一次僅單獨一個測試玻璃元件暴露於它的鍍膜和測量位置。
8.根據權利要求7所述的測試玻璃更換器，其特徵在於，所述保護裝置被形成為覆蓋平板(8)，其具有能夠與所述測量位置對齊的開口(9)。
9.根據前述權利要求中之一所述的測試玻璃更換器，其特徵在於，至少一個測試玻璃元件被形成為圓形或橢圓形的測試玻璃。
10.根據前述權利要求中之一所述的測試玻璃更換器，其特徵在於，至少一個測試玻璃元件被形成為玻璃環部件。
11.利用根據前述權利要中之一所述的裝置進行測試玻璃更換的方法，其特徵在於，在將布置在所述凹槽(7)之一中的測試玻璃元件帶入所述測量裝置的測量位置之前，通過所述控制裝置引起所述底座(6)的旋轉運動，該旋轉運動將所述測試玻璃元件帶入第一位置，該位置與所述測量位置的角距離小於所述凹槽(7)之間的角距離，並且所述玻璃測試元件隨後通過所述定心裝置(10)被帶入所述測量位置。
【文檔編號】G01B11/06GK103906991SQ201280052829
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2012年6月28日 優先權日:2011年9月2日
【發明者】A·左勒, H·哈格多恩, E·沃斯, W·維因裡希, T·格羅斯 申請人:萊博德光學有限責任公司