超聲電解複合微細加工方法及裝置的製作方法
2023-06-16 15:11:56
專利名稱：超聲電解複合微細加工方法及裝置的製作方法
所屬領域本發明的超聲電解複合微細加工方法及裝置屬於複合微細加工領域。
背景技術：
在微細加工領域，有許多微細加工方法及相應的加工設備。然而，現有微細加工方法在各具優點的同時，亦各有一定的局限性。如微細電火花加工表面層質量、加工精度及效率受到放電機理的制約；雷射加工是熱加工，熱因素對精度影響較大；電子束、離子束加工均需在真空中進行，設備投資成本太高；超聲加工對硬脆性材料異形小孔、溝槽加工有較高的加工精度與效率，但工具有損耗，特別是加工高深度比的零件及在材料面積、韌性較大時，效率、精度顯著降低；電化學加工是以「分子」為單位的加工，比其它特種加工方法更具微精加工機理優勢，具有實現微細加工甚至是nm級加工的研究前景。其中基於電化學陰極沉積的精密微細電鑄技術可製作形狀複雜、精度很高的細小零件，在LIGA技術中已發揮重要作用，但其有材料可鑄性、廢品率較高及效率較低的問題；基於電化學陽極溶解的電解加工由於大電流時的雜散腐蝕作用，精度較難控制，而微電流電解由於鈍化作用，加工過程難以持續。目前有將超聲與電解複合用於大電流密度下的高速大去除量加工，提高了加工過程的穩定性，提高了加工精度與效率，但將二者有機結合用於微加工器件的微細加工方法，國內外目前未見有成功報導。
發明內容
本發明是提供一種超聲電解複合微細加工方法及裝置，將超聲、電解兩種方法有機複合，揚長避短，一方面為克服單純超聲微細加工時工具損耗嚴重及在材料面積、韌性較大時，效率、精度顯著降低的問題，一方面為解決微電流密度下單一電解微細加工過程難以持續的問題，最終達到提高微細加工精度及效率，並保持高的表面質量。
1、一種超聲電解複合微細加工方法，它由以下步驟組成首先要初步加工微細工具陰極外形，將初步加工的工具陰極與製作的變幅杆連接後，進行整體精加工，以保證工具陰極的精加工精度和安裝精度。電解加工時將微加工器件固定在工作檯上，工作檯可以實現X、Y微位移及轉動，同時藉助測量顯微鏡進行精確位置定位。加工過程中，微加工器件與工具陰極之間保持一固定的微壓力。微壓力可在0.10N--1.00N範圍內微細調節。微壓力利用液壓連通器原理產生，微細調節為精密砝碼調節方式。微加工器件與工具陰極間採用靜態方式供給含有微細磨料的鈍化性電解液，即將微加工器件與工具陰極浸入含有微細磨料的鈍化性電解液中進行加工。微加工器件與工具陰極間採用能產生鈍化效應的1-3V微電壓，並可連續調節。在1-3v微電壓的電解作用下，電解電流密度微小，產生鈍化效應，微加工器件表面將產生鈍化膜，阻止電解作用持續進行，防止產生雜散腐蝕。此時，引入超聲振動，超聲波振動驅動裝置驅動變幅杆帶動工具陰極沿軸向產生超聲頻振動，實現電解作用與超聲作用的複合。由超聲波振動產生的液壓衝擊波使電解液及微細磨料產生對微加工器件加工面的拋磨及負壓空化作用，消除電解鈍化膜，並將加工產物及時從加工區排除，同時自動更新電解液，實現持續的超聲電解微細加工。
電解電源可以為獨立的直流電源或獨立的脈衝電源，或與超聲波振動同步協調的脈衝電源。其中與超聲波振動同步協調的脈衝電源，是利用超聲波電源產生的超聲頻交變電信號通過調製電路調製，產生電解直流電壓的斬波信號，使電解直流電壓成為與工具陰極超聲頻振動保持相位有序同步的脈衝電壓。在工具陰極振動與微加工器件振動接近區間加電解脈衝，在振動分離區間為電解脈衝間隔，這可使微細加工過程同產物排除及電解液更新過程交替進行，更有利於改善微細加工精度。
微細組合電加工方法製作陰極包括以下步驟多軸聯動數控加工方法加工變幅杆，初步加工好陰極外形，並精加工完成二者連接螺紋；變幅杆與陰極用精密螺紋連接，再採用微細組合電加工方法進行精加工；在四軸聯動精密電火花工具機上用片狀電極x向、y向聯合進給，配以主軸旋轉或不旋轉微細放電方式，加工出任意截面的微細軸類陰極；微細工具頭中的孔可由製作的微細軸為電極來再次放電加工；直線槽用快或慢走絲線切割方式加工；用組合電加工方式製作出反拷電極塊，再在精密電火花工具機上用微細平動法反拷加工出各種軸截面類陰極。
2、一種超聲電解複合微細加工裝置，包括能夠實現x、y方向微位移及轉動的工作檯，由工具陰極、微加工器件、電解電源及鈍化性電解液組成的電解裝置，由超聲波電源、超聲波換能器、變幅杆組成的超聲波振動驅動裝置。
所述的電解電源為獨立式直流電源或獨立式脈衝電源或與超聲波振動同步協調的脈衝電源，其中與超聲波振動同步協調的脈衝電源是指電解電源與超聲波電源之間有一個調製電路。調製電路包括與超聲波電源連接的電壓幅值調節器，電壓幅值調節器輸出端連接電壓比較電路的輸入端，光電耦合電路輸入端連接電壓比較電路的輸出端，光電耦合電路輸出端連接電解電源內部功率電晶體；電解電源可以利用功率電晶體，還可以利用MOS場效應管實現直流斬波作用，完成直流電壓到脈衝電壓的轉換。
所述的超聲電解複合微細加工裝置還包括一個電解電流測量分析裝置，該裝置由一個將電解電流轉換為電壓信號的串接在工具陰極、微加工器件、電解電源、鈍化性電解液所組成的電解迴路中的電流傳感器、輸入端與電流傳感器相連的數字存儲示波器、與數字存儲示波器輸出端相連的PC微機組成。
所述的超聲電解複合微細加工裝置還包括一個微壓力調節與Z向自動進給測量裝置，該裝置由連通器壓力油箱、與連通器壓力油箱相連的連通器導管、安裝在連通器壓力油箱上端的連通器活塞杆、安裝在連通器活塞杆上的精密微細砝碼以及用於測量工作檯Z向位移的深度測微儀組成。
本發明的有益效果超聲電解複合微細加工，超聲作用主要去除的是電解鈍化膜，磨料粒度可以很微細，硬度不要求很高，可使用nm級微粉，從而可最大限度地減小超聲加工工具損耗，大幅度提高微細加工精度，減小粗糙度。
電解微細加工需採用鈍化性電解液，電解鈍化膜能被控制在局部進行有選擇的蝕除，提高電解加工的定域性。
另外低濃度鈍化性電解液，不具汙染性，且在超聲頻振動、微電流電解作用時採用靜態供液即可，便於實現清潔、綠色製造。
綜上超聲與電解複合微細加工方法在機理上具有獨特的優越性，更適合於微細加工，對微細加工工藝的完善及MEMS微加工器件的加工具有重要意義。
圖1為超聲電解複合微細加工裝置示意圖。其中標號意義如下1-變幅杆、2-工具陰極、3-鈍化性電解液、4-微加工器件、5-工作檯、6-連通器密封圈、7-裝置底座、8-縱向工作檯、9-橫向工作檯、10-深度測微儀、11-精密微細砝碼、12-連通器活塞杆、13-連通器壓力油箱、14-連通器導管、15-電解電源、16-功率電晶體、17-調製電路、18-超聲波電源、19-超聲波換能器、20-電流傳感器、21-數字存儲示波器、22-PC微機。
圖2為超聲系統組成框圖。
圖3為調製電路原理圖。圖3中符號名稱TU-電壓幅值調節器、IC-電壓比較器、M-光電耦合器。
具體實施例方式
圖1是本發明的一種超聲電解複合微細加工裝置示意圖。包括電解裝置、超聲波振動驅動裝置、工作檯、微壓力調節與Z向自動進給及測量裝置、電解電流測量分析裝置。
電解裝置由工具陰極2、電解電源15、微加工器件4及鈍化性電解液3組成。其中，鈍化性電解液3充滿在工具陰極2與微加工器件4之間，含有微細磨料。電解電源15負極與工具陰極2相連，正極與微加工器件4相連。微加工器件4固定在工作檯5上。工作檯5可以實現X、Y微位移移動及轉動，並藉助測量顯微鏡進行精確位置定位。
微壓力調節與Z向自動進給測量裝置由連通器壓力油箱13、與連通器壓力油箱13相連的連通器導管14、與連通器壓力油箱13上端相連的連通器活塞杆12、安裝在連通器活塞杆12上的精密微細砝碼11以及用於測量工作檯5的Z向位移的深度測微儀10組成。工具陰極2與微加工器件4之間微壓力可通過精密微細砝碼11實現精確微細調節。加工開始後，隨著加工深度增加，工作檯5在液壓力作用下自動向上進給，保持微加工器件4與工具陰極2之間恆定的微壓力。工具陰極2與微加工器件4之間的間隙隨超聲頻振動作周期性變化，微加工器件4加工深度由深度測微儀10給出。
電解電流測量分析裝置由一個將電解電流轉換為電壓信號的電流傳感器20、數字存儲示波器21、PC微機22組成的。加工中數字存儲示波器21，將電壓信號通過串行口傳送到PC微機22便於中測量、顯示、存儲，以便對加工過程進行進一步優化分析，進行參數優選控制。
電解電源15為獨立式直流電源或獨立式脈衝電源或與超聲波振動同步協調的脈衝電源。其中與超聲波振動同步協調的脈衝電源是指電解電源15與超聲波電源18之間有一個調製電路17。工作原理是調製電路17將超聲波電源18產生的超聲頻交變電信號轉換為電解直流電源的斬波信號，使電解直流電壓成為與工具陰極2超聲頻振動保持相位有序同步的脈衝電壓，當工具陰極2振動與微加工器件4接近區間加電解脈衝，振動分開區間為電解脈衝間隔，使微細加工過程同產物排除及電解液更新過程交替進行，更有利於改善微細加工精度。
根據圖1和圖2，可知超聲波振動驅動裝置由由超聲波電源18、超聲波換能器19、變幅杆1所組成。工作時，工具陰極2沿軸向產生超聲頻振動。超聲波振動驅動裝置是具有自動頻率跟蹤的正反饋放大器，利用電子管工作的不穩定性產生原始工作信號，通過L、C選頻迴路，選出有用信號，由電子管G2激勵放大，其信號頻率為換能器的工作頻率，電子管G3、G4組成推挽功率放大器，調諧指示器可調節指示輸入功率，磁化電源提供換能器直流電流，以消除超聲振動倍頻現象。超聲波換能器19採用磁致伸縮式鎳材振子，機械強度高、性能穩定，利用其磁致伸縮效應將電能轉變成超聲頻機械振動，經變幅杆放大，傳到工具頭端面進行超聲加工。調節激振電容，將振動頻率調至系統共振點，可得到最大振幅。本系統功率可在5-250W之間在線連續調整。
圖3為調製電路原理圖。調製電路包括與超聲波電源連接的電壓幅值調節器TU，電壓幅值調節器TU輸出端連接電壓比較電路的輸入端，光電耦合電路輸入端連接電壓比較電路的輸出端，光電耦合電路輸出端連接電解電源內部功率電晶體。
調製電路將超聲波電源產生的交變電信號通過電壓幅值調節器將高電壓轉變成低電壓信號後，接入電壓比較電路的比較輸入端，R3、R2大小決定比較基準電壓，比較輸出結果決定是否產生光電耦合作用。
當超聲頻電信號通過電壓幅值調節器與比較器標準電壓相比較，當結果大於標準設定值時，比較器將輸出高電位，光電二極體發光，產生光電耦合作用，光敏三極體導通，電解電源內部的功率電晶體飽和導通導致電解迴路閉合，產生電解作用，而此時超聲頻電信號為高電平，變幅杆與陰極振動為接近區間，即在振動接近處產生電解作用。
反之超聲頻電信號通過電壓幅值調節器與比較器標準電壓相比較，當結果小於標準設定值時，比較器將輸出低電位，光電二極體不發光，不產生光電耦合作用，光敏三極體不導通，電解電源內部的功率電晶體截止導致電解迴路斷開，電解作用處於間歇區，此時超聲頻電信號為低電平，變幅杆與陰極振動在回退區間，進行產物排除與電解液的循環更新。
綜上此調製迴路能實現超聲振動與電解作用的協調同步，有利於改善加工過程，提高加工精度與表面質量。
注這裡的電壓比較器可選用高速集成電壓比較器J630，以避免波形滯後。下面舉三個實施例例一φ0.20mm微細軸陰極在YT硬質合金上加工微細孔加工過程首先進行陰極製作採用多軸聯動數控加工方法加工變幅杆，初步加工好工具陰極外形，並精加工完成二者連接螺紋，用蓖麻油耦合；變幅杆與陰極用精密螺紋連接後，再採用微細組合電加工方法進行精加工；在四軸聯動精密電火花工具機上用片狀電極x向、y向聯合進給，配以主軸旋轉微細放電方式，可加工出軸向無錐度的φ0.20mm微細軸陰極。
將YT硬質合金材料用雙面膠固接於與裝置絕緣的微工作檯上，將精加後的微細陰極與變幅杆用螺紋連接在換能器末端，接合面之間用濃度高的蓖蔴油耦合，以減少超聲能量損失。用陰極試加工方法，通過可移位測量顯微鏡來標定微加工器件與陰極之間的位置，通過縱、橫及旋轉工作檯找正陰極與加工點的位置。選擇靜壓力0.10N，、超聲功率約50W、脈衝電源電壓1V、頻率5000Hz、佔空比3∶7、磨料400#碳化矽，加工開始前在加工充分注入濃度約20％磨料懸浮液；電解液為5％的硝酸鈉水溶液。加工開始前，先打開超聲機電源，功率調節到設定值，頻率調至共振點，示波器記錄約20.80KHz；準備工作完成，關閉液壓油連通器空氣開關，工作檯將自動上升與陰極保持恆定的接觸壓力；加工開始，工作檯將隨加工深度增加而上升。
實際加工計時1分鐘後，小孔深度達到0.09mm，實測平均直徑為φ0.223mm尺寸精度可穩定達±0.02mm，圓度精度可達±0.002mm，表面粗糙度Ra0.10μm，電極損耗率＜5％。
其它條件相同，採用單一超聲加工，加工1分鐘後，小孔深度只達到0.05mm，尺寸精度可達±0.03mm，圓度精度可達±0.003mm，電極損耗率＞13％。
採用直流1V加工，其它條件相同，1分鐘後，小孔深度可達到0.18mm，尺寸精度可穩定達±0.03mm，圓度精度可達±0.002mm，電極損耗率＜8％.
綜上分析採用直流1V加工可達到最好的加工效率；採用脈衝電壓可有效提高尺寸精度、圓度精度並減小電極損耗率，但加工效率沒有直流好。單一超聲加工實際效果較差。
通過對示波器檢測的PC機記錄的電流信號分析，脈衝加工電化學電流信號為5000HZ，表明每個脈衝持續期間，電解作用一次，加工與間隔過程交替進行，有利於改善加工過程，提高精度。
實例二用有φ0.60mm內孔的φ3.0mm圓柱陰極在YG硬質合金上套料加工微細軸同上，加工過程首先進行陰極製作，採用多軸聯動數控加工方法加工變幅杆，初步加工好工具陰極外形，並精加工完成二者連接螺紋後，變幅杆與陰極連接後，在四軸聯動精密電火花工具機上用片狀電極x向、y向聯合進給，配以主軸旋轉微細放電方式，可加工出無錐度的φ3.0mm微細軸陰極；陰極端部的φ0.60mm內孔可由製作的略小於φ0.60mm微細軸為電極來再次放電加工；採用直流電壓2V、磨料1600#碳化矽；靜壓力0.80N；磨料懸浮液濃度20％；電解液為4％的硝酸鈉水溶液，在硬質合金YG15上用帶φ0.60mm內孔的φ3.0mm圓柱陰極進行超聲電解複合套料加工，操作步驟與上述加工方式一相同。
加工10分鐘後得到的小圓軸平均直徑為φ0.585mm，長約1.85mm，尺寸精度達到±0.015mm，實測小軸的圓度精度可穩定達到±0.002mm，表面粗糙度Ra0.08μm，而電極損耗率＜5％。
由上分析，電解電壓在1V基礎上增加為2V，電解作用增強，磨料可選擇愈細，加工精度愈高，而對加工效率影響不大。這與一般超聲加工不同，根本原因是由於加工機理不同而造成的。表面粗糙度值亦略有改善。
通過對示波器檢測、PC機記錄的電流信號分析，電流信號為脈動信號，周期為20.830KHz，與超聲振動共振頻率對應，這表明電化學作用與超聲振動頻率相同，接近區電流增大，分離區電流下降。
實例三 用寬0.2×0.4mm的十字槽在硬質合金材料上加工十字筋立方體結構同理加工過程首先進行陰極製作採用多軸聯動數控加工方法加工變幅杆，初步加工好工具陰極外形，並精加工完成二者連接螺紋；變幅杆與陰極用螺紋連接後，再採用微細組合電加工方法進行精加工；在四軸聯動精密電火花工具機上用片狀電極x向、y向聯合進給，配以主軸旋轉微細放電方式，可加工出軸向無錐度的φ3.0mm微細軸陰極，寬0.2×0.4mm十字筋採用慢走絲線切割方式精確加工而成。
採用幅值3V、頻率5000HZ，佔空比50％的脈衝電壓，磨料1600#碳化矽；靜壓力1.00N；磨料懸浮液濃度20％；電解液為3％的硝酸鈉水溶液，在硬質合金YT8上用帶內十字槽寬0.2×0.4mm直徑φ3.0mm圓柱電極進行超聲電解複合套料加工，操作步驟與上述加工方式一相同。
加工10分鐘後，加工十字筋深度達長約2.20mm，十字筋窄端0.1843mm，加工尺寸精度達到±0.015mm，實測十字筋窄端寬度精度可穩定達到±0.002mm，表面粗糙度Ra0.10μm，而電極損耗率＜8％。
綜上實例分析本發明構造的超聲電解複合微細加工裝置經過一系列工藝試驗驗證，工作穩定、可靠，試驗結果重複性好。超聲複合微電流電解工藝在保持電解高效率的基礎上，具有超聲加工較理想的精度，實測加工件的形狀精度很高，如加工的小孔、軸圓度，凸臺尺寸寬度精度可達0.002-0.003mm；同時隨著電壓在1-3V範圍內增大，電解作用增強，超聲磨料粒度可選擇更微細，可使電極損耗大大減小，這對批量生產及加工精度的進一步提高具有重要意義。
還可以用組合電加工方式製作出反拷電極塊，再在精密電火花工具機上用微細平動法反拷加工出各種軸截面類陰極。
要擴大、深入研究超聲電解複合微細加工在微加工器件製作中的應用，還需進一步完善微細加工裝置，採用更細粒度磨粉(nm級或不用磨料)進行更微細的加工試驗，最大限度減小超聲磨料對加工件尺寸精度的影響，最大限度地減小電極損耗，進行精度要求更高、結構更微細的微加工器件的加工試驗。
超聲電解複合微細加工的現有研究已展示了其工藝優勢及進一步的研究前景，相信通過不斷完善，該技術有望成為一種效率高、精度好，經濟性佳的微細加工新工藝，在MEMS微加工器件製造中發揮重要作用。
權利要求
1.一種超聲電解複合微細加工方法，其特徵在於(1)、微細組合電加工方法製作陰極；(2)、加工過程中，微器件與陰極之間保持恆定大小的微壓力，微壓力在0.10N-1.00N範圍內微細調節；(3)、微器件固定在工作檯上，工作檯可實現x，y微位移及轉動，同時藉助測量顯微鏡進行精確位置定位；(4)、微器件與陰極間採用靜態方式供給含有微細磨料的鈍化性電解液，即將微器件與陰極浸入電解液中，在微電壓的電解作用下微器件表面產生阻止電解作用持續進行的鈍化膜，而超聲振動衝擊波使電解液產生對微器件加工面的拋磨及負壓空化作用，消除電解鈍化膜並將加工產物及時從加工區排除，同時自動更新電解液，實現持續的超聲電解微細加工；(5)、微器件與陰極間採用能產生鈍化效應的1-3V微電壓，並可連續調節；(6)、超聲裝置驅動陰極沿軸向產生超聲頻振動，超聲作用與電解作用相互複合，實現微器件的超聲電解複合微細加工；(7)、電解電源為獨立的直流電源或獨立的脈衝電源或與超聲波振動同步協調的脈衝電源，其中與超聲波振動同步協調的脈衝電源是利用超聲波電源產生的超聲頻交變電信號通過調製電路調製，產生電解直流電壓的斬波信號，使電解直流電壓與陰極超聲頻振動保持相位有序同步，在陰極振動與微器件接近區間加電解脈衝，在振動分開區間為電解脈衝間隔，使微細加工過程同產物排除及電解液更新過程交替進行，更有利於改善微細加工精度。
2.根據權利要求1所述的超聲電解複合微細加工方法，其特徵在於所述微細組合電加工方法製作陰極包括以下步驟(1)、多軸聯動數控加工方法加工變幅杆，初步加工好陰極外形，並精加工完成二者連接螺紋；(2)、變幅杆與陰極用精密螺紋連接，再採用微細組合電加工方法進行精加工；在四軸聯動精密電火花工具機上用片狀電極x向、y向聯合進給，配以主軸旋轉或不旋轉微細放電方式，加工出任意截面的微細軸類陰極；微細陰極頭中的孔可由製作的微細軸為電極來再次放電加工；直線槽用快或慢走絲線切割方式加工；用組合電加工方式製作出反拷電極塊，再在精密電火花工具機上用微細平動法反拷加工出各種軸截面類陰極。
3.根據權利要求1所述的超聲電解複合微細加工方法，其特徵在於(1)、所述的微器件與陰極之間保持的微壓力是利用液壓連通原理產生的；(2)、所述的微壓力微細調節採用精密砝碼調節方式。
4.一種超聲電解複合微細加工裝置，包括能夠實現x、y方向微位移及轉動的工作檯(5)，由工具陰極(2)、微加工器件(4)、電解電源(15)及鈍化性電解液(3)組成電解裝置，由超聲波電源(18)、超聲波換能器(19)、變幅杆(1)組成的超聲波振動驅動裝置，其特徵是(1)、所述的電解電源(15)為獨立式直流電源或獨立式脈衝電源或與超聲波振動同步協調的脈衝電源，其中與超聲波振動同步協調的脈衝電源是指電解電源(15)與超聲波電源(18)之間串接一個調製電路(17)，調製電路(17)包括與超聲波電源(18)連接的電壓幅值調節器(TU)，電壓幅值調節器(TU)輸出端連接電壓比較電路的輸入端，光電耦合電路輸入端連接電壓比較電路的輸出端，光電耦合電路輸出端連接電解電源(15)內部功率電晶體(16)；(2)、所述的超聲電解複合微細加工裝置還包括一個電解電流測量分析裝置，該裝置由一個將加工過程電流轉換為電壓信號的串接在工具陰極(2)、微加工器件(4)、電解電源(15)、鈍化性電解液(3)所組成的電解迴路中的電流傳感器(20)，輸入端與電流傳感器(20)相連的數字存儲示波器(21)，與數字存儲示波器(21)輸出端相連的PC微機(22)組成；(3)、所述的超聲電解複合微細加工裝置還包括一個微壓力調節與Z向自動進給測量裝置，該裝置由連通器壓力油箱(13)、與連通器壓力油箱(13)相連的連通器導管(14)、安裝在連通器壓力油箱(13)上端的連通器活塞杆(12)、安裝在連通器活塞杆(12)上的精密微細砝碼(11)以及用於測量工作檯(5)Z向位移的深度測微儀(10)組成。
全文摘要
一種超聲電解複合微細加工方法及裝置，屬於複合微細加工領域。它將超聲、電解兩種加工方法有機複合，完成微器件加工，即將微器件與陰極浸入含有微細磨料的鈍化性電解液中，因微電壓電解使微器件表面生成鈍化膜，阻止電解作用持續進行。而超聲振動衝擊波使電解液及磨料產生對加工面的拋磨及負壓空化作用，消除電解鈍化膜並將加工產物及時從加工區排除，使得電解加工持續進行。通過調製方式還可使電解電壓與陰極振動相位有序同步，實現加工過程與產物排除及電解液更新交替進行。裝置中包括電解裝置、超聲波振動驅動裝置、工作檯、微壓力調節與Z向自動進給測量裝置、電解電流測量分析裝置。本方法具有精度、效率高、成本低及表面質量好的優點。
文檔編號B23H5/10GK1824444SQ20061003790
公開日2006年8月30日 申請日期2006年1月20日 優先權日2006年1月20日
發明者朱永偉, 雲乃彰, 沈茂松, 陳安駿, 吳冰潔 申請人:南京航空航天大學