一種lcd曝光機吸附平臺升降緩動裝置的製作方法

2023-10-09 15:40:24

專利名稱：一種lcd曝光機吸附平臺升降緩動裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及曝光機領域，更具體地說，涉及一種曝光機吸附平臺升降緩動裝置。
技術背景目前，傳統的曝光機在工作過程中，其吸附平臺在與光罩玻璃接觸後容易使光罩玻璃 產生變形，因此會影響曝光質量。如何解決上述問題，成為亟待解決的問題。 實用新型內容本實用新型在於提供一種結構簡單、曝光效果好的LCD曝光機吸附平臺升降緩動裝置。為實現上述目的，本實用新型採用了以下技術方案一種LCD曝光機吸附平臺升降緩動裝置，包括吸附平臺，在所述吸附平臺上方有一光 罩玻璃，在所述吸附平臺下方有一固定座板，其特徵在於還包括位於固定座板下方的氣 缸座板，該固定座板通過多個軸與所述氣缸座板連接，在所述固定座板和氣缸座板之間設 有一軸承座板，該軸承座板是套設在所述軸上，該軸承座板通過一連接件與所述吸附平臺 連接，在所述氣缸座板上固定有平衡緩衝氣缸和升降氣缸，所述軸承座板與一拉回法蘭活 動連接，該拉回法蘭與升降氣缸的活塞杆緊配，所述平衡緩衝氣缸的平衡活塞杆與軸承座 板配合的一端設有彈簧，該彈簧與所述軸承座板緊配。所述平衡緩衝氣缸與一消音器連接。所述平衡緩衝氣缸和升降氣缸都設有電磁閥。本實用新型由於採用了上述結構，在固定座板和氣缸座板之間設有一軸承座板，軸承 座板套設在軸上，軸承座板通過一連接件與吸附平臺連接，在氣缸座板上固定有平衡緩衝 氣缸和升降氣缸，軸承座板與一拉回法蘭活動連接，拉回法蘭與升降氣缸的活塞杆緊配， 平衡緩衝氣缸的平衡活塞杆與軸承座板配合的一端設有彈簧，彈簧與所述軸承座板緊配， 故與傳統技術相比，本實用新型通過採用平衡緩衝氣缸、升降氣缸和一彈簧控制吸附平臺 的上升和下降，使吸附平臺與光罩玻璃緊密接觸，又能夠防止玻璃發生變形，故本實用新 型使用壽命長、曝光效果好；另外，本實用新型結構簡單。


以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細的說明。圖1為的本實用新型一種LCD曝光機吸附平臺升降緩動裝置的結構示意圖。
具體實施方式
如圖1所示，它是本實用新型的結構示意圖。一種LCD曝光機吸附平臺升降緩動裝置， 包括吸附平臺2，在所述吸附平臺2上方有一光罩玻璃1，在所述吸附平臺2下方有一固 定座板3。在本技術方案中，本實用新型還包括位於固定座板3下方的氣缸座板5，該固 定座板3通過多個軸11與所述氣缸座板5連接，在所述固定座板3和氣缸座板5之間設 有一軸承座板4，該軸承座板4是套設在所述軸11上，因此軸承座板4可以在沿著軸11 在固定座板3和氣缸座板5之間上下升降，在該軸承座板4通過一連接件12與所述吸附 平臺2連接，在所述氣缸座板5上固定有平衡緩衝氣缸6和升降氣缸8，所述軸承座板4 與一拉回法蘭9活動連接，該拉回法蘭9與升降氣缸8的活塞杆81緊配，所述平衡緩衝 氣缸6的平衡活塞杆61與軸承座板4配合的一端設有彈簧7,該彈簧7與所述軸承座板4 緊配。所述平衡緩衝氣缸6與一消音器10連接，消音器10用於消除平衡緩衝氣缸工作中 產生的噪音。平衡緩衝氣缸6和升降氣缸8都設有電磁閥13，通過電磁閥13來控制平衡 緩衝氣缸6和升降氣缸8的工作。本實用新型使用時，通過控制電磁閥13作用使升降氣缸8工作，此時在拉回法蘭9 與活塞杆81的配合作用下使軸承座板4向上升，由於軸承座板4與吸附平臺2連接在一 起，因此吸附平臺2開始向上升，在吸附平臺4靠近光罩玻璃1的時，平衡緩衝氣缸6 工作，此時，平衡緩衝氣缸6藉助彈簧7的緩衝作用，使吸附平臺4與光罩玻璃1緊密貼 合，防止了光罩玻璃l的變形，最好，本實用新型再通過升降氣缸8的作用，使吸附平臺 2下降，離開光罩玻璃l。總之，本實用新型雖然例舉了上述優選實施方式，但是應該說明，顯然本領域的技術 人員可以進行各種變化和改型。因此，除非這樣的變化和改型偏離了本實用新型的範圍， 否則都應該包括在本實用新型的保護範圍之內。
權利要求1、一種LCD曝光機吸附平臺升降緩動裝置，包括吸附平臺(2)，在所述吸附平臺(2)上方有一光罩玻璃(1)，在所述吸附平臺(2)下方有一固定座板(3)，其特徵在於還包括位於固定座板(3)下方的氣缸座板(5)，該固定座板(3)通過多個軸(11)與所述氣缸座板(5)連接，在所述固定座板(3)和氣缸座板(5)之間設有一軸承座板(4)，該軸承座板(4)是套設在所述軸(11)上，該軸承座板(4)通過一連接件(12)與所述吸附平臺(2)連接，在所述氣缸座板(5)上固定有平衡緩衝氣缸(6)和升降氣缸(8)，所述軸承座板(4)與一拉回法蘭(9)活動連接，該拉回法蘭(9)與升降氣缸(8)的活塞杆(81)緊配，所述平衡緩衝氣缸(6)的平衡活塞杆(61)與軸承座板(4)配合的一端設有彈簧(7)，該彈簧(7)與所述軸承座板(4)緊配。
2、 根據權利要求1所述的吸附平臺升降緩動裝置，其特徵在於所述平衡緩衝氣缸 (6)與一消音器(10)連接。
3、 根據權利要求1所述的吸附平臺升降緩動裝置，其特徵在於所述平衡緩衝氣缸 (6)和升降氣缸(8)都設有電磁閥(13)。
專利摘要本實用新型公開了一種LCD曝光機吸附平臺升降緩動裝置，包括吸附平臺，在吸附平臺上方有一光罩玻璃，在吸附平臺下方有一固定座板，其特徵在於還包括位於固定座板下方的氣缸座板，該固定座板通過多個軸與氣缸座板連接，在固定座板和氣缸座板之間設有一軸承座板，該軸承座板是套設在所述軸上，該軸承座板通過一連接件與吸附平臺連接，在氣缸座板上固定有平衡緩衝氣缸和升降氣缸，軸承座板與一拉回法蘭活動連接，拉回法蘭與升降氣缸的活塞杆緊配，平衡緩衝氣缸的平衡活塞杆與軸承座板配合的一端設有彈簧，彈簧與軸承座板緊配。由於採用了上述結構，故本實用新型結構簡單、使用壽命長、曝光效果好。
文檔編號G03F7/20GK201107545SQ20072005978
公開日2008年8月27日 申請日期2007年11月20日 優先權日2007年11月20日
發明者張光輝 申請人:志聖科技(廣州)有限公司