顯示設備面板及其製造方法
2023-09-16 04:42:40 3
專利名稱：顯示設備面板及其製造方法
技術領域：
平板顯示器，如有機電致發光顯示器(「OLED」)、等離子體顯示面板(「PDP」)和液晶顯示器(「LCD」)，正在普及。
PDP設備利用氣體放電所產生的等離子體，來顯示圖像。OLED設備通過向特定發光或高分子施加電場，來顯示圖像。LCD設備通過向位於兩個面板之間的液晶層施加電場並調節電場強度以調節通過液晶層的光透射率，來顯示圖像。
在上述平板顯示器中，LCD和OLED顯示器的每一種都包括多個具有開關元件的像素、具有柵極線和數據線的顯示信號線、以及代表顏色的濾色器。OLED也可包括有機發光層，而不是濾色器。
近來，諸如噴墨印刷的多種工藝得到發展，用於形成濾色器和有機發光層，並正在代替照相平板印刷術。
噴墨印刷包括將光阻元件如黑色基體沉積在絕緣襯底上，通過曝光並顯影光阻元件，來形成與像素相對應的開口，以及將用於濾色器的墨沉積到開口中。在噴墨印刷過程中，因為塗敷、曝光和顯影等不是必需的，因此可以減小製造成本，並且可以通過除去它們來簡化製造工藝。
用於濾色器的墨是包括顏料、溶劑和分散劑的液相合成物。難以將期望數量的墨沉積到細微或小開口中。難以計算到期望沉積點的距離，來沉積墨。當沉積墨時，墨在開口內自由地擴散，使得難以確定誤對準(misalignment)。因此，當不精確地沉積墨時，墨在相鄰濾色器(colorfilter)之間擴散，這會降低顯示設備的圖像質量。
發明內容
本發明的目的是解決常規技術的問題。
本發明的附加特徵將在以下描述中被闡述，並且將部分地從以下描述而變得顯而易見，或者可以通過本發明的實行而被了解。
本發明公開了一種顯示設備面板，包括襯底；被形成在襯底上、並具有多個開口的側壁元件；被形成到多個開口中的多個濾色器；以及至少一個檢查圖案，用於檢查濾色器的誤對準。
本發明也公開了一種製造顯示設備面板的方法，包括將墨沉積到檢查圖案中；檢查檢查圖案中的被沉積墨的位置；調節襯底或噴墨印刷設備頭的位置，以使被沉積墨的中心與檢查圖案的中心點對準；以及將墨沉積到開口中。
本發明也公開了一種顯示設備面板，包括襯底；被設置在襯底上、並包括多個開口的側壁元件；分別被設置在多個開口中、並代表顏色的多個有機光發射器；以及檢查圖案，用於檢查有機光發射器的誤對準。
應該理解，上述一般描述和以下詳細描述都是示範性和說明性的，並用於提供對如所聲稱的本發明的進一步說明。
被包括進來以提供對本發明的進一步理解、並被引入作為該說明書組成部分的附圖顯示了本發明的實施例，並和以下描述一起用於說明本發明原理。
圖1是根據本發明實施例的面板的頂視圖。
圖2是在根據本發明實施例的面板上形成的檢查圖案的頂視圖。
圖3是根據本發明實施例、上面被沉積墨滴的檢查圖案的頂視圖。
圖4是在根據本發明另一實施例的面板上形成的濾色器和對準圖案的頂視圖。
圖5是在製造根據本發明實施例的面板期間所使用的噴墨印刷設備的透視圖。
圖6是根據本發明實施例的噴墨印刷設備的頭的頂視圖。
圖7顯示了，在製造圖4所示的面板期間、在形成濾色器之前利用對準圖案來對準頭的過程。
圖8A、8B、8C和8D每一幅圖都顯示了，在製造圖4所示的面板期間、在對準圖案中出現的誤對準形狀的例子。
圖9是具有根據本發明實施例的面板的LCD的斷面圖。
圖10是根據本發明實施例的OLED TFT陣列面板的布局圖。
圖11和12是沿著XII-XII』線取的圖10所示TFT陣列面板的斷面圖。
具體實施例方式
以下參考其中顯示了本發明優選實施例的附圖，來更完整地描述本發明。然而，可以用多種不同的形式來體現本發明，並且本發明不應被認為限於在此闡述的實施例。
在附圖中，為清楚起見，層的厚度和區域被放大了。在所有附圖中，相同的附圖表示指的是相同的元件。應該理解，當諸如層、膜、區域、襯底或面板的元件被稱為「在另一個元件上」時，那個元件可能直接在另一個元件上、或者可能存在介入元件。然而，當某一元件被稱為「直接在另一個元件上」時，不存在介入元件。
以下參考附圖來說明根據本發明實施例的顯示設備面板及其製造方法。
圖1是根據本發明實施例的面板的頂視圖。圖2是在根據本發明實施例的面板上形成的檢查(對準)圖案的頂視圖。圖3是根據本發明實施例、上面被沉積墨滴的檢查(對準)圖案的頂視圖。
參考圖1，顯示設備面板包括絕緣襯底210；光阻元件(lightblocking member)220，其被設置例如被形成在絕緣襯底210上、並具有與像素相對應的開口；以及多個濾色器230，其被形成在光阻元件220的多個開口中。例如，濾色器230可以代表包括紅、綠、藍的三基色之一。光阻元件220防止或大大減少相鄰像素之間的光洩漏，以提高亮度，並且當製造面板時也起側壁的作用，以便收容或容納用於濾色器的墨。
可以通過以下方法來形成光阻元件220利用真空沉積工藝在襯底210上形成諸如Cr的金屬膜，在金屬膜上塗上光致抗蝕樹脂，利用照相平板印刷術過程對光致抗蝕樹脂構圖(patterning)，以及通過將光致抗蝕樹脂用作掩模來蝕刻Cr。作為選擇，可以通過將高分子量樹脂液體沉積到襯底210上，並進行旋塗，或者通過其它方法，來形成光阻元件220。
當製造濾色器230時，在濾色器230的沉積區的外面或周圍的區，例如在光阻元件220的邊緣部分，形成檢查(或對準)圖案240，以便精確地檢查墨沉積位置。在圖1中，檢查圖案240被顯示為具有基本上類似圓形形狀的開口，然而，檢查圖案可以由各種形狀形成。各個檢查圖案240可以具有基本上在水平方向和/或垂直方向上突出或延伸的突出部分。
檢查圖案240的中心點A被設置為沿著與濾色器230的中心點B相同的線。檢查圖案240的中心點A以及沿同一行沉積的所有濾色器230中心點B，沿著I-I』線被沉積，如圖1所示。如果各個中心點A和B不是沿I-I』線被沉積的，則可能不能精確地沉積用於濾色器230的墨，這會降低利用檢查圖案240執行的對準檢查的可靠性。
可以將至少一個檢查圖案240設置為沿著光阻元件220的邊緣部分，並且可以將至少一個檢查圖案240設置在光阻元件220的外面或周圍的區上。可以通過計算，來確定用於沉積的供墨噴嘴(未顯示)之間的間隔以及濾色器230之間的間隔。從而，當通過一個檢查圖案240來精確檢測墨沉積位置，並根據檢測結果來定義供墨噴嘴的位置時，可以將墨沉積到光阻元件220的開口中。可以有多個檢查圖案240，以提高檢查精度。另外，可以為具有同色的每一濾色器行或列，提供檢查圖案240。
可以根據供墨設備或墨沉積方式，以各種方式形成檢查圖案240。
各個檢查圖案的內部尺寸可以不同；然而，其尺寸優選地大於墨擴散區的尺寸。
當光阻元件220包括有機高分子化合物時，可以通過僅僅曝光並顯影正型或負型光阻元件220，來形成檢查圖案240。然而，當光阻元件220由無機材料組成時，在沉積單獨的光致抗蝕劑膜之後，可以通過曝光、顯影和蝕刻，在光阻元件2220上形成檢查圖案240。
如圖2所示，每個檢查圖案240都可以包括在噴墨方向上形成的第一對準線240a，以及在中心點A與第一對準線240a正交的第二對準線240b。例如，第一對準線240a和第二對準線24b可以相交，並形成類似t的形狀。檢查圖案240的突出部分沿著第一對準線240a和第二對準線240b的每一個對準線被沉積。突出部分用於指導上下和左右位置關係，使得可以更容易地確定墨沉積狀態。對準線240a和240b包括多個對準分度240c。根據對準線240a和240b來計算墨沉積位置，以便檢查或定位被沉積墨的誤對準。因此，供墨噴嘴(未顯示)的精確位置調節是可能的。應該理解，第一對準線240a和第二對準線240b可以由各種形狀形成。
例如，可以與檢查圖案240同時地對第一對準線240a和第二對準線240b構圖，或者可以在形成檢查圖案240之後對第一對準線240a和第二對準線240b構圖。為簡化製造過程，優選地同時形成對準線240a和240b以及檢查圖案240。
第一對準線240a和第二對準線240b可以具有浮雕圖案或凹雕圖案。對準線240a和240b的表面高度可以與光阻元件220的表面高度相等，以防止被沉積墨的自由流動。
以下參考圖3來說明根據本發明實施例的濾色器形成方法。
使附有噴墨印刷設備供墨噴嘴的頭，在具有光阻元件220和多個檢查圖案240的襯底210上對準。噴墨印刷設備通過供墨噴嘴，將墨滴235沉積到每個檢查圖案240中。
然後，噴墨印刷設備參考檢查圖案240來檢測被沉積墨235的位置，調節頭或供墨噴嘴位置，以使被沉積墨235的中心點C與檢查圖案240的中心點A對準，由此定義參考墨沉積位置。噴墨印刷設備根據該參考墨沉積位置，將墨235沉積到沿著與檢查圖案240相同的延長線形成的光阻元件220開口中。光阻元件220(參考圖1)的開口是通過曝光和顯影形成的，以接收被沉積墨235。在固化操作之後，被沉積墨235變成濾色器。
噴墨印刷設備可以將墨同時沉積到所有檢查圖案240中，或者可以將墨同時沉積到與相同顏色相對應的檢查圖案中。可以每種顏色形成一個檢查圖案240。
檢查圖案240的數量及其排列方式可以隨濾色器230的排列而變。
以下參考圖4來說明根據本發明實施例的濾色器和檢查圖案。
圖4是在根據本發明實施例的面板上形成的濾色器和對準圖案的頂視圖。
參考圖4所示的實施例，顯示設備面板200的結構基本上與圖1至圖3所示的顯示面板相同。面板200包括具有與像素相對應的開口、並被形成在絕緣襯底210上的光阻元件220；被形成在開口上的多個濾色器230；以及被形成在濾色器230外面或周圍的襯底210部分上的多個檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』。
與圖1、圖2和圖3所示的實施例不同，濾色器230、例如紅、綠、藍三基色濾色器230，優選地在基本上垂直的方向上被順序地布置在顯示面板200上。如圖4所示，檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』被布置在位於濾色器230外面並靠近襯底210外圍的光阻元件220外部區上。
檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』被布置在相對於光阻元件220的襯底210兩側，且靠近基本上在水平方向同一行上排列的開口的延長線。檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』的基本水平中心線與濾色器230的中心線相同。可以相對於一行濾色器形成各個檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』，並且這些檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』可以包括相對於紅濾色器(red color filter)的檢查圖案240R和240R』、相對於綠濾色器(green color filter)的檢查圖案240G和240G』、以及相對於藍濾色器(blue color filter)的檢查圖案240B和240B』。因為各個檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』都大於濾色器230，例如大至少大約1.5倍，因此各個檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』依次被布置在彼此之上，並且相同顏色的檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』的中心線基本上在垂直方向上。
濾色器230的形狀以及檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』的形狀或數量可以變化。也可以以不同的方式排列檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』。
可以和光阻元件220一起形成檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』。可以在形成光阻元件220之前，通過畫圖或構圖另一個薄膜，來形成檢查圖案240R、240G、240B、240R』、240G』和240B』。
顯示面板可以是只有濾色器的濾色器面板。光阻元件220防止相鄰像素之間的光洩漏，以提高亮度。當顯示設備是液晶顯示器(LCD)或有機電致發光顯示器(OLED)時，顯示面板應該是薄膜電晶體陣列面板或公共電極面板。當製造顯示面板時，光阻元件220起容納用於濾色器的墨的側壁的作用。
以下參考圖5和圖6，來描述根據本發明另一實施例的用於形成濾色器的噴墨印刷設備。
圖5是用於製造根據本發明實施例的面板的噴墨印刷設備的透視圖。圖6是根據本發明實施例的噴墨印刷設備的頭的頂視圖。
如圖5和圖6所示，噴墨印刷設備包括臺500，其上面放有顯示面板200的絕緣襯底；頭單元700；以及傳送單元300，用於將頭單元700傳送到預定位置。
頭單元700包括頭400以及附在頭400上或與頭400相連的至少一個供墨噴嘴。頭單元700可以通過供墨噴嘴#1至#n，在襯底210上沉積用於濾色器的墨235。
為了在工作上放置的襯底210上形成濾色器230，噴墨印刷設備在利用傳送單元300在X方向上傳送頭單元700的時候，通過供墨噴嘴#1至#n來沉積墨235。從而，將墨235沉積在襯底210上，以便在襯底210上形成濾色器230。襯底210的尺寸可以增大，但是供墨噴嘴#1至#n的數量和頭400的尺寸被定義或設置為預定量。從而，因為不是通過一次掃描來形成所有濾色器230，所以頭單元700重複傳送整個襯底210，以形成所有濾色器230。
傳送單元300包括支撐單元310，用於保持頭單元700與襯底210相隔預定距離；傳送部分330，用於在X和Y方向上執行傳送；以及升高單元340，用於升高頭單元700。
上述頭單元700的頭400支撐供墨噴嘴#1至#n，並且可以包括三個頭，分別用於紅色、綠色和藍色。頭400可以具有類似長條形狀，然而它不限於這種形狀。供墨噴嘴#1至#n被設置在頭400的整個表面上。
例如，當有三個頭時，各個頭相隔等間距，並且相互平行。通過水平移動、垂直移動和旋轉移動，可以分開排列多個頭。
頭400相對於Y方向傾斜某一預定角度θ。例如，因為噴嘴間距(相鄰噴嘴之間的距離)與像素間距(要印刷的相鄰像素之間的距離)不同，因此通過使頭400旋轉某一預定角度θ，可以使通過噴嘴#1至#n沉積的相鄰墨滴之間的間隔與像素間距一致。
以下參考圖7來說明利用根據本發明實施例的噴墨印刷設備形成濾色器的方法。以下描述形成一個濾色器的方法，然而應該理解，這種方法可適用於其它濾色器。
圖7顯示了，當製造圖4所示的顯示面板時在形成濾色器之前利用對準圖案來對準頭的過程。
如圖7所示，將面板200排列並放置在臺500上。面板200包括光阻層220，其具有在位置上與多個像素相對應的多個開口221；以及檢查圖案240和240』。噴墨印刷設備根據其中已經存儲的檢查圖案240位置信息，利用傳送單元300來傳送頭單元700，並將墨滴235沉積到檢查圖案240中。應該理解，可以對一個濾色器執行上述過程，或者可以同時對多個濾色器如兩個或三個濾色器，執行上述過程。
噴墨印刷設備檢測被沉積墨235的中心點C的位置，並據此調節頭700或第一供墨噴嘴#1的位置，以使中心點C與檢查圖案240的中心點A對準。噴墨印刷設備優選地調節噴嘴#1。對被設置在相對於光阻元件220的臺兩側的剩餘檢查圖案240和240』，以及剩餘噴嘴#2至#n，重複上述對準。另外，為了檢查噴嘴#1至#n與襯底210之間的誤對準，可以選擇兩個或更多檢查圖案240和240』，來檢查噴嘴#1至#n與之間的誤對準。所選擇的檢查圖案240和240』優選地位於臺的相對側，與A相對應。
然後，噴墨印刷設備根據被調節的位置，來調節噴嘴#1至#n或襯底210的位置，以便在傳送頭單元700的同時將墨沉積到開口221中。
噴墨印刷設備可以將墨同時沉積到多個檢查圖案240中，來檢查誤對準。噴墨印刷設備可以將墨同時沉積到相同顏色的檢查圖案中。例如，可以相對於具有相同顏色的每一行濾色器，形成一個檢查圖案240。
檢查圖案240的數量及其排列方式可以取決於濾色器230的排列方式而變。
以下參考圖8A、8B、8C和8D，來描述根據本發明實施例的誤對準形狀及誤對準形狀的改變。
圖8A、8B、8C和8D顯示了，當製造如圖4所示的面板時在對準圖案中出現的誤對準形狀的例子。
如圖8A所示，被沉積墨235的中心點C在X軸方向上相對於檢查圖案240中心點A的誤對準距離為d1。可以改變誤對準，以便將頭400的初始固定位置調節一個距離d1。
如圖8B所示，被沉積墨235的中心點C在Y軸方向上相對於檢查圖案240中心點A的誤對準距離為d2。可以改變誤對準，以便將襯底210或臺500的初始固定位置調節一個距離d2。
如圖8C左圖所示，被沉積墨235的中心點C與檢查圖案240的中心點A重合。然而，如圖8C右圖所示，當通過另一個噴嘴如在頭400上形成的第二噴嘴#2，將墨235』沉積到第二檢查圖案240』中時，被沉積墨235』的中心點C』與檢查圖案240』的中心點A』不一致。因此，因為頭400的傾斜角誤對準，所以改變誤對準，以調節頭400的傾斜角。
如圖8D左圖所示，被沉積墨235的中心點C與檢查圖案240的中心點A重合。然而，如圖8D右圖所示，被沉積到另一檢查圖案240』中的墨235』的中心點C』在Y軸方向上相對於檢查圖案240』中心點A』的誤對準距離為d4。因此，因為襯底210或臺500的傾斜角誤對準，所以改變誤對準，以調節襯底210或臺500的傾斜角。
以下參考圖9來描述具有根據本發明實施例的顯示面板的LCD。圖9是具有根據本發明實施例的面板的LCD的斷面圖。
如圖9所示，LCD包括薄膜電晶體(TFT)陣列面板100、公共電極面板200、以及位於面板100與200之間的液晶(LC)層3。
多個柵電極124被形成在絕緣襯底110上。每個柵電極124都與傳輸門信號的多條柵極線(未顯示)之一相連。柵極絕緣層140被形成在柵極線上。由氫化非晶矽(簡稱為「a-Si」)組成的半導體151和154被形成在柵極絕緣層140上。
可以由矽化物或摻有大量N型雜質的n+氫化a-Si組成的多個歐姆觸點161、163和165，可以被形成在半導體154上。
多條數據線171和多個漏電極175可以分別被形成在歐姆觸點161、163和165上，以及柵極絕緣層140上。數據線171和漏電極175與柵極線分開。
柵電極124、與柵極線相連的源電極173、漏電極175以及半導體154，形成了具有在位於源電極173與漏電極175之間的半導體154中形成的溝道的TFT。
歐姆觸點161、163和165僅僅介於下面的半導體154與數據線171和上面的漏電極175之間，並減少它們之間的接觸電阻。
鈍化層180可以被形成在數據線171、漏電極175及半導體154的暴露部分上。
鈍化層180可以由以下材料組成具有良好平面度特性的光敏有機材料；具有低於4.0的介電常數的低介電絕緣材料，如通過等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)形成的a-Si:C:O和a-Si:O:F；或無機材料，如氮化矽。
鈍化層180具有使漏電極175暴露的多個接觸孔185。優選地由銦錫氧化物(ITO)或銦鋅氧化物(IZO)組成的多個像素電極190被形成在鈍化層180上。作為選擇，當LCD是反射型LCD時，像素電極190可以由透明導電聚合物或不透明反射金屬組成。
像素電極190和公共電極270形成被稱為「液晶電容器」的電容器，該電容器在TFT被斷開之後存儲被施加的電壓。被稱為「存儲電容器」的附加電容器可以與液晶電容器並聯，以提高電壓存儲容量。
以下描述公共電極面板200。
用於防止光洩漏的光阻元件200可以被形成在諸如透明玻璃的絕緣襯底210上。光阻元件220可以包括面對像素電極190的多個開口，並且光阻元件220可以具有基本上與像素電極190一樣的形狀。作為選擇，光阻元件220可以包括與數據線171相對應的部分，以及與TFT相對應的部分。多個濾色器230可以被形成在襯底210上，並且可以被基本上設置在光阻元件220所圍起的區中。
外塗層250可以被形成在濾色器230上。可以由諸如ITO和IZO的透明導電材料組成的公共電極270可以被形成在外塗層250上。
對準層11和21被形成在TFT陣列面板100的內表面上。公共電極面板200薄膜電晶體和偏振器12及22分別被附著在面板100和200的外表面上。
以下參考圖10、11和12，來描述根據本發明實施例的OLED TFT陣列面板。
圖10是根據本發明實施例的OLED TFT陣列面板的布局圖。圖11和12是沿著XII-XII』線取的圖10所示TFT陣列面板的斷面圖。
可以由氮化矽(SiNx)或氧化矽(SiOx)組成的阻擋膜111被形成在絕緣襯底110上，該絕緣襯底110可以由透明玻璃或塑料組成。阻擋膜111可以具有雙層結構或多層結構。
可以由多晶矽組成的多對第一和第二半導體孤立區(island)151a和151b，被形成在阻擋膜111上。半導體孤立區151a和151b的每一個都包括多個具有N型或P型導電雜質的非本徵區，以及至少一個幾乎不包括任何導電雜質的本徵區。
關於第一半導體孤立區151a，非本徵區包括摻有N型雜質、並且相互分開的第一源極/漏極區153a和155a以及中間區1535。本徵區包括位於非本徵區153a、1535和155a之間的一對第一溝道區154a1和154a2。
關於第二半導體孤立區151b，非本徵區包括摻有P型雜質、並且相互分開的第二源極/漏極區153b和155b。本徵區包括位於第二源極/漏極區153b和155b之間的第二溝道區154b，以及從第二源極/漏極區153b向上延伸或突出的存儲區157。
非本徵區可以進一步包括位於溝道區154a1、154a2和154b與源極/漏極區153a、155a、153b和155b之間的輕微摻雜區(未顯示)。可以用基本上不包含雜質的補償區替代輕微摻雜區。
作為選擇，第一半導體孤立區151a的非本徵區153a和155a可以摻雜P型雜質，而第二半導體孤立區151b的非本徵區153b和155b可以摻雜N型雜質。P型雜質可以是硼(B)鎵(Ga)等，並且N型雜質可以是磷(P)、砷(As)等。
可以由氮化矽或氧化矽組成的柵極絕緣層140被形成在半導體孤立區151a和151b及阻擋膜111上。
包括多個具有多個第一控制電極124a和多個第二控制電極124b的柵極線121的多個柵極導體，被形成在柵極絕緣層140上。
用於傳輸柵極信號(門信號)的柵極線121基本上在橫向延伸。第一控制電極124a從柵極線121向上延伸或突出，並且與第一半導體孤立區151a相交，以致第一控制電極124a與第一溝道區154a1和154a2重疊。每條柵極線121都可以包括具有足以與另一層或外部驅動電路接觸的區的末部。柵極線121可以與用於產生柵極信號的柵極驅動電路(未顯示)相連。柵極驅動電路和柵極線121可以被集成在襯底110上。
第二控制電極124b與柵極線121分開，並且與第二溝道區154b重疊。第二控制電極124b延伸，以形成與第二半導體孤立區151b的存儲區157重疊的存儲電極127。
柵極導體121和124b可以由以下金屬組成含鋁金屬，如鋁和鋁合金(例如Al-Nd)；含銀金屬，如銀和銀合金；含銅金屬，如銅和銅合金；含鉬金屬，如鉬和鉬合金；鉻；鉭；鈦；等等。
柵極導體121和124b可以具有包括物理特性不同的兩個膜的多層結構。一個膜可以由包括含鋁金屬、含銀金屬和含銅金屬的低電阻率金屬組成，以便減小信號延遲或電壓降。另一個膜可以由具有與諸如ITO或IZO的其它材料良好的物理、化學和電接觸特性的材料組成，如含鉬金屬、鉻、鉭或鈦。例如，組合可以是下面鉻膜和上面鋁(合金)膜，以及下面鋁(合金)膜和上面鉬(合金)膜。然而，柵極導體121和124b可以由其它金屬和導體組成。柵極導體121和124b的側面相對於襯底的表面傾斜，並且其傾斜角大約在30-80度範圍內變化。
層間絕緣膜160可以被形成在柵極導體121和124b上。層間絕緣膜160可以由諸如氮化矽和氧化矽的無機絕緣體、有機絕緣體、或低介電絕緣體組成。有機絕緣體或低介電絕緣體優選地具有低於大約4.0的介電常數，並且包括通過PECVD形成的a-Si:C∶O和a-Si:O:F。用於層間絕緣膜160的有機絕緣體可以具有光敏性，並且層間絕緣膜160可以具有平面。
層間絕緣膜160具有使第二控制電極124b暴露的多個接觸孔164。另外，層間絕緣膜160和柵極絕緣層140具有分別使源極/漏極區153a、153b、155a和155b暴露的多個接觸孔163a、163b、165a和165b。
包括多條數據線171、多條驅動電壓線172及多個第一和第二輸出電極175a和175b的多個數據導體，被形成在層間絕緣膜160上。
用於傳輸數據信號的數據線171基本上在縱向延伸，並且與柵極線121相交。每條數據線都包括通過接觸孔163a與第一源極/漏極區153a相連的多個第一輸入電極173a。每條數據線171都可以包括具有足以與另一層或外部驅動電路接觸的區的末部。數據線171可以與用於產生數據信號的數據驅動電路(未顯示)相連，該數據驅動電路可以被集成在襯底110上。
用於傳輸驅動電壓的驅動電壓線172基本上在縱向延伸，並且與柵極線121相交。每條驅動電壓線172都包括通過接觸孔163b與第二源極/漏極區153b相連的多個第二輸入電極173b。驅動電壓線171與存儲電極127重疊，並且驅動電壓線171可以互連。
第一輸出電極175a與數據線171及驅動電壓線172分開，並且通過接觸孔165a與第一源極/漏極區155a相連，並通過接觸孔164與第二控制電極124b相連。
第二輸出電極175b與數據線171、驅動電壓線172及第一輸出電極175a分開，並且通過接觸孔165b與第二源極/漏極區155b相連。
數據導體171、172、175a和175b可以由高熔點金屬組成，如鉬、鉻、鈦、鉭或其合金。數據導體171、172、175a和175b可以具有包括高熔點金屬膜和低電阻率膜的多層結構。例如，多層結構可以是包括下面鉻膜和上面鋁(合金)膜的雙層結構，可以是包括下面鉬(合金)和上面鋁(合金)膜的雙層結構。多層結構可以是下面鉬(合金)膜、中間鋁(合金)膜及上面鉬(合金)膜的三層結構。
類似於柵極導體121和124b，數據導體171、172、175a和175b具有傾斜的邊緣輪廓，並且其傾斜角近似為30-80度。
鈍化層180可以被形成在數據導體171、172、175a和175b上。鈍化層180的厚度可以為大約1.0至10.0微米，並且鈍化層可以由能夠提供平面的有機絕緣體組成，如聚醯亞胺或聚丙烯酸(poly-acryl)。應該理解，鈍化層180可以由無機絕緣體、另一種有機絕緣體或低介電絕緣體組成。
鈍化層180具有使第二輸出電極175b暴露的多個接觸孔185。鈍化層180可以進一步具有使數據線171末部暴露的多個接觸孔(未顯示)，並且鈍化層180和層間絕緣膜160可以具有使柵極線121末部暴露的多個接觸孔(未顯示)。
多個像素電極191可以被順序地形成在鈍化層180上。像素電極191通過接觸孔185與第二輸出電極175b相連。
像素電極191可以由具有大於大約70％的可見光反射率的反射性導體組成，如鉻、鋁、銀或其合金。像素電極91的厚度可以為大約10nm至500nm。
可以由具有比像素電極191高的逸出功(例如高於大約5eV)的材料如ITO或IZO組成的多個輔助電極(未顯示)，可以被形成在像素電極191上，以增強電子注入。
多個接觸輔助件(未顯示)或連接元件(未顯示)可以被形成在鈍化層180上，以致它們與柵極線121或數據線171的暴露末部相連。
隔板361可以被形成在鈍化層180上。隔板361包圍像素電極191、以定義開口365，並且可以由有機或無機絕緣材料組成。隔板361可以由具有碳黑的光敏材料組成，以致隔板361起光阻元件的作用，並且隔板361的形成可以被簡化。
多個發光元件370可以被形成在像素電極191上，並被設置在由隔板361定義的開口365中。每個發光元件370都可以由發射某一顏色如紅、綠、藍光三基色光之一的有機材料組成。OLED顯示器通過在空間上添加發自發光元件370的單基色光，來顯示圖像。
每個發光元件370都可以具有這樣的多層結構，該多層結構包括用於發光的發射層(未顯示)、以及用於提高發射層發光效率的輔助層(未顯示)。輔助層可以包括用於改善電子和空穴平衡的電子傳輸層(未顯示)和空穴傳輸層(未顯示)，以及用於提高電子和空穴注入的電子注入層(未顯示)和空穴注入層(未顯示)。
公共電極270被形成在發光元件和隔板361上。公共電極270被提供公共電壓，並且可以由諸如ITO或IZO的透明材料組成。
在上述OLED顯示器中，第一半導體孤立區151a、與柵極線121相連的第一控制電極124a、與數據線171相連的第一輸入電極153a、以及第一輸出電極155a，形成具有在第一半導體孤立區151a的溝道區154a1和154a2中形成的溝道的開關TFT Qs。類似，第二半導體孤立區151b、與第一輸出電極155a相連的第二控制電極124b、與驅動電壓線172相連的第二輸入電極153b、以及連接到像素電極191的第二輸出電極155b，形成具有在第二半導體孤立區151b的第二溝道區154b中形成的溝道的驅動TFT Qd。像素電極191、發光元件370、以及公共電極270，形成把像素電極191用作陽極、並把公共電極270用作陰極的有機發光二極體，反之亦然。存儲電極127、驅動電壓線172和存儲區157的重疊部分形成存儲電容器Cst。
開關TFT Qs響應來自柵極線121的柵極信號，從數據線171發送數據信號。驅動TFT Qd一旦收到數據信號，就驅動具有取決於第二控制電極124b與第二輸出電極175b之間的電壓差的幅度的電流。在開關TFT Qs斷開之後，第二控制電極124b與第二輸入電極173b之間的電壓差被存儲在存儲電容器Cst中、並被保持。發光二極體發射具有取決於驅動TFT Qd所驅動的電流的強度的光。發自發光二極體的單基色光在空間上被添加，以顯示圖像。
根據本發明上述實施例的包括不透明像素電極191和透明公共電極270的OLED顯示器，向襯底110的頂部發射光、並且被稱為頂部發射OLED顯示器。本發明也可應用於包括透明像素電極191和不透明公共電極270、並向襯底110底部發射光的底部發射OLED顯示器。
半導體孤立區151a和151b可以由沒有本徵區的非晶矽組成。可以由摻有大量N型雜質的非晶矽組成的歐姆觸點(未顯示)，可以被設置在半導體孤立區151a和151b與數據導體171、172、175a和175b之間。
第一和第二控制電極124a和124b可以分別被設置在半導體孤立區151a和151b下面，而柵極絕緣層140被設置在半導體孤立區151a和151b與第一和第二控制電極124a和124b之間。數據導體171、172、173b和175b可以被直接設置在柵極絕緣層140上。
另外，數據導體171、172、173b和175b可以被設置在半導體孤立區151a和151b下面，並且可以與半導體孤立區151a和151b電連接。
根據本發明的至少上述實施例，通過校正被沉積墨位置的誤對準，將墨精確地沉積到相應像素中，由此減小相鄰濾色器之間的墨擴散、並提高顯示設備的圖像質量。
顯然，對於本領域技術人員，在不脫離本發明的精神或範圍的情況下、可以對本發明進行各種更改和變化。因而，應該理解，本發明包括落入所附權利要求範圍及其等同物範圍內的本發明更改和變化。
權利要求
1.一種顯示設備面板，包括襯底；側壁元件，所述側壁元件被設置在襯底上，並具有多個開口；多個濾色器，所述多個濾色器被設置在多個開口中；以及至少一個檢查圖案，用於檢查濾色器的誤對準。
2.根據權利要求1所述的面板，其中，檢查圖案被設置在側壁元件邊緣部分或襯底邊緣部分上。
3.根據權利要求1所述的面板，其中，側壁元件是光阻元件。
4.根據權利要求1所述的面板，其中，檢查圖案中心是沿著與沿同一行排列的每個濾色器的中心相同的線而確定位置的。
5.根據權利要求1所述的面板，其中，檢查圖案基本上是圓形的，並且包括具有多個分度的多條對準線。
6.根據權利要求1所述的面板，其中，對準線彼此相交。
7.根據權利要求1所述的面板，其中，檢查圖案大於墨滴。
8.根據權利要求1所述的面板，其中，每個濾色器都代表紅色、綠色或藍色之一。
9.根據權利要求8所述的面板，其中，對於具有相同顏色的每行濾色器，排列有至少一個檢查圖案。
10.根據權利要求1所述的面板，其中，面板是液晶顯示面板。
11.根據權利要求10所述的面板，進一步包括多條信號線；多個電晶體，所述多個電晶體與多條信號線相連；以及多個像素電極，所述多個像素電極通過多個電晶體與多條信號線電連接。
12.一種製造顯示設備面板的方法，包括將墨沉積到檢查圖案中；檢查檢查圖案中的被沉積墨的位置；調節襯底或噴墨印刷設備頭的位置，以使被沉積墨的中心與檢查圖案的中心點對準；以及將墨沉積到開口中。
13.根據權利要求12所述的方法，其中，墨具有紅色、綠色和藍色之一。
14.根據權利要求12所述的方法，其中，側壁元件是光阻元件。
15.根據權利要求12所述的方法，其中，面板是液晶顯示面板或有機電致發光顯示面板。
16.根據權利要求12所述的方法，面板包括多條信號線；多個電晶體，所述多個電晶體與多條信號線相連；以及多個像素電極，所述多個像素電極通過多個電晶體與多條信號線電連接。
17.一種顯示設備面板，包括襯底；側壁元件，所述側壁元件被設置在襯底上，並包括多個開口；多個有機光發射器，所述多個有機光發射器分別被設置在多個開口中，並代表顏色；以及檢查圖案，用於檢查有機光發射器的誤對準。
18.根據權利要求17所述的面板，其中，檢查圖案被設置在側壁元件邊緣部分或襯底邊緣部分上。
19.根據權利要求17所述的面板，其中，檢查圖案中心是沿著與沿同一行排列的每個有機光發射器的中心相同的線而確定位置的。
20.根據權利要求17所述的面板，其中，檢查圖案基本上是圓形的，並且包括具有多個分度的多條對準線。
21.根據權利要求17所述的面板，其中，對準線彼此相交。
22.根據權利要求17所述的面板，其中，檢查圖案大於墨滴。
23.根據權利要求17所述的面板，其中，每個有機光發射器都代表紅色、綠色或藍色之一。
24.根據權利要求17所述的面板，其中，對於具有相同顏色的每行有機光發射器，排列有至少一個檢查圖案。
25.根據權利要求17所述的面板，其中，面板是有機電致發光顯示面板。
26.根據權利要求25所述的面板，進一步包括多條信號線；多個電晶體，所述多個電晶體與多條信號線相連；以及多個像素電極，所述多個像素電極通過多個電晶體與多條信號線電連接。
全文摘要
一種顯示設備面板及其製造方法，該顯示設備面板包括襯底；被形成在襯底上，並具有多個開口的側壁元件；被形成到多個開口中，並代表入射光顏色的多個濾色器；以及至少一個檢查圖案，用於檢查濾色器的誤對準。
文檔編號H05B33/10GK1749811SQ200510103930
公開日2006年3月22日 申請日期2005年9月15日 優先權日2004年9月15日
發明者權成圭, 金炳住, 金璋燮, 姜侖昊 申請人:三星電子株式會社