一種採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備的製作方法

2023-11-03 20:02:02

專利名稱：一種採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及切割液回收設備領域，特別涉及了一種採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備。
背景技術：
目前，矽片線切割工藝的現狀，為了保證切割質量，切割工藝中使用的砂漿基本都是極少的重複使用，切割使用後的廢棄砂漿直接作為工業廢棄物堆積處理，或者委託專業處理廠對使用過的砂漿進行處理，無論以上那種方式，都會造成極大浪費，產生較大成本， 因此，實現砂漿的回收再利用是矽片生產企業降低生產成本的有效途徑，需要合理的設備。
發明內容本實用新型的目的是為了最大程度上避免浪費，使切割液回收再利用，特提供了一種採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備。一種採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備，其特徵在於所述的採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備包括一號分離機1，二號分離機2，新砂漿罐3， 調試砂漿罐4，一次分離液罐5，廢砂漿罐6，再生砂漿罐7，分離廢棄物罐8，二次分離液罐 9，膜過濾設備10；其中一號分離機1同時與調試砂漿罐4、一次分離液罐5和廢砂漿罐6連通，二號分離機2同時與一次分離液罐5、分離廢棄物罐8和二次分離液罐9連通，調試砂漿罐4 和二次分離液罐9連通，調試砂漿罐4和再生砂漿罐7連通，膜過濾設備10安裝在二次分離液罐9中，用戶切片機11分別與廢砂漿罐6和再生砂漿罐7連通。所述的一號分離機1和二號分離機2為臥式螺旋沉降離心機。所述的膜過濾設備10的過濾膜孔徑為1微米。工作原理切片機產生的廢舊砂漿，經一號分離機1的分離後，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經二號分離機2的分離後，產生回收的液相和回收固相，對回收固相進行再處理；一次分離產生回收的粗粉，與新配置的砂漿、二次分離後產生回收的液相三者混合處理，形成新的可利用的砂漿，用於切片機使用。本實用新型的優點本實用新型所述的採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備，用於分離和回收矽片切割工藝中所產生的廢砂漿，同時亦適用於半導體晶片、水晶、鑽石等行業的廢液回收利用。矽片切割廢液中，PEG、SiC的回收率可達80%以上，矽片切割廢砂漿在線回收設備與線切割機可採用1 :4或1 :5配置。有效地避免了浪費，降低了企業的生產成本。

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以下結合附圖及實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明圖1為採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備原理結構示意圖。
具體實施方式
實施例1本實施例所述的一種採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備，其特徵在於所述的採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備包括一號分離機1，二號分離機2，新砂漿罐3，調試砂漿罐4，一次分離液罐5，廢砂漿罐6，再生砂漿罐7，分離廢棄物罐 8，二次分離液罐9，膜過濾設備10 ；其中一號分離機1同時與調試砂漿罐4、一次分離液罐5和廢砂漿罐6連通，二號分離機2同時與一次分離液罐5、分離廢棄物罐8和二次分離液罐9連通，調試砂漿罐4 和二次分離液罐9連通，調試砂漿罐4和再生砂漿罐7連通，膜過濾設備10安裝在二次分離液罐9中，用戶切片機11分別與廢砂漿罐6和再生砂漿罐7連通。所述的一號分離機1和二號分離機2為臥式螺旋沉降離心機。所述的膜過濾設備10的過濾膜孔徑為1微米。工作原理切片機產生的廢舊砂漿，經一號分離機1的分離後，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經二號分離機2的分離後，產生回收的液相和回收固相，對回收固相進行再處理；一次分離產生回收的粗粉，與新配置的砂漿、二次分離後產生回收的液相三者混合處理，形成新的可利用的砂漿，用於切片機使用。
權利要求1.一種採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備，其特徵在於所述的採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備包括一號分離機(1)，二號分離機(2)，新砂漿罐 (3)，調試砂漿罐(4)，一次分離液罐(5)，廢砂漿罐(6)，再生砂漿罐(7)，分離廢棄物罐(8)， 二次分離液罐(9)，膜過濾設備(10)；其中一號分離機(1)同時與調試砂漿罐(4)、一次分離液罐(5)和廢砂漿罐(6)連通， 二號分離機(2)同時與一次分離液罐(5)、分離廢棄物罐(8)和二次分離液罐(9)連通，調試砂漿罐(4)和二次分離液罐(9)連通，調試砂漿罐(4)和再生砂漿罐(7)連通，膜過濾設備 (10)安裝在二次分離液罐(9)中，用戶切片機(11)分別與廢砂漿罐(6)和再生砂漿罐(7) 連通。
2.按照權利要求1所述的採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備，其特徵在於所述的一號分離機(1)和二號分離機(2)為臥式螺旋沉降離心機。
3.按照權利要求1所述的採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備，其特徵在於所述的膜過濾設備(10)的過濾膜孔徑為1微米。
專利摘要一種採用膜過濾二段分離方式的廢砂漿在線回收設備，包括一號分離機，二號分離機，新砂漿罐，調試砂漿罐，一次分離液罐，廢砂漿罐，再生砂漿罐，分離廢棄物罐，二次分離液罐，膜過濾設備；其中一號分離機同時與調試砂漿罐、一次分離液罐和廢砂漿罐連通，二號分離機同時與一次分離液罐、分離廢棄物罐和二次分離液罐連通，調試砂漿罐和二次分離液罐連通，調試砂漿罐和再生砂漿罐連通，膜過濾設備安裝在二次分離液罐中。本實用新型的優點用於分離和回收矽片切割工藝中所產生的廢砂漿，同時亦適用於半導體晶片、水晶、鑽石等行業的廢液回收利用。矽片切割廢液中，PEG、SiC的回收率可達80%以上，降低了企業的生產成本。
文檔編號C10M175/00GK202181290SQ20112029465
公開日2012年4月4日 申請日期2011年8月15日 優先權日2011年8月15日
發明者張磊, 韓東 申請人:瀋陽光遠新能源科技有限公司