一種酸翻湧清洗晶片裝置的製作方法
2023-11-11 03:00:27
專利名稱:一種酸翻湧清洗晶片裝置的製作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種酸翻湧清洗晶片裝置,屬於晶片腐蝕設備技術領域。
背景技術:
晶片腐蝕機代替人工完成晶片腐蝕工作,背景技術的腐蝕機在腐蝕晶片時,僅靠簡易的攪動裝置在酸液中旋轉攪動,儘管不停的攪動酸液,酸液上下層的溫度仍然不一致; 並且在晶片腐蝕過程中,晶片一直疊貼在一起,使腐蝕不均勻,頻率散差很大;同時,一次腐蝕的數量很少,難以保證工作效率。
實用新型內容本實用新型目的是提供一種酸翻湧清洗晶片裝置,使晶片在翻湧對流狀態下全部分散開來,晶片和腐蝕液均勻的接觸,保證了晶片腐蝕質量一致、晶片頻率一致,大幅度提高一次腐蝕量,提高工作效率,解決背景技術中存在的上述問題。本實用新型的技術方案是一種酸翻湧清洗晶片裝置,包含腐蝕液桶、循環泵、噴頭,在腐蝕液桶的底部設置噴頭,噴頭與循環泵葉輪連接。所說的循環泵葉輪進液口與腐蝕液桶連通,腐蝕液通過進液口、葉輪、噴頭噴出到腐蝕液桶內,產生腐蝕液翻湧的效果,腐蝕液再補充到進液口,形成循環。所說的循環泵是耐酸循環泵。本實用新型的有益效果由於在腐蝕機酸翻湧攪動的同時,使得清洗槽中的酸不斷地上下左右循環起來,使得酸液的溫度始終精確控制在士rc範圍,並使晶片在翻湧對流狀態下全部分散開來,晶片和腐蝕液均勻的接觸,保證了晶片腐蝕質量一致、晶片頻率一致;同時保證了一次腐蝕量的大幅度提高,保證了工作效率。
附圖1是本實用新型實施例的結構示意圖;圖中循環泵1,循環泵支架2,腐蝕液桶3,噴頭螺栓4,噴頭5、6、7。
具體實施方式
以下結合附圖,通過實施例對本實用新型作進一步說明。一種酸翻湧清洗晶片裝置,包含腐蝕液桶3、循環泵1、噴頭,在腐蝕液桶的底部設置噴頭5、6、7,噴頭與循環泵葉輪連接。所說的循環泵葉輪進液口與腐蝕液桶連通,腐蝕液通過進液口、葉輪、噴頭噴出到腐蝕液桶內,產生腐蝕液翻湧的效果,腐蝕液再補充到進液口,形成循環。噴頭上設有噴頭螺栓4,所說的循環泵是耐酸循環泵,設置在循環泵支架2 上。
權利要求1.一種酸翻湧清洗晶片裝置,其特徵在於包含腐蝕液桶(3)、循環泵(1)、噴頭,在腐蝕液桶的底部設置噴頭(5、6、7),噴頭與循環泵葉輪連接。
2.根據權利要求1所述之酸翻湧清洗晶片裝置,其特徵在於所說的循環泵葉輪進液口與腐蝕液桶連通。
3.根據權利要求1或2所述之酸翻湧清洗晶片裝置,其特徵在於所說的循環泵是耐酸循環泵。
專利摘要本實用新型涉及一種酸翻湧清洗晶片裝置,屬於晶片腐蝕設備技術領域。技術方案是包含腐蝕液桶(3)、循環泵(1)、噴頭,在腐蝕液桶的底部設置噴頭(5、6、7),噴頭與循環泵葉輪連接。本實用新型的有益效果由於在腐蝕機酸翻湧攪動的同時,使得清洗槽中的酸不斷地上下左右循環起來,使得酸液的溫度始終精確控制在±1℃範圍,並使晶片在翻湧對流狀態下全部分散開來,晶片和腐蝕液均勻的接觸,保證了晶片腐蝕質量一致、晶片頻率一致;同時保證了一次腐蝕量的大幅度提高,保證了工作效率。
文檔編號C30B35/00GK202039165SQ201120122988
公開日2011年11月16日 申請日期2011年4月25日 優先權日2011年4月25日
發明者姚志武, 張朝輝, 畢銀山 申請人:唐山晶玉科技有限公司