陣列基板檢測頭及檢測裝置、陣列基板檢測方法
2023-07-18 03:06:01 1
陣列基板檢測頭及檢測裝置、陣列基板檢測方法
【專利摘要】本發明提供了一種陣列基板檢測頭及檢測裝置、陣列基板檢測方法，屬於陣列電路檢測領域。其中，該陣列基板檢測頭用於對陣列基板上的多個陣列電路進行檢測，所述陣列基板檢測頭包括：檢測頭本體；設置在所述檢測頭本體上、用於向所述陣列電路的信號端點加載測試信號的探針組件；設置在所述檢測頭本體上、用於檢測所述陣列電路傳遞的測試信號的檢測電路。本發明的技術方案能夠對基板上的陣列電路進行全方位的測試，並且避免了檢測頭與探針框架發生碰撞造成的損失。
【專利說明】
陣列基板檢測頭及檢測裝置、陣列基板檢測方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及陣列電路檢測領域，特別是指一種陣列基板檢測頭及檢測裝置、陣列基板檢測方法。
【背景技術】
[0002]在薄膜電晶體液晶顯示裝置的製造工藝中，通過半導體中常用的掩膜-曝光工藝，在玻璃基板上形成薄膜電晶體陣列電路，陣列電路的優劣直接決定了薄膜電晶體液晶顯示裝置的品質，因此對陣列電路的檢測也就成為製造工藝中的重要工序。
[0003]如圖1所示，現有技術在對陣列電路進行檢測時，帶有陣列電路的玻璃基板即陣列基板5放在測試機臺4上，測試機臺4上設置有檢測框架3，檢測框架3上設置有探針框架2，探針框架2上安裝的探針與陣列電路中的信號輸入端接觸，測試信號通過探針框架2的探針加載到陣列電路中，之後如圖2所示的檢測頭8對陣列電路進行檢測。
[0004]在實際生產中，由於不同液晶顯示產品排列分布不同，需要購買不同型號的探針框架來實現測試，在不同液晶顯示產品進行測試切換時需要更換相應型號的探針框架來滿足檢測需要，工作量較大；並且部分陣列電路會被檢測框架覆蓋，導致無法進行檢測；另外檢測時檢測頭與探針框架的距離有時會很近，容易發生檢測頭與探針框架的幹涉，造成價格昂貴的檢測頭的損壞或其他部件的損壞。
【發明內容】
[0005]本發明要解決的技術問題是提供一種陣列基板檢測頭及檢測裝置、陣列基板檢測方法，能夠對基板上的陣列電路進行全方位的測試，並且避免了檢測頭與探針框架發生碰撞造成的損失。
[0006]為解決上述技術問題，本發明的實施例提供技術方案如下:
[0007]一方面，提供一種陣列基板檢測頭，用於對陣列基板上的多個陣列電路進行檢測，所述陣列基板檢測頭包括:
[0008]檢測頭本體；
[0009]設置在所述檢測頭本體上、用於向所述陣列電路的信號端點加載測試信號的探針組件；
[0010]設置在所述檢測頭本體上、用於檢測所述陣列電路傳遞的測試信號的檢測電路。
[0011]進一步的,所述探針組件由至少一個探針模塊組成,每個探針模塊包括:
[0012]用於獲取測試信號的信號獲取單元；
[0013]與所述信號獲取單元連接的預設數量的探針結構。
[0014]進一步的,所述探針結構包括:
[0015]設置有氣管接口的氣缸；
[0016]位於所述氣缸內部的活塞，所述活塞與所述氣缸之間形成一封閉空間；
[0017]位於所述封閉空間內的彈簧，所述彈簧的一端固定在活塞上，另一端固定在所述氣缸的端部；
[0018]設置在所述活塞上、位於所述封閉空間外的探針頭，所述探針頭通過信號引線與所述信號獲取單元連接。
[0019]另一方面，提供一種陣列基板檢測裝置，包括上述的陣列基板檢測頭，所述檢測裝置還包括:
[0020]用於放置待測試的陣列基板的測試機臺；
[0021]設置在所述測試機臺上、用於控制所述陣列基板檢測頭在設備X軸、設備Y軸和設備Z軸上移動的移動控制組件。
[0022]進一步的,所述移動控制組件包括:
[0023]沿設備Y軸方向設置在所述測試機臺上的支架；
[0024]沿設備X軸方向設置在所述支架上、能夠在所述支架上沿設備Y軸方向移動的支撐杆；
[0025]沿設備Z軸方向設置、第一端與所述支撐杆可移動連接的伸縮杆，所述伸縮杆能夠沿所述支撐杆移動；
[0026]其中，所述陣列基板檢測頭固定在所述伸縮杆的第二端。
[0027]進一步的，所述支架上設置有沿設備Y軸方向排布、相對的第一導軌和第二導軌，所述第一導軌和第二導軌上分別設置有第一滑塊和第二滑塊；
[0028]所述支撐杆的第一端固定在所述第一滑塊上，所述支撐杆的第二端固定在所述第二滑塊上。
[0029]進一步的，所述支撐杆上設置有沿設備X軸方向排布的第三導軌，所述第三導軌上設置有第三滑塊，所述伸縮杆的第一端固定在所述第三滑塊上。
[0030]再一方面提供一種陣列基板檢測方法，應用於上述的檢測裝置，所述檢測方法包括:
[0031]將待測試的陣列基板放置在所述測試機臺上；
[0032]利用所述陣列基板檢測裝置對所述陣列基板的多個陣列電路一一進行測試。
[0033]進一步的，所述利用所述陣列基板檢測裝置對所述陣列基板的多個陣列電路一一進行測試包括:
[0034]步驟a:通過所述移動控制組件將所述陣列基板檢測頭移動至一未檢測的陣列電路上方，並通過所述移動控制組件使所述陣列基板檢測頭與所述陣列電路相接觸；
[0035]步驟b:通過所述探針組件向所述陣列電路上的信號端點加載測試信號；
[0036]步驟c:通過所述檢測電路檢測所述陣列電路傳遞的測試信號；
[0037]重複上述步驟a_c，直至對所述陣列基板上的所有陣列電路完成檢測。
[0038]進一步的，所述步驟a包括:
[0039]控制所述支撐杆在設備Y軸方向上的移動，使所述支撐杆移動至所述陣列電路正上方；
[0040]控制所述伸縮杆在設備X軸方向上的移動，使所述伸縮杆移動至所述陣列電路正上方；
[0041]控制所述伸縮杆的伸縮，位於所述伸縮杆端部的陣列基板檢測頭與所述陣列電路相接觸。
[0042]本發明的實施例具有以下有益效果:
[0043]上述方案中，陣列基板檢測頭包括設置在檢測頭本體上、用於向陣列電路的信號端點加載測試信號的探針組件，還包括設置在檢測頭本體上、用於檢測陣列電路傳遞的測試信號的檢測電路，本發明不再使用設置在檢測框架上的探針給陣列電路加載信號，而是通過設置在檢測頭本體上的探針組件向陣列電路加載信號，解決了在不同液晶顯示產品進行測試切換時需要更換相應型號的探針框架、部分陣列電路被檢測框架覆蓋導致無法進行檢測的問題，能夠對基板上的陣列電路進行全方位的測試，並且避免了檢測頭與探針框架發生碰撞造成的損失。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0044]圖1為現有陣列基板檢測裝置的結構示意圖；
[0045]圖2為現有檢測頭的結構示意圖；
[0046]圖3為本發明實施例陣列基板檢測裝置的結構示意圖；
[0047]圖4為本發明實施例陣列基板檢測頭的結構示意圖；
[0048]圖5為本發明實施例探針結構的示意圖。
[0049]附圖標記
[0050]I設備Y軸；2探針框架；3檢測框架；4測試機臺；5陣列基板；6設備X軸；7設備Z軸；8現有技術中的檢測頭；81本發明實施例的檢測頭；9探針結構；10探針組件；11探針結構上的信號引線；12探針結構內的彈簧；13氣管接口 ；14活塞；15探針頭；16檢測頭本體；17檢測電路。
【具體實施方式】
[0051]為使本發明的實施例要解決的技術問題、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。
[0052]本發明的實施例提供一種陣列基板檢測頭及檢測裝置、陣列基板檢測方法，能夠對基板上的陣列電路進行全方位的測試，並且避免了檢測頭與探針框架發生碰撞造成的損失。
[0053]本發明實施例提供了一種陣列基板檢測頭，用於對陣列基板上的多個陣列電路進行檢測，如圖3所示，所述陣列基板檢測頭包括:
[0054]檢測頭本體16 ；
[0055]設置在所述檢測頭本體16上、用於向所述陣列電路的信號端點加載測試信號的探針組件10 ；
[0056]設置在所述檢測頭本體16上、用於檢測所述陣列電路傳遞的測試信號的檢測電路17。
[0057]本發明的陣列基板檢測頭包括設置在檢測頭本體上、用於向陣列電路的信號端點加載測試信號的探針組件，還包括設置在檢測頭本體上、用於檢測陣列電路傳遞的測試信號的檢測電路，本發明不再使用設置在檢測框架上的探針給陣列電路加載信號，而是通過設置在檢測頭本體上的探針組件向陣列電路加載信號，解決了在不同液晶顯示產品進行測試切換時需要更換相應型號的探針框架、部分陣列電路被檢測框架覆蓋導致無法進行檢測的問題，能夠對基板上的陣列電路進行全方位的測試，並且避免了檢測頭與探針框架發生碰撞造成的損失。
[0058]進一步地，因實際產品設計時需要將不同的信號加載到陣列電路，因此可以將探針做成模塊，以便應對更多型號的產品，具體地，探針組件由至少一個探針模塊組成，如圖3所示，每個探針模塊10包括:
[0059]用於獲取測試信號的信號獲取單元；
[0060]與信號獲取單元連接的預設數量的探針結構9。
[0061]探針結構可設計成由氣體加彈簧控制的可伸縮的探針，具體地，如圖4所示，探針結構包括:
[0062]設置有氣管接口 13的氣缸；
[0063]位於氣缸內部的活塞14，活塞14與氣缸之間形成一封閉空間；
[0064]位於封閉空間內的彈簧12,彈簧12的一端固定在活塞14上,另一端固定在氣缸的端部；
[0065]設置在活塞14上、位於封閉空間外的探針頭15，探針頭15通過信號引線11與信號獲取單元連接。
[0066]本發明實施例還提供了一種陣列基板檢測裝置，如圖5所述，該陣列基板檢測裝置包括上述的陣列基板檢測頭81，該檢測裝置還包括:
[0067]用於放置待測試的陣列基板5的測試機臺4 ；
[0068]設置在測試機臺4上、用於控制陣列基板檢測頭在設備X軸6、設備Y軸I和設備Z軸7上移動的移動控制組件。
[0069]本發明的陣列基板檢測裝置中，陣列基板檢測頭包括設置在檢測頭本體上、用於向陣列電路的信號端點加載測試信號的探針組件，還包括設置在檢測頭本體上、用於檢測陣列電路傳遞的測試信號的檢測電路，本發明不再使用設置在檢測框架上的探針給陣列電路加載信號，而是通過設置在檢測頭本體上的探針組件向陣列電路加載信號，解決了在不同液晶顯示產品進行測試切換時需要更換相應型號的探針框架、部分陣列電路被檢測框架覆蓋導致無法進行檢測的問題，能夠對基板上的陣列電路進行全方位的測試，並且避免了檢測頭與探針框架發生碰撞造成的損失。
[0070]具體地，移動控制組件包括:
[0071]沿設備Y軸方向設置在測試機臺4上的支架18 ；
[0072]沿設備X軸方向設置在支架18上、能夠在支架18上沿設備Y軸方向移動的支撐杆19 ；
[0073]沿設備Z軸方向設置、第一端與支撐杆19可移動連接的伸縮杆20，伸縮杆20能夠沿支撐杆19移動；
[0074]其中，所述陣列基板檢測頭81固定在所述伸縮杆20的第二端。
[0075]進一步地，所述支架上可以設置有沿設備Y軸方向排布、相對的第一導軌和第二導軌，所述第一導軌和第二導軌上分別設置有第一滑塊和第二滑塊；所述支撐杆的第一端固定在所述第一滑塊上，所述支撐杆的第二端固定在所述第二滑塊上。
[0076]進一步地，所述支撐杆上可以設置有沿設備X軸方向排布的第三導軌，所述第三導軌上設置有第三滑塊，所述伸縮杆的第一端固定在所述第三滑塊上。
[0077]本發明實施例還提供了一種陣列基板檢測方法，應用於上述的檢測裝置，所述檢測方法包括:
[0078]將待測試的陣列基板放置在所述測試機臺上；
[0079]利用所述陣列基板檢測裝置對所述陣列基板的多個陣列電路一一進行測試。
[0080]進一步地，所述利用所述陣列基板檢測裝置對所述陣列基板的多個陣列電路一一進行測試包括:
[0081]步驟a:通過所述移動控制組件將所述陣列基板檢測頭移動至一未檢測的陣列電路上方，並通過所述移動控制組件使所述陣列基板檢測頭與所述陣列電路相接觸；
[0082]步驟b:通過所述探針組件向所述陣列電路上的信號端點加載測試信號；
[0083]步驟c:通過所述檢測電路檢測所述陣列電路傳遞的測試信號；
[0084]重複上述步驟a_c，直至對所述陣列基板上的所有陣列電路完成檢測。
[0085]進一步地,所述步驟a包括:
[0086]控制所述支撐杆在設備Y軸方向上的移動，使所述支撐杆移動至所述陣列電路正上方；
[0087]控制所述伸縮杆在設備X軸方向上的移動，使所述伸縮杆移動至所述陣列電路正上方；
[0088]控制所述伸縮杆的伸縮，位於所述伸縮杆端部的陣列基板檢測頭與所述陣列電路相接觸。
[0089]以TFT-1XD (薄膜電晶體液晶顯示器)5代生產線的玻璃基板為例，一張大的玻璃基板上印有多個小的顯示面板，顯示面板內部帶有陣列電路；每個陣列電路邊緣在設計時均設有小的信號端點。本發明實施例中，在對其中一陣列電路進行測試時，通過移動控制組件將陣列基板檢測頭移動至一未檢測的陣列電路上方，並通過移動控制組件使陣列基板檢測頭與陣列電路相接觸，通過陣列基板檢測頭上的探針組件向陣列電路邊緣的信號端點加載測試信號，加載測試信號之後，通過陣列基板檢測頭上的檢測電路檢測陣列電路傳遞的測試信號，實現對陣列電路的檢測；在檢測完一個顯示面板的陣列電路後，移動控制組件帶著陣列基板檢測頭及探針組件升起，移動到下一個顯示面板完成同樣的動作進行測試，重複上述過程，直到完成對所有陣列電路的測試。
[0090]本發明的陣列基板檢測裝置中不使用檢測框架，從而避免了部分陣列電路被檢測框架覆蓋導致無法進行檢測的問題，陣列基板檢測頭包括設置在檢測頭本體上、用於向陣列電路的信號端點加載測試信號的探針組件，還包括設置在檢測頭本體上、用於檢測陣列電路傳遞的測試信號的檢測電路，解決了在不同液晶顯示產品進行測試切換時需要更換相應型號的探針框架的問題，並且避免了檢測頭與探針框架發生碰撞造成的損失。
[0091]以上所述是本發明的優選實施方式，應當指出，對於本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明的保護範圍。
【權利要求】
1.一種陣列基板檢測頭，用於對陣列基板上的多個陣列電路進行檢測，其特徵在於，所述陣列基板檢測頭包括: 檢測頭本體； 設置在所述檢測頭本體上、用於向所述陣列電路的信號端點加載測試信號的探針組件； 設置在所述檢測頭本體上、用於檢測所述陣列電路傳遞的測試信號的檢測電路。
2.根據權利要求1所述的陣列基板檢測頭，其特徵在於，所述探針組件由至少一個探針模塊組成，每個探針模塊包括: 用於獲取測試信號的信號獲取單元； 與所述信號獲取單元連接的預設數量的探針結構。
3.根據權利要求2所述的陣列基板檢測頭，其特徵在於，所述探針結構包括: 設置有氣管接口的氣缸； 位於所述氣缸內部的活塞，所述活塞與所述氣缸之間形成一封閉空間； 位於所述封閉空間內的彈簧，所述彈簧的一端固定在活塞上，另一端固定在所述氣缸的端部; 設置在所述活塞上、位於所述封閉空間外的探針頭，所述探針頭通過信號引線與所述信號獲取單元連接。
4.一種陣列基板檢測裝置，其特徵在於，包括如權利要求1-3中任一項所述的陣列基板檢測頭，所述檢測裝置還包括: 用於放置待測試的陣列基板的測試機臺； 設置在所述測試機臺上、用於控制所述陣列基板檢測頭在設備X軸、設備Y軸和設備Z軸上移動的移動控制組件。
5.根據權利要求4所述的陣列基板檢測裝置，其特徵在於，所述移動控制組件包括: 沿設備Y軸方向設置在所述測試機臺上的支架； 沿設備X軸方向設置在所述支架上、能夠在所述支架上沿設備Y軸方向移動的支撐杆； 沿設備Z軸方向設置、第一端與所述支撐杆可移動連接的伸縮杆，所述伸縮杆能夠沿所述支撐杆移動； 其中，所述陣列基板檢測頭固定在所述伸縮杆的第二端。
6.根據權利要求5所述的陣列基板檢測裝置，其特徵在於， 所述支架上設置有沿設備Y軸方向排布、相對的第一導軌和第二導軌，所述第一導軌和第二導軌上分別設置有第一滑塊和第二滑塊； 所述支撐杆的第一端固定在所述第一滑塊上，所述支撐杆的第二端固定在所述第二滑塊上。
7.根據權利要求5所述的陣列基板檢測裝置，所述支撐杆上設置有沿設備X軸方向排布的第三導軌，所述第三導軌上設置有第三滑塊，所述伸縮杆的第一端固定在所述第三滑塊上。
8.—種陣列基板檢測方法，其特徵在於，應用於如權利要求4-7中任一項所述的檢測裝置，所述檢測方法包括: 將待測試的陣列基板放置在所述測試機臺上； 利用所述陣列基板檢測裝置對所述陣列基板的多個陣列電路一一進行測試。
9.根據權利要求8所述的陣列基板檢測方法，其特徵在於，所述利用所述陣列基板檢測裝置對所述陣列基板的多個陣列電路一一進行測試包括: 步驟a:通過所述移動控制組件將所述陣列基板檢測頭移動至一未檢測的陣列電路上方，並通過所述移動控制組件使所述陣列基板檢測頭與所述陣列電路相接觸； 步驟b:通過所述探針組件向所述陣列電路上的信號端點加載測試信號； 步驟c:通過所述檢測電路檢測所述陣列電路傳遞的測試信號； 重複上述步驟a-c，直至對所述陣列基板上的所有陣列電路完成檢測。
10.根據權利要求9所述的陣列基板檢測方法，其特徵在於，所述步驟a包括: 控制所述支撐杆在設備Y軸方向上的移動，使所述支撐杆移動至所述陣列電路正上方； 控制所述伸縮杆在設備X軸方向上的移動，使所述伸縮杆移動至所述陣列電路正上方； 控制所述伸縮杆的伸縮，位於所述伸縮杆端部的陣列基板檢測頭與所述陣列電路相接觸。
【文檔編號】G09G3/00GK104280904SQ201410505974
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年9月26日 優先權日:2014年9月26日
【發明者】林金升, 趙海生, 田超, 範曉帥, 溫召虎 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 北京京東方光電科技有限公司