產業工藝評價裝置以及產業工藝評價方法

2023-06-10 06:46:06

專利名稱：產業工藝評價裝置以及產業工藝評價方法
技術領域：
本發明涉及對產業用裝置執行的產業工藝進行評價的產業工藝評價裝 置以及產業工藝評價方法。
背景技術：
一直以來，都是通過將與在半導體製造裝置發生的異常相關的信息顯示 在顯示器等上來通知操作人員。例如，在專利文件1中公開了顯示在半導體 製造裝置中發生的異常的原因和處理方法的技術。專利文件I: JP特開平10-21079號公報但是，在現有技術中，存在的問題是很難妥當地對在半導體製造裝置中 發生的異常進行處理。艮口，在半導體製造裝置發生異常時，該半導體製造裝置的用戶必須確定 在異常發生時所執行的製造工藝，並分析該異常給通過執行該製造工藝所制 造的目標物帶來的影響，換而言之，需要分析是否將該目標物送交到下個工 序也沒有問題。這種分析工作需要耗費很多勞動，還不得不跟半導體裝置的 銷售商合作。此外，在半導體製造裝置中發生異常時，該半導體製造裝置的用戶雖然 需要謀求防止異常再次發生，但是，對此，還需要以過去的經驗和來自半導 體製造裝置的銷售商的信息為基礎，耗費大量的勞動來應付。這些情況，對於半導體製造裝置以外的製造裝置，更普通的用於事業的 產業用裝置中， 一般是相同的。發明內容為了解決上述問題，本發明目的在於妥當地應付在半導體製造裝置發生 的異常。為了解決上述問題，本發明的第一技術方案是一種產業工藝評價裝置，
對產業用裝置執行的產業工藝進行評價，該產業工藝評價裝置具有檢測裝 置，其檢測在執行上述產業工藝的過程中發生的異常；第一判斷裝置，其判 斷上述異常給通過所述產業用裝置執行所述產業工藝而處理的目標物帶來 的影響；輸出裝置，其輸出上述第一判斷裝置的判斷結果。本發明的第二技術方案，如第一技術方案所述的產業工藝評價裝置，還 具有第一更新裝置，所述第一更新裝置對作為所述第一判斷裝置的判斷基礎 的數據進行更新。本發明的第三技術方案，如第一或者第二方面所述的產業工藝評價裝 置，還具有第二判斷裝置，該第二判斷裝置對與所述防止異常再次發生相關 的建議進行判斷，所述輸出裝置在輸出所述第一判斷裝置的判斷結果的同 時，輸出上述第二判斷裝置的判斷結果。本發明的第四技術方案，如第三技術方案所述的產業工藝評價裝置，還 具有第二更新裝置，所述第二更新裝置對作為上述第二判斷裝置的判斷基礎 的數據進行更新。本發明的第五技術方案，如第一至第四技術方案的任意一項所述的產業 工藝評價裝置，還具有接收裝置，該接收裝置接收來自所述輸出裝置的有效 性的輸入。本發明的第六技術方案是一種產業工藝評價方法，對產業用裝置執行的 產業工藝進行評價，具有檢測工序，其檢測在執行上述產業工藝的過程中 發生的異常；判斷工序，其判斷所述異常給通過所述產業用裝置執行所述產 業工藝而處理的目標物帶來的影響；輸出工序，其輸出上述判斷工序的判斷 結果。根據本發明，因為能夠知道在執行產業工藝的過程中發生的異常給目標 物帶來的影響，所以可以對異常妥當地進行處理。根據本發明的第二技術方案，因為可以將成為第一判斷裝置的判斷基礎 的數據變為適當的數據，所以可以是將第一判斷裝置的判斷結果變為妥當 的。根據本發明的第三技術方案，因為可以知道與在執行產業工藝的過程中 發生的異常再次發生相關的建議，所以可以更妥當地對異常進行處理。根據本發明的第四技術方案，因為可以將成為第二判斷裝置的判斷基礎
的數據變為適當的數據，所以可以是將第二判斷裝置的判斷結果變為妥當 的。根據本發明的第五技術方案，可以獲得用於將輸出裝置的輸出變為妥當 的內容的信息。


圖1是表示本發明優選的實施方式的製造工藝評價系統PS的整體結構的圖。圖2是表示製造裝置1的基本結構的框圖。 圖3是表示製造工藝評價管理裝置3的基本結構的框圖。 圖4是表示製造裝置1為半導體製造用清洗裝置時的警報影響度表1055 的具體例子的圖。圖5是表示製造裝置1為半導體製造用清洗裝置時的防止警報再次發生 建議表1057的具體例子的圖。圖6是表示在閱覽工藝評價信息INF1時顯示在輸出設備57上的處理工 藝結果一覽畫面SC1的具體例子的圖。圖7表示與處理工藝結果一覽畫面SC1中的詳細信息閱覽按鈕B11的按 下操作相應對並顯示在輸出設備57上的處理工藝結果詳細畫面SC3的具體 例子的圖。圖8是表示與處理工藝結果詳細畫面SC3中的評價按鈕BT31的按下操 作相應對並顯示在輸出設備57上的評價畫面SC5的具體例子的圖。圖9是表示向製造工藝評價資料庫9存儲工藝評價信息INF1時的製造 工藝評價系統PS的動作的流程圖。圖10是表示閱覽存儲在製造工藝評價資料庫9中的工藝評價信息INF1 時的製造工藝評價系統PS的動作的流程圖。圖11是表示向製造工藝評價資料庫9存儲工藝評價成績反饋信息INF5 時的製造工藝評價系統PS的動作的流程圖。圖12是表示製造裝置1的銷售商提取存儲在製造工藝評價資料庫9中 的工藝評價成績反饋信息INF5時的製造工藝評價系統PS的動作的流程圖。圖13是表示更新警報影響度表1055以及防止警報再次發生建議表1057
時的製造工藝評價系統PS的動作的流程圖。
具體實施方式
下面，說明對在產業用裝置中發生的異常給該產業用裝置作為處理對象 的目標物帶來的影響進行評價，並輸出評價結果的技術。在此，所謂"產業用裝置"是指在事業中使用的裝置，特別是如下面說 明的那樣的，在產品的製造中所使用的製造裝置。1製造工藝管理系統的結構圖1是表示本發明優選的實施方式涉及的製造工藝評價系統PS的整體基本結構的圖。如圖1所示，製造工藝評價系統PS包括執行製造工藝的製造裝置l; 製造工藝評價管理裝置3，其管理製造工藝評價資料庫9，該製造工藝評價 資料庫9存儲與製造工藝的評價相關的信息(以下，稱為"工藝評價信息") INF1的；工藝評價用終端5，其用於閱覽工藝評價信息INF1;管理用終端7， 其用於管理製造工藝評價系統PS。在圖1中，用實線箭頭表示工藝評價信息 INF1的走向，用點劃線箭頭表示與成為工藝評價信息INF1的判斷基礎的判 斷用數據的更新內容相關的信息(以下，稱為"工藝評價更新信息")INF3 的走向，用虛線箭頭表示與工藝評價信息INF1的有效性相關的信息(以下， 稱為"工藝評價成績反饋信息")INF5的走向。另外，圖1表示的是製造工 藝評價系統PS包括的製造裝置1、工藝評價用終端5以及管理用終端7的數 量為一個的情況，但是製造工藝評價系統PS包括的製造裝置1、工藝評價用 終端5以及管理用終端7的數量也可以是兩個以上。在製造工藝評價系統PS中作為伺服器的製造工藝評價管理裝置3，經由 網絡8而與作為客戶端的製造裝置1、工藝評價用終端5以及管理用終端7 可通信地連接在一起。用於該通信的協議並沒有特別的限定，既可以是單獨 的協議，也可以是HTTP或者FTP等通用協議。在製造裝置1中還安裝有為了執行實現下述動作的程序PRG1，而至少 具有CPU11和存儲器13的計算機。製造裝置1每當執行製造工藝時，將工 藝評價信息INF1向製造工藝評價管理裝置3發送。並且，製造裝置1在制 造工藝的執行過程中發生異常時，將與異常的內容相關的信息附加到工藝評價信息INFl中來向製造工藝評價管理裝置3發送。此外，製造裝置l，當從製造工藝評價管理裝置3接收工藝評價更新信 息INF3時，根據所接收的工藝評價更新信息INF3來更新判斷用數據。製造工藝評價管理裝置3，是為了執行實現下述動作的程序PRG3，而 至少具有CPU31和存儲器33的計算機。製造工藝評價管理裝置3當從製造 裝置1接收工藝評價信息INF1時，將所接收的工藝評價信息INF1登錄到制 造工藝評價資料庫9中，在從工藝評價用終端5接收工藝評價成績反饋信息 INF5時，將所接收的工藝評價成績反饋信息INF5登錄到製造工藝評價數據 庫9中。此外，製造工藝評價管理裝置3當從管理用終端7接收工藝評價更新信 息INF3時，將所接收的工藝評價管理信息INF3向製造裝置1發送。並且，製造工藝評價管理裝置3當從工藝評價用終端5接收工藝評價信 息INF1的要求指令時，從製造工藝評價資料庫9取得所要求的工藝評價信 息INF1，並將所取得的工藝評價信息INF1向工藝評價用終端5發送。此外，製造工藝評價管理裝置3當從管理用終端7接收工藝評價成績反 饋信息INF5的提取指令時，從製造工藝評價資料庫9取得與提取指令相應 的工藝評價成績反饋信息INF5，將所接收的工藝評價成績反饋信息INF5向 管理用終端7發送。工藝評價用終端5是至少具備CPU51和存儲器53的計算機，作為用戶 接口，具備鍵盤和滑鼠等輸入設備55，以及顯示器和印表機等輸出設備57。 在工藝評價用終端5中，通過使計算機執行在存儲器53中的程序PRG5，能 夠實現以下說明的各種功能和動作。工藝評價用終端5將與對輸入設備55進行的操作相對應的工藝評價信 息INF1的要求指令向製造工藝評價管理裝置3發送，並將從製造工藝評價 管理裝置3接收的工藝評價信息INF1向輸出設備57發送。管理用終端7也是至少具備CPU71和存儲器73的計算機，而作為用戶 接口，具備鍵盤和滑鼠等輸入設備75，以及顯示器和印表機等輸出設備77。 在管理用終端7，通過使計算機執行在存儲器73中的程序PRG7，也能夠實 現以下說明的各種功能和動作。管理用終端7將與對輸入設備75進行的操作相對應的工藝評價成績反
饋信息INF5的提取指令向製造工藝評價管理裝置3發送，並將從製造工藝評價管理裝置3接收的工藝評價成績反饋信息INF5向輸出設備77發送。 [製造裝置]製造裝置l通過執行製造工藝來處理目標物。在此，所謂"製造工藝" 是指對目標物進行的一系列操作。製造裝置1當然包括對目標物進行加工的裝置，但是還包括即使不對目 標物進行加工，也有可能因產品製造所必需的裝置給目標物帶來某些影響的 裝置，例如檢査裝置、搬運裝置、環境管理裝置等。在製造裝置1中包含例 如半導體製造用的清洗裝置、熱處理裝置、雜質導入裝置、薄膜形成裝置、 平版印刷裝置、平坦化裝置等。但是，這些裝置只不過是製造裝置1的示例， 並不是對本發明應用範圍進行限定。製造裝置l承擔產品製造中的一部分或者全部工序。在此，所謂"一部 分或者全部工序"是指製造裝置1不需要承擔產品製造中的全部工序，可以 僅承擔產品製造中的一部分工序。例如，製造裝置1可以僅承擔反覆進行清 洗工序、熱處理工序、雜質導入工序、薄膜形成工序、平版印刷工序、平坦 化工序等的半導體製造中的一個清洗工序。接下來，參照表示製造裝置1的基本結構的圖2的框圖，來說明製造裝 置l。圖2所示的工藝執行部101、警報檢測部103、工藝評價部105 (包含 警報影響度判斷部1051、防止警報再次發生建議判斷部1053)、通信控制 部107以及工藝評價信息更新部109，示意地表示通過使計算機執行存儲器 13中的程序PRG1而實現的功能。此外，在圖2中，用實線箭頭表示工藝評 價信息INF1，用點劃線箭頭表示工藝評價更新信息INF3的走向。工藝執行部101通過統一控制製造裝置1的各結構來執行製造工藝。此外，工藝執行部101當完成了製造工藝的執行時，將與製造工藝相關 的信息(以下稱為"製造工藝信息")INF7向工藝評價部105發送。帝隨工 藝信息INF7包含"裝置名"、"工藝執行時間"、"執行工藝名稱"、"執 行訣竅名稱"以及"工藝執行結果"。作為"工藝執行結果"，在製造工藝 正常結束的情況下，傳送"正常結束"，而在製造工藝的執行中發生了異常 的情況下，與異常程度相對應地傳送"警報發生"、"警告發生"、"注意 發生"其中的某一個。
警報檢測部103監視製造裝置1的各結構，並檢測在製造工藝的執行中發生的異常。此外，警報檢測部103在檢測出異常時將警報信息INF9向工 藝執行部101傳送。在此，所謂"異常"是指製造裝置1的動作或狀態等超 出了預先確定的容許範圍。工藝評價部105根據從工藝執行部101傳送的警報信息INF9的有無來 判斷在製造工藝的執行中是否發生了異常，在判斷出發生了異常時，對製造 工藝進行評價。更具體地來說，工藝評價部105，在判斷出發生了異常時，通過警報影 響度判斷部1051來判斷該異常給目標物(製品、半成品、在制品)帶來的 影響(以下稱為"警報影響度")，並通過防止警報再次發生建議判斷部1053 來判斷與防止異常再次發生相關的建議(以下稱為"防止警報再次發生建 議")。此時，工藝評價部105在將警報影響度以及防止警報再次發生建議 添加到警報信息INF9中的基礎上，將包含製造工藝信息INF7以及警報信息 INF9的工藝評價信息INF1向通信控制部107傳送。另一方面，工藝評價部105，在判斷沒有發生異常時，不進行警報影響 度以及防止警報再次發生建議的判斷。此時，工藝評價部105將製造工藝信 息INF7作為工藝評價信息INF1而向通信控制部107傳送。通信控制部107確立與製造工藝評價管理裝置3的通信控制部311之間 的通信，將從工藝評價部105傳送來的製造工藝評價信息INF1向製造工藝 評價管理裝置3輸出，同時將從製造工藝評價管理裝置3輸入的工藝評價更 新信息INF3向工藝評價信息更新部109傳送。為了製造裝置1與製造工藝 評價管理裝置3之間的通信，可以使用作為普遍的信息交接裝置的COM (Component Object Model:組件對象模型)、CORBA (Common Object R叫uest Broker Architecture:通用對象請求代理體系結構)以及SOAP(Simple Object Access Protocol:簡單對象訪問協議)等。另外，製造裝置1將警報影響度表1055以及防止警報再次發生建議表 1057，作為成為警報影響度以及防止警報再次發生建議的判斷基礎的判斷用 數據而保持在存儲器33中。另外，也可以將警報影響度表1055以及防止警 報再次發生建議表1057保持在硬碟驅動器等輔助存儲裝置中。警報影響度判斷部1051以及防止警報再次發生建議判斷部1053分別參
照警報影響度表1055以及防止警報再次發生建議表1057來判斷警報影響度 以及防止警報再次發生建議。當從通信控制部107傳送工藝評價更新信息 INF3時，工藝評價信息更新部109根據傳送來的工藝評價更新信息INF3來 更新警報影響度表1055以及防止警報再次發生建議表1057。 [製造工藝評價裝置]圖3是表示製造工藝評價管理裝置3的基本結構的框圖。如圖3所示的 工藝評價信息登錄部301、工藝評價成績反饋信息取得部303、工藝評價成 績反饋信息登錄部305、工藝評價信息取得部307、工藝評價信息更新部309、 通信控制部311， 313， 315，示意地表示通過計算機執行存儲器33中的程序 PRG3而實現的功能。此外，在圖3中，用實線箭頭表示工藝評價信息INF1 的走向，用點劃線箭頭表示工藝評價更新信息INF3的走向，用虛線箭頭表 示工藝評價成績反饋信息INF5的走向。通信控制部311確立與製造裝置1的通信控制部107之間的通信，將從 製造裝置1輸入的工藝評價信息INF1向工藝評價信息登錄部301傳送，並 將從工藝評價信息更新部309傳送來的工藝評價更新信息INF3向製造裝置1 輸出。工藝評價信息登錄部301將從通信控制部311傳送來的工藝評價信息 INF1登錄到製造工藝評價資料庫9中。為了向製造工藝評價資料庫9登錄工 藝評價信息INF1，可以使用作為通常的信息交接裝置的ODBC (Open Database Connectivity:開放資料庫連接)以及ADO (ActiveX Data Objects: ActiveX數據對象)等。通信控制部315確立與工藝評價用終端5之間的通信，將從工藝評價用 終端5輸入的工藝評價成績反饋信息INF5向工藝評價成績反饋信息登錄部 305傳送，並將從工藝評價信息取得部307傳送來的工藝評價信息INF1向工 藝評價用終端5輸出。為了製造工藝評價管理裝置3和工藝評價用終端5之 間的通信，可以使用作為通常的信息交接裝置的COM、 CORBA、 SOAP、 HTTP等。工藝評價信息取得部307從製造工藝評價資料庫9取得所要求的工藝評 價信息INF1，並將其向通信控制部315傳送。為了從製造工藝評價資料庫9 獲得工藝評價信息INF1，可以使用作為通常的信息交接裝置的ODBC以及
ADO等。工藝評價成績反饋信息登錄部305將從通信控制部315傳送來的工藝評 價成績反饋信息INF5登錄到製造工藝評價資料庫9中。為了向製造工藝評 價資料庫9登錄工藝評價成績反饋信息INF5，可以使用作為通常的信息交接 裝置的ODBC以及ADO等。通信控制部313確立與管理用終端7之間的通信，將從管理用終端7輸 入的工藝評價更新信息INF3向工藝評價信息更新部309傳送，並將從工藝 評價成績反饋信息取得部303傳送來的工藝評價成績反饋信息INF5向管理 用終端7輸出。工藝評價成績反饋信息取得部303從製造工藝評價資料庫9取得所要求 的工藝評價成績反饋信息INF5，並將其向通信控制部313傳送。為了從製造 工藝評價資料庫9取得工藝評價成績反饋信息INF5，可以使用作為通常的信 息交接裝置的ODBC以及ADO等。工藝評價信息更新部309將從通信控制部313傳送來的工藝評價更新信 息INF3向通信控制部311傳送。[警報影響度表]圖4是表示製造裝置1為半導體製造用清洗裝置時警報影響度表1055 的具體例子的圖。如圖4所示，警報影響度表1055為這樣的圖表可以將根據製造工藝 信息INF7以及警報信息INF9確定的"警報內容"、"警報發生部位"、"工 藝內容"，與表示警報影響度的"警報影響級別"以及"警報影響內容"建 立對應關係。警報影響度判斷部1051，通過參照警報影響度表1055，每當獲得了制 造工藝信息INF7以及警報信息INF9時，將"警報內容"、"警報發生部位"、 "工藝內容"作為檢索關鍵詞，檢索與該檢索關鍵詞建立對應關係的"警報 影響級別"以及"警報影響內容"，由此來判斷警報影響度。也就是說，警 報影響度判斷部1051，除了考慮製造裝置1的狀態之外，還要考慮製造裝置 l執行的製造工藝的內容，來判斷警報影響度。例如，在使用了圖4所示的警報影響度表1055時，如果"警報內容" 為"動作超時(不到5秒)"、"警報發生部位"為"提升器No.001"、"工 藝內容"為"純水衝洗"，則"警報影響級別"為"無"、"警報影響內容" 為"沒有影響"。但是，即使"警報內容"以及"警報發生部位"相同，若 "工藝內容"變為"強酸衝洗"，則"警報影響級別"變為"H"，而"警 報影響內容"變為"有可能給工藝帶來很大的影響。請送到檢查工序"。這樣，不僅可以根據警報信息INF9還與製造工藝信息INF7相應地使警 報影響度的判斷結果進行變化，由此能夠妥當地判斷警報影響度。 [防止警報再次發生建議表]圖5是表示製造裝置1為半導體製造用清洗裝置時的防止警報再次發生 建議表1057的具體例子的圖。如圖5所示，防止警報再次發生建議表1057為這樣的圖表可以將根 據警報信息INF9確定的"警報內容"、"警報發生部位"，與表示防止警 報再次發生建議的"防止警報再次發生建議"建立對應關係。防止警報再次發生建議判斷部1053，通過參照防止警報再次發生建議表 1057，每當獲得了警報信息INF9時，將"警報內容"以及"警報發生部位" 作為檢索關鍵詞，檢索與該檢索關鍵詞建立對應關係的"防止警報再次發生 的建議"，由此來判斷防止警報再次發生建議。例如，在使用了如圖5所示的防止警報再次發生建議表1057時，如果 "警報內容"為"動作超時(不到5秒)"、"警報發生部位"為"提升器 No.001"，則"防止警報再次發生的建議"為"氣缸No.001用的N2的流量 有可能不足。請將N2閥V123的流量調整到0.5gal/min 1.0gal/min的範圍內。 此外，請每隔一個月確認一次流量。"。但是，即使"警報發生部位"相同， 若"警報內容"變為"動作超時(5秒以上不到60秒)"，則"防止警報再 次發生的建議"也變為"氣缸No.001用的N2的流量可能不足、或者氣缸可 能發生故障。請將N2閥V123的流量調整到0.5gal/min~1.0gal/min的範圍內。 如果流量適當，則有可能是氣缸故障。這種情況請與本公司的工程師聯絡。"。 也就是說，防止警報再次發生建議判斷部1053，發生與解決認為是異常的發 生原因的製造裝置1的調整不良或故障的處理方法相關的信息作為防止警報 再次發生建議。這樣，可以根據警報信息INF9使防止警報再次發生建議的判斷結果進 行變化，由此能夠妥當地判斷防止警報再次發生建議。 [處理工藝結果一覽畫面]圖6是表示在閱覽工藝評價信息INF1時顯示在輸出設備(下面，該設 備為顯示器)57上的處理工藝結果一覽畫面SC1的具體例子的圖。如圖6所示，處理工藝結果一覽畫面SC1包括分別表示工藝評價信息 INF1包含的"裝置名"、"工藝執行時間"、"執行工藝名稱"、"執行訣 竅名稱"以及"工藝執行結果"的裝置名標籤、工藝執行時間標籤、執行工 藝名稱標籤、執行訣竅名稱標籤以及工藝執行結果標籤。在處理工藝結果一覽畫面SC1中，"裝置名"顯示在區域All上。此外，在處理工藝結果一覽畫面SC1中，對每個顯示在區域All上的 "裝置名"的工藝評價信息INF1，在區域A12上顯示有"工藝執行時間"、 "執行工藝名稱"、"執行訣竅名稱"以及"工藝執行結果"。並且，處理 工藝結果一覽畫面SC1包含詳細信息閱覽按鈕Bll，該詳細信息閱覽按鈕 Bll用於將處理工藝結果詳細畫面SC3調出到輸出設備57中。各個詳細信 息閱覽按鈕Bl 1分別對應在區域A12上所顯示的各個工藝評價信息INF1 。在處理工藝結果一覽畫面SC1中，可以僅提取符合在區域A13指定的 檢索條件的工藝評價信息INF1並將其顯示在區域A12中。在區域A13,可 以將"工藝執行時間"、"執行工藝名稱"、"執行訣竅名稱"以及"工藝 執行結果"作為檢索條件來指定，來提取工藝評價信息INF1。由此，操作人 員可以僅選擇所希望的工藝評價信息INF1、例如、"工藝執行結果"為"警 報發生"的工藝評價信息INF1來閱讀，從而可以有效地執行與工藝評價相 關的業務。[處理工藝結果詳細畫面]圖7是表示與在處理工藝結果一覽畫面SC1中的詳細信息閱覽按鈕Bll 操作相應對並顯示在輸出設備57上的處理工藝結果詳細畫面SC3的具體例 子的圖。如圖7所示，在處理工藝結果詳細畫面SC3中，在區域A31顯示工藝 評價信息INF1的"工藝執行時間"、"執行工藝名稱"、"執行訣竅名稱" 以及"工序執行結果"。顯示在區域A31的工藝評價信息INF1，與在顯示 處理工藝結果詳細畫面SC3之前的處理工藝結果一覽畫面SC1中所按下的 詳細信息閱覽按鈕Bll相對應。
此外，在處理工藝結果詳細畫面SC3中，針對在區域A31顯示的製造 工藝的執行時發生的每個異常，在區域A32顯示"警報執行時間"、"警報 級別"、"警報內容"、"警報發生部位"、"工藝內容"以及"警報影響 度(警報影響級別)"。另外，在處理工藝結果詳細畫面SC3中，與通過點擊在區域A32上顯 示的"警報發生時間"而選擇的異常相關的"警報影響度(警報影響內容)" 以及"防止警報再次發生建議(防止警報再次發生的建議)"被顯示在區域 A33中。除此之外，處理工藝結果詳細畫面SC3包括評價按鈕BT31，該評價按 鈕BT31用於將用於警報影響度和防止再次發生的評價畫面SC5調出到輸出 設備57上。操作人員通過閱覽顯示在處理工藝結果詳細畫面SC3上的警報影響度， 可獲知在執行製造工藝的過程中發生的異常給目標物帶來的影響，因此可以 對該異常進行妥當的處理。例如，在製造裝置1為半導體製造用清洗裝置時， 在發生異常時可以選擇應將作為清洗對象的晶片送到檢査工序，或者應忽略 異常送到下一個工序，或者應進行再次清洗處理。並且，操作人員通過閱覽顯示在處理工藝結果詳細畫面SC3上的防止警 報再次發生建議，可獲知在執行製造工藝的過程中發生的與防止異常再次發 生相關的建議，因此可以對異常進行妥當的處理。例如，在發生異常時可以 選擇應調整製造裝置1，或者應對製造裝置1進行故障修理。[評價畫面]圖8是表示與在處理工藝結果詳細畫面SC3中的評價按鈕BT31的按下 操作相應對並顯示在輸出設備57上的評價畫面SC5的具體例子的圖。如圖8所示，在評價畫面SC5中，將在顯示評價畫面SC5之前在處理 工藝結果詳細畫面SC3的區域A31中顯示的"工藝執行時間"、"執行工 藝名稱"、"執行訣竅名稱"以及"工藝執行結果"顯示在區域A51，在處 理工藝結果詳細畫面SC3的區域A32上顯示的"警報影響度(警報影響內 容)"被顯示在區域S52中，在處理工藝結果詳細畫面SC3的區域A33中 顯示的"防止警報再次發生建議(防止警報再次發生的建議)"被顯示在區 域A53中。
此外，在評價畫面SC5的區域A52上具有接受"警報影響度(警報影 響內容)"的有效性(是否是要選擇的目標)的輸入的複選框C51。並且， 在評價畫面SC5的區域A53具備接受"防止警報再次發生建議(防止警報 再次發生的建議)"的有效性(是否是要選擇的目標)的輸入的複選框C52。在複選框C51中，可以從"完全正確"、"正確"、"普通"、"不完 全正確"以及"完全不正確"這5個選項中選擇一個，在複選框C52中，可 以從"非常有用"、"有用"、"普通"、"沒有用"以及"完全沒有用" 這5個選項中選擇一個。這樣，如果從多個選項中選擇最合適的一個，不會 給操作人員帶來過大的負擔，就可以從操作人員獲得工藝評價成績反饋信息 INF5，並可以容易地處理所取得的工藝評價成績反饋信息INF5，而這不妨 礙用其他的方法來獲得工藝評價成績反饋信息INF5。例如，可以輸入與有效 性相應的點數，還可以以文章的方式輸入關於合理性的見解。除此之外，評價畫面SC5包括登錄按鈕B51，該登錄按鈕B51用於對工 藝評價成績反饋信息INF5的登錄進行指示。2製造工藝管理系統的動作[工藝評價信息的儲存]圖9是表示向製造工藝評價資料庫9存儲工藝評價信息INF1時的製造 工藝評價系統PS的動作的流程圖。如圖9所示，在存儲工藝評價信息INF1的過程中，首先，在製造裝置l 中，工藝執行部101執行製造工藝(步驟S101)。此時，當警報檢測部103檢測到在執行製造工藝的過程中發生的異常時 (步驟S102為"是")，警報檢測部103向工藝執行部101傳送警報信息 INF9 (步驟S103)，工藝執行部101向工藝評價部105傳送製造工藝信息 INF7以及警報信息INF9 (步驟S104)。由此，準備好判斷警報影響度以及 防止警報再次發生建議所必須的信息，更具體地來說，準備好對警報影響度 表1055以及防止警報再次發生建議表1057進行檢索所必須的檢索關鍵詞。當這樣應對時，警報影響度判斷部1051參照警報影響度表1055來判斷 警報影響度(步驟S105)，防止警報再次發生建議判斷部1053參照防止警 報再次發生建議表1057來判斷防止警報再次發生建議(步驟S106)，工藝 評價部105在將警報影響度以及防止警報再次發生建議附加到警報信息 INF9中的基礎上，還經由通信控制部107、 311，將包含製造工藝信息INF7 以及警報信息INF9的工藝評價信息INF1向製造工藝評價管理裝置3的工藝 評價信息登錄部301發送(步驟S109)。另一方面，在警報檢測部103沒檢測到異常時，工藝執行部101向工藝 評價部105傳送製造工藝信息INF7 (步驟S107)，工藝評價部105經由通 信控制部107、 311，將製造工藝信息INF7作為工藝評價信息INF1向工藝 評價信息登錄部301發送(步驟S109)。相對於此，工藝評價信息登錄部301將收到的工藝評價信息INF1存儲 在製造工藝評價資料庫9中(步驟SllO)。在製造工藝評價系統PS1中，每當執行製造工藝時，通過反覆執行步驟 S101 S110，由此將對整個製造工藝的工藝評價信息INF1存儲在製造工藝評 價資料庫9中。但是，如下內容是本發明所不包括的內容不執行步驟 S107 S108，而僅將附有警報影響度以及防止警報再次發生建議的工藝評價 信息INF1存儲在製造工藝評價資料庫9中，或者僅將將附有警報影響度以 及防止警報再次發生建議的工藝評價信息INF1的一部分，例如僅將警報影 響級別為"H"的工藝評價信息INF1存儲在製造工藝評價資料庫9中。[工藝評價信息的閱覽]圖10是表示閱覽在製造工藝評價資料庫9中存儲的工藝評價信息INF1 時製造工藝評價系統PS的動作的流程圖。如圖10所示，在閱覽工藝評價信息INF1的過程中，首先，工藝評價用 終端5經由通信控制部315將操作人員利用輸入設備55指定的"裝置名" 的工藝評價信息INF1的要求指令發布到工藝評價信息取得部307。當然，在 發布要求指令時，操作人員也可以指定"裝置名"以外的內容。另外，如果 在製造工藝評價管理裝置3上安裝網絡伺服器的話，可以使用安裝了網頁瀏 覽器的普通計算機作為工藝評價用終端5，來發布要求指令作為HTTP請求。與此相對，工藝評價信息取得部307從製造工藝評價資料庫9取得與要 求指令相應的工藝評價信息INF1 (步驟S202)，將所取得的工藝評價信息 INF1經由通信控制部315向工藝評價用終端5發送(步驟S203)。並且， 工藝評價用終端5將包含所接收到的工藝評價信息INF1的處理工藝結果一 覽畫面SC1顯示在輸出設備57上(步驟S204)。
在製造工藝評價系統PS中，將工藝評價信息INF1暫時存儲在製造工藝 評價資料庫9中，利用工藝評價用終端5閱覽所存儲的工藝評價信息INF1， 由此能夠僅選擇所希望的工藝評價信息INF1來閱讀，並且有效地執行與工 藝評價相關的業務。[工藝評價成績反饋信息的存儲]圖11是表示向製造工藝評價資料庫9存儲工藝評價成績反饋信息INF5 時的製造工藝評價系統PS的動作的流程圖。如圖11所示，在存儲工藝評價成績反饋信息INF5的過程中，首先，工 藝評價用終端5與登錄按鈕B51的按下操作相應對，將利用複選框C51、C52 輸入的工藝評價成績反饋信息INF5經由通信控制部315，向製造工藝評價管 理裝置3的工藝評價成績反饋信息登錄部305發送(步驟S301)。相對於此，工藝評價成績反饋信息登錄部305將所接收到的工藝評價成 績反饋信息INF5存儲在製造工藝評價資料庫9中(步驟S302)。在製造工藝評價系統PS1中，在評價畫面SC5上評價警報信息以及防止 警報再次發生建議的合理性，並每當按下了登錄按鈕B51時就重複執行步驟 S301 S302，由此將工藝評價成績反饋信息INF5存儲在製造工藝評價資料庫 9中。[提取工藝評價成績反饋信息]圖12是表示製造裝置1的銷售商提取存儲在製造工藝評價資料庫9中 的工藝評價成績反饋信息INF5時的製造工藝評價系統PS的動作的流程圖。如圖12所示，在提取工藝評價成績反饋信息INF5的過程中，首先，管 理用終端7根據操作者對輸入設備75的提取操作，通過通信控制部313，對 製造工藝評價管理裝置3的工藝評價成績反饋信息取得部303發布採取指令 (步驟S401)。當然，也可以在發布提取指令的過程中，指定應提取的工藝 評價成績反饋信息INF5的登錄時間等。相對於此，工藝評價成績反饋信息取得部303，從製造工藝評價資料庫 9取得與提取指令相應的工藝評價成績反饋信息INF5 (步驟S402)，並通 過通信控制部313將所取得的工藝評價成績反饋信息INF5向管理用終端7 發送(步驟S403)。管理用終端7將所接收到的工藝評價成績反饋信息INF5顯示在輸出設
備77上(步驟S404)。當然，還可以替代將工藝評價成績反饋信息INF5 顯示在輸出設備77上的步驟，或者，在將工藝評價成績反饋信息INF5顯示 在輸出設備77上的步驟之外，還將接收到的工藝評價成績反饋信息INF5保 存在存儲器中，或者將其向其他的計算機(例如，製造裝置l的銷售商的設 施內的計算機)傳送。這樣一來如果參照所提取的工藝評價成績反饋信息INF5,就能夠知道被 評價為"不完全正確"、"完全不正確"等否定的評價的、欠缺有效性(偏 離目標)的警報影響度，同時能夠知道被評價為"不完全有用"、"完全沒 有用"等否定的評價的、欠缺有效性(偏離目標)的防止警報再次發生建議， 從而能夠驗證警報影響度表1055以及防止警報再次發生建議表1057的有效 性。這樣，在製造工藝評價系統PS中，通過存儲製造裝置1的用戶執行的 工藝評價成績反饋信息INF5禾B、提取製造裝置1的銷售商執行的工藝評價 成績反饋信息，從而從製造裝置l的用戶向銷售商反饋對警報影響度以及防 止警報再次發生建議的評價。[判斷用數據的更新]圖13是表示更新判斷用數據、即更新警報影響度表1055以及防止警報 再次發生建議表1057時的製造工藝評價系統PS的動作的流程圖。判斷用數 據的更新主要是在驗證了判斷用數據的有效性的結果、判明了判斷用數據欠 缺有效性時進行的。如圖13所示，在更新判斷用數據的過程中，首先，管理用終端7，將包 含適當地被修正了的新的判斷用數據的工藝評價更新信息INF3，經由通信控 制部313向製造工藝評價管理裝置3的工藝評價信息更新部309發送(步驟 S501)。另外，向管理用終端7輸入新的判斷用數據，既可以利用輸入設備 75，也可以從其他的計算機(例如，製造裝置1的銷售商的設施內的計算機) 傳送，還可以使管理用終端7讀取存儲新的判斷用數據的存儲介質。與此相對，工藝評價信息更新部309，經由通信控制部3U、 107將接收 到的工藝評價更新信息INF3向製造裝置1的工藝評價信息更新部109發送 (步驟S502)。並且，工藝評價信息更新部109根據接收到的工藝評價更新信息INF3
對警報影響度表1055以及防止警報再次發生建議表1057進行更新(步驟 S503)。由此，警報影響度表1055以及防止警報再次發生建議表1057被妥 當地置換為修改過的內容，從而警報影響度部1051以及防止警報再次發生 建議表1057能夠進行妥當的判斷。作為其結果，在更新警報影響度表1055 以及防止警報再次發生建議表1057後，存儲在製造工藝評價資料庫9中的 工藝評價信息INF1變為適當的內容，從而生成了從製造裝置1的用戶向銷 售商的評價反饋。 其他在上述的實施方式中，雖然與發生異常同步地判斷警報影響度以及防止 警報再次發生建議，但是也可以在發生異常的時刻存儲製造工藝信息INF7 以及警報信息INF9，與工藝評價信息INF1的要求指令同步地判斷警報影響 度以及防止警報再次發生建議。此外，也不是必須在製造裝置l的內部判斷 警報影響度以及防止警報再次發生建議，也可以在製造工藝評價管理裝置3 的內部來判斷警報影響度以及防止警報再次發生建議。此外，在上述的實施方式中，舉出了將工藝評價信息INF1暫時存儲在 製造工藝評價資料庫9中，利用工藝評價用終端5來閱覽所存儲的工藝評價 信息INF1的例子，但是只要能夠將工藝評價信息INF1實時地輸出到設置在 製造裝置1或者製造工藝評價管理裝置3上的顯示器或者印表機等輸出設備 中，就能夠容易地應對應當緊急進行處理的異常。
權利要求
1.一種產業工藝評價裝置，其特徵在於，對產業用裝置執行的產業工藝進行評價，所述裝置具有檢測裝置，其檢測在執行所述產業工藝時發生的異常；第一判斷裝置，其判斷所述異常給通過所述產業用裝置執行所述產業工藝而處理的目標物帶來的影響；以及輸出裝置，其輸出所述第一判斷裝置的判斷結果。
2. 如權利要求1所述的產業工藝評價裝置，其特徵在於，還具有第一更 新裝置，所述第一更新裝置對作為所述第一判斷裝置判斷基礎的數據進行更 新。
3. 如權利要求1或者2所述的產業工藝評價裝置，其特徵在於，還具有 第二判斷裝置，所述第二判斷裝置對與防止所述異常再次發生相關的建議進 行判斷，所述輸出裝置在輸出所述第一判斷裝置的判斷結果的同時，輸出所 述第二判斷裝置的判斷結果。
4. 如權利要求3所述的產業工藝評價裝置，其特徵在於，還具有第二更 新裝置，所述第二更新裝置對作為所述第二判斷裝置判斷基礎的數據進行更 新。
5. 如權利要求1或者2所述的產業工藝評價裝置，其特徵在於，還具有 接收裝置，所述接收裝置接收來自所述輸出裝置的有效性的輸入。
6. —種產業工藝評價方法，其對產業用裝置執行的產業工藝進行評價， 所述方法具有檢測工序，其檢測在執行所述產業工藝時發生的異常； 判斷工序，其判斷所述異常給通過所述產業用裝置執行所述產業工藝而 處理的目標物帶來的影響；以及輸出工序，其輸出所述判斷工序的判斷結果。
全文摘要
本發明涉及一種產業工藝評價裝置以及產業工藝評價方法，其妥當地處理在產業用裝置發生的異常。警報檢測部(103)監視製造裝置(1)的各結構，檢測在執行製造工藝的過程中發生的異常。工藝評價部(105)，通過警報影響度判斷部(1051)判斷該異常給目標物(產品、半成品、在制品)帶來的影響(警報影響度)，通過防止警報再次發生建議判斷部(1053)判斷與防止異常再次發生相關的建議(防止警報再次發生建議)。在顯示於輸出設備(57)上的處理工藝結構詳細畫面(SC3)中包含有警報影響度以及防止警報再次發生建議。
文檔編號G06Q50/04GK101149606SQ20071012629
公開日2008年3月26日 申請日期2007年6月29日 優先權日2006年9月20日
發明者中村康則 申請人:大日本網目版製造株式會社