噴出方法及彩色濾光器的製法、電光學裝置及電子設備的製作方法
2023-09-21 01:26:30 2
專利名稱：噴出方法及彩色濾光器的製法、電光學裝置及電子設備的製作方法
技術領域：
本發明涉及噴出具有流動性的液狀體的噴出方法及使用了該噴出方法的彩色濾光器的製造方法、電光學裝置及電子設備。
背景技術：
作為噴出具有流動性的液狀體的噴出方法，公知有一種將含有彩色濾光器材料的液狀體噴出到基板上，來製造彩色濾光器的方法(專利文獻1)。
在上述彩色濾光器的製造方法中，按照使噴嘴列排列於規定的方向的方式，使具有能夠將液狀體作為液滴而噴出的多個噴嘴的多個液滴噴頭相對基板而對置。而且，採用了如下的方法以從位於噴嘴列兩端部的規定區域的噴嘴(未使用噴嘴)不噴出液狀體的狀態，一邊使基板和液滴噴頭相對移動，一邊將液狀體從噴嘴(使用噴嘴)適當地噴出到基板上的規定位置，形成彩色濾光器。由此，由於不使用位於噴嘴列兩端部規定區域的噴出量比較多的噴嘴來進行液狀體的噴出，所以，可更加均勻地噴出液狀體。
而且，還公知一種不限定於彩色濾光器，通過噴出具有流動性的液狀體，可以在基板上精密地形成具有良好的微細圖案的功能性膜的液滴噴出裝置以及器件的製造方法(專利文獻2)。
在該器件的製造方法中，將利用液滴噴出裝置所具備的相機，對彈落於基板上時的液狀體的液滴舉動進行連續拍攝的結果作為基礎，可以決定最佳的液狀體噴出條件。
專利文獻1特開2003-159787號公報 第八頁專利文獻2特開2004-290799號公報 第三頁從上述液滴噴頭的多個噴嘴噴出的液狀體的噴出量，實際上在噴嘴之間存在偏差。如果該偏差大，則噴出後所形成的薄膜會發生不均，例如如果是彩色濾光器則存在著顏色不均的課題。
作為該噴嘴間的噴出量不均的原因可舉出，在對用於從噴嘴將液狀體作為液滴而噴出的能量產生機構(例如壓電元件或加熱元件等)施加驅動電壓時，相鄰的噴嘴之間的驅動電壓產生偏差，即所謂的電幹擾(crosstalk)。而且，可以舉出，供給液狀體的流路形狀的偏差等在供給液狀體的狀態下會發生偏差，使得噴出液滴的壓力或速度在噴嘴之間不同的所謂機械幹擾。
發明內容
本發明鑑於上述課題而提出，其目的在於提供能夠減少相鄰噴嘴之間的噴出量的偏差，以穩定的噴出量噴出液狀體的噴出方法，以及採用了該噴出方法的彩色濾光器的製造方法、電光學裝置以及電子設備。
本發明的噴出方法，使被噴出物與液滴噴頭的相對移動同步，從液滴噴頭的多個噴嘴對被噴出物的膜形成區域噴出包含功能性材料的液狀體，包括第一噴出工序，按照不從多個噴嘴構成的噴嘴列中與膜形成區域相關的相鄰噴嘴同時噴出所述液狀體的方式，選擇所使用的噴嘴進行噴出；和第二噴出工序，按照不從與膜形成區域相關的相鄰所述噴嘴同時噴出所述液狀體的方式，選擇與第一噴出工序不同組合的噴嘴進行噴出。
從液滴噴頭的多個噴嘴噴出的液狀體的噴出量，在相鄰的噴嘴之間因電幹擾或機械幹擾而具有偏差。根據該方法，在第一噴出工序中，按照不從噴嘴列中與膜形成區域相關的相鄰噴嘴同時噴出液狀體的方式選擇所使用的噴嘴，在被噴出物的膜形成區域噴出含有功能性材料的液狀體。然後，在第二噴出工序中，按照不從與膜形成區域相關的相鄰噴嘴同時噴出液狀體的方式，選擇與第一噴出工序不同組合的噴嘴進行噴出。因此，在一次的噴出中，總是不從與膜形成區域相關的相鄰噴嘴同時噴出液狀體。而且，在先前的噴出和後續的噴出中，噴嘴列中噴出液狀體的噴嘴的組合不同。由此，與從相鄰的噴嘴同時噴出液狀體的情況相比，由於難以產生電或機械幹擾，所以，可以減少相鄰噴嘴間的噴出量的偏差。即，採用這樣的噴出方法，能夠以穩定的噴出量噴出液狀體，在膜形成區域形成由功能性材料構成的均勻的膜。
而且，優選在所述被噴出物的表面具有劃分多個膜形成區域的隔壁部，在第一噴出工序以及第二噴出工序中，當所選擇的噴嘴與隔壁部相關時，不使用該噴嘴。
根據該方法，在第一噴出工序以及第二噴出工序中，當所選擇的噴嘴與隔壁部相關時，不使用該噴嘴。因此，按照噴出的液狀體難以滴落於隔壁部的方式進行噴出。由此，能夠抑制從噴嘴噴出的液狀體滴落於隔壁部而不收納於膜形成區域內、導致所期望的噴出量發生變動。即，可以在膜形成區域形成由功能性材料構成的更加均勻的膜。
並且，在本發明的噴出方法中，進一步優選當液狀體作為液滴從所選擇的噴嘴噴出到膜形成區域，且噴出的液滴滴落於隔壁部時，不使用噴出該液滴的噴嘴。由此，由於和將噴嘴的大小作為基準判斷是否滴落於隔壁部的情況相比，將噴出的液滴作為基準，所以，能夠更加準確地使噴出的液滴不滴落於隔壁部。即，採用這樣的噴出方法，能夠以更穩定的噴出量噴出液狀體，在膜形成區域形成由功能性材料構成的更加均勻的膜。
另外，所述液滴噴頭具有使液狀體作為液滴從多個噴嘴噴出的多個能量產生機構，多個能量產生機構與以規定周期產生驅動波形的頭驅動機構電連接，在第一噴出工序和第二噴出工序中，由頭驅動機構順次選擇時間序列不同的驅動波形施加給與所使用的噴嘴對應的能量產生機構，噴出液滴。
根據該方法，在第一噴出工序和第二噴出工序中，從頭驅動機構順次選擇時間序列不同的驅動波形施加給與所使用的噴嘴對應的能量產生機構，使得液狀體作為液滴被噴出。因此，對相鄰噴嘴的能量產生機構不施加時間序列相同的驅動波形。由此，因為在噴嘴間不發生電幹擾，所以，能夠抑制由電幹擾而引起的噴出量偏差。
此外，所述液滴噴頭具有使液狀體作為液滴從多個噴嘴噴出的多個能量產生機構，多個能量產生機構與在1周期內產生多個驅動波形的頭驅動機構電連接，在第一噴出工序和第二噴出工序中，由頭驅動機構順次選擇多個驅動波形中時間序列不同的驅動波形施加給與所使用的噴嘴對應的能量產生機構，噴出液滴。
根據該方法，在第一噴出工序和第二噴出工序中，從頭驅動機構順次選擇由1周期所產生的多個驅動波形中時間序列不同的驅動波形，施加給與所使用的噴嘴對應的能量產生機構，使得液狀體作為液滴被噴出。因此，相鄰噴嘴的能量產生機構不被施加時間序列相同的驅動波形。由此，由於在噴嘴間不發生電幹擾，所以，能夠抑制因電幹擾引起的噴出量偏差。並且，由於多個驅動波形在一周期內產生，所以，在一周期內至少可以進行到第二次的噴出。另外，通過改變噴出頻率，可以在一周期內進行比兩次多的噴出。即，能夠以更短的時間將規定量的液狀體噴出到膜形成區域。
而且，對同一膜形成區域進行所述第一噴出工序和所述第二噴出工序。由此，由於以穩定的噴出量將液狀體噴出到同一膜形成區域，所以，可以降低同一膜形成區域內的因噴出量不均而引起的膜形成不均。
本發明提供一種噴出方法，根據具有多個噴嘴的噴嘴列與被噴出物的相對掃描，從所述噴嘴對所述被噴出物噴出液狀體，按照由所述噴嘴列所包含的至少相互不鄰接的所述噴嘴構成的組單位，設定與所述掃描同步的定時，噴出所述液狀體，所述定時在多個所述組之間不同。
根據該噴出方法，由於屬於相互不同組的鄰接噴嘴之間不同時進行噴出，所以，整體可以降低機械幹擾。由此，能夠相對緩解因幹擾引起的噴嘴間的特性偏差，以穩定的噴出量噴出液狀體。
並且，在所述噴出方法中，所述噴嘴列具有3個以上的所述組。
根據該噴出方法，由於噴嘴列具有3個以上的組，所以，可以進一步擴大每一組的平均噴嘴間隔，由此，能夠進一步降低機械幹擾。
另外，在所述噴出方法中，按照構成所述組的所述噴嘴的數量在所述多個組之間大致相等的方式，構成所述組。
如果構成噴嘴的數量與分布密度在組之間不均等，則因噴嘴間的機械以及電幹擾的影響會在組之間產生差別，發生噴出量的偏差。在該噴出方法中，可以避免該問題。
此外，所述噴出方法，通過選擇以時分割生成的多個驅動波形的一部分，提供給配置在所述噴嘴內側的能量產生機構，噴出所述液狀體；按照與所述組對應地選擇的所述驅動波形在所述多個組之間相互不重複的方式，進行所述驅動波形的選擇。
根據該噴出方法，由於可以通過一個系統的驅動供給系統使每一個組定時不同，所以，能夠利用簡單的硬體結構得到上述的效果。
而且，在所述噴出方法中，按照與所述組對應而能夠選擇的所述驅動波形為周期性的定時的方式，進行所述驅動波形的選擇。
根據該噴出方法，由於以周期性的定時使一個噴嘴噴出液狀體，所以，定時之間的噴出條件是一樣的，可以使液滴量在掃描方向穩定化。
而且，在所述噴出方法中，按照與所述組對應而能夠選擇的所述驅動波形為非周期性的定時的方式，進行所述驅動波形的選擇。
根據該噴出方法，由於噴出條件按照每個噴出定時而不同，所以，在掃描方向會產生噴出量(液狀體的配置量)的變動。由此，相對於因噴嘴間的特性偏差而形成的配置量的不均，追加了與其正交的成分的不均，形成了以二維方式分散的不均。由於這樣的二維方式分散的不均比線狀的(1維的)不均視覺辨認性低，所以，具有使不均不顯眼的效果。
本發明的彩色濾光器的製造方法，用於製造具有在基板上劃分多個膜形成區域的隔壁部、和存在於所述多個膜形成區域的多種顏色要素的彩色濾光器，使用權利要求1～12中任意一項所述的噴出方法，將含有不同的顏色要素形成材料作為功能性材料的多種液狀體，從液滴噴頭的多個噴嘴噴出到所述多個膜形成區域，形成所述多種顏色要素。
根據該方法，由於使用了能夠以穩定的噴出量噴出液狀體，在膜形成區域形成由功能性材料構成的均勻膜的噴出方法，所以，可以製造均勻地形成有多種顏色要素的彩色濾光器。
本發明的電光學裝置，具備採用了上述發明的彩色濾光器的製造方法而製造的彩色濾光器。由此，由於具備均勻地形成有多種顏色要素的彩色濾光器，所以，可提供顏色不均等不良情況少的具備高顯示品質的電光學裝置。
本發明的電子設備搭載有上述發明的電光學裝置。由此，因為搭載的電光學裝置具備顏色不均等不良情況少的高顯示品質，所以，可提供能夠進行美觀的彩色顯示的電子設備。
圖1是表示液滴噴出裝置的概略立體圖。
圖2(a)是表示液滴噴頭的構造的概略立體圖，(b)是表示液滴噴頭的多個噴嘴的配置的概略平面圖。
圖3是表示控制裝置及與控制裝置相關聯的各部的電構成的框圖。
圖4是表示彩色濾光器的平面圖。
圖5是表示彩色濾光器的製造方法的流程圖。
圖6(a)～(f)是表示彩色濾光器的製造方法的概略剖視圖。
圖7(a)是表示實施例1的液狀體噴出方法的平面圖，(b)是表示驅動波形與控制信號之間關係的圖。
圖8(a)是表示實施例2的液狀體噴出方法的平面圖，(b)是表示驅動波形與控制信號之間關係的圖。
圖9是表示液晶顯示裝置的概略分解立體圖。
圖10是表示可攜式信息處理裝置的立體圖。
圖11是表示彩色濾光器的顏色要素的配置的平面圖。
圖12是表示噴嘴列中的組構成和液滴彈落位置的圖。
圖13是表示驅動波形與控制信號的關係的圖。
圖14是表示用於說明第二實施方式的效果的比較例的圖。
圖15是表示噴嘴列中的組構成和液滴的彈落位置的圖。
圖16是表示第三實施方式的變形例的圖。
圖中1-被噴出物以及作為基板的玻璃基板，2-膜形成區域，3、3R、3G、3B-顏色要素，4-隔壁部，10-彩色濾光器，20-液滴噴頭，22-噴嘴，22a、22b-噴嘴列，29-作為能量產生機構的壓電元件，30、31、31a、31b、32、34、35、35a、35b-液滴，200-作為電光學裝置的液晶顯示裝置，300-作為電子設備的可攜式信息處理裝置，a1、a2、a3、a4、a5-噴嘴，W-作為被噴出物的製品(work)。
具體實施例方式
本發明的實施方式，對使用了具備液滴噴頭的液滴噴出裝置的彩色濾光器的製造方法、作為使用了該彩色濾光器的電光學裝置的液晶顯示裝置、以及作為搭載有該液晶顯示裝置的電子設備的可攜式信息處理裝置進行舉例說明，其中所述液滴噴頭將液狀體作為液滴從噴嘴噴出。
(第一實施方式)
液滴噴出裝置
首先，基於圖1～圖3對液滴噴出裝置進行說明。圖1是表示液滴噴出裝置的概略立體圖。
如圖1所示，液滴噴出裝置100是將液狀體作為液滴進行噴出，在制品W上形成由液狀體構成的膜的裝置，包括對製品W進行載置的臺架(stage)104；和頭單元101，其具有將液狀體作為液滴噴出到被載置的製品W的多個液滴噴頭20(參照圖2)。
而且，液滴噴出裝置100具備用於沿副掃描方向(X方向)驅動頭單元101的X方向導向軸102、和使X方向導向軸102旋轉的X方向驅動馬達103。並具備用於沿主掃描方向(Y方向)對臺架104導向的Y方向導向軸105、和與Y方向導向軸105卡合旋轉的Y方向驅動馬達106。此外，具備將X方向導向軸102和Y方向導向軸105配置在上部的基臺107，在該基臺107的下部具備控制裝置108。
並且具備清潔機構109，用於使頭單元101的多個液滴噴頭20清潔(恢復處理)；和加熱器111，用於加熱噴出後的液狀體，使溶劑蒸發、乾燥。另外，在清潔機構109上還具備Y方向驅動馬達110。
頭單元101中具有多個從多個噴嘴22噴出液狀體並塗敷到製品W的液滴噴頭20(參照圖2)。而且，利用這些多個液滴噴頭20，可以根據由控制裝置108提供的噴出電壓而單獨地噴出液狀體。對於該液滴噴頭20將在後面敘述。
對於X方向驅動馬達103沒有限定，例如可以是步進馬達等，如果從控制裝置108供給X軸方向的驅動脈衝信號，則使X方向導向軸102旋轉，使與X方向導向軸102卡合的頭單元101沿X方向移動。
同樣，對於Y方向驅動馬達106、110也沒有限定，例如可以是步進馬達等，如果從控制裝置108供給Y軸方向的驅動脈衝信號，則與Y方向導向軸105卡合旋轉，使具備Y方向驅動馬達106、110的臺架104以及清潔機構109沿Y方向移動。
清潔機構109在對液滴噴頭20進行清潔時進行下述處理，即，移動到面對頭單元101的位置，與液滴噴頭20的噴嘴面密接，吸引不要的液狀體的壓蓋處理(capping)；對附著有液狀體的噴嘴面進行擦拭的擦拭處理(wiping)；從液滴噴頭20所有的噴嘴噴出液狀體的準備噴出或接收不要的液狀體對並將其排出的處理。在此省略了清潔機構109的詳細說明。
加熱器111沒有限定，例如可以是利用燈退火對製品W進行熱處理的機構，其對噴出在制品W上的液狀體進行蒸發乾燥，並進行用於轉變成膜的熱處理。該加熱器111的電源接通及斷開都由控制裝置108控制。
液滴噴出裝置100的塗敷動作如下所述從控制裝置108向X方向驅動馬達103和Y方向驅動馬達106輸送規定的驅動脈衝信號，使頭單元101沿副掃描方向(X方向)、臺架104沿主掃描方向(Y方向)相對移動。然後，在該相對移動期間從控制裝置108提供噴出電壓，從各液滴噴頭20向製品W的規定區域以液滴形式噴出液狀體，進行塗敷。
從各液滴噴頭20噴出的液滴的噴出量，可以通過由控制裝置108所提供的噴出電壓的大小而調整。
圖2是表示液滴噴頭的構造的概略圖。圖2(a)是表示液滴噴頭的構造的概略立體圖，圖2(b)是表示液滴噴頭的多個噴嘴的配置的概略平面圖。另外，為了明確構成，對該圖進行了適當的放大或縮小。
如圖2(a)所示，液滴噴頭20是三層構造的所謂壓電方式噴墨頭，由具有多個噴嘴22的噴嘴板21；容器板23，其包括與各噴嘴22對應對其進行劃分的劃分部24，形成有液狀體流路；和振動板28，具有作為能量產生機構的壓電元件(piezo)29。由噴嘴板21和容器板23的劃分部24以及振動板28構成多個壓力發生室25。各噴嘴22分別與各壓力發生室25連通。而且，與各壓力發生室25對應地在振動板28上配置有多個壓電元件29。
在容器板23中設置有公共流路27，用於暫時存留通過形成在振動板28的供給孔28a從儲藏器(tank)(省略圖示)供給的液狀體。另外，填充於公共流路27的液狀體通過供給口26被供給到各壓力發生室25。
如圖2(b)所示，液滴噴頭20具有兩個噴嘴列22a、22b，分別以間距P1配列有多個(180個)直徑大約為28μm的噴嘴22。而且，兩個噴嘴列22a、22b以相互錯離間距P1的一半的噴嘴間距P2的狀態，配置於噴嘴板21。該情況下，間距P1大約為140μm。因此，如果從與噴嘴列22a、22b正交的方向觀察，則360個噴嘴22處於以大約70μm的噴嘴間距P2進行排列的狀態。另外，在液狀體實際噴出時，不使用噴嘴列22a、22b兩端側的10個噴嘴22。這是因為考慮到與其它的噴嘴22相比，來自位於兩端側的噴嘴22的噴出量難以穩定。因此，具有兩個噴嘴列22a、22b的液滴噴頭20的有效噴嘴全長為噴嘴間距P2×319(大約為22mm)。另外，噴嘴列22a、22b的間隔大約為2.54mm。
液滴噴頭20動作如下，在壓電元件29被施加作為電信號的驅動波形時，壓電元件29自身產生形變，使振動板28發生變形。由此，引起壓力發生室25的體積變動，基於由此引起的泵作用，填充於壓力發生室25的液狀體被加壓，可以將液狀體作為液滴30從噴嘴22噴出。另外，雖然本實施方式的液滴噴頭20具有兩個噴嘴列22a、22b，但是，並不限定與此，也可以具有1串噴嘴列。而且，下面所述的噴嘴列是指有效噴嘴的列。並且，使液狀體作為液滴30從噴嘴22噴出的能量產生機構不限定於壓電元件29，也可以是作為加熱元件的加熱器或作為電氣機械轉換元件的靜電執行元件等。
圖3是表示控制裝置以及與控制裝置相關聯的各部的電構成的框圖。如圖3所示，控制裝置108包括輸入緩衝存儲器120，從外部信息處理裝置接受液狀體的噴出數據；和處理部122，將暫時存儲於輸入緩衝存儲器120的噴出數據在存儲機構(RAM)121展開，向關聯的各部發送控制信號。還包括掃描驅動部123，接收來自處理部122的控制信號，將位置控制信號發送到X方向驅動馬達103和Y方向驅動馬達106；作為頭驅動機構的頭驅動部124，同樣接收來自處理部122的控制信號，將驅動電壓脈衝(驅動波形)發送給液滴噴頭20。
輸入緩衝存儲器120所接收到的噴出數據包括表示製品W上的膜形成區域的相對位置的數據；表示在膜形成區域以怎樣的彈落密度噴出液狀體液滴的數據；和指定對液滴噴頭20的噴嘴列22a、22b內的哪一列噴嘴22進行驅動(ON-OFF)的數據。
處理部122從存儲機構121所存儲的噴出數據中，將與膜形成區域相關的位置控制信號發送給掃描驅動部123。掃描驅動部123接收該控制信號，將位置控制信號發送給X方向驅動馬達103，使液滴噴頭20沿著作為副掃描方向的X軸方向移動。而且，將位置控制信號發送給Y方向驅動馬達106，使保持有製品W的臺架104沿著作為主掃描方向的Y軸方向移動。由此，使液滴噴頭20和製品W相對移動，以使液狀體的液滴30從液滴噴頭20噴出到製品W的所期望的位置。
另外，處理部122從存儲於存儲機構121的噴出數據中，將表示在膜形成區域以怎樣的彈落密度噴出液狀體液滴30的數據轉換成按每一個噴嘴22的4位噴出位圖數據，發送給頭驅動部124。而且，根據指定對液滴噴頭20的噴嘴列22a、22b內的哪一個噴嘴22進行驅動(ON-OFF)的數據，將何時發送對液滴噴頭20的壓電元件29施加驅動電壓脈衝的「時刻(timing)檢測信號」，即鎖存(LAT)信號和信道(CH)信號發送給頭驅動部124。頭驅動部124接收這些控制信號，將恰當的驅動電壓脈衝發送給液滴噴頭20，由此，從噴嘴22噴出液狀體的液滴30。
在本實施方式中，處理部122按照不從膜形成區域範圍中的相鄰的噴嘴22同時噴出液狀體的方式，向頭驅動部124發送LAT信號和CH信號。而且，頭驅動部124可以與LAT信號對應，以規定的周期產生驅動電壓脈衝。並且，處理部122與製品W和液滴噴頭20的相對移動同步地，按照時間序列不同的驅動波形被施加給與所使用的噴嘴22對應的壓電元件29的方式，將CH信號發送給頭驅動部124。
彩色濾光器
下面，根據圖4對彩色濾光器進行說明。圖4是表示彩色濾光器的平面圖。
如圖4所示，彩色濾光器10在作為透明基板的玻璃基板1的表面具有對多個膜形成區域2進行劃分的隔壁部4。在各膜形成區域2中，形成有三色(R紅色，G綠色，B藍色)的顏色要素3。各顏色要素3R、3G、3B以直線狀配置在同色的顏色要素3之間。即，彩色濾光器10具有條紋方式的顏色要素3。
彩色濾光器的製造方法
接著，根據圖5和圖6對本實施方式的彩色濾光器的製造方法進行說明。圖5是表示彩色濾光器的製造方法的流程圖，圖6(a)～(f)是表示彩色濾光器的製造方法的概略剖視圖。而且，本實施方式的彩色濾光器10的製造方法是使用前述的液滴噴出裝置100，採用了後述的液狀體噴出方法的製造方法。
如圖5所示，本實施方式的彩色濾光器10的製造方法包括在玻璃基板1形成隔壁部4的工序(步驟S1)；和對形成有隔壁部4的玻璃基板1的表面進行處理的工序(步驟S2)。還包括對表面處理後的玻璃基板1，噴出作為功能性材料而包含不同的顏色要素形成材料的多種液狀體的工序(步驟S3)；和對噴出後的液狀體進行乾燥使顏色要素3固定化的工序(步驟S4)。並且，包括按照覆蓋所形成的隔壁部4和顏色要素3的方式，形成平坦化層的工序(步驟S5)；和在平坦化層上形成透明電極的工序(步驟S6)。
圖5的步驟S1是形成隔壁部4的工序。在步驟S1中，如圖6(a)所示，首先，在玻璃基板1的表面按照劃分膜形成區域2的方式形成第一隔壁部4a。作為形成方法，通過真空蒸鍍法或濺射法，按照覆蓋玻璃基板1的表面和具有遮光性的方式，形成Cr或Al等的金屬膜或者金屬化合物的膜。接著，塗敷感光性樹脂並按照膜形成區域2開口的方式，通過光刻法進行曝光、顯影、蝕刻。進一步，通過塗敷大約2λm厚度的感光性的隔壁部形成材料，並同樣採用光刻法進行曝光、顯影，在第一隔壁部4a上形成第二隔壁部4b。隔壁部4成為由第一隔壁部4a和第二隔壁部4b構成的所謂二層圍堰結構。另外，隔壁部4不限定於此，也可以僅是使用具有遮光性的感光性隔壁部形成材料形成的第二隔壁部4b的一層結構。然後，進入到步驟S2。
圖5的步驟S2是表面處理工序。在步驟S2中，以具有親液性的方式對玻璃基板1的表面進行處理，以使在後面的液狀體噴出工序中，噴出的液狀體彈落在膜形成區域2後會潤溼擴展。而且，按照第二隔壁部4b的至少頭頂部具有疏液性的方式進行處理，以便即使噴出後的液狀體的一部分彈落到第二隔壁部4b，也可以使其收納於膜形成區域2內。
作為表面處理方法，對形成有隔壁部4的玻璃基板1進行將O2作為處理氣體的等離子體處理和將氟系氣體作為處理氣體的等離子體處理。即，膜形成區域2被親液處理，之後，由感光性樹脂構成的第二隔壁部4b的表面(包括壁面)被疏液處理。另外，如果形成第二隔壁部4b的材料自身具有疏液性，則也可以省略後者的處理。然後，進入步驟S3。
圖5的步驟S3是噴出液狀體的工序。在步驟S3中，如圖6(b)所示，將形成有隔壁部4且被表面處理的玻璃基板1載置於液滴噴出裝置100的臺架104。然後，與載置有玻璃基板1的臺架104和液滴噴頭20的相對移動(向主掃描方向)同步地，從填充有包含顏色要素形成材料的液狀體的液滴噴頭20的噴嘴22向膜形成區域2噴出液滴30。噴出到膜形成區域2的液狀體的總噴出量，通過預先基於噴出次數等的噴出數據，從控制部108的處理部122向頭驅動部124發送適當的控制信號來進行控制，以使在後面的乾燥工序(步驟S4)總能夠得到規定的膜厚。詳細的噴出方法將在後面敘述。然後，進入步驟S4。
圖5的步驟S4是乾燥工序。在步驟S4中，如圖6(c)所示，利用液滴噴出裝置100所具備的加熱器111對被噴出液狀體的玻璃基板1進行加熱，從液狀體蒸發溶劑成分，將由顏色要素形成材料構成的顏色要素3固定化。
在本實施方式中，首先，通過在膜形成區域2噴出含有R(紅色)顏色要素形成材料的液狀體並使其乾燥，形成顏色要素3R，接著，按照G(綠色)、B(藍色)的順序，通過順次噴出包含不同顏色要素形成材料的液狀體並進行乾燥，由此如圖6(d)所示，形成了三色的顏色要素3R、3G、3B。另外，不限定於此，例如也可以採用在步驟S3的噴出工序中，分別將包含不同顏色要素形成材料的多種液狀體填充到不同的液滴噴頭20，並將各液滴噴頭20裝備於頭單元101，從各個的噴嘴22對所期望的膜形成區域2噴出液狀體。然後，在能夠使溶劑的蒸氣壓恆定來進行乾燥的減壓乾燥裝置中設定玻璃基板1，進行減壓乾燥的方法。
液狀體的噴出方法
這裡，基於實施例，對在膜形成區域2噴出液狀體的噴出方法進行詳細的說明。
(實施例1)圖7是表示實施例1的液狀體噴出方法的概略構成圖。圖7(a)是表示噴出方法的平面圖，圖7(b)是表示驅動波形和控制信號的關係的圖。
如圖7(a)所示，實施例1的噴出方法，是以膜形成區域2的長邊方向和液滴噴頭20的噴嘴列22a近似平行的狀態沿著主掃描方向(Y方向)相對移動的、被稱作所謂橫掃描的噴出方法。針對排列於副掃描方向(X方向)的膜形成區域2，噴嘴列22a中的噴嘴a1和噴嘴a2與上部的膜形成區域2相關，噴嘴a4和噴嘴a5與下部的膜形成區域2相關。而且，以噴嘴a3與隔壁部4相關的狀態配置液滴噴頭20。
實施例1的噴出方法包括第一噴出工序，按照不從與膜形成區域2相關的相鄰噴嘴a1、a2以及噴嘴a4、a5同時噴出液狀體的方式，選擇所使用的噴嘴a1、a4進行噴出；和第二噴出工序，按照不從與膜形成區域2相關的相鄰噴嘴a1、a2以及噴嘴a4、a5同時噴出液狀體的方式，選擇與第一噴出工序不同組合的噴嘴a2、a5進行噴出。另外，在第一噴出工序和第二噴出工序中，不使用與隔壁部4相關的噴嘴a3。
因此，如圖7(a)所示，在第一噴出工序中，從噴嘴a1噴出的液狀體的液滴31彈落於上部的膜形成區域2。而且，從噴嘴a4噴出的液狀體的液滴34彈落於下部的膜形成區域2。在隔壁部4處沒有被噴出液狀體。由於膜形成區域2的玻璃基板1的表面被親液化處理，所以，彈落後的液滴31、34潤溼擴展。為了將顏色要素3形成為規定的膜厚，此時由於噴出量尚且不足，所以進行第二噴出工序。在第二噴出工序中，按照不從相鄰噴嘴a1、a2以及噴嘴a4、a5同時噴出液狀體的方式，選擇與第一噴出工序不同組合的噴嘴a2、a5，噴出液滴32、35並彈落於各膜形成區域2。即，噴嘴a1、a4是構成噴嘴列22a中的第一組的噴嘴，噴嘴a2、a5是構成噴嘴列22a中的第二組的噴嘴，在相互不同的時刻進行其噴出(第一噴出工序/第二噴出工序)。
當然，在沿X方向形成有同一顏色的顏色要素3的其他膜形成區域2中也同樣，在第一和第二噴出工序中，從噴嘴列22a的其他噴嘴進行噴出。另外，在能夠與Y方向的主掃描同步地進一步進行噴出的情況下，只要再次選擇噴嘴a1、a4進行噴出即可。即使如此，當沒有達到必要的噴出量時，通過在形成有同一顏色的顏色要素3的膜形成區域2進行液狀體噴出的一次主掃描結束之後，反覆進行沿X方向副掃描液滴噴頭20之後再次進行主掃描，由此，能夠均勻地將規定量的液狀體噴出到同一顏色的各膜形成區域2。
接著，對於所使用的噴嘴的壓電元件施加的驅動波形(驅動電壓脈衝)的選擇進行說明。如圖7(b)所示，例如控制裝置108的頭驅動部124對應於LAT信號(脈衝)，以20kHz的周期發送驅動波形A1、A2、A3～An。這些驅動波形A1、A2、A3～An分別是按照通過提供給壓電元件29而噴出規定量的液滴的方式設計的、具有同一形狀和大小的驅動波形。而且，由來自處理部122的CH信號即信號CH1所選擇的驅動波形A1，被施加到與在第一噴出工序中所使用的噴嘴a1、a4對應的壓電元件29。並且，由來自處理部122的CH信號即信號CH2所選擇的驅動波形A2，被施加到與在第二噴出工序中所使用的噴嘴a2、a5對應的壓電元件29。在反覆進行第一噴出工序、第二噴出工序的情況下也同樣，按照時間序列不同的驅動波形使與膜形成區域2相關的相鄰噴嘴不同時噴出液狀體的方式，由LAT信號和CH信號選擇所使用的噴嘴，進行液滴的噴出。
在本實施方式的液滴噴出裝置100的噴出條件設定中，與臺架104和液滴噴頭20的相對移動速度同步地噴出液狀體的沿Y方向的主掃描的相對速度，被設定為大約200mm/秒。因此，如果將基於LAT信號而產生的驅動波形A1、A2、A3～An的周期設為20kHz，則一周期所需要的時間為0.05μ秒。由此，這期間液滴噴頭20的相對移動量為10μm。故，沿主掃描方向彈落的液滴31、34和液滴32、35之間的間隔是10μm。實際上，被噴出液狀體的膜形成區域2的大小各式各樣。因此，考慮到基於主掃描而彈落的液滴間隔，只要確定主掃描方向的噴出次數即可。
並且，雖然隔壁部4被疏液處理，從而即使液狀體彈落也會收納於膜形成區域2內，但是，由於噴嘴22的間距P1和膜形成區域2的X方向的間隔不一定是整數倍，所以，與隔壁部4相關的噴嘴22的位置不一定。因此，當從噴嘴22噴出的液狀體滴落於隔壁部4時，液狀體收納於夾著隔壁部4的兩個膜形成區域2中的哪一個是不定的。為了在膜形成區域2正確地噴出規定量的液狀體，優選按照不滴落於隔壁部4的方式噴出液狀體。
另外，從液滴噴頭20的噴嘴22噴出的液滴30的量(體積或重量)，可以根據施加到對應的壓電元件29的驅動波形(驅動電壓脈衝)的大小(電位)而改變。因此，即使在噴嘴22不與隔壁部4相關的狀態下，基於驅動波形，有時從該噴嘴噴出的液滴30也會滴落於隔壁部4。相反，即使在噴嘴22處於和隔壁部4相關的狀態下，通過驅動波形，有時從該噴嘴噴出的液滴30也會不滴落於隔壁部4。故，在本實施方式中，當從所選擇的噴嘴22噴出的液滴滴落於隔壁部4時，更具體而言，當彈落之前的液滴30形成為近似球狀時的直徑大小對應於隔壁部4時，按照不使用該噴嘴的方式作成噴出數據。由此，能夠在膜形成區域2穩定地噴出規定量的液狀體。
另外，在上述實施例1中，雖然如圖7(a)所示，在第一噴出工序中噴嘴a1、a4被選擇，但也可以首先選擇噴嘴a2、a5。而且，也能夠在第一噴出工序中首先選擇噴嘴a1、a5來噴出液滴之後，在後序的噴出時選擇噴嘴a2、a4。由此，如果在各膜形成區域的長邊方向首先於隔壁部4的附近使液滴彈落並潤溼擴展，則後面可以按照靠近中央部附近的方式進行彈落。由此，通過首先使液滴彈落於液滴難以潤溼擴展的膜形成區域2的角落部附近並使其潤溼擴展，可以進一步均勻地提供液狀體。
(實施例2)圖8是表示實施例2的液狀體噴出方法的概略圖。圖8(a)表示噴出方法的平面圖，圖8(b)是表示驅動波形和控制信號的關係的圖。實施例2的液狀體噴出方法相對於實施例1，是一種頭驅動部124在1個周期中發送多個(2個)驅動波形，選擇性地對與所使用的噴嘴對應的壓電元件29施加該驅動波形的方法。
如圖8(a)所示，實施例2的液狀體噴出方法包括第一工序，按照不從與膜形成區域2相關的相鄰噴嘴a1、a2以及噴嘴a4、a5同時噴出液狀體的方式，選擇所使用的噴嘴a1、a5進行噴出；和第二噴出工序，按照不從與膜形成區域2相關的相鄰噴嘴a1、a2以及噴嘴a4、a5同時噴出液狀體的方式，選擇與第一噴出工序不同組合的噴嘴a2、a4進行噴出。另外，與實施例1相同，在第一噴出工序和第二噴出工序中，不使用與隔壁部4相關的噴嘴a3。
更具體而言，如圖8(b)所示，頭驅動部124基於LAT信號，在一個周期內發送兩個驅動波形(例如驅動波形A1和驅動波形B1)。LAT信號的周期與實施例1相同，為20kHz。例如，在第一噴出工序中，將由作為CH信號的信號CH1選擇的驅動波形A1施加給與所使用的噴嘴a1、a5對應的壓電元件29，使液滴31a和液滴35a彈落於各膜形成區域2。在第二噴出工序中，將由作為CH信號的信號CH2選擇的驅動波形B1施加給與所使用的噴嘴a2、a4對應的壓電元件29，使液滴32和液滴34彈落於各膜形成區域2。並且，反覆進行第一噴出工序，將由作為CH信號的信號CH1選擇的驅動波形A2施加給與所使用的噴嘴a1、a5對應的壓電元件29，使液滴31b和液滴35b彈落於各膜形成區域2。在所有的噴出時，都不從與膜形成區域2相關的相鄰噴嘴a1、a2以及噴嘴a4、a5同時噴出液狀體。
該情況下，通過每次噴出而彈落的液滴31a、35a和液滴32、34的間隔以及液滴32、34和液滴31b、35b的間隔，為實施例1一半5μm。因此，實施例2的噴出方法與實施例1的噴出方法相比，即使以相同的主掃描速度，也可以使更多的液滴彈落於膜形成區域2。即，能夠縮短將規定量的液狀體噴出到膜形成區域2的時間。另外，所使用的噴嘴的組合不限定於此，在第一噴出工序和第二噴出工序中，也存在使用局部重複了的噴嘴的情況。
順便說一下，在實施例1中，如果將發送驅動波形的周期加倍設定為40kHz，則能夠獲得與實施例2相同的效果，但是，基於液滴噴頭20的固有頻率特性，如果提高驅動波形的周期(驅動頻率)，則無法追蹤被施加驅動波形的壓電元件29的舉動，有可能導致噴出的液滴量不是規定量。實施例2考慮了這樣的不良情況，研究出基於控制部108的處理部122實現控制信號的發送方法。
若採用上述實施例1或實施例2的噴出方法，則能夠以穩定的噴出量在各膜形成區域2噴出包含顏色要素形成材料的液狀體，形成均勻的顏色要素3。
接著，對彩色濾光器10的製造方法中的後續工序進行說明。圖5的步驟S5是平坦化層形成工序。在步驟S5中，如圖6(e)所示，按照覆蓋隔壁部4和各顏色要素3R、3G、3B的方式形成平坦化層6。作為形成方法可舉出，通過旋塗法、輥塗法等塗敷丙烯酸系樹脂並使其乾燥的方法。另外，也可以採用塗敷感光性丙烯酸樹脂之後，通過照射紫外線使其固化的方法。膜厚大約為100nm。然後，進入步驟S6。
圖5的步驟S6是透明電極形成工序。在步驟S6中，如圖6(f)所示，在平坦化層6之上成膜由ITO(Indium Tin Oxide)等構成的透明電極7。作為成膜方法可舉出，將ITO等導電性材料作為目標(target)，在真空中進行蒸鍍或濺射的方法。在該情況下，膜厚大約為10nm。根據使用彩色濾光器10的電光學裝置，將所形成的透明電極7加工成適當必要的形狀(圖案)。
根據上述的彩色濾光器10的製造方法，能夠以穩定的噴出量將包含不同顏色要素形成材料的多種液狀體作為液滴30噴出到膜形成區域2，由此，可以製造具有多種顏色要素3R、3G、3B的彩色濾光器10，所述顏色要素3R、3G、3B被降低了由於噴出引起的顏色不均等不良情況。
電光學裝置
下面，基於附圖9，對作為本實施方式的電光學裝置的液晶顯示裝置進行說明。圖9是表示液晶顯示裝置的概略分解立體圖。
如圖9所示，本實施方式的液晶顯示裝置200包括TFT(Thin FilmTransistor)透過型的液晶顯示面板220、和對液晶顯示面板220進行照明的照明裝置216。液晶顯示面板220包括具有作為顏色要素的彩色濾光器的對置基板201、具有三個端子中的一個與像素電極210連接的TFT元件211的元件基板208、和由一對基板201與208夾持的液晶(省略圖示)。而且，在成為液晶顯示面板220的外面側的一對基板201、208的表面，配置有使透過的光偏振的上偏振板214和下偏振板215。
對置基板201由透明的玻璃等材料構成，在夾持液晶的表面側由隔壁部204劃分成矩陣狀的多個膜形成區域中，作為多種的顏色要素，形成有RGB三色的彩色濾光器205R、205G、205B。隔壁部204包括由Cr等具有遮光性的金屬或其氧化膜構成的被稱作黑矩陣的下層圍堰202、和形成在下層圍堰202之上(附圖中朝下)由有機化合物構成的上層圍堰203。而且，對置基板201包括作為平坦化層的塗敷層(OC層)206，其覆蓋隔壁部204和由隔壁部204劃分的彩色濾光器205R、205B、205G；和對置電極207，其以覆蓋OC層206的方式形成，由ITO(Indium Tin Oxide)等透明導電膜構成。對置基板201採用上述實施方式的彩色濾光器10的製造方法製造而成。
元件基板208同樣由透明的玻璃等材料構成，包括在夾著液晶的表面側經由絕緣膜209形成為矩陣狀的像素電極210、和與像素電極210對應形成的多個TFT元件211。TFT元件211的三個端子中，不與像素電極210連接的其他兩個端子以相互絕緣的狀態，與按照包圍像素電極210的方式配置成格子狀的掃描線212和數據線213連接。
照明裝置216例如使用白色的LED、EL、冷陰極管等作為光源，只要是具備可以將來自這些光源的光朝向液晶顯示面板220射出的導光板、擴散板和反射板等結構，則可以使用任意的設備。
由於本實施方式的液晶顯示裝置200具備的對置基板201具有使用上述實施方式的彩色濾光器10的製造方法而製造的彩色濾光器205R、205G、205B，所以，該液晶顯示裝置200具有顏色不均等顯示不良情況少的高顯示品質。
另外，液晶顯示面板220不限定於TFT元件211作為有源元件，也可以是具有TFD(Thin Film Diode)元件的設備，並且，如果是在至少一方的基板具備彩色濾光器的設備，則也可以是按照構成像素的電極相互交錯的方式配置的無源型液晶顯示裝置。而且，上下偏振板214、215也可以是與以改善視角依賴性的目的等而使用的相位差薄膜等光學功能性薄膜進行組合的設備。
(電子設備)下面，參照附圖10，對作為本實施方式的電子設備的可攜式信息處理裝置進行說明。圖10是表示可攜式信息處理裝置的立體圖。
如圖10所示，本實施方式的可攜式信息處理裝置300包括具有輸入用鍵盤302的信息處理裝置主體301和顯示部303。在顯示部303中搭載有顏色不均等少的具有高顯示品質的液晶顯示裝置200。
上述實施方式的效果如下所述。
(1)在上述實施方式的實施例1的液狀體噴出方法中，在第一噴出工序中，按照不從噴嘴列22a中的與膜形成區域2相關的相鄰噴嘴a1、a2以及噴嘴a4、a5同時噴出液狀體的方式，來選擇所使用的噴嘴a1、a4，在玻璃基板1的膜形成區域2噴出含有顏色要素形成材料的液狀體。然後，在第二噴出工序中，按照不從與膜形成區域2相關的相鄰噴嘴a1、a2以及噴嘴a4、a5同時噴出液狀體的方式，選擇與第一噴出工序不同組合的噴嘴a2、a5進行噴出。因此，在一次的噴出中，總是不從與膜形成區域2相關的相鄰噴嘴a1、a2以及噴嘴a4、a5同時噴出液狀體。而且，在先前的噴出和後續的噴出中，噴出液狀體的噴嘴的選擇不同。並且，對與各噴出時所選擇使用的噴嘴對應的壓電元件29，施加頭驅動部124以20kHz的周期發送的驅動波形中時間序列不同的驅動波形。進而，按照不會對劃分膜形成區域2的隔壁部4噴出液狀體的方式進行控制。由此，與從相鄰的噴嘴a1、a2以及噴嘴a4、a5同時噴出液狀體的情況相比，由於難以產生液滴噴頭20的電和機械幹擾，所以，可以減少相鄰噴嘴間的噴出量的偏差。即，採用這樣的噴出方法，能夠以穩定的噴出量噴出液狀體，在膜形成區域2形成由顏色要素形成材料構成的均勻的顏色要素3。
(2)上述實施方式的實施例2的液狀體噴出方法相對於實施例1的噴出方法，頭驅動部124在一個周期內發送多個(2個)驅動波形，基於CH信號，在先前噴出時和後續噴出時，多個驅動波形中的時間序列不同的驅動波形被施加給與所選擇使用的噴嘴對應的壓電元件29。因此，與實施例1的噴出方法相比，即使是相同的主掃描速度，也可以使更多的液滴30彈落於膜形成區域2。即，能夠縮短將規定量的液狀體噴出到膜形成區域2的時間。
(3)由於上述實施方式的彩色濾光器10的製造方法，採用了上述實施例1或上述實施例2的液狀體噴出方法，所以，能夠以穩定的噴出量將包含不同顏色要素形成材料的多種液狀體作為液滴30噴出到膜形成區域2，由此，可以製造具有噴出引起的顏色不均等不良情況被減少的多種顏色要素3R、3G、3B的彩色濾光器10。
(4)由於上述實施方式的作為電光學裝置的液晶顯示裝置200具備對置基板201，所述對置基板201具有採用上述實施方式的彩色濾光器10的製造方法而製造的彩色濾光器205R、205G、205B，所以，可以提供顏色不均等顯示不良少的具有高顯示品質的液晶顯示裝置200。
(5)由於上述實施方式的作為電子設備的可攜式信息處理裝置300，在顯示部303搭載有具有高顯示品質的液晶顯示裝置200，所以，可以提供能夠美觀地對文字與圖像等信息進行彩色顯示的可攜式信息處理裝置300。
上述實施方式之外的變形例如下所述。
(變形例1)上述實施方式的實施例1以及實施例2所示的液狀體噴出方法，對於下述構成進行了說明，即，在膜形成區域2的長邊方向(X方向)排列由多個噴嘴構成的噴嘴列22a，沿著膜形成區域2的短邊方向(Y方向)使排列的噴嘴列22a和形成有膜形成區域2的被噴出物即製品W相對進行主掃描，由此噴出液狀體，但不限定於此。也可以在圖7(a)或圖8(a)中採用下述構成，即，以相對膜形成區域2的長邊方向(X方向)垂直或傾斜的狀態排列噴嘴列22a，沿著膜形成區域2的長邊方向(X方向)進行主掃描，噴出液狀體。
(變形例2)上述實施方式的液狀體噴出方法不限定於實施例1以及實施例2。例如，當在主掃描方向上與膜形成區域2相關的噴嘴22的數量多時，可以採用組合實施例1和實施例2的噴出方法。這樣，由於能夠以和10μm、5μm不同的間隔使液滴彈落，所以，可以按照基於所使用的噴嘴進行改變的方式，調整對膜形成區域2的液滴彈落位置。即，能夠按照難以產生噴出不均的方式改變彈落位置。
(變形例3)上述實施方式的液狀體噴出方法，不限定於如實施例1和實施例2所示那樣，在同一膜形成區域2噴出液狀體的情況。例如，在膜形成區域沿主掃描方向連續或接近、對該膜形成區域噴出含有同一功能性材料的液狀體時，也可以採用所述液狀體噴出方法。因此，使用了上述實施方式的液狀體噴出方法的膜形成不限定於彩色濾光器，例如，如果使用了含有金屬布線材料的液狀體、含有取向膜形成材料的液狀體，則也可以應用於金屬布線、取向膜的形成方法。
(變形例4)由上述實施方式的彩色濾光器10的製造方法製造的彩色濾光器10的構成不限定於此。圖11是表示彩色濾光器的顏色要素配置的平面圖。本實施方式的彩色濾光器10如圖11(a)所示，是將不同的顏色要素3R、3G、3B分別沿著同一方向排列成直線狀的所謂條紋方式。例如，圖11(b)的鑲嵌圖案方式和圖11(c)的三角圖案方式的配置，也可以採用上述實施方式的彩色濾光器10的製造方法。另外，不同的顏色要素3不限定於三種顏色，也可以是4種顏色以上的構成。
(變形例5)利用了由上述實施方式的彩色濾光器10的製造方法而製造的彩色濾光器10的電光學裝置不限定於液晶顯示裝置200。例如，可以舉出將彩色濾光器10、和具備與彩色濾光器10的各顏色要素3R、3G、3B對應的多個有機EL發光元件的基板，按照水分等不會進入的方式進行密封的頂端發射型有機EL顯示裝置。
(變形例6)搭載有液晶顯示裝置200的電子設備不限定於可攜式信息處理裝置300。例如，可以優選作為便攜電話機、被稱作PDA(PersonalDigital Assistants)的可攜式信息設備或便攜終端設備、臺式個人計算機、數字靜態相機、車載用監視器、數碼攝像機、液晶電視、探視型和直視監視型的錄像機、汽車導航裝置、尋呼機、電子記事本、電腦、文字處理器、工作站、可視電話機、POS終端機等的圖像顯示機構而使用，在所有的電子設備中，都可以進行美觀的顯示。
(第二實施方式)下面，參照圖12、圖13，以和第一實施方式的不同點為中心，對本發明第二實施方式進行說明。
圖12是表示噴嘴列中的組構成和液滴彈落位置的圖。圖13是表示驅動波形和控制信號的關係的圖。
在圖12中，噴嘴列22a的各噴嘴分別構成第一～第三組。即，圖中被賦與了數字1～3的噴嘴分別構成第一～第三組，若對噴嘴列22a的排列方向(Y軸方向)的組號排列順序進行敘述，則為1，2，3，2，3，1，3，1，2…(以下循環)。通過這樣的組構成，屬於同一組的噴嘴之間相互不鄰接，另外，屬於組的噴嘴的數量在各組之間大致相等。
在圖13中，根據以控制信號LAT的定時被鎖存的每個噴嘴的ON/OFF數據(噴出數據)，選擇驅動波形A1～C2…的一部分提供給與各噴嘴對應設置的壓電元件。並且，以被供給驅動波形的定時從噴嘴噴出液滴。另外，驅動波形A1～C2…分別是按照被提供給壓電元件29(參照圖2)而噴出規定量的液滴的方式設計的具有同一形狀和大小的波形。
這裡，第一～第三組的噴頭所涉及的驅動波形的選擇，根據規定驅動波形的供給定時的控制信號CH1～CH3進行。即，第一系統的定時的驅動波形A1、A2…被提供給第一組噴嘴的壓電元件，第二系統的定時的驅動波形B1、B2…被提供給第二組噴嘴的壓電元件，第三系統的定時的驅動波形C1、C2…被提供給第三組噴嘴的壓電元件。
這樣，在本實施方式中，通過使各組中的驅動波形的供給定時的系統(以控制信號LAT為基準的相對序列)各個相關聯，使得不會在組之間引起噴出定時的重複。由此，機械幹擾被適當降低，使得因幹擾而引起的噴嘴間特性偏差相對緩和。而且，由於各系統的定時為周期性，所以，噴出條件在各噴出定時之間是一樣的，由此，可以使液滴量相對掃描方向穩定化。
在該第二實施方式中，由於噴嘴列22a的噴嘴構成三個組，所以，每一組的構成噴嘴數比第一實施方式少，組內的噴嘴平均間隔與第一實施方式相比變寬。由此，能夠進一步實現依賴於噴嘴間接近度的機械幹擾的降低。另外，雖然一般而言，具有組的分割數越多幹擾降低的效果也越大的傾向。但是由於根據實驗可知，如果組為3以上，則可獲得相同程度的實質效果，因此，鑑於控制的容易性等，在本實施方式中採用3個組的構成。
再次返回到圖12，在該噴出方法中，以噴嘴列22a與玻璃基板的掃描為前提，在膜形成區域2的噴嘴掃描軌跡下使液滴彈落。由於液滴的噴出定時基於上述方法被按每組分割，所以，液滴的彈落位置如圖所示，在對應的噴嘴組之間沿掃描方向產生偏移。另外，圖中於液滴彈落位置賦與的1～3的數字，表示與其液滴噴出相關的驅動波形供給定時的系統號(參照圖13)。
在該實施方式中，根據膜形成區域2和噴嘴的位置關係，進行噴出驅動的噴嘴(圖中由粗線表示、下面稱作驅動噴嘴)和完全不進行噴出驅動的噴嘴(圖中由細線表示、下面稱作休止噴嘴)在噴嘴列22a內稍微產生不規則。這裡，若著眼於休止噴嘴觀察其噴嘴的排列順序，則成為規則的1，2，3，1，2，3…，這表示構成組的噴嘴(驅動噴嘴)的數量與分布密度，實質上在組之間不是大不相同，而是大致相等。
圖14是用於說明第二實施方式的效果的表示比較例的圖。
在該比較例中，噴嘴列22a的排列方向(Y軸方向)的組號的排列順序為1，2，3…(以下循環)。這裡，若著眼於休止噴嘴觀察其組的排列順序，則不規則地成為1，1，1，2，2，3，3，3…。這表示構成組的實質的噴嘴(驅動噴嘴)數與分布在組之間產生了偏差。
若成為這樣的組構成，由於噴嘴間的機械以及電幹擾的影響而在組之間會產生差，成為發生噴出量偏差的主要原因。即，第二實施方式中的組構成(參照圖12)考慮到了這樣的情況。
為了方便起見，上述的說明僅著眼於噴嘴列22a，但是，實際上在對噴嘴列22a的間距進行補充的位置處，也從噴嘴列22b(參照圖2)進行同樣的噴出。而且，為了在膜形成區域2配置(填充)規定量的液狀體，在一次掃描中噴出總量不足的情況很多，實際上通過針對同一膜形成區域反覆多次進行上述的掃描，來達到規定量。
這樣，在多次的掃描與通過多個噴嘴進行噴出的情況下，優選使一個膜形成區域2所涉及的噴嘴分散化或在掃描期間使噴出定時分散化，換言之，不使相關聯的驅動波形的供給定時的系統偏差。如果多個膜形成區域2的每一個，都存在噴出定時的顯著偏差，則其原因在於液狀體的配置不均。另外，即使在同一膜形成區域內，當同時掃描多個噴嘴時，如果因驅動波形的選擇方法使得噴出定時發生偏差，則會成為不均的原因。這可以認為是，在如本實施方式那樣斷續地進行噴出的情況下，在經過了休止期間之後的最初噴出和後續噴出中，公共流路27(參照圖2)的狀態(壓力損失等)發生了差異，引起噴出量的變動。
(第三實施方式)接著，參照圖15、16，以和第二實施方式的不同點為中心對本發明的第三實施方式進行說明。
圖15是表示噴嘴列中的組構成和液滴彈落位置的圖。
在該實施方式中如圖15所示，採用了使膜形成區域2的長邊方向與主掃描方向一致的描繪方式。而且，針對一個膜形成區域2的液滴噴出，使用一個噴嘴來進行。
噴嘴列22a的各噴嘴分別構成第一～第三組，從屬於第一～第三組的噴嘴分別以第一～第三系統的定時(參照圖13)進行液滴的噴出。由此，與第二實施方式的情況相同，實現了噴嘴間幹擾的降低，相對緩和了因幹擾而引起的噴嘴間特性偏差。
而且，由於各組所涉及的驅動波形的供給定時(噴出定時)具有周期性(參照圖13)，所以，如圖所示，噴出後的液滴沿著主掃描方向以等間隔彈落。另外，在與隔壁部4相關的位置以假想線表示的彈落位置是為了方便對噴出定時的周期性進行視覺性說明而表示的，實際上不表示液滴彈落於該位置。
另外，在該變形例中，對於沿膜形成區域2的短邊方向排列噴嘴列22a，沿膜形成區域2的長邊方向進行主掃描的情況進行了說明，但是，在沿膜形成區域2的長邊方向排列噴嘴列22a，沿膜形成區域2的短邊方向進行主掃描的情況下，也具有同樣的效果。
圖16是表示第三實施方式的變形例的圖。
在該變形例中，各組的噴出定時不規則，若著眼於一組，按照第三系統、第二系統、第一系統…(以下循環)的順序，構成驅動波形供給定時的對應關係。該情況下，由於按每一個噴出定時噴出條件不同，所以，在主掃描方向上產生噴出量(液狀體的配置量)的變動。由此，引起噴嘴間的特性偏差，相對於在副掃描方向形成的配置量的不均，增加了與其正交的成分的不均，由此，形成了以二維方式分散的不均。由於這樣的二維方式分散的不均比線狀的(1維的)不均視覺辨認性低，所以，具有不均不顯眼的效果。
權利要求
1.一種噴出方法，使被噴出物與液滴噴頭的相對移動同步，從所述液滴噴頭的多個噴嘴對被噴出物的膜形成區域噴出包含功能性材料的液狀體，包括第一噴出工序，按照不從所述多個噴嘴構成的噴嘴列中與所述膜形成區域相關的相鄰噴嘴同時噴出所述液狀體的方式，選擇所使用的噴嘴進行噴出；和第二噴出工序，按照不從與所述膜形成區域相關的相鄰所述噴嘴同時噴出所述液狀體的方式，選擇與所述第一噴出工序不同組合的噴嘴進行噴出。
2.根據權利要求1所述的噴出方法，其特徵在於，在所述被噴出物的表面具有劃分多個所述膜形成區域的隔壁部，在所述第一噴出工序以及所述第二噴出工序中，當所選擇的噴嘴與所述隔壁部相關時，不使用該噴嘴。
3.根據權利要求2所述的噴出方法，其特徵在於，當所述液狀體作為液滴從所述所選擇的噴嘴噴出到所述膜形成區域，且噴出的所述液滴滴落於所述隔壁部時，不使用噴出該液滴的所述噴嘴。
4.根據權利要求1～3中任意一項所述的噴出方法，其特徵在於，所述液滴噴頭具有使所述液狀體作為所述液滴從所述多個噴嘴噴出的多個能量產生機構，所述多個能量產生機構與以規定周期產生驅動波形的頭驅動機構電連接，在所述第一噴出工序和所述第二噴出工序中，由所述頭驅動機構順次選擇時間序列不同的所述驅動波形施加給與所使用的所述噴嘴對應的所述能量產生機構，噴出所述液滴。
5.根據權利要求1～3中任意一項所述的噴出方法，其特徵在於，所述液滴噴頭具有使所述液狀體作為所述液滴從所述多個噴嘴噴出的多個能量產生機構，所述多個能量產生機構與在1周期內產生多個驅動波形的頭驅動機構電連接，在所述第一噴出工序和所述第二噴出工序中，由所述頭驅動機構順次選擇所述多個驅動波形中時間序列不同的驅動波形施加給與所使用的所述噴嘴對應的所述能量產生機構，噴出所述液滴。
6.根據權利要求1～5中任意一項所述的噴出方法，其特徵在於，對同一所述膜形成區域進行所述第一噴出工序和所述第二噴出工序。
7.一種噴出方法，根據具有多個噴嘴的噴嘴列與被噴出物的相對掃描，從所述噴嘴對所述被噴出物噴出液狀體，按照由所述噴嘴列所包含的至少相互不鄰接的所述噴嘴構成的組單位，設定與所述掃描同步的定時，噴出所述液狀體，所述定時在多個所述組之間不同。
8.根據權利要求7所述的噴出方法，其特徵在於，所述噴嘴列具有3個以上的所述組。
9.根據權利要求7或8所述的噴出方法，其特徵在於，按照構成所述組的所述噴嘴的數量在所述多個組之間大致相等的方式，構成所述組。
10.根據權利要求7～9中任意一項所述的噴出方法，其特徵在於，通過選擇以時分割生成的多個驅動波形的一部分，提供給配置在所述噴嘴內側的能量產生機構，噴出所述液狀體，按照與所述組對應地選擇的所述驅動波形在所述多個組之間相互不重複的方式，進行所述驅動波形的選擇。
11.根據權利要求10所述的噴出方法，其特徵在於，按照與所述組對應而能夠選擇的所述驅動波形為周期性的定時的方式，進行所述驅動波形的選擇。
12.根據權利要求10所述的噴出方法，其特徵在於，按照與所述組對應而能夠選擇的所述驅動波形為非周期性的定時的方式，進行所述驅動波形的選擇。
13.一種彩色波光器的製造方法，用於製造具有在基板上劃分多個膜形成區域的隔壁部、和存在於所述多個膜形成區域的多種顏色要素的彩色濾光器，使用權利要求1～12中任意一項所述的噴出方法，將含有不同的顏色要素形成材料作為功能性材料的多種液狀體，從液滴噴頭的多個噴嘴噴出到所述多個膜形成區域，形成所述多種顏色要素。
14.一種電光學裝置，具備採用了權利要求13所述的彩色濾光器的製造方法而製造的彩色濾光器。
15.一種電子設備，搭載有權利要求14所述的電光學裝置。
全文摘要
本發明提供一種可以降低相鄰噴嘴間的噴出量偏差，以穩定的噴出量噴出液狀體的噴出方法、以及採用了該噴出方法的彩色濾光器的製造方法、電光學裝置以及電子設備。本發明的液狀體噴出方法包括第一噴出工序，按照不從與膜形成區域(2)相關的相鄰噴嘴(a1、a2)以及(a4、a5)同時噴出液狀體的方式，選擇所使用的噴嘴(a1、a4)進行噴出；和第二噴出工序，按照不從與膜形成區域(2)相關的相鄰噴嘴(a1、a2)以及(a4、a5)同時噴出液狀體的方式，選擇與第一噴出工序不同組合的噴嘴(a2、a5)進行噴出。
文檔編號B05C11/10GK1962083SQ20061014452
公開日2007年5月16日 申請日期2006年11月8日 優先權日2005年11月11日
發明者加藤剛 申請人:精工愛普生株式會社