用於製造聚乙烯醇縮甲醛海綿輥刷的裝置的製作方法

2023-10-22 19:51:47

專利名稱：用於製造聚乙烯醇縮甲醛海綿輥刷的裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及--種製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置,更具體地說,是涉及 一種可在製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷過程中用於去除聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷表面和 內部氣泡，並進行成型的裝置。
背景技術：
現代微電子工業的發展，向大規模高集成度的方向發展，對精度和潔淨度均有極 岢刻的要求.特別是作為後道工序化學機械研磨(CMP)清洗用的聚乙烯醇縮甲醛海綿 輥刷(見附圖一)，又名化學機械研磨PVA刷子，(簡稱為PVA刷子或PVF刷子)由聚 乙烯醇縮甲醛海綿多孔質材料構成。適用於高端清洗用的PVA刷子，需具備如下物理特 性及清洗效能有效的開泡率83%，93%.孔徑:20μη廠750_. 0. 2 2. 0 μ m微粒子(LPC) < 1000unit/cm2.偏心度0750 μ m 的氣泡，才能達到高精度,高潔淨度的清洗要求.化學機械研磨(CMP)清洗的重點，是去除研磨過程中帶來的所有汙染物。研磨過 程中晶圓會接觸到腐蝕性化學品並承受較大的外界壓力，導致其表面或次表面區域發生變 形或破壞,將影響到器件的穩定性.CMP清洗的主要目的是去除研磨劑殘留、金屬汙染物以 及游離態離子.去除矽片表面的汙染物,首先要通過機械方法或者用化學腐蝕汙染物表面 減小與基底的接觸，然後通過刷洗和水流的衝擊而避免顆粒重新粘附到物體表面。在矽晶 片、光掩膜、液晶玻璃基板、電腦硬碟等CMP加工工序中、由於PVA刷子具有極佳的柔軟性， 不會傷及精細物體表面、不脫梢,不會造成二次汙染,耐化學腐蝕,具有良好的親水性和可 高達10倍的吸水率,適合於進行這類高精度,高潔淨度的衝洗要求,PVA刷子外表面規則排 列的結節，能有效增加與被清洗物的接觸面積，該結節頂部旋轉接觸被衝洗體，從而進行刷 洗。傳統用於製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的製造方法,不能去除聚乙烯醇縮甲醛海 棉輥刷表面和內部>0750 U m氣泡，因而存在清洗效能及成品率低的缺陷。

實用新型內容本實用新型的目的在於克服現有技術中的上述缺陷，提供一種在製造聚乙烯醇縮 甲醛海棉輥刷過程中用於製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置,可去除聚乙烯醇縮甲醛海 棉輥刷表面和內部><750 μ m氣泡,從而提高聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的清洗效能,還可 大大提高成品率。為實現上述目的，本實用新型提供的技術方案如下提供一種用於製造聚乙烯醇 縮甲醛海棉輥刷的裝置，包括振動工作檯，垂直固定在振動工作檯上的模具，所述模具是由 底座，與底座固定連接的外套筒,套設在外套筒內側壁上的內套筒,沿內套筒中心軸線裝設 在內套筒內一芯棒構成,該芯棒的下端與底座固定連接，內套筒內側壁上均布有用於聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的結節成型的形通孔，芯棒上端與內套筒上部開口形成進料口。 本實用新型所述的用於製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置的有益效果是通 過構造一振動工作檯，在振動工作檯上裝設模具，模具垂直固定于振動工作檯上,所述模具 是由底座,與底座固定連接的外套筒,套設在外套筒內側壁上的內套筒，沿內套筒中心軸線 裝設在內套筒內一芯棒構成,該芯棒的下端與底座固定連接，內套筒內側壁上均布有用於 聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的結節成型的通孔，芯棒____匕端與內套筒上部幵口形成進料口，將 已製備的聚乙烯醇縮甲醛混合溶液,邊高速攪拌邊灌注入模具內，在高速攪拌及灌注的過 程中，較粘稠性的聚乙烯醇縮甲醛混合溶液內混入大量的空氣而產生大量的氣泡；啟動振 動工作檯，邊調整震動工作檯的震動頻率和震動幅度，邊觀測氣泡的逸出狀態,逸出的氣泡 越大越多，即為所應設定的最佳震動頻率和震動幅度，使混合漿液內的氣泡碰撞破裂而聚 合成大氣泡.更大的氣泡在混合漿液內具有足夠的上浮力大氣泡，上升到聚乙烯醇縮甲醛 混合溶液頂部,接觸空氣而破裂,從而將較粘稠性的聚乙烯醇縮甲醛混合溶液內直徑大於 Φ750μηι的氣泡除去；將模具連同混合漿液置於一密封的蒸汽空間使聚乙烯醇縮甲醛混 合溶反應成型，充分冷卻後起模.並進行清洗，得到氣泡直徑小於Φ750μηι的聚乙烯醇縮 甲醛海棉輥刷。能提高聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的清洗效能，還可大大提高成品率，適用於 矽晶片、光掩膜、液晶玻璃基板、電腦硬碟等CMP加工工序，滿足進行這類高精度，高潔淨度 的衝洗要求。
以下結合附圖和實施例對本實用新型所述的用於製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷 的裝置作進一步說明。

圖1是本實用新型所述的用於製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置的局部剖視 立體圖；圖2是本實用新型所述的用於製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置的模具的局 部剖視立體圖；圖3是本實用新型所述的用於製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置的模具的分 解結構立體圖。
具體實施方式
以下本實用新型所述用於製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置的最佳實例，並不 因此限定本實用新型的保護範圍。參照圖1、圖2、圖3，提供一種用於製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置,包括振 動工作檯1,垂直固定在振動工作檯上的模具2,所述模具2是由底座3,與底座1固定連接 的外套筒4，套設在外套筒4內側壁上的內套筒5，沿內套筒5中心軸線裝設在內套筒5內 一芯棒6構成，該芯棒6的下端與底座1固定連接，內套筒5內側壁上均布有用於聚乙烯醇 縮甲醛海棉輥刷的結節成型的通孔7,芯棒6上端與內套筒5上部開口形成進料口 8。所述通孔8是圓臺形通孔或圓柱形通孔。上述實施例為本實用新型較佳的實施方式，但本實用新型的實施方式並不受上述 實施例的限制,其他的任何未背離本實用新型的精神實質與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應為等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護範圍之內。
權利要求一種用於製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置，包括振動工作檯(1)，垂直固定在振動工作檯上的模具(2)，其特徵在於，所述模具(2)是由底座(3)，與底座(1)固定連接的外套筒(4)，套設在外套筒(4)內側壁上的內套筒(5)，沿內套筒(5)中心軸線裝設在內套筒(5)內一芯棒(6)構成，該芯棒(6)的下端與底座(1)固定連接，內套筒(5)內側壁上均布有用於聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的結節成型的通孔(6)，芯棒(6)上端與內套筒(5)上部開口形成進料口(7)。
2.根據權利要求1所述的用於製造聚乙烯醇縮甲醛海棉輥刷的裝置，其特徵在於，所 述通孔(6)是圓臺形通孔或圓柱形通孔。
專利摘要本實用新型公開了一種用於製造聚乙烯醇縮甲醛海綿輥刷的裝置，包括振動工作檯，垂直固定在振動工作檯上的模具，所述模具是由底座，與底座固定連接的外套筒，套設在外套筒內側壁上的內套筒，沿內套筒中心軸線裝設在內套筒內一芯棒構成，該芯棒的下端與底座固定連接，內套筒內側壁上均布有用於聚乙烯醇縮甲醛海綿輥刷的結節成型的通孔，芯棒上端與內套筒上部開口形成進料口。將已製備的聚乙烯醇縮甲醛混合溶液，邊高速攪拌邊灌注入模具內；啟動振動工作檯，使混合漿液內的氣泡碰撞破裂而聚合成大氣泡，上升到聚乙烯醇縮甲醛混合溶液頂部，接觸空氣而破裂，從而將較粘稠性的聚乙烯醇縮甲醛混合溶液內的氣泡除去。
文檔編號B29C39/26GK201613610SQ20102010334
公開日2010年10月27日 申請日期2010年1月28日 優先權日2010年1月28日
發明者黃慶森 申請人:黃慶森