用於襯底的升降機的製作方法
2023-10-26 06:24:42 2
專利名稱：用於襯底的升降機的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種用於襯底的升降機。
背景技術：
一般來說，用於半導體裝置的半導體襯底或用於平板顯示器；諸如液晶顯示器(LCD)和有機發光顯示器(OLED)；的玻璃襯底，在半導體裝置或顯示面板的製造期間由輸送系統進行傳輸。輸送系統包括安裝襯底的輸送機、移動輸送機的驅動輥、以及用於驅動驅動輥的驅動電動機。
LCD通常包括由玻璃襯底製成的兩塊面板和液晶層，而OLED包括由玻璃襯底製成的信號面板。LCD通過向設置在面板上的場產生電極施加電壓以產生電場來顯示圖象，其中在液晶層中確定液晶分子的取向。OLED通過向發光二極體施加電流或電壓來顯示圖象，該發光二極體根據電流或電壓發光。
用於LCD的常規襯底傳輸系統將玻璃襯底傳輸到幾個處理設備上。尤其是，當襯底裝在盒子裡時被向上和向下傳輸，該盒子順序放進起重機的罐籠裡。
由於這樣的成批升降系統不適合於大的玻璃襯底和直列(in-line)系統，因此提出了在升降機的提升循環中只提升一塊玻璃襯底的單襯底提升系統。然而，單襯底提升系統增加了升降機的生產流程時間。
發明內容
提供了一種用於襯底的升降機，其包括用於安裝襯底並且具有第一和第二邊緣的多個託板；與託板的第一邊緣連接的第一對電纜；與託板的第二邊緣連接的第二對電纜；以及移動第一和第二對電纜以向上和向下移動託板的驅動單元。
託板可以是撓性的，並且每一個託板可包括平行系扎的多個輥。
驅動單元可包括驅動電動機和連接到驅動電動機的多個滑輪。
滑輪可包括直接與驅動電動機連接以便由驅動電動機驅動的驅動滑輪，以及與第一和第二對電纜連接的多個空轉輪。
空轉輪可包括與驅動滑輪基本上水平排列的第一滑輪、與驅動滑輪基本上垂直排列的第二和第三滑輪、以及與第一滑輪基本上垂直並且與第二和第三滑輪基本上水平排列的第四和第五滑輪。
(a)第一滑輪、(b)第二和第三滑輪之一以及(c)第四和第五滑輪之一中的每一個可包括成直線設置的一對分離體。
滑輪中的至少一個可包括單體。
託板可以隨著接觸滑輪中至少一個的圓周而彎曲。
託板可以隨著被調準水平而向上移動，並且它可以隨著被調準垂直而向下移動。
此外，託板可以隨著被調準水平而向下移動，並且它可以隨著被調準(aligned)垂直而向上移動。
升降機還可包括容納託板的機架、配備在機架壁上的風扇過濾器、或者設置在機架底部的排氣裝置。
升降機還可包括用於將襯底供給託板以及用於將襯底從託板上取下的一對輸送機。
通過參照附圖詳細地描述相關的實施例，本發明將變得更加明顯，附圖中圖1是根據本發明實施例的用於襯底的升降系統；圖2和3是說明在圖1示出的升降系統中託板運動的示意性透視圖。
具體實施例方式
現在將在下文中參照附圖對本發明進行更加充分的描述，其中在附圖中示出了本發明的優選實施例。然而，本發明可以以很多不同的方式實施，並且本發明不應該限制在這裡闡述的實施例中。
現在，將參照圖1-3對根據本發明實施例的升降系統進行詳細描述。
圖1是根據本發明實施例的用於襯底的升降系統，圖2和3是說明在圖1示出的升降系統中託板運動的示意性透視圖。
參照圖1，根據這個實施例的升降系統包括用於提升/下降襯底1的升降機100，以及用於供給/取下襯底1的一對下和上輸送機200和300。
如圖1-3所示，升降機100包括立方形的機架10、設置在機架10中的多個撓性託板40、與託板40連接的第一和第二對電纜51和52、以及用於驅動第一對和第二對電纜51和52的驅動單元60和70。
機架10具有分別設置在其底部和頂部附近、用來接收和卸下襯底1的一對下和上入口/出口11和12。用於將潔淨的空氣引入機架10內部的多個風扇過濾器單元(FFU)80設置在機架10的側壁上，並且用於排放機架10內的空氣的排氣裝置13設置在機架10的底部。
驅動單元60和70包括驅動電動機70和與驅動電動機70連接的多個滑輪60。電動機70設置在機架10的外面，用於防止汙染襯底1。
滑輪60包括優選地通過由驅動電動機70驅動的鏈條或皮帶(未示出)直接與驅動電動機70連接的驅動滑輪61，以及與電纜51和52連接的多個空轉輪62-66。滑輪60位於電纜51和52或託板40運動方向的轉換處。驅動滑輪61設置在機架10的左上側，並且空轉輪62-66包括右上滑輪66、第一和第二左下滑輪64和62、以及第一和第二右下滑輪65和63。右上滑輪66、第二左下滑輪62以及第一右下滑輪65中的每一個包括單體，而右上滑輪66、第一左下滑輪64以及第二右下滑輪63中的每一個，包括成直線設置並以大於託板40寬度的距離彼此隔離的一對輪體66a和66b、64a和64b、或者63a和63b。
電纜51和52接觸驅動滑輪61，以便依照驅動滑輪61的旋轉來移動。第一對電纜51接觸空轉輪62、64和65，並且第二對電纜52接觸空轉輪62、63和66。當如圖1中所示從滑輪61-66的軸向觀察時，第一對電纜51近似地形成雙線字母「L」，而第二對電纜52形成矩形。具體地，電纜51和52在驅動滑輪61和空轉輪62之間的垂直方向上、和在第二左下空轉輪62和右下空轉輪63和65之間的水平方向上近似地相互符合。第一和第二對電纜51和52於是彼此離開。詳細地說，第一對電纜51繞著第一右下滑輪65折轉以到達第一左下滑輪64，並且繞著第一左下滑輪64折轉以向上運行到驅動滑輪61，同時第二對電纜52繞著第二右下滑輪65折轉以向上達到右上滑輪66，並且繞著右上滑輪66折轉以運行到驅動滑輪61。
每一個託板40包括平行系扎的具有撓性的多個輥41。此外，每一個託板40有兩個相對的邊緣42和43，該兩個相對的邊緣42和43垂直於其移動方向延伸，並且分別與第一對電纜51和第二對電纜52連接。兩個相對的邊緣42和43包括各自的輥，並且邊緣輥42和43中的每一個具有通過連接部件與各自的電纜51或52連接的兩個端部42a和42b或43a和43b。
第一對電纜51之間和第二對電纜52之間的距離大於邊緣輥42和43的長度，第二對電纜52之間的距離大於第一對電纜51之間的距離。
下面的供給/取下輸送機200設置在機架10的下入口/出口11附近，並且包括支架210和多個輥220。同樣地，上面的供給/取下輸送機300設置在機架10的上入口/出口12附近，並且包括支架310和多個輥320。
升降機100能夠通過調整驅動滑輪61的旋轉方向來提升或下降襯底。例如，當驅動滑輪61沿著圖2中字母D表示的逆時針方向旋轉時，託板40向上提升襯底1。相反，當驅動滑輪61順時針方向旋轉時，託板40向下降下襯底1。
在升降機100的提升期間，通過將託板40調準為基本上水平並且使每一個託板40的一個邊緣42在另一個邊緣43前面，驅動單元60和70在水平方向上移動位於升降機100底部的託板40遠離下傳送機200。下傳送機200在其表面上攜帶襯底1並且通過下入口/出口11將襯底1裝載在水平移動的託板40上，並且下傳送機200的供給過程是以連續的方式進行的。在裝載襯底1後，通過使託板40保持水平以及同時移動每一個託板40的邊緣42和43，驅動單元60和70沿著從底部到頂部的向上的方向A移動安裝有襯底1的託板40。在到達頂部後，通過使託板40保持水平、使託板40的邊緣42繞著驅動滑輪61向下折轉、以及使託板40的邊緣43跟隨著在前的邊緣42，驅動單元60和70在朝著上傳送機300沿水平方向移動託板40，以通過上出口/入口12將襯底1卸給上傳送機300。上傳送機300在其表面上裝載襯底1並且將襯底1從升降機100中取下。
在取下襯底1後，通過使託板40垂直以及使託板40的邊緣42在託板40的邊緣43前面，驅動單元60和70沿著從頂部到底部的垂直方向B向下移動託板40。通過調準託板40基本上水平並且使託板40的邊緣42在另一邊緣43前面，驅動單元60和70使託板40繞著位於底部的第二左下滑輪62折轉，以在朝著下傳送機200沿水平方向C上移動。
撓性託板40能夠在其移動方向的轉換處隨著接觸滑輪61-66的圓周而發生彎曲。參照圖1，當託板40從向上的方向A向向下的方向B、從向下的方向B向機架10底部的水平方向C、以及從水平的方向C向向上的方向A改變其移動方向時，託板40沿著驅動滑輪60的圓周發生彎曲。
傳送機200和300、滑輪61-66和託板40的下降的操作，以與其提升操作相反的方式進行。
在上述的升降機100中，由於調準為與地面平行以便安裝襯底1的幾個託板40設置在機架10的一定高度處，因此用於提升/下降襯底1的操作時間短。此外，由於平行調準的託板40的數量可以不考慮機架10的高度確定，因此用於提升/下降襯底1的操作時間可以幾乎不受機架10的高度的影響。
此外，襯底1的順序的提升/下降能夠適合於直列系統。
雖然已經參考優選實施例對本發明進行了詳細的描述，但是本領域技術人員將預計到，只要沒有偏離在如附加的權利要求中闡述的本發明的構思和範圍，可以做出各種修改和替代。
權利要求
1.用於襯底的升降機，該升降機包括用於安裝襯底並且具有第一和第二邊緣的多個託板；一與託板的第一邊緣連接的第一對電纜；一與託板的第二邊緣連接的第二對電纜；以及一移動第一和第二對電纜以向上和向下移動託板的驅動單元。
2.根據權利要求1的升降機，其中託板是撓性的。
3.根據權利要求2的升降機，其中每一個託板包括平行系扎的多個輥。
4.根據權利要求1的升降機，其中驅動單元包括驅動電動機和與驅動電動機連接的多個滑輪。
5. 根據權利要求4的升降機，其中滑輪包括直接連接到驅動電動機，以由驅動電動機驅動的驅動滑輪，和連接到第一和第二對電纜的多個空轉輪。
6.根據權利要求5的升降機，其中該空轉輪包括與驅動滑輪基本上水平排列的第一滑輪、與驅動滑輪基本上垂直排列的第二和第三滑輪、以及與第一滑輪基本上垂直並且與第二和第三滑輪基本上水平排列的第四和第五滑輪。
7.根據權利要求6的升降機，其中(a)第一滑輪、(b)第二和第三滑輪之一、以及(c)第四和第五滑輪之一中的每一個，包括成直線設置的一對分離體。
8.根據權利要求7的升降機，其中滑輪中的至少一個包括單體。
9.根據權利要求8的升降機，其中驅動滑輪包括單體。
10.根據權利要求8的升降機，其中空轉輪中的至少一個包括單體。
11.根據權利要求8的升降機，其中託板隨著接觸滑輪中至少一個的圓周而彎曲。
12.根據權利要求11的升降機，其中託板隨著被水平調準而向上移動並且隨著被垂直調準而向下移動。
13.根據權利要求11的升降機，其中託板隨著被水平調準而向下移動並且隨著被垂直調準而向上移動。
14.根據權利要求1的升降機，還包括容納託板的機架。
15.根據權利要求14的升降機，還包括配備在機架壁上的風扇過濾器。
16.根據權利要求14的升降機，還包括設置在機架底部的排氣裝置。
17.根據權利要求1的升降機，還包括用於將襯底供給到託板以及用於將襯底從託板取下的一對輸送機。
全文摘要
提供了一種用於襯底的升降機，其包括用於安裝襯底並且具有第一和第二邊緣的多個託板；與託板的第一邊緣連接的第一對電纜；與託板的第二邊緣連接的第二對電纜；以及移動第一和第二對電纜以向上和向下移動託板的驅動單元。
文檔編號H01L21/677GK1612005SQ20041009818
公開日2005年5月4日 申請日期2004年10月27日 優先權日2003年10月27日
發明者趙在男, 安根洙 申請人:三星電子株式會社