多路氣體質量流量計控制裝置及控制方法
2023-09-23 16:01:15 1
專利名稱：多路氣體質量流量計控制裝置及控制方法
技術領域：
本發明屬於氣體質量流量計的控制技術領域，具體涉及一種多路氣體質量流量計控制裝置及控制方法，其能夠精確控制多路氣體的氣體流速。
背景技術：
氣體質量流量計是一種測量和控制氣體質量流量的裝置，在化工技術領域、半導體技術領域常被用來精確控制氣體的流量輸出。在兩種或以上氣體同時混合使用的時候，或者對固定流速的單種氣體進行多路分流的時候，需要使用多路氣體質量流量計來控制氣體的質量流量輸出，以便精確控制混合或分流氣體的流量比例。當前，在一些設備中，根據需要配置了不同型號的氣體質量流量計，分別利用不同的硬體或軟體加以控制，但它們各自都是對單路氣體質量流量計進行手動控制，因此其控 制精度和自動化程度較低。由此，在需要對多路氣體進行精確控制的各生產領域或其科研實驗室極需一種能夠高精度和自動化的多路氣體質量流量計控制裝置及利用該控制裝置控制多路氣體質量流量的方法。
發明內容
(一 )要解決的技術問題針對現有的氣體質量流量計控制裝置不能對多路氣體同時精確控制的缺陷和控制精度差、自動化程度較低的問題，本發明提供了一種多路氣體質量流量計控制裝置及控制方法。( 二 )技術方案為了解決上述技術問題，本發明提出一種多路氣體質量流量計控制裝置，用於控制多路氣體的質量流量，包括現場總線模塊和主控模塊，所述主控模塊與現場總線模塊通過有線或無線方式連接，所述現場總線模塊能夠與多個氣體質量流量計相連接，並接受所述主控模塊的控制指令，根據該控制指令控制該多個氣體質量流量計輸出的氣體質量流量。根據本發明的一種具體實施方式
，所述現場總線模塊包括現場總線適配模塊、數字量輸出模塊、模擬量輸出模塊和模擬量輸入模塊，所述現場總線適配模塊與其他各模塊之間通過現場總線傳送信號；所述現場總線適配模塊用於接收主控模塊發出的控制指令，通過現場總線傳遞給所述數字量輸出模塊和模擬量輸出模塊；所述數字量輸出模塊用於根據主控模塊的控制指令產生一個通斷信號，用於控制氣體質量流量計的通路的打開和關閉；所述模擬量輸出模塊用於根據主控模塊的控制指令產生一個流量信號，用於控制氣體質量流量計的氣體質量流量；所述模擬量輸入模塊用於接收氣體質量流量計產生的流量反饋信號；所述現場總線適配模塊還用於通過現場總線將所述模擬量輸入模塊採集的氣體質量流量數據傳輸給所述主控模塊；除所述現場總線適配模塊之外，所述現場總線模塊中所包括的的各模塊的數量均可根據所述氣體質量流量計的氣路數量進行調整。根據本發明的一種具體實施方式
，所述主控模塊用於接收使用者的操作，以及從所述現場總線模塊接收所述氣體質量流量數據，並根據所述操作和流量反饋信號產生控制指令並發送給現場總線模塊。根據本發明的一種具體實施方式
，所述現場總線模塊還包括終端模塊，其安裝於所述現場總線節點的末端，用於形成完整的內部數據迴路並保證數據流的正確性。根據本發明的一種具體實施方式
，所述主控模塊為計算機，所述現場總線適配模塊為現場總線適配器，二者通過有線或無線乙太網絡的TCP/IP協議通訊。根據本發明的一種具體實施方式
，所述數字量輸出模塊、模擬量輸出模塊、模擬量輸入模塊和終端模塊均由硬體I/o模塊實現，這些硬體I/O模塊分別具有現場總線通訊功能，且都能夠分別與現場總線適配器進行通訊，以接收或發送信號。 根據本發明的一種具體實施方式
，所述現場總線適配器和輸入輸出埠集成在一個盒體內，所述盒體的側面設有連接所述氣體質量流量計的進氣快速接頭和出氣快速接頭。根據本發明的一種具體實施方式
，還包括一個穩壓電源，用於給所述現場總線模塊供電，並且，所述現場總線模塊和該穩壓電源的底部安裝在導軌上。本發明還提出一種氣體質量流量計控制方法，用於控制多路氣體質量流量計的氣體質量流量，包括如下步驟根據所述多路氣體質量流量計的氣體質量流量數據產生流量反饋信號；根據使用者的操作和所述流量反饋信號產生用於控制多路氣體流量計的通斷或流量的控制指令；根據所述控制指令產生一個通斷信號，用於控制氣體質量流量計的通路的打開和關閉；根據所述控制指令產生一個流量信號，用於控制氣體質量流量計的氣體質量流量。根據本發明的一種具體實施方式
，還包括步驟設定所述流量信號隨時間改變的函數關係，從而實現在指定時間長度內氣體質量流量計輸出氣體流速在指定範圍內的自動增減。(三)有益效果本發明通過計算機和現場總線模塊通信實現了對多路氣體質量流量計進行聯合(或單獨)精確控制，實現了對多路氣體進行任意流量比例的精確匯流和對單路氣體進行任意流量比例的精確分流，提高了對氣體流速的控制精度(優於lml/min)，並可以實現自動增減氣體流速。並且，由於本發明的氣體質量流量計和其他硬體安裝於符合IP65防護等級的小型聚酯防護箱內部，與外部設備的接口採用符合IP67防護等級或德國勞氏認證的快速接頭，本發明實現的裝置具有便攜性和適用複雜工作環境的特點。
圖I是本發明的多路氣體質量流量計控制裝置的模塊構成示意圖；圖2是本發明的多路氣體質量流量計控制裝置的現場總結模塊的內部模塊構成示意圖；圖3是本發明的多路氣體質量流量計控制裝置的一個實施例的結構示意圖，其為主視圖；圖4是圖3所示實施例的為俯視圖。
具體實施例方式為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚明白，以下結合具體實施例，並參照附圖，對本發明作進一步的詳細說明。本發明的氣體質量流量計控制裝置可用於控制多路氣體質量流量計的氣體質量流量。圖I是本發明的多路氣體質量流量計控制裝置的模塊構成示意圖。如圖I所示，本發明的控制裝置I包括現場總線模塊2和主控模塊3，主控模塊3與現場總線模塊2通過有線或無線方式連接。其中，該現場總線模塊2能夠與多個氣體質量流量計8相連接，並接受主控模塊3的控制指令，根據控制指令控制該多個氣體質量流量計8輸出的氣體質量流量。
圖2是本發明的多路氣體質量流量計控制裝置的現場總線模塊的內部模塊構成示意圖。如圖2所示，本發明的現場總線模塊2包括現場總線適配模塊9、數字量輸出模塊10、模擬量輸出模塊11、模擬量輸入模塊12和終端模塊13。上述各模塊之間通過現場總線傳送信號。按照本發明的具體實施方式
，上述各模塊在機械結構上以卡式彈簧導軌安裝連接。其中，現場總線適配模塊9是具有Ethernet TCP/IP或其他有線或無線通訊功能的現場總線適配器，通過Ethernet TCP/IP與主控模塊3通訊,接收主控模塊3發出的控制指令，通過現場總線傳遞給數字量輸出模塊10和模擬量輸出模塊11，並通過現場總線將模擬量輸入模塊12採集的氣體質量流量數據傳輸給主控模塊3，從而使主控模塊能夠實時控制各氣體質量流量計8。模塊10、11和12都分別具有現場總線通訊功能，可以分別和總線適配模塊9進行通訊。數字量輸出模塊10根據主控模塊3的控制指令產生一個通斷信號，用於控制氣體質量流量計8的通路的打開和關閉。該通斷信號是一個數位訊號，例如，其根據控制指令提供OV電壓或第一電壓給氣體質量流量計8，當提供OV電壓時，對應的質量流量計8關閉通路，沒有氣體通過；當輸出第一電壓時，對應的氣體質量流量計8打開通路，開始進行流量控制。第一電壓例如為24V。模擬量輸出模塊11根據主控模塊的控制指令產生一個流量信號，用於控制氣體質量流量計8的氣體質量流量，該流量信號是一個模擬信號，例如，其提供大小介於OV電壓至第二電壓之間的連續可調的電壓信號給氣體質量流量計8，質量流量計8根據該電壓大小調節氣體質量流量的大小。當輸出為OV電壓時，質量流量計8關閉，當輸出第二電壓時，質量流量計8達到最大流量。第二電壓例如為5V。模擬量輸入模塊12接收氣體質量流量計8產生的流量反饋信號，該流量反饋信號例如是介於OV電壓至第三電壓之間的反饋電壓信號，當質量流量計8工作時，會將當前質量流量信號轉換為介於OV電壓至第三電壓之間的反饋電壓信號並輸出給模擬量輸出模塊11和主控單元3，以便實現主控模塊3的自我診斷和報警處理。模擬量輸出模塊11還用於採集模擬量輸入模塊12產生的反饋電壓信號來實時監控相應的質量流量計8的氣體質量流量，該模塊還可採集被控制對象的反饋信號，根據反饋信號實時調節輸出電壓的大小，達到高精度閉環控制的目的。
在本說明書中，模塊10、11和12簡稱為輸入輸出模塊。終端模塊13安裝於所述現場總線節點的末端，用於形成完整的內部數據迴路並保證數據流的正確性，從而提高系統的穩定性和可靠性。主控模塊3用於接收使用者的操作，以及從所述現場總線模塊2接收氣體質量流量計8的流量反饋信號，根據所述操作和流量反饋信號產生控制指令並發送給現場總線模塊2。由此，主控模塊3提供了信號反饋，為自動控制的實現提供了可能性，所述自動控制例如是報警控制超差、記錄流量數據等。根據本發明，主控模塊可由具有有線或無線通信功能的設備實現。例如，根據本發明的一種具體實施方式
，其可以是一個計算機，也可以是掌上設備或嵌入式設備等。主控設備需具備可編程特性，並具有一定的存儲能力，能夠存儲和運行必要的控制程序。如前所述，主控模塊3與現場總線模塊2的現場總線適配模塊9進行通信，現場總線模塊2執行主控模塊3發出的控制指令，從而對多路氣體質量流量計8的氣體流量進行·控制。根據本發明的具體實施方式
，主控模塊3通過現有的通信協議與現場總線模塊2進行通信，例如TCP/IP協議，其通信方式既可以是有線方式，也可以是無線方式。根據本發明，與控制裝置I相連接的氣體質量流量計8有多個，其中每一個氣體質量流量計8均能通過接收控制裝置I發出的控制指令，從而測量並控制單種氣體的質量流量。每個質量流量計為相對獨立的一個單元，需要一組模擬輸入、輸出和數字輸出的模塊與之對應，系統中輸入輸出模塊的數量決定了可以控制的質量流量計的數量。氣體質量流量計優選為能夠在O 2000ml/min的範圍內精確控制氣體流速,但是本發明並不限於此,更大量程範圍的氣體質量流量計8也可使用。根據本發明的優選實施方式，多路氣體質量流量計控制裝置還包括一個穩壓電源7，用於給上述現場總線模塊2提供所需的穩壓電源，例如24V直流電源等。下面通過一個具體實施例來描述該發明。需要說明的是，該實施例中僅以兩路氣體質量流量計為例，但是本發明並不限於此，本領域技術人員可以輕易將該實施例擴展為支持多路氣體質量流量計的控制裝置的技術方案。圖3和圖4是本發明的多路氣體質量流量計控制裝置的一個實施例的結構示意圖，其中圖3為主視圖，圖4為俯視圖。在該實施例中，主控模塊3是一臺個人計算機，現場總線模塊2實施為一個現場總線適配器及輸入輸出模塊，具體來說，前述的現場總線適配模塊9在該實施例中為一個現場總線適配器，前述的數字量輸出模塊10、模擬量輸出模塊11、模擬量輸入模塊12和終端模塊13均由硬體I/O模塊實現，這些硬體I/O模塊分別具有現場總線通訊功能，都可以分別和現場總線適配器通訊，接收或發送信號。在該實施例中，計算機和現場總線適配器通過有線乙太網絡的TCP/IP協議通訊，現場總線適配器通過現場總線與輸入輸出模塊進行通訊，現場總線適配器是計算機和輸入輸出模塊之間的通訊橋梁。計算機根據使用者的輸入或預先設定好的程序對現場總線適配器模塊發出控制指令，該控制指令通過現場總線傳輸給相應的輸入輸出模塊，該模塊收到後執行該控制指令，輸出相應的模擬電壓和數字電壓，質量流量計根據電壓調整該路氣體的流量，同時對該路流量進行測量，轉化為模擬電壓輸出，輸入輸出模塊對該電壓進行模擬-數字轉換，變為數位訊號存儲在輸入模塊的寄存器中，計算機發出讀取該數據的控制指令時，可通過乙太網發送控制指令到現場總線適配器，進而通過現場總線發送控制指令到該輸入模塊，該模塊接收到讀取指令時將寄存器中的數據通過現場總線發送給總線適配器，進而通過乙太網發送給計算機進行顯示、處理。該過程為對單一質量流量計進行控制和採集實際流量信息的過程，多路控制與單路控制原理相同，每個輸入輸出模塊在現場總線上有其唯一的通訊地址。通過總線適配器將控制指令發送給特定的總線地址，相應的輸入輸出模塊就會接收到控制指令，從而對不同氣體質量流量計進行控制。本實施例中，數字量輸出模塊10、模擬量輸出模塊11和模擬量輸入模塊12均為雙通道模塊，從而輸入輸出模塊可以連接兩個氣體質量流量計8進行控制。如圖3和圖4所示，在該實施例中，現場總線適配器及前述輸入輸出埠集成在一個盒體內，該盒體優選為符合IP65防護等級的體積較小的聚酯防護箱，例如長寬高分別小於330mm、170mm和100mm。在該盒體的側面設有RJ45網線通信接口 14、220V電源快速接入端子15和連接氣體質量流量計的氣體管路進氣快速接頭16、出氣快速接頭17，並配有散熱孔18(可封閉)。RJ45網線通信接口 14用於普通雙絞網線連接該發明實施裝置中現場總線適配器和計算機進行通信。220V電源快速接入端子15用於連接外部220V電源和裝置內 部穩壓電源7，實現對穩壓電源7的供電，該端子採用籠式彈簧技術可實現對電源裸線的快速連接。進氣快速接頭16用於連接裝置內部質量流量計進氣孔和外部氣體供給設備。出氣快速接頭17用於連接裝置內部質量流量計出氣孔和外部用氣設備。進氣快速接頭16和出氣快速接頭17的兩端可以通過直接插入外徑6_的氣路軟管實現連接，亦可以更換為變徑快速接頭實現不同外徑氣體管路的連接。散熱孔用於裝置內部發熱設備的散熱，在特殊惡劣環境下使用時可以使用符合IP65防護等級的防水接頭封閉。在該實施例中，該裝置還包括一個穩壓電源7，用於提供24V電壓給現場總線模塊
2。裝置底部加裝符合EN 60715標準的DIN 35鋼製支撐導軌6，現場總線模塊2和穩壓電源7底部具有標準的35mm卡口可以穩固快速安裝在導軌6上。該實施例的裝置體積較小，盒體符合IP65防護等級，因此具有便攜和半密封特點。並且，由於其所有硬體組件在設計上具有較寬的正常工作溫度範圍，因此裝置可以在O 50°C的複雜環境下使用。在本發明的其它實施例中，氣體質量流量計8也可能是多於兩個，此時，只需要增加數字量輸出模塊10、模擬量輸出模塊11和模擬量輸入模塊12的數量，在主控模塊3中增加對這些模塊控制參數，即可以實現對更多的質量流量計的控制。在該實施例中，計算機可以精確控制模擬量輸出模塊11的電壓信號，從而可以得到氣體質量流量計的精確輸出流速。例如，計算機控制模擬量輸出模塊11中兩個通道的電壓值之和為定值，就可以獲得兩個氣體質量流量計8恆定的氣體總流速值，改變其中一個通道的電壓值，則另一個通道的電壓也將做出相應改變，從而兩個氣體質量流量計的氣體流速也相應增減。這樣可以得到總流速保持不變的下遊匯流氣體。同樣，對於已知流速的單路上遊氣體，可以通過兩臺氣體質量流量計對其按所需任意流速比例進行準確分流，得到兩路下遊分流氣體。計算機可以設定模擬量輸出模塊11電壓隨時間改變的函數關係，即可以實現在指定時間長度內氣體質量流量計8輸出氣體流速在指定範圍內的自動增減。在該實施例中，氣體質量流量計8的流速量程範圍和現場總線模塊中所包括的模塊9 13無關。即在實際使用中，可以根據需要配置合適量程的氣體質量流量計8。例如常用氣體質量流量計8的量程為O 2000ml/min，控制精度可以優於lml/min，實際使用中通過計算機控制可以達到lml/min的流速準確度。本發明所述的氣體質量流量計採用帶有15針D型接口的美國MKS公司生產的1179B型氣體質量流量計，具有高精度和重現性等特點。現場總線模塊2中的模塊10-12均可根據控制氣流的數量進行增配，從而可以對更多氣體質量流量計8進行控制。現場總線模塊是數據通信和自動控制領域常用的設備。該實施例中所採用的現場總線模塊2由德國Wago公司的Ethernet TCP/IP現場總線適配器以及I/O模塊實現。通過上述對於本發明的氣體質量流量計控制裝置的說明可知，本發明的氣體質量流量計控制方法主要包括如下步驟根據所述多路氣體質量流量計的氣體質量流量數據產生流量反饋信號；根據使用者的操作和所述流量反饋信號產生用於控制多路氣體流量計的通斷或流量的控制指令；根據所述控制指令產生一個通斷信號，用於控制氣體質量流量計的通路的打開和關閉；根據所述控制指令產生一個流量信號，用於控制氣體質量流量計的氣體質量流量。 下面根據上述具體實施例的控制裝置說明本發明的多路氣體質量流量計控制裝置的控制方法。I.控制裝置由計算機3、現場總線模塊2、穩壓電源7和氣體質量流量計組成。現場總線模塊2包括現場總線適配器9、數字量輸出模塊10、模擬量輸出模塊11、模擬量輸入模塊12和終端模塊13。現場總線模塊2由穩壓電源7提供24V工作電壓，並通過TCP/IP協議和計算機3通信，現場總線模塊2中的輸入輸出模塊10-12上的接口端子和氣體質量流量計8連接通信，通過接收和發送來自計算機3的控制指令對其進行控制。計算機3和現場總線適配器通過有線乙太網絡的TCP/IP協議通信，對現場總線模塊2發出邏輯運算和控制指令，並讀取現場總線適配器的配置、狀態和I/O數據等信息。計算機對其模擬量輸出模塊11進行控制，改變其電壓大小(O 5V範圍)從而改變氣體質量流量計的氣體流速。2.裝置所能控制的氣體質量流量計的數目取決於數字量輸出模塊10、模擬量輸出模塊11、模擬量輸入模塊12和終端模塊13上通道的數量。增配這些模塊，並且改變計算機中邏輯運算和控制指令，就可以實現對多路氣體質量流量計的聯合控制功能。計算機3設定模擬量輸出模塊11中所有通道的電壓值之和為定值，即固定所有氣體質量流量計的輸出總流速。如果改變其中一個通道的電壓值，則通過計算機3指定的函數關係其他通道的電壓也將做出相應改變，即氣體質量流量計的氣體流速也作出相應增減。這樣可以得到總流速保持不變的下遊匯流氣體。同樣，對於已知流速的單路上遊氣體，可以通過多路氣體質量流量計對其按所需任意流速比例進行準確分流，得到多路下遊分流氣體。3.計算機3可以設定模擬量輸出模塊11電壓隨時間改變的函數關係，即可以實現在指定時間長度內氣體質量流量計8輸出氣體流速在指定範圍內的自動增減。4.除計算機3外，其他硬體組件安裝於符合IP65防護等級的小型聚酯防護箱內部。盒體的側面裝配RJ45網線通信接口 14實現計算機3和現場總線適配器9的通信連接；220V電源快速接入端子15提供供電穩壓電源7 ;進氣快速接頭16連接裝置內部質量流量計進氣孔和外部氣體供給設備；出氣快速接頭17連接裝置內部質量流量計出氣孔和外部用氣設備；並配有散熱孔18 (可封閉)。本發明實現的裝置具有便攜性和適用複雜工作環境的特點。以上所述的具體實施例，對本發明的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，應理解的是，以上所述僅為本發明的具體實施例而已，並不用於限制本發明，凡在 本發明的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護範圍之內。
權利要求
1.一種多路氣體質量流量計控制裝置，用於控制多路氣體的質量流量，其特徵在於，包括現場總線模塊(2)和主控模塊(3)，所述主控模塊(3)與現場總線模塊(2)通過有線或無線方式連接，所述現場總線模塊(2)能夠與多個氣體質量流量計(8)相連接，並接受所述主控模塊(3)的控制指令，根據該控制指令控制該多個氣體質量流量計(8)輸出的氣體質量流量。
2.如權利要求I所述的氣體質量流量計控制裝置，其特徵在於，所述現場總線模塊(2)包括現場總線適配模塊(9)、數字量輸出模塊(10)、模擬量輸出模塊(11)和模擬量輸入模塊(12)，所述現場總線適配模塊 (9)與其他各模塊之間通過現場總線傳送信號； 所述現場總線適配模塊(9)用於接收主控模塊(3)發出的控制指令，通過現場總線傳遞給所述數字量輸出模塊(10)和模擬量輸出模塊(11)； 所述數字量輸出模塊(10)用於根據主控模塊(3)的控制指令產生一個通斷信號，用於控制氣體質量流量計(8)的通路的打開和關閉； 所述模擬量輸出模塊(11)用於根據主控模塊(3)的控制指令產生一個流量信號，用於控制氣體質量流量計(8)的氣體質量流量； 所述模擬量輸入模塊(12)用於接收氣體質量流量計(8)產生的流量反饋信號； 所述現場總線適配模塊(9)還用於通過現場總線將所述模擬量輸入模塊(12)採集的氣體質量流量數據傳輸給所述主控模塊(3)； 除所述現場總線適配模塊(9)之外，所述現場總線模塊(2)中所包括的的各模塊的數量均可根據所述氣體質量流量計(8)的氣路數量進行調整。
3.如權利要求2所述的氣體質量流量計控制裝置，其特徵在於，所述主控模塊(3)用於接收使用者的操作，以及從所述現場總線模塊(2)接收所述氣體質量流量數據，並根據所述操作和流量反饋信號產生控制指令並發送給現場總線模塊(2)。
4.如權利要求3所述的氣體質量流量計控制裝置，其特徵在於，所述現場總線模塊(2)還包括終端模塊(13)，其安裝於所述現場總線節點的末端，用於形成完整的內部數據迴路並保證數據流的正確性。
5.如權利要求4所述的氣體質量流量計控制裝置，其特徵在於，所述主控模塊(3)為計算機，所述現場總線適配模塊(9)為現場總線適配器，二者通過有線或無線乙太網絡的TCP/IP協議通訊。
6.如權利要求5所述的氣體質量流量計控制裝置，其特徵在於，所述數字量輸出模塊(10)、模擬量輸出模塊(11)、模擬量輸入模塊(12)和終端模塊(13)均由硬體I/O模塊實現，這些硬體I/O模塊分別具有現場總線通訊功能，且都能夠分別與現場總線適配器進行通訊，以接收或發送信號。
7.如權利要求6所述的氣體質量流量計控制裝置，其特徵在於，所述現場總線適配器和輸入輸出埠集成在一個盒體內，所述盒體的側面設有連接所述氣體質量流量計(8)的進氣快速接頭(16)和出氣快速接頭(17)。
8.如權利要求7所述的氣體質量流量計控制裝置，其特徵在於，還包括一個穩壓電源(7)，用於給所述現場總線模塊(2)供電，並且，所述現場總線模塊(2)和該穩壓電源(7)的底部安裝在導軌(6)上。
9.一種氣體質量流量計控制方法，用於控制多路氣體質量流量計的氣體質量流量，其特徵在於，包括如下步驟 根據所述多路氣體質量流量計的氣體質量流量數據產生流量反饋信號； 根據使用者的操作和所述流量反饋信號產生用於控制多路氣體流量計的通斷或流量的控制指令； 根據所述控制指令產生一個通斷信號，用於控制氣體質量流量計的通路的打開和關閉； 根據所述控制指令產生一個流量信號，用於控制氣體質量流量計的氣體質量流量。
10.如權利要求9所述的氣體質量流量計控制方法，其特徵在於，還包括步驟設定所述流量信號隨時間改變的函數關係，從而實現在指定時間長度內氣體質量流量計輸出氣體流速在指定範圍內的自動增減。
全文摘要
本發明公開了一種多路氣體質量流量計控制裝置和控制方法，用於控制多路氣體的質量流量，包括現場總線模塊和主控模塊，所述主控模塊與現場總線模塊通過有線或無線方式連接，所述現場總線模塊能夠與多個氣體質量流量計相連接，並接受所述主控模塊的控制指令，根據該控制指令控制多個氣體質量流量計輸出的氣體質量流量。本發明通過主控模塊和現場總線模塊的通信實現了對多路氣體質量流量計進行聯合(或單獨)精確控制，實現對多路氣體進行任意流量比例的精確匯流或對單路氣體進行任意流量比例的精確分流，提高了對氣體流速的控制精度(優於1ml/min)，並可以實現自動增減氣體流速。
文檔編號G05D13/62GK102759932SQ20121023072
公開日2012年10月31日 申請日期2012年7月5日 優先權日2012年7月5日
發明者侯振輝 申請人:中國科學技術大學