易解體性樹脂薄膜形成組合物和易解體性樹脂薄膜的製作方法

2023-10-19 04:44:57

本發明涉及易解體性樹脂薄膜形成組合物和易解體性樹脂薄膜。
背景技術：
：對半導體晶片等基材進行加工(例如切割、背面研削)、轉移(例如將基材從某一裝置向另一裝置移動)時，為了不使基材自支承體偏移活動，需要使用預固定材料等將基材與支承體進行預固定，但加工、轉移後，需要將基材自支承體上剝離，以往，作為用於這種預固定的材料，基材的預固定使用了松香系液態蠟等熱軟化性樹脂(專利文獻1)。近年來，為了更輕易地剝離基材，提出了多種加熱至某一溫度範圍時粘接力急劇降低的預固定樹脂。例如報告了下述技術：使用聚醚碸與賦粘劑與溶劑的混合物的技術(專利文獻2)；使用交聯環式丙烯酸酯與含極性基團的非交聯環式乙烯基系化合物與多官能乙烯基系化合物的共聚物的技術(專利文獻3)；使用配混有有機疊氮化物的環氧樹脂的技術(專利文獻4)。此外，還報告了下述技術：通過向不具備剝離性的粘接劑中配混熱膨脹膠囊來賦予剝離性的技術(專利文獻5)；配混疊氮系化合物，通過外部刺激來產生氣體，從而賦予剝離性的技術(專利文獻6)；通過向苯基上導入縮醛基，從而使樹脂自身呈現熱分解性的技術(專利文獻7)。現有技術文獻專利文獻專利文獻1：日本特開2014-144500號公報專利文獻2：日本特開2011-225814號公報專利文獻3：日本特開2014-7412號公報專利文獻4：日本特開2007-145964號公報專利文獻5：日本特開2007-106963號公報專利文獻6：日本特開2004-186201號公報專利文獻7：日本特開2006-206650號公報非專利文獻非專利文獻1：2012年(第56次)日本大學理工學部學術演講會論文集n-28丙烯酸叔丁酯的光聚合反應(アクリル酸t-ブチルの光重合反応)技術實現要素：發明要解決的問題如上所述，存在多種通過使樹脂薄膜的密合性降低而用於輕易將其剝離的技術的相關報告，其中，作為通過因外部刺激而產生氣體而用於對樹脂薄膜賦予剝離性的候補材料，報告了在酸性條件下發生分解而產生氣體的包含叔丁氧基的樹脂(非專利文獻1)。本發明人等著眼於該材料而進行材料開發，結果得出下述結論：利用該文獻中記載那樣的、包含僅由衍生自丙烯酸叔丁酯的單體單元構成的聚合物作為樹脂成分的組合物，僅能夠獲得即使進行外部刺激也達不到可剝離的狀態的樹脂薄膜。本發明的目的在於，提供包含帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體等的易解體性樹脂薄膜形成組合物及下述易解體性樹脂薄膜，所述組合物會賦予通過源自外部的刺激而顯示出實用上可使用程度的剝離性的樹脂薄膜。用於解決問題的方案本發明人為了解決上述課題而重複進行了深入研究，結果發現：為了由包含丙烯酸叔丁酯的組合物獲得不僅顯示出密合性、且能夠利用源自外部的刺激而進行剝離的、適合作為預粘接膜、暫時保護膜的樹脂薄膜，需要向該組合物中進一步添加氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物等，即發現：對於包含第一聚合性組合物、或第二聚合性組合物的聚合物且包含氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物的組合物而言，通過將前述第一聚合性組合物、或前述第二聚合性組合物與前述氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物的合計質量中的下述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體的量調整至特定的範圍，因加熱等外部刺激而導致膜解體，其結果能夠得到對於基板等的密合性降低而可輕易剝離的樹脂薄膜，從而完成了本發明，所述第一聚合性組合物包含自由基聚合引發劑和帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體，所述第二聚合性組合物包含前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體。即，本發明提供下述方案：1.一種易解體性樹脂薄膜形成組合物，其特徵在於，其包含：第一聚合性組合物、或第二聚合性組合物的聚合物；以及氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物，所述第一聚合性組合物包含自由基聚合引發劑和帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體，所述第二聚合性組合物包含前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體，前述第一聚合性組合物或前述第二聚合性組合物的單體總量與前述氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物的合計質量中的前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體的量為5質量％以上且低於95質量％；2.根據1所述的易解體性樹脂薄膜形成組合物，其中，前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體包含選自由式(t1)～(t3)組成的組中的至少1種，(各r1彼此獨立地表示氫原子、氰基、甲基、乙基、正丙基或異丙基，各r2和各r3彼此獨立地表示氫原子或碳數1～10的烷基，各a彼此獨立地表示單鍵、醚基(-o-)、羰基(-co-)、醯胺基(-conh-)、碳數1～12的亞烷基、碳數6～16的亞芳基或碳數3～12的亞雜芳基，各x彼此獨立地表示滷素原子、氰基、硝基、碳數1～10的烷基或碳數1～10的滷代烷基，n表示苯環上的取代基x的數量，為0～4的整數。)；3.根據1所述的易解體性樹脂薄膜形成組合物，其中，前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體包含(甲基)丙烯酸叔丁酯；4.根據1～3中任一項所述的易解體性樹脂薄膜形成組合物，其中，前述自由基聚合引發劑為輻射線自由基聚合引發劑；5.根據1～4中任一項所述的易解體性樹脂薄膜形成組合物，其還包含產酸劑；6.根據5所述的易解體性樹脂薄膜形成組合物，其中，前述產酸劑為熱產酸劑；7.根據1～6中任一項所述的易解體性樹脂薄膜形成組合物，其中，前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體與除了前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體之外的烯屬不飽和單體的合計物質中的帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體的量為60摩爾％以上；8.根據7所述的易解體性樹脂薄膜形成組合物，其中，前述第一聚合性組合物或前述第二聚合性組合物還包含除了前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體之外的烯屬不飽和單體；9.一種易解體性樹脂薄膜，其使用1～7中任一項所述的易解體性樹脂薄膜形成組合物來製造；10.一種粘接膜，其包含9所述的易解體性樹脂薄膜；11.一種具備10所述的粘接膜的物品；12.一種基板層疊體，其在兩片基板之間具備10所述的粘接膜；13.一種使用10所述的粘接膜的將2個以上的物品粘接的方法；14.一種保護膜，其包含9所述的易解體性樹脂薄膜；15.一種具備14所述的保護膜的物品；16.一種使用14所述的保護膜的保護物品表面的方法。發明的效果由本發明的易解體性樹脂薄膜形成組合物得到的易解體性樹脂薄膜由於該組合物包含帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體或其聚合物且包含氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物，因此，兼具對於水、鹼、酸等的化學保護能力和對於刮劃等的物理保護能力。此外，如上所述，該易解體性樹脂薄膜由於該組合物中的帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體被調整至特定範圍內，因此，不僅對於玻璃基板等物品(以下也稱為被塗布體)顯示出密合性，還藉助熱、光等源自外部的刺激而顯示出從被塗布體上剝離的剝離性。尤其是，以其上不存在遮蔽物等的形式在被塗布體上形成有本發明的易解體性樹脂薄膜的情況下，該易解體性樹脂薄膜還會顯示出通過源自外部的刺激而發生捲曲等從而從被塗布體上剝離的自剝離性。如上所述，這種本發明的易解體性樹脂薄膜不僅顯示出對於基板等被塗布體的優異密合性，在達到其目的後還可通過光照射、加熱等外部刺激而呈現可剝離的狀態，因此，特別期待其作為將基板等兩個物品進行預固定的預粘接膜、暫時性保護物品表面的暫時保護膜的用途。應予說明，由本發明的易解體性樹脂薄膜形成組合物得到的易解體性樹脂薄膜因其性質而特別適合作為預粘接膜、暫時保護膜，但其不僅可用於預粘接、暫時保護，還可用作意圖永久性粘接、永久性保護的膜。即，由本發明的易解體性樹脂薄膜形成組合物得到的易解體性樹脂薄膜只要不承受源自外部的刺激就不會呈現可輕易剝離的狀態，因此，還可設想其不承受外部刺激地用作意圖永久性粘接、永久性保護的膜，本發明也不排除那樣的用途。附圖說明圖1是示意性地示出實施例1～17和比較例1～7所述的固化膜和玻璃層疊體的製造工藝的圖。圖2是示意性地示出在實施例1～5所述的玻璃層疊體上形成ito膜的工藝的圖。具體實施方式以下，更具體地說明本發明。本發明的易解體性樹脂薄膜形成組合物(以下有時也簡稱為「組合物」)包含第一聚合性組合物、或第二聚合性組合物的聚合物，所述第一聚合性組合物包含自由基聚合引發劑和帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體，所述第二聚合性組合物包含前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體。本發明中，帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體是分子內包含式(1)所示基團的烯屬不飽和單體。藉助熱或者藉助因光照射、加熱而由產酸劑產生的酸，發生自叔丁氧基脫離的脫離反應(產氣反應)。其結果，薄膜發生解體，當初顯示出優異密合性的樹脂薄膜的密合性降低，呈現可輕易剝離的狀態。(式中，*表示鍵合鍵。)式(1)所示的基團可以直接鍵合在包含其的單體中的構成烯屬不飽和鍵的碳原子上，也可以藉助其它原子或其它基團進行間接鍵合。例如，本發明中，作為帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體的優選例，可列舉出式(t1)～(t3)所示的烯屬不飽和單體。各r1彼此獨立地表示氫原子、氰基、甲基、乙基、正丙基或異丙基。其中，從該化合物或其原料化合物的獲取容易性的觀點出發，優選為氫原子或甲基。各r2和各r3彼此獨立地表示氫原子或碳數1～10的烷基。作為碳數1～10的烷基，可以為直鏈狀、支鏈狀、環狀中的任一者，可列舉出例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基等碳數1～10的直鏈狀或支鏈狀烷基；環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、環辛基、環壬基、環癸基、雙環丁基、雙環戊基、雙環己基、雙環庚基、雙環辛基、雙環壬基、雙環癸基等碳數3～10的環狀烷基等。其中，從該化合物或其原料化合物的獲取容易性的觀點出發，作為各r2和各r3，優選為氫原子、碳數1～10的直鏈狀烷基，更優選為氫原子、甲基、乙基，更優選為氫原子、甲基，進一步優選為氫原子。各a彼此獨立地表示單鍵、醚基(-o-)、羰基(-co-)、醯胺基(-conh-)、碳數1～12的亞烷基、碳數6～16的亞芳基或碳數3～12的亞雜芳基。作為碳數1～12的亞烷基，可列舉出通過從碳數1～12的烷基上進一步去除1個氫原子而衍生的基團，作為這種烷基的具體例，可列舉出上述基團。作為具體例，可列舉出亞甲基、亞乙基、三亞甲基、2,2-丙烷二基、四亞甲基、五亞甲基、六亞甲基、七亞甲基、八亞甲基、九亞甲基、十亞甲基等，但不限定於它們。作為碳數6～16的亞芳基，可列舉出通過從碳數6～16的芳基上去除2個氫原子而衍生的基團。作為這種芳基，可列舉出苯、萘、蒽等。作為具體例，可列舉出鄰亞苯基、間亞苯基、對亞苯基、萘-1,2-二基、萘-1,2-二基、萘-1,3-二基、萘-1,4-二基、萘-1,5-二基、萘-1,6-二基、萘-1,7-二基、萘-1,8-二基、萘-2,3-二基、萘-2,6-二基、萘-2,7-二基等，但不限定於它們。作為碳數3～12的亞雜芳基，可列舉出通過從雜芳基上去除2個氫原子而衍生的基團。作為這種雜芳基，可列舉出呋喃等含氧雜芳基、噻吩等含硫雜芳基、吡啶、三嗪、咪唑等含氮雜芳基等。作為具體例，可列舉出呋喃-2,3-二基、呋喃-2,4-二基、呋喃-2,5-二基、呋喃-3,4-二基、噻吩-2,3-二基、噻吩-2,4-二基、噻吩-2,5-二基、噻吩-3,4-二基、咪唑-2,4-二基、咪唑-4,5-二基、吡啶-2,3-二基、吡啶-2,4-二基、吡啶-2,5-二基、吡啶-2,6-二基、吡啶-3,4-二基、吡啶-3,5-二基、三嗪-2,4-二基等，但不限定於它們。其中，從該化合物或其原料化合物的獲取容易性的觀點出發，作為a，優選為單鍵、醚基、羰基、醯胺基、碳數1～8的亞烷基，優選為碳數6～12的亞芳基，更優選為單鍵、醚基、羰基、醯胺基、碳數1～4的亞烷基、鄰亞苯基、間亞苯基、對亞苯基，進一步優選為單鍵、醚基、羰基、醯胺基、亞甲基、亞乙基、三亞甲基、2,2-丙烷二基、間亞苯基、對亞苯基。此外，從該化合物的產氣能力的觀點出發，作為a，優選為單鍵、醚基、羰基。此外，式(t2)中，叔丁氧基的取代位置優選為a的對位。各x表示苯環上的取代基，彼此獨立地表示滷素原子、氰基、硝基、碳數1～10的烷基或碳數1～10的滷代烷基。作為滷素原子，可列舉出氟原子、氯原子、溴原子等。作為碳數1～10的滷代烷基，可列舉出三氟甲基、2,2,2-三氟乙基、1,1,2,2,2-五氟乙基、3,3,3-三氟丙基、2,2,3,3,3-五氟丙基、1,1,2,2,3,3,3-七氟丙基、4,4,4-三氟丁基、3,3,4,4,4-五氟丁基、2,2,3,3,4,4,4-七氟丁基、1,1,2,2,3,3,4,4,4-九氟丁基等。作為碳數1～10的烷基的具體例，可列舉出與上述相同的烷基。n表示苯環上的取代基的數量，為0～4的整數。其中，從該化合物或其原料化合物的獲取容易性的觀點出發，作為x，優選為滷素原子、氰基、硝基、甲基、乙基、丙基、異丙基、滷代甲基、滷代乙基、滷代丙基、滷代異丙基，更優選為滷素原子、氰基、硝基、甲基、乙基、滷代甲基、滷代乙基。此外，n優選為0～2，更優選為0或1，最適合為0。作為帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體的具體例，可列舉出(甲基)丙烯酸叔丁酯、n-(叔丁氧基羰基)(甲基)丙烯醯胺、4-叔丁氧基苯乙烯、碳酸叔丁基酯4-乙烯基苯基酯、(4-乙烯基苯基)氨基甲酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁氧基羰基酯、n-(叔丁氧基羰基)馬來醯亞胺、丙烯酸2-(叔丁氧基羰基氨基)乙酯等，但不限定於它們。本發明中，第一聚合性組合物或第二聚合性組合物也可以包含除了帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體之外的烯屬不飽和單體。除了帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體之外的烯屬不飽和單體是不含上述式(1)所示基團的烯屬不飽和單體，具體而言，可列舉出不含上述式(1)所示基團的單官能(甲基)丙烯酸酯、不含上述式(1)所示基團的2官能以上的(甲基)丙烯酸酯等。作為單官能(甲基)丙烯酸酯，適合為單官能(甲基)烷基酯，更適合為其烷基的碳數為6以上的單官能(甲基)丙烯酸烷基酯。作為烷基，可以為直鏈狀、支鏈狀、環狀中的任一者，可列舉出例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基等碳數1～20的直鏈狀或支鏈狀烷基；環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環庚基、環辛基、環壬基、環癸基、雙環丁基、雙環戊基、雙環己基、雙環庚基、雙環辛基、雙環壬基、雙環癸基等碳數3～20的環狀烷基等。作為烷基的碳數為6以上的單官能(甲基)丙烯酸烷基酯的具體例，可列舉出(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸異壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸異硬脂酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸異戊酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、(甲基)丙烯酸三環癸酯等。此外，作為除了這種烷基的碳數為6以上的單官能(甲基)丙烯酸烷基酯之外的(甲基)丙烯酸酯的具體例，可列舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯、環氧乙烷改性(n＝2)苯酚(甲基)丙烯酸酯、環氧丙烷改性(n＝2.5)壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯、酸式磷酸2-(甲基)丙烯醯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸糠酯、卡必醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸丁氧基乙酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸3-氯-2-羥基丙酯等，其中，優選為不含羥基的(甲基)丙烯酸酯，此外，分子量優選為100～300左右。單官能(甲基)丙烯酸酯可以單獨使用1種或者組合使用2種以上。其中，優選為(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸異硬脂酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯。作為2官能以上的(甲基)丙烯酸酯，可列舉出2官能(甲基)丙烯酸酯、3官能以上的(甲基)丙烯酸酯等。作為2官能(甲基)丙烯酸酯，可列舉出例如乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷改性雙酚a型二(甲基)丙烯酸酯、環氧丙烷改性雙酚a型二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二縮水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二縮水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、鄰苯二甲酸二縮水甘油酯二(甲基)丙烯酸酯、羥基特戊酸改性新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。作為3官能以上的(甲基)丙烯酸酯，可列舉出例如三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯醯氧基乙氧基三羥甲基丙烷、甘油聚縮水甘油醚聚(甲基)丙烯酸酯等。多官能的(甲基)丙烯酸酯可以單獨使用1種或者組合使用2種以上。本發明的第一聚合性組合物或第二聚合性組合物中，從以良好的重現性獲得通過加熱等外部刺激而顯示出剝離性的樹脂薄膜的觀點出發，前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體與除了前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體之外的烯屬不飽和單體的合計物質中的前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體的量優選為60摩爾％以上、更優選為70摩爾％以上、進一步優選為80摩爾％以上、進一步優選為90摩爾％以上、更進一步優選為95摩爾％以上、最優選為100摩爾％。本發明的第一聚合性組合物或第二聚合性組合物包含用於使其中含有的單體(帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體和根據需要含有的除此之外的烯屬不飽和單體)發生聚合的自由基聚合引發劑。作為自由基聚合引發劑，可列舉出輻射線自由基聚合引發劑、熱自由基聚合引發劑。作為輻射線自由基聚合引發劑的具體例，可列舉出二乙醯等α-二酮類；苯偶姻等偶姻類；苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚等偶姻醚類；噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、噻噸酮-4-磺酸、二苯甲酮、4,4』-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4』-雙(二乙基氨基)二苯甲酮等二苯甲酮類；苯乙酮、對二甲基氨基苯乙酮、α,α-二甲氧基-α-乙醯氧基苯乙酮、α,α-二甲氧基-α-苯基苯乙酮、對甲氧基苯乙酮、2-甲基-1-(4-甲基硫基苯基)-2-嗎啉基丙-1-酮、1-[2-甲基-4-甲基硫基苯基]-2-嗎啉基-1-丙酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙-1-酮、1-羥基環己基＝苯基＝酮、α,α-二甲氧基-α-嗎啉基甲基硫基苯基苯乙酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁-1-酮等苯乙酮類；蒽醌、1,4-萘醌等醌類；苯甲醯甲基氯、三溴甲基苯碸、三(三氯甲基)均三嗪等滷化物；[1,2』-雙咪唑]-3,3』,4,4』-四聯苯、[1,2』-雙咪唑]-1,2』-二氯苯基-3,3』,4,4』-四聯苯等雙咪唑類；過氧化二叔丁基等過氧化物；二苯基(2,4,6-三甲基苯甲醯基)氧化膦等醯基氧化膦類；對二甲基氨基苯甲酸乙酯等對二甲基氨基苯甲酸酯等。作為輻射線自由基聚合引發劑的市售品，可列舉出irgacure(註冊商標)651、irgacure184、irgacure2959、irgacure127、irgacure907、irgacure369、irgacure379eg、irgacure819、irgacuretpo、darocur(註冊商標)1173、darocurmbf(以上為basfjapan公司制)、kayacuredetx-s、kayacureepa(以上為日本化藥株式會社制)等，但不限定於它們。作為熱自由基聚合引發劑，可列舉出過氧化氫類、偶氮化合物、氧化還原系引發劑等。作為過氧化氫類的具體例，可列舉出過氧化叔丁基(3,5,5-三甲基己醯基)、叔丁基過氧化氫、異丙苯過氧化氫、過氧化乙酸叔丁酯、過氧化苯甲酸叔丁酯、過氧化辛酸叔丁酯、過氧化新癸酸叔丁酯、過氧化異丁酸叔丁酯、過氧化月桂醯、過氧化特戊酸叔戊酯、過氧化特戊酸叔丁酯、過氧化二異丙苯、過氧化苯甲醯、過硫酸鉀或過硫酸銨等。作為偶氮化合物的具體例，可列舉出2,2』-偶氮雙(2-甲基丙酸)二甲酯、2,2』-偶氮雙異丁腈、2,2』-偶氮雙(2-丁腈)、4,4』-偶氮雙(4-戊酸)、1,1』-偶氮雙(環己烷甲腈)、2-(叔丁基偶氮)-2-氰基丙烷、2,2』-偶氮雙(n,n』-二亞甲基異丁基脒)二氯化物、2,2』-偶氮雙(2-脒基丙烷)二氯化物、2,2』-偶氮雙(n,n-二亞甲基異丁基醯胺)、2,2』-偶氮雙(2-甲基-n-[1,1-雙(羥基甲基)-2-羥基乙基]丙醯胺)、2,2』-偶氮雙(2-甲基-n-[1,1-雙(羥基甲基)乙基]丙醯胺)、2,2』-偶氮雙[2-甲基-n-(2-羥基乙基)丙醯胺)、2,2』-偶氮雙(異丁基醯胺)二水合物等。作為氧化還原系引發劑的具體例，可列舉出過氧化氫、過氧化烷基、過酸酯、過碳酸鹽等與鐵鹽、亞鈦鹽、甲醛次磺酸鋅、甲醛次磺酸鈉、還原糖等形成的混合物。此外，可列舉出過硫酸、過硼酸、高氯酸的鹼金屬、高氯酸的銨鹽與焦亞硫酸鈉之類的亞硫酸氫鹼金屬鹽、還原糖形成的混合物。進而，可列舉出過硫酸鹼金屬鹽與苯膦酸等芳基膦酸之類的其它同樣的酸、還原糖等形成的混合物等。作為熱自由基聚合引發劑的市售品，可列舉出perhexa(註冊商標)hc(日油株式會社制)、maib(東京化成工業株式會社制)。自由基聚合引發劑可以單獨使用1種或者組合使用2種以上。本發明的第一聚合性組合物或第二聚合性組合物中，自由基聚合引發劑的量相對於帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體與除了帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體之外的烯屬不飽和單體的合計100質量份，通常為1～30質量份、優選為5～25質量份、更優選為7.5～22.5質量份。本發明的組合物包含前述第一聚合性組合物、或者包含前述第二聚合性組合物的聚合物(還包括共聚物，以下相同)。這種第二聚合性組合物的聚合物可如下得到：將包含僅上述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體、或者是帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體和除此之外的烯屬不飽和單體、以及上述自由基聚合引發劑的組合物在適當的溶劑中發生聚合來得到。作為這種溶劑，可以使用在這種反應中通常使用的溶劑。具體而言，可列舉出水；甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、1-丁醇、2-丁醇、異丁醇、叔丁醇、1-戊醇、2-戊醇、3-戊醇、異戊醇、叔戊醇、1-己醇、1-庚醇、2-庚醇、3-庚醇、2-辛醇、2-乙基-1-己醇、苄醇、環己醇等醇；二乙醚、二異丙醚、二丁醚、環戊基甲醚、四氫呋喃、1,4-二噁烷等醚；氯仿、二氯甲烷、二氯乙烷、四氯化碳等滷代烴；甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、異丙基溶纖劑、丁基溶纖劑、二乙二醇單丁醚等醚醇；丙酮、甲乙酮、甲基異丁酮、環己酮等酮；乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙酸乙酯、溶纖劑乙酸酯等酯；正戊烷、正己烷、正庚烷、正辛烷、正壬烷、正癸烷、環戊烷、甲基環戊烷、環己烷、甲基環己烷、苯、甲苯、二甲苯、乙基苯、茴香醚等脂肪族或芳香族烴；甲醛縮二甲醇、二乙基縮醛等縮醛；甲酸、乙酸、丙酸等脂肪酸；硝基丙烷、硝基苯、二甲基胺、單乙醇胺、吡啶、n-甲基-2-吡咯烷酮、n,n-二甲基甲醯胺、二甲基亞碸、乙腈等。可以考慮單體、引發劑的種類和量、反應溫度等而從它們之中適當選擇要使用的溶劑。將從通過這種聚合反應得到的聚合液中分離出的聚合物溶解於良溶劑而得到溶液，或者，將這種聚合液直接用作溶液，或者將該聚合液進行稀釋或濃縮而得到溶液，向該溶液中添加後述的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物和產酸劑，從而作為本發明的組合物。應予說明，在本發明中，該情況下也需要將所用的帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體的量設為上述特定的範圍內。這種第二聚合性組合物的聚合物的重均分子量通常在500～200,000的範圍內，從抑制組合物粘度的過度上升、確保塗布性的觀點出發，優選為100,000以下、更優選為50,000以下、進一步優選為25,000以下。應予說明，重均分子量是基於凝膠滲透色譜(gpc)的聚苯乙烯換算測定值(以下相同)。本發明的組合物包含氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物。該氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物是使(a)多元醇與(b)多異氰酸酯與(c)具有羥基的(甲基)丙烯酸酯化合物發生反應而得到的，該氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物在氨基甲酸酯骨架的末端具有(甲基)丙烯醯基。通常，其重均分子量為300～30,000。該氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物的製造中，作為(a)多元醇，沒有特別限定，優選使用選自由聚氧亞烷基二醇和聚烯烴系多元醇組成的組中的至少1種。由於這種多元醇的結晶性低，因此能夠以良好的重現性獲得兼具柔軟性和強韌性的固化膜。聚氧亞烷基二醇被稱為聚醚多元醇。該聚氧亞烷基二醇中的亞烷基的碳數優選為2～4，可以使用聚乙二醇、聚丙二醇、聚丁二醇、聚四亞甲基二醇、以及它們中的兩種以上的共聚物、例如環氧乙烷與環氧丙烷的共聚物等。其中，優選為聚丁二醇、聚四亞甲基二醇，這是因為：對所得固化膜賦予柔軟性和強韌性，吸水性也低。此外，聚烯烴系多元醇是分子內具有聚烯烴骨架的多元醇，可以使用例如聚乙烯二醇、聚乙烯三醇、聚乙烯四醇、聚丙烯二醇、聚丙烯三醇、聚丙烯四醇、以及它們的共聚物等。這種聚烯烴系多元醇可通過對分子末端具有羥基的1,2-聚丁二烯、1,4-聚丁二烯、聚異戊二烯等進行加氫而得到。此時，加氫率通常優選為50％以上。作為(b)多異氰酸酯化合物，可以使用芳香族、脂肪族鏈式、脂肪族環式等的多異氰酸酯。作為具體例，可列舉出甲苯二異氰酸酯、二苯基甲烷二異氰酸酯、氫化二苯基甲烷二異氰酸酯、改性二苯基甲烷二異氰酸酯、氫化苯二甲基二異氰酸酯、苯二甲基二異氰酸酯、六亞甲基二異氰酸酯、三甲基六亞甲基二異氰酸酯、四甲基苯二甲基二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、降冰片烯二異氰酸酯、1,3-雙(異氰酸根合甲基)環己烷、苯二異氰酸酯、萘二異氰酸酯、蒽二異氰酸酯等二異氰酸酯、或者它們的三聚體、縮二脲型多異氰酸酯等。其中，優選為芳香族二異氰酸酯，更優選為苯二異氰酸酯。作為(c)具有羥基的(甲基)丙烯酸酯化合物，可以使用(甲基)丙烯酸羥基烷基酯，從實現薄膜的優異耐化學試劑性(耐氫氟酸性)以及對基板的適度密合性的觀點出發，該羥基烷基的碳數優選為1～20、更優選為2～10、進一步優選為2～6。作為該具有羥基的(甲基)丙烯酸酯化合物的具體例，可列舉出(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丁酯、2-(甲基)丙烯醯氧基乙基＝2-羥基丙基＝鄰苯二甲酸酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-丙烯醯氧基丙酯、己內酯改性(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯等。本發明中，氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物可以使用市售品，也可以使用通過公知的方法(例如日本特開2004-143233號公報、日本特開昭60-223815號公報、日本特開2006-45362號公報、日本特開2013-173927號公報等記載的方法)製造的產物。作為市售品，可列舉出紫光(註冊商標)uv-2750b、紫光uv-7000b(以上為日本合成化學工業株式會社制)、nisso-pbte系列teai-1000(日本曹達株式會社制)等，但不限定於它們。本發明的組合物優選包含用於使其中包含的帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體產生氣體的產酸劑。產酸劑只要是通過外部刺激而產生酸的物質就沒有限定，可以是高分子化合物也可以是低分子化合物。應予說明，如上所述，本發明的組合物即使不含產酸劑，也能夠通過熱而使帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體分解，因此沒必要一定含有產酸劑。作為產酸劑，可列舉出熱產酸劑、光產酸劑。作為光產酸劑，優選為不會在上述輻射線自由基聚合引發劑引發聚合的波長下產生酸(或者僅產生少量酸)的化合物。如果在聚合引發劑引發聚合的波長下產生酸，則在單體的聚合反應時還會發生產氣反應，其結果，無法獲得可賦予目標樹脂薄膜的組合物。作為光產酸劑的具體例，從公知物中適當選擇並使用即可，可以使用例如重氮鹽、鋶鹽、碘鎓鹽等鎓鹽衍生物。作為其具體例，可列舉出苯基重氮六氟磷酸鹽、4-甲氧基苯基重氮六氟銻酸鹽、4-甲基苯基重氮六氟磷酸鹽等芳基重氮鹽；二苯基碘鎓六氟銻酸鹽、二(4-甲基苯基)碘鎓六氟磷酸鹽、二(4-叔丁基苯基)碘鎓六氟磷酸鹽等二芳基碘鎓鹽；三苯基鋶六氟銻酸鹽、三(4-甲氧基苯基)鋶六氟磷酸鹽、二苯基(4-硫基苯氧基苯基)鋶六氟銻酸鹽、二苯基(4-硫基苯氧基苯基)鋶六氟磷酸鹽、4,4′-雙(二苯基硫代)苯基硫化物-雙六氟銻酸鹽、4,4′-雙(二苯基硫代)苯基硫化物-雙六氟磷酸鹽、硫基雙(4,1-亞苯基)雙(二苯基鋶)＝雙六氟銻酸鹽、4,4′-雙[二(β-羥基乙氧基)苯基硫代]苯基硫化物-雙六氟銻酸鹽、硫基雙(4,1-亞苯基)雙(二(4-(2-羥基乙氧基)苯基)鋶)＝雙六氟銻酸鹽、4,4′-雙[二(β-羥基乙氧基)苯基硫代]苯基硫化物-雙六氟磷酸鹽、硫基雙(4,1-亞苯基)雙(二(4-(2-羥基乙氧基)苯基)鋶)＝雙六氟磷酸鹽、(4-(4′-苯甲醯基苯基硫基)苯基)二(4-氟苯基)鋶六氟銻酸鹽、(4-(4′-苯甲醯基)苯基硫基)苯基)二(4-氟苯基)鋶六氟磷酸鹽等三芳基鋶鹽等。這些鎓鹽可以使用市售品，作為其具體例，可列舉出sanaidsi-60、si-80、si-100、si-60l、si-80l、si-100l、si-l145、si-l150、si-l160、si-l110、si-l147(以上為三新化學工業株式會社制)；uvi-6950、uvi-6970、uvi-6974、uvi-6990、uvi-6992(以上為unioncarbidecorporation制)；cpi-100p、cpi-100a、cpi-101a、cpi-200k、cpi-200s(以上為san-aproltd.制)；adekaoptomersp-150、sp-151、sp-170、sp-171(以上為adekacorporation制)；irgacure(註冊商標)261(basfjapan公司制)；ci-2481、ci-2624、ci-2639、ci-2064(以上為日本曹達株式會社制)；cd-1010、cd-1011、cd-1012(以上為sartomercompany制)；ds-100、ds-101、dam-101、dam-102、dam-105、dam-201、dsm-301、nai-100、nai-101、nai-105、nai-106、si-100、si-101、si-105、si-106、pi-105、ndi-105、benzointosylate、mbz-101、mbz-301、pyr-100、pyr-200、dnb-101、nb-101、nb-201、bbi-101、bbi-102、bbi-103、bbi-109(以上為綠化學株式會社制)；pci-061t、pci-062t、pci-020t、pci-022t(以上為日本化藥株式會社制)；ibpf、ibcf(以上為三和化學株式會社制)；pi2074(rodiajapan公司制)等。光產酸劑可以單獨使用一種或者組合使用2種以上。熱產酸劑優選為不會在上述熱自由基聚合引發劑引發聚合的溫度下產生酸(或者僅產生少量酸)的化合物。如果在聚合引發劑引發聚合的溫度以下產生酸，則在單體的聚合反應時還會發生產氣反應，其結果，無法獲得會賦予目標樹脂薄膜的組合物。作為熱產酸劑，可以從公知物中適當選擇來使用，可列舉出例如強非求核性酸的三芳基鋶鹽、二烷基芳基鋶鹽、二芳基烷基鋶鹽；強非求核性酸的烷基芳基碘鎓鹽、二芳基碘鎓鹽；強非求核性酸的銨鹽、烷基銨鹽、二烷基銨鹽、三烷基銨鹽、四烷基銨鹽等。此外，也可以使用共價(covalent)熱產酸劑，可列舉出例如烷基或芳基磺酸的2-硝基苄基酯、因熱而分解從而賦予游離磺酸的其它磺酸酯等。作為其具體例，可列舉出二芳基碘鎓全氟烷基磺酸鹽、二芳基碘鎓三(氟烷基磺醯基)甲基化物、二芳基碘鎓雙(氟烷基磺醯基)甲基化物、二芳基碘鎓雙(氟烷基磺醯基)醯亞胺、二芳基碘鎓季銨全氟烷基磺酸鹽；2-硝基苄基甲苯磺酸鹽、2,4-二硝基苄基甲苯磺酸鹽、2,6-二硝基苄基甲苯磺酸鹽、4-硝基苄基甲苯磺酸鹽等苯甲苯磺酸鹽類；對甲苯磺酸環己酯、2-三氟甲基-6-硝基苄基4-氯苯磺酸鹽、2-三氟甲基-6-硝基苄基4-硝基苯磺酸鹽等苯磺酸鹽類；苯基-4-甲氧基苯磺酸鹽等酚性磺酸鹽酯類；季銨三(氟烷基磺醯基)甲基化物；季烷基銨雙(氟烷基磺醯基)醯亞胺；10-樟腦磺酸的三乙基銨鹽等有機酸烷基銨鹽等。進而，也可以使用各種芳香族(蒽、萘或苯衍生物)磺酸胺鹽，作為其具體例，可列舉出美國專利第3,474,054號說明書、美國專利第4,200,729號說明書、美國專利第4,251,665號說明書、美國專利第5,187,019號說明書中記載的磺酸胺鹽等。熱產酸劑可以單獨使用1種或者組合使用2種以上。本發明中，決定要使用的聚合引發劑和產酸劑時，首先考慮引發劑為熱自由基聚合引發劑、輻射線自由基聚合引發劑中的任一者且產酸劑為熱產酸劑、光產酸劑中的任一者。並且，假設同時使用熱自由基聚合引發劑和熱產酸劑的情況下，考慮該引發劑引發聚合的溫度與該產酸劑的產酸溫度的相對關係，注意使前者低於後者，假設同時使用光自由基聚合引發劑和光產酸劑的情況下，考慮該引發劑引發聚合的波長與該產酸劑的產酸波長的相對關係，注意不使前者與後者的波長相同或相近。通過這樣操作，能夠防止單體的聚合反應時的上述產氣反應。此外，在假設同時使用熱自由基聚合引發劑和光產酸劑的情況下、假設同時使用光自由基聚合引發劑和熱產酸劑的情況下，預測使用該產酸劑時會因單體的聚合反應時的熱或光帶來的刺激而產生酸時，期望不使用該產酸劑。應予說明，本發明的組合物可以將光產酸劑與熱產酸劑組合使用。此外，本發明的組合物可以同時包含產酸劑和酸增殖劑。本發明的組合物包含第一聚合性組合物、或第二聚合性組合物的聚合物，同時包含氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物，所述第一聚合性組合物包含自由基聚合引發劑和帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體，所述第二聚合性組合物包含前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體，前述第一聚合性組合物或前述第二聚合性組合物的單體總量與前述氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物的合計質量中的前述帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體的量需要為5質量％以上且低於95質量％、優選為25質量％以上且低於95質量％，所述總量是指：在第一聚合性組合物或前述第二聚合性組合物僅包含帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體的情況下為其量，在第一聚合性組合物或前述第二聚合性組合物包含帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體以及除此之外的烯屬不飽和單體的情況下是兩者的合計，在進一步包含其它單體的情況下是將它們統合而得到的合計量。如果低於前述範圍，則即使對樹脂薄膜施加加熱等外部刺激也不會產生足量的氣體，其結果，無法實現優異的剝離性。另一方面，如果為前述範圍以上，則存在固化膜變硬變脆的傾向，即使產生氣體，膜也會崩落而無法剝離。本發明的組合物也可以包含溶劑。溶劑使用能夠使本發明的樹脂組合物中的各成分均勻溶解且不與它們反應的溶劑。作為這種溶劑的具體例，可列舉出碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯等碳酸酯類；己酸、辛酸等脂肪酸；1-辛醇、1-壬醇、苄醇等醇類；乙二醇單乙醚、二乙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚(pgme)等多元醇的烷基醚類；乙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯等多元醇的烷基醚乙酸酯類；苯基溶纖劑乙酸酯等多元醇的芳基醚乙酸酯類；3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙酯、乳酸乙酯、γ-丁內酯等酯類；二丙酮醇等酮醇類等。應予說明，溶劑可以單獨使用1種或者組合使用2種以上。本發明的組合物包含溶劑時，從不過度延長乾燥時間的觀點出發，其含量相對於組合物整體優選低於30質量％。本發明的組合物出於提高塗布性、消泡性、流平性等的目的而可以包含表面活性劑。作為表面活性劑的具體例，可列舉出以megafac(註冊商標)f142d、megafacf172、megafacf173、megafacf183、megafacf570(以上為diccorporation制)；fluoradfc-135、fluoradfc-170c、fluoradfc-430、fluoradfc-431(以上為住友3m公司制)；surflons-112、surflons-113、surflons-131、surflons-141、surflons-145(以上為旭硝子株式會社制)；sh-28pa、sh-190、sh-193、sz-6032、sf-8428(以上為dowcorningtorayco.,ltd.制)等的商品名上市銷售的氟系表面活性劑、矽酮系表面活性劑等。本發明的組合物包含表面活性劑時，從防止自固化膜中析出的觀點出發，其含量優選為組合物整體的5質量％以下。本發明的組合物也可以包含熱阻聚劑。作為熱阻聚劑的具體例，可列舉出聯苯三酚、苯醌、氫醌、亞甲基藍、叔丁基鄰苯二酚、單苄基醚、甲基氫醌、戊醌、戊氧基氫醌、正丁基苯酚、苯酚、氫醌單丙醚、4,4』-(1-甲基亞乙基)雙(2-甲基苯酚)、4,4』-(1-甲基亞乙基)雙(2,6-二甲基苯酚)、4,4』-[1-〔4-(1-(4-羥基苯基)-1-甲基乙基)苯基〕亞乙基]雙酚、4,4』,4」-亞乙基三(2-甲基苯酚)、4,4』,4」-亞乙基三聯苯酚、1,1,3-三(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-3-苯基丙烷等。本發明的組合物包含熱阻聚劑時，從防止自由基聚合性的過度降低、確保適當的自由基聚合性的觀點出發，其含量優選為自由基聚合引發劑的50質量％以下。本發明的組合物中，出於提高剝離性的目的，也可以包含剝離劑。作為剝離劑，可以使用蠟系化合物、矽酮系化合物、氟系化合物中的任一種，其中，從耐熱性、耐溼性、經時穩定性的觀點出發，優選為矽酮系化合物(以矽氧烷鍵作為主骨架的矽油、乳液等)。剝離劑可以以市售品的形式進行獲取。作為這種市售品，可列舉出shinetsusilicone(註冊商標)kf-96-10cs、shinetsusiliconekf-6012、shinetsusiliconex-22-2426、shinetsusiliconex-22-164e(以上為信越化學工業株式會社制)、tegorad2200n、tegorad2700(以上為evonik公司制)、byk-333(以上為bykjapan公司制)等。本發明的組合物包含剝離劑時，從防止自固化膜中析出的觀點出發，其含量相對於組合物整體優選為5質量％以下。另外，本發明的組合物也可以包含流平劑、消泡劑等其它成分。本發明的組合物可通過將由第一聚合性組合物、或者由第二聚合性組合物得到的聚合物與氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物與產酸劑等各種成分進行混合來製備，所述第一聚合性組合物包含帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體、根據需要含有的除此之外的烯屬不飽和單體、以及自由基聚合引發劑，所述第二聚合性組合物包含帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體、根據需要含有的除此之外的烯屬不飽和單體、以及自由基聚合引發劑。例如，向具有攪拌葉片的sus制調配罐中投入特定量的各成分，在室溫(約25℃)或加溫下攪拌至達到均勻。此時，將產酸劑、聚合引發劑等可預想到以必要量一併投入罐中時會發生分解等不優選副反應的原料優選分成數次投入。此外，根據需要，可以將通過混合各成分而得到的組合物用篩網、薄膜過濾器等進行過濾。應予說明，製備組合物時，注意帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體的含量必須在上述特定範圍內。此外，構成組合物的某種成分兼具其它成分的功能的情況下，需要考慮這一點來確定各成分的量。這樣操作而得到的本發明的組合物的粘度通常為100～10000cp的範圍內。將上述說明的本發明的易解體性樹脂薄膜形成組合物塗布於被塗布體的表面，該組合物包含上述單體時，若需要則可通過一邊去除溶劑一邊使其固化來形成本發明的易解體性樹脂薄膜，或者，該組合物包含上述聚合物時，可通過利用加熱來去除溶劑，從而形成本發明的易解體性樹脂薄膜。被塗布體不限定於由鋁、銅、鈦等、其合金形成的金屬制基板；由鈉玻璃等形成的玻璃性基板；由聚醯亞胺等形成的樹脂性基板等通用基板，可列舉出各種製品及其部件、構件等。作為塗布方法，可列舉出旋塗法、狹縫塗布法、輥塗法、絲網印刷法、塗抹器法、復塗(オーバーコート)、噴塗法、噴墨法、分散法等，但不限定於它們。樹脂薄膜的厚度通常為1～2000μm的範圍內，從確保固化膜的充分剝離性的觀點出發，優選為50～1500μm、更優選為100～500μm。作為變更膜厚的方法，有例如變更組合物中的構成樹脂薄膜的成分的濃度或者變更在基板上的塗布量的方法。被塗布體上的塗膜的固化通過利用光照射和/或加熱而引發基於聚合引發劑的單體聚合來進行。用於進行固化的光照射可考慮聚合引發劑引發聚合的波長和產酸劑的產酸波長、組合物中的除此之外的成分的種類和量、塗膜的厚度等，使用低壓汞燈、高壓汞燈、超高壓汞燈、金屬滷化物燈、氬氣雷射等來進行。例如使用高壓汞燈時，為100～1500mj/cm2的範圍。此外，用於進行固化的加熱可考慮聚合引發劑引發聚合的溫度和產酸劑的產酸溫度、組合物中的除此之外的成分的種類和量、塗膜的厚度等，使用加熱板、烘箱等加熱裝置來進行。加熱溫度通常為50～200℃的範圍內，加熱時間通常為3分鐘～1小時的範圍內。應予說明，用於去除溶劑的加熱也利用相同的方法來進行。通過這樣地將塗膜固化或者從其中去除溶劑而得到的樹脂薄膜不僅對於被塗布體顯示出優異的密合性，還兼具對於酸、鹼、有機溶劑等的化學耐性以及對於ito、金屬等的濺射處理、此時的真空條件、刮劃、衝擊等的物理耐性，進而，通過對該樹脂薄膜實施光照射、加熱等外部刺激，在薄膜內發生解體，對於被塗布體的密合性降低，其結果，所得薄膜呈現可輕易剝離的狀態。作為這種會使膜內發生解體的外部刺激，只要能夠使光產酸劑產生酸，導致自叔丁氧基產生氣體，就沒有特別限定，通常為光照射或加熱。用於使光產酸劑產生酸的光照射可考慮聚合引發劑和產酸劑的引發波長、組合物中的除此之外的成分的種類和量、塗膜的厚度等，使用低壓汞燈、高壓汞燈、超高壓汞燈、金屬滷化物燈、氬氣雷射等來進行。例如，使用高壓汞燈時，為100～1500mj/cm2的範圍。此外，用於使光產酸劑產生酸的加熱可考慮聚合引發劑和產酸劑的引發溫度、組合物中的除此之外的成分的種類和量、塗膜的厚度等，使用加熱板、烘箱等加熱裝置來進行。加熱溫度通常為50～200℃的範圍內，加熱時間通常為1分鐘～30分鐘的範圍內。此外，由於該薄膜可輕易地剝離，因此，薄膜的剝離可利用手指、鑷子、吹風等比較簡單的方法來進行。尤其是，在形成在被塗布體上的薄膜上不存在遮蔽物等的情況下，本發明的易剝離性樹脂薄膜還顯示出通過源自外部的刺激而發生捲曲等從而自基板剝離的自剝離性，因此，此時可更簡便地剝掉膜。應予說明，只要不會發生形成有薄膜的被塗布體上的未形成該薄膜的部分的表面被侵蝕等不良情況，則可以使用有機溶劑、水等剝離液來剝掉膜。以上說明的本發明的易解體性樹脂薄膜因其性質可特別適合地用作預粘接膜、暫時保護膜。具體而言，本發明的解體性樹脂薄膜可期待在下述情況下用作意於暫時性粘貼2個物體的預粘接膜，所述情況為：進行交通工具、計算機、家具、體育用品、建築資材、電子設備等各種製品及其部件、構件等的生產、加工、修理等時，粘貼於基板、基板上形成的塗布膜、蒸鍍膜等2個物體的表面，出於清洗、加工等的目的而對經粘貼的2個物體實施酸處理、鹼處理、溶劑處理、氣體處理、光照射處理、熱處理、濺射處理等必要的處理，將該2個物體進行分離的情況；進行前述各種製品及其部件的搬運時，粘貼於基板、基板上形成的塗布膜、蒸鍍膜等2個物體的表面，搬運該2個物體，在搬運後將該2個物體進行分離的情況等。此外，本發明的易解體性樹脂薄膜可期待在下述情況下用作意於進行物理/化學保護的保護膜，所述情況為：進行前述各種製品及其部件、構件等的生產、加工、修理、搬運、保管等時，粘貼於基板、基材上形成的塗布膜、蒸鍍膜等2個物體的表面，出於清洗、加工等的目的而對經粘貼的2個物體實施酸處理、鹼處理、溶劑處理、氣體處理、光照射處理、熱處理、濺射處理等必要的處理的情況；搬運前述各種製品及其部件的情況；使前述各種製品及其部件接觸鋒利物體、染色物體、源自車尾氣、來自工廠的煙霧導致的空氣中的微粒、酸雨等腐蝕性/汙染性物質等的情況等。進而，通過隔著掩膜等來塗布本發明的易解體性樹脂薄膜形成組合物，得到圖案狀的本發明的易解體性樹脂薄膜，隔著該圖案狀的易解體性樹脂薄膜，對基板等實施鹼處理、溶劑處理、氣體處理、光照射處理、熱處理、濺射處理等，其後實施熱等外部刺激而將該膜剝離，從而能夠在基板等上形成特定的圖案。實施例以下，基於實施例來具體說明本發明，但本發明不限定於下述實施例。(1)組合物的製備[實施例1-1～1-5、比較例1-1～1-3]以表1記載的質量比，將除了si-100l之外的各原料量取至玻璃制樣品瓶內，一邊加熱至50℃左右，一邊使用磁力攪拌器攪拌混合至達到均勻為止。接著，如表1記載的那樣，將si-100l量取至同一樣品瓶內，以25℃(室溫)使用磁力攪拌器攪拌至達到均勻為止，從而製備各組合物。這樣地分成兩次進行混合是為了防止熱產酸劑si-100l的分解。[表1]tbat-bocstibxalauv-7000bteai-1000irg.1173si-100l實施例1-11.41.40.30.1實施例1-22.03.00.30.3實施例1-31.53.00.20.2實施例1-41.53.00.20.2實施例1-53.02.00.30.1比較例1-11.53.00.20.2比較例1-21.53.00.20.2比較例1-32.00.10.1tba：東京化成工業株式會社制丙烯酸叔丁酯t-bocst：aldrich公司制叔丁基-對乙烯基苯基碳酸酯ibxa：東京化成工業株式會社制丙烯酸異冰片酯la：東京化成工業株式會社制丙烯酸月桂酯irg.1173：basf公司制irgacure1173si-100l：三新化學工業株式會社制si-100luv-7000b：日本合成化學工業株式會社制氨基甲酸酯丙烯酸酯teai-1000：日本曹達株式會社制氨基甲酸酯丙烯酸酯[實施例2-1～2-13]以表2記載的質量比，將除了si-60l、si-80l、si-100l、si-150l之外的各原料量取至玻璃制樣品瓶內，一邊加熱至50℃左右，一邊使用磁力攪拌器攪拌混合至達到均勻為止。接著，如表1記載的那樣，將si-60l、si-80l、si-100l、si-150l量取至同一樣品瓶內，以25℃(室溫)使用磁力攪拌器攪拌至達到均勻為止，從而製備各組合物。這樣地分成兩次進行混合是為了防止熱產酸劑si-100l等的分解。[表2]uv-7000bteai-1000tbat-bocstirg.1173si-60lsi-80lsi-100lsi-150l實施例2-11.30.60.10.1實施例2-21.30.60.10.1實施例2-31.30.60.10.1實施例2-41.30.60.10.1實施例2-51.30.60.1實施例2-61.30.60.10.1實施例2-71.30.60.10.1實施例2-81.30.60.10.1實施例2-91.30.60.10.1實施例2-101.30.60.1實施例2-111.30.140.070.070.1實施例2-121.30.330.080.08實施例2-131.30.60.10.1tba：東京化成工業株式會社制丙烯酸叔丁酯t-bocst：aldrich公司制叔丁基-對乙烯基苯基碳酸酯uv-7000b：日本合成化學工業株式會社制氨基甲酸酯丙烯酸酯teai-1000：日本曹達株式會社制氨基甲酸酯丙烯酸酯irg.1173：basf公司制irgacure1173si-60l：三新化學工業株式會社制si-60lsi-80l：三新化學工業株式會社制si-80lsi-100l：三新化學工業株式會社制si-100lsi-150l：三新化學工業株式會社制si-150l(2)樹脂薄膜的製作和評價[實施例1-6～1-10、比較例1-4～1-6](2-1)固化膜和玻璃層疊體的製作以及固化性的評價準備尺寸不同的兩塊鈉玻璃基板(縱100mm×橫100mm的玻璃基板(以下稱為玻璃基板a)和縱25mm×橫25mm的玻璃基板(以下稱為玻璃基板b))。在玻璃基板a11上，作為間隔物而設置2個500μm的矽酮橡膠12(圖1-a)，向它們之間分別滴加實施例1-1～1-5和比較例1-1～1-3的組合物13(圖1-b)，隔著間隔物地用玻璃基板b14夾住(圖1-c)。然後，進行uv光(照度為50mw/cm2、照射量為500mj/cm2)的照射，使各組合物固化(圖1-d)，去除作為間隔物的矽酮橡膠，得到膜厚500μm的固化膜15被2塊玻璃基板夾住的夾心結構的玻璃層疊體(固化膜15的形狀：直徑為10mm左右的圓形)(圖1-e)。應予說明，在任意情況下，組合物均固化且固化性良好。此外，所得玻璃層疊體在下述評價中使用。其中，比較例中未實施一部分評價。(2-2)密合性的評價將玻璃層疊體的玻璃基板彼此用手拉扯，穩固粘接時記作「a」，輕易剝離時記作「c」。(2-3)基於加熱的剝離性的評價將玻璃層疊體設置在150℃的加熱板上並加熱，在5分鐘以內確認到玻璃與固化膜發生剝離的情況記作「a」，即使加熱超過5分鐘至10分鐘為止也確認不到剝離的情況記作「c」。(2-4)耐濺射性和耐減壓性的評價通過自玻璃層疊體的玻璃基板b側進行濺射而在玻璃基板上製造ito膜21(圖2)。ito的制膜使用了sanyuelectronco.,ltd.製造的srs-700t/ll(條件：厚度：90nm、溫度：rt、偏移量(offset)：50mm、ts距離：100mm、轉速：2rpm、dc：80w、ar46sccm、o21sccm、1.0pa、時間：5分鐘)。其後，將形成有ito膜21的玻璃層疊體設置在150℃的加熱板上並加熱，與未形成ito膜21的玻璃層疊體同樣地，在5分鐘以內確認到玻璃與固化膜發生剝離的情況記作「a」，即使加熱超過5分鐘至10分鐘為止也確認不到剝離的情況記作「c」。將上述各評價的結果示於表3。[表3]實施例和比較例中，全部組合物不僅顯示出優異的固化性，所得各固化膜對於基板也顯示出良好的密合性。但是，由實施例1-1～1-5的組合物得到的固化膜(實施例1-6～1-10)的密合力因加熱而降低，可從玻璃基板上輕易地剝離，進而，即使在真空下進行ito濺射處理後，也同樣地顯示出良好的密合性和剝離性，與此相對，比較例的固化膜即使加熱也不會顯示出剝離性。關於這一點，推測比較例中無法實現良好剝離性的原因如下所示。比較例1-4～1-5中，含叔丁氧基的化合物的量低至本發明規定範圍外的不足25質量％，可推測其即使進行加熱也不會產生充足的氣體，膜不會充分解體，結果導致表現不出剝離性。關於比較例1-6，含叔丁氧基的化合物的量高達超過本發明規定範圍的100％，此時可預測其通過加熱而產生大量氣體，通過固化膜的發泡而可確實地確認到氣體發生。然而，發泡僅在膜的一部分處產生，進而，該部分破碎而從固化膜上脫落，因此，整體來看殘留有穩固的密合力，無法剝掉該固化膜。這種比較例1-6的僅由丙烯酸叔丁酯的聚合物形成的膜硬且脆，因此，因氣體發生而產生的應力不會傳導至整體，確認其確實是無法用作例如預固定劑的薄膜。(2-5)密合力和剝離力的評價在上述密合性評價等的基礎上，使用實施例1-8、1-9的玻璃層疊體，測定玻璃基板與固化膜之間的密合力和剝離力。將實施例1-8、1-9的玻璃層疊體的玻璃基板a固定，在玻璃基板b上使用雙面膠(nichibanco.,ltd.製品、nicetackrimuka)粘貼紙膠帶，將該紙膠帶用夾具固定，以10mm/分鐘的拉伸速度拉扯該紙膠帶，從而測定密合力。應予說明，測定使用了株式會社島津製作所製造的臺式精密萬能試驗機autographags-x。其結果，在使用任意玻璃層疊體的情況下，玻璃基板與固化膜之間均未產生剝離，雙面膠發生剝離。這啟示出本發明固化物對於玻璃的密合力在雙面膠粘合力即1.2n/cm2以上，可以說具有這種數值的密合力的本發明固化膜可適合地用作意於將基體彼此固定於玻璃等的預固定用薄膜。接著，使用在150℃的加熱板上加熱了5分鐘的實施例1-8、1-9的玻璃層疊體，利用與上述相同的方法來測定密合力。其結果，在任意情況下，玻璃基板與固化膜之間均產生剝離，測定出密合力低於0.5n/cm2。像這樣，可確認本發明的樹脂薄膜(固化膜)的密合力因加熱而急劇降低。如上所述，由本發明的組合物得到的固化膜不僅顯示出與玻璃基板等密合的良好密合性，其密合力也因加熱這一簡便的方法而降低，呈現可輕易剝離的狀態，因此，可適合地用作意於進行由玻璃、金屬等形成的基板等的預粘接的預粘接膜。(3)基於加熱的自剝離性的評價(3-1)自玻璃基板剝離的自剝離性[實施例1-11、1-12]使用塗抹器將實施例1-3、1-4的組合物塗布在玻璃基板a上，進行uv光(照度為50mw/cm2、照射量為500mj/cm2)的照射，從而得到膜厚為500μm左右、寬度為7mm左右、長度為50mm左右的固化膜。嘗試用手指剝離所得固化膜，但其與玻璃基板穩固地密合，無法進行剝離。將該帶固化膜的玻璃基板以玻璃基板朝下的方式用150℃的加熱板進行加熱。其結果，在不足2分鐘的期間內，固化膜在玻璃基板上發生捲曲，自玻璃基板上剝離，可確認該固化膜通過加熱而顯示出自剝離性。如上所述，由本發明的組合物得到的固化膜不僅顯示出與玻璃基板等密合的良好密合性，其密合力也通過加熱這一簡便的方法而降低，呈現可輕易剝離的狀態，尤其是其上沒有遮蔽物時會發生捲曲等而從基板等自行剝離，因此可適合地用作由玻璃、金屬等形成的基板等物品的表面保護膜。[實施例2-14～2-25]使用實施例2-1～2-12的組合物來代替實施例1-3的組合物，將固化膜的膜厚設為800μm左右，除此之外，利用與實施例1-11相同的方法，在基板上得到固化膜。嘗試用手指剝離所得固化膜，但固化膜與玻璃基板穩固地密合，無法進行剝離。將該帶固化膜的玻璃基板在表4記載的各溫度的加熱板上以玻璃基板朝下的方式設置並加熱，測定在各加熱溫度下確認到玻璃與固化膜相剝離為止的秒數。將結果示於表4。應予說明，超過5分鐘也確認不到剝離的情況記作「×」，一部分實施例中，僅實施了一部分加熱溫度下的評價。[表4]80℃120℃150℃200℃220℃250℃300℃實施例2-14np90503525實施例2-15np175503520實施例2-16np300703530實施例2-17npnpnp12090實施例2-18npnpnpnpnp4800120實施例2-19np60703025實施例2-20np120804530實施例2-21np2101205050實施例2-22npnp2308080實施例2-23npnp230150130實施例2-2460實施例2-2550根據製造商的資料，對於由熱產酸劑產生酸而言為必須的溫度的高低順序為si-150l＞si-100l＞si-80l＞si-60l。由表4示出：通過選擇與目標剝離溫度相符的熱產酸劑，能夠控制剝離溫度和至剝離為止的時間。此處，熱產酸劑的作用是通過產生的酸來促進帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體的分解。進而，如實施例2-18、2-23所示那樣，即使不含熱產酸劑，也能夠通過熱而使帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體發生分解、剝離。其中，實施例2-18中，與剝離同時發生膜的硬化、裂紋產生之類的不期望變化。這是因為氨基甲酸酯丙烯酸酯樹脂的耐熱性，期望變更成更高耐熱的氨基甲酸酯丙烯酸酯樹脂。tba中的叔丁氧基因酸分解而脫離，與此相對，t-bocst中的叔丁氧基和羰基同時因酸分解而脫離。因此，t-bocst即使少量添加也會比tba進一步表現出剝離性。實施例2-24、2-25中，帶叔丁氧基的烯屬不飽和單體的量為全部氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物的合計質量中的10％(實施例2-24)和20％(實施例2-25)，顯示出良好的剝離性。(3-2)自金屬基板剝離的自剝離性[實施例2-26、2-27]使用實施例2-3的組合物來代替實施例1-3的組合物，使用不鏽鋼基板(實施例2-26)、鋁基板(實施例2-27)來代替玻璃基板，除此之外，利用與實施例1-11相同的方法，在基板上得到固化膜。嘗試用手指剝離所得固化膜，但固化膜與金屬基板穩固地密合，無法剝離。將該帶固化膜的金屬基板以金屬基板朝下的方式用200℃的加熱板進行加熱。其結果，在不足2分鐘的期間內，固化膜在金屬基板上發生捲曲，自金屬基板上剝離，可確認該固化膜通過加熱而顯示出自金屬基板上剝離的自剝離性。(4)耐化學試劑性的評價[實施例2-28、2-29]使用實施例2-3、2-13的組合物來代替實施例1-1的組合物，除此之外，利用與實施例1-6相同的方法，得到玻璃層疊體。應予說明，任意情況下，組合物均固化而固化性良好。接著，將各玻璃層疊體在25℃的氫氟酸10質量％水溶液中浸漬60分鐘，進行玻璃基板的蝕刻處理。對經該蝕刻處理的各玻璃層疊體進行水洗後，對玻璃層疊體的玻璃基板彼此進行拉扯，嘗試將固化膜與玻璃基板進行剝離，但各固化膜穩固地密合於基板，無法進行剝離。接著，將玻璃層疊體設置在150℃的加熱板上並進行加熱。其結果，在不足2分鐘的期間內，固化膜自玻璃基板上剝離。如上可確認：該固化膜不會因氫氟酸那樣的高浸透性酸而變質，且顯示出基於加熱的自剝離性。因此，由本發明的組合物得到的薄膜可用作在玻璃蝕刻處理中能夠適合使用的預固定材料。附圖標記說明11玻璃基板a12間隔物13實施例或比較例的組合物14玻璃基板b15固化膜(樹脂薄膜)21ito膜當前第1頁12