電掃描器及雷射加工裝置的製作方法

2023-09-22 04:50:35

本發明涉及一種電掃描器及雷射加工裝置。

背景技術：

具有電掃描器的雷射加工裝置利用於印刷配線基板及精密電子部件等的開孔加工。隨著成為產品的電路及電子部件的精細化的發展，要求雷射加工裝置對加工位置進行高精度的控制。

電掃描器在以相同間距重複加工位置的移動的情況下，當加工位置的移動頻率與旋轉體的固有振動數一致時，有時會向與反射鏡的表面垂直的方向產生振動。與反射鏡的表面垂直的方向的振動被稱為面傾斜共振。由於產生面傾斜共振，來自反射鏡的雷射的行進方向變化，因此，在加工對象物上的雷射的位置處產生誤差。

在專利文獻1中公開了下述技術，即，對於在軸和軸箱之間組裝有圓柱滾子軸承的軸支撐裝置，在軸承的外輪與軸箱之間設置吸收振動的部件。

專利文獻1：日本特開2008-138779號公報

技術實現要素：

電掃描器的旋轉體有時受到由驅動引起的溫度上升而發生熱膨脹。為了能夠吸收軸向上的旋轉體的尺寸變化，設置在電掃描器中的軸承以相對於收容旋轉體的框架殼體隔開少量間隙的方式配置。要求電掃描器能夠吸收由旋轉體的熱膨脹引起的尺寸變化，並且能夠減小使加工位置的精度惡化的振動。

近幾年，為了實現高速驅動，在電掃描器中存在旋轉體的驅動力變大的傾向。在電掃描器中，由於驅動力增大，不需要的振動的振幅也易於變大。電掃描器難以進行軸承周邊的間隙的公差管理，以使得能夠針對驅動力的增大而減小不需要的振動。

本發明就是鑑於上述情況而提出的，其目的在於能夠減小面傾斜共振，實現高位置精度。

為了解決上述的課題、實現目的，本發明的特徵在於，具有：旋轉體，其具有旋轉軸；反射鏡，其與旋轉軸的前側的一端連結，使射入的光偏轉；框架殼體，其具有內部空間，該內部空間以旋轉軸成為旋轉的中心軸的方式，可旋轉地收容該旋轉體；前側軸承，其配置於內部空間的前側的端部，是將旋轉軸可旋轉地進行支撐的軸承；以及振動吸收部件，其是由防振合金形成的筒狀的部件，在與前側軸承的外周側面之間具有間隙的狀態下，以內筒面位於前側軸承的外周側的方式而設置於框架殼體，對伴隨旋轉體的旋轉而發生的前側軸承的振動進行吸收。

發明的效果

本發明取得下述效果，即，能夠減小面傾斜共振，實現高位置精度。

附圖說明

圖1是表示本發明的實施方式1涉及的電掃描器的結構的剖視圖。

圖2是表示不具有振動吸收部件的電掃描器的結構的剖視圖。

圖3是關於第1面傾斜共振的產生的說明圖。

圖4是表示第1面傾斜共振的頻率與振幅之間的關係的例子的說明圖。

圖5是關於第2面傾斜共振的產生的說明圖。

圖6是表示第2面傾斜共振的頻率與振幅之間的關係的例子的說明圖。

圖7是關於產生第1面傾斜共振及第2面傾斜共振的情況下的共振的頻率與振幅之間的關係的說明圖。

圖8是表示本發明的實施方式2涉及的電掃描器的結構的剖視圖。

圖9是表示本發明的實施方式3涉及的電掃描器的結構的剖視圖。

圖10是表示本發明的實施方式4涉及的電掃描器的結構的剖視圖。

圖11是表示球頭柱塞的結構的剖視圖。

圖12是本發明的實施方式5涉及的雷射加工裝置的結構圖。

具體實施方式

下面，基於附圖，對本發明涉及的電掃描器及雷射加工裝置的實施方式進行詳細說明。此外，本發明並不限定於本實施方式。

實施方式1.

圖1是表示本發明的實施方式1涉及的電掃描器的結構的剖視圖。電掃描器1使來自雷射光源的雷射在加工對象物上進行掃描。電掃描器1由旋轉體26及固定體27構成。

旋轉體26具有掃描反射鏡2、旋轉軸3以及磁體5。旋轉體26能夠以旋轉軸3為旋轉的中心軸而進行旋轉。掃描反射鏡2是使射入的光偏轉的反射鏡。掃描反射鏡2與旋轉軸3的前側的一端連結。反射鏡安裝件12將掃描反射鏡2與旋轉軸3連結。安裝件按壓工具13在插入有緊固件14的狀態下，將反射鏡安裝件12固定於旋轉軸3。磁體5固定於旋轉軸3，位於後面敘述的前側軸承8及後側軸承9之間。

固定體27具有框架殼體4、線圈6以及鐵心7。線圈6設置於磁體5的周圍。鐵心7設置於線圈6的周圍。通過從與導線18連接的未圖示的電源向線圈6流動電流，從而使線圈6產生電磁力。通過使電磁力作用在磁體5的磁場的周圍，從而產生使磁體5旋轉的旋轉扭矩。旋轉體26通過作用於磁體5的旋轉扭矩而旋轉。

框架殼體4將磁體5、線圈6以及鐵心7收容在內部。框架殼體4具有內部空間4a，該內部空間4a用於使旋轉體26的磁體5進行旋轉。前側軸承8及後側軸承9是將旋轉軸3可旋轉地進行支撐的軸承。前側軸承8設置於框架殼體4的內部空間4a中的前側的端部。後側軸承9設置於框架殼體4的內部空間4a中的後側的端部。

振動吸收部件25為筒狀的部件，以從外側將前側軸承8覆蓋的方式而設置於框架殼體4。振動吸收部件25是由防振合金形成的。振動吸收部件25的內筒的直徑比前側軸承8的外徑大，在振動吸收部件25的內周面251與前側軸承8的外周側面19之間形成有間隙。

防振合金是通過將大於或等於2種金屬熔解而進行混合，從而賦予了比金屬單體高的振動吸收性後的合金的統稱。防振合金通過將來自外部的振動能量在內部變化成熱能而從材料表面進行散熱，從而將振動吸收，基於能量變換的機構而被分類為複合型、強磁性型、轉移型或者雙晶型中的任意類型。舉一個例子，作為錳基的防振合金的Mn-Cu-Ni-Fe合金為雙晶型，在73Mn-20Cu-5Ni-2Fe這樣的組分比下，兼具軟鋼程度的彈性模量和與橡膠等同的損失係數。

在旋轉體26旋轉時，如果旋轉軸3發生晃動，前側軸承8振動而與振動吸收部件25進行碰撞，則動能變換成熱能。採用了Mn-Cu-Ni-Fe合金的振動吸收部件25能夠將動能變換成熱能，不會由於前側軸承8的碰撞而發生變形。

振動吸收部件25限定性地設置於與前側軸承8相對的部分，因此在框架殼體4能夠使用鋁等導熱性好的材料而促進線圈6的冷卻。由此，在減小面傾斜共振時，不會犧牲框架殼體4的散熱性能。

後側軸承9固定於框架殼體4。另一方面，前側軸承8未固定于振動吸收部件25。預緊彈簧16經由墊圈17向前側軸承8施加預緊壓力。按壓板15是與框架殼體4中的前側的外端面、預緊彈簧16抵接而設置的。

在持續電掃描器1的驅動時，旋轉體26有時會發生由溫度上升引起的熱膨脹。在框架殼體4的內部，相對於位於外側的固定體27，位於內側的旋轉體26更容易攏熱，因此與固定體27相比，旋轉體26的熱膨脹更大。

在電掃描器1中，將後側軸承9固定於框架殼體4，另一方面，未將前側軸承8固定于振動吸收部件25，由此能夠針對軸向上的旋轉體26的熱膨脹，使前側軸承8在軸向上進行位移。由此，電掃描器1能夠吸收軸向上的旋轉體26的尺寸變化。

通常，電掃描器1是在安裝有用於對旋轉軸3的旋轉角度進行檢測的角度檢測器28的狀態下進行使用的。角度檢測器28由在旋轉軸3的後側的端部固定的圓盤29和在框架殼體4的後端固定的檢測器31構成。角度檢測器28能夠應用光學式或者磁式。即，在將角度檢測器28設為光學式的情況下，在圓盤29設置多個狹縫，並且在檢測器31設置發光元件及受光元件，通過利用受光元件對從發光元件射出之後經過圓盤29的狹縫的光進行檢測，從而對旋轉軸3的旋轉角度進行檢測。另外，在將角度檢測器28設為磁式的情況下，使圓盤29的外周面以S極和N極交替的方式進行磁化，並且在檢測器31設置磁場檢測元件，通過利用磁場檢測元件對磁場的變化進行檢測，從而對旋轉軸3的旋轉角度進行檢測。

在這裡，將不具有振動吸收部件25的情況例舉為實施方式1的對比例，對面傾斜共振進行說明。圖2是表示不具有振動吸收部件的電掃描器的結構的剖視圖。除了不具有振動吸收部件25以外，與實施方式1涉及的電掃描器1相同，因此對相同結構要素標註相同標號並省略重複的說明。在沒有設置振動吸收部件25的結構的電掃描器1'中，為了能夠針對軸向上的旋轉體26的尺寸變化而使前側軸承8在軸向上自由地進行位移，在前側軸承8的外周側面19與框架殼體4的內周面41之間設置間隙。電掃描器1'被設計為前側軸承8與框架殼體4之間的間隙小於或等於幾μm，另一方面，針對小於或等於幾μm的細微尺寸的公差管理變得困難。

已知電掃描器1'產生以前側軸承8的位置為節點的面傾斜共振。在下面的說明中，將以前側軸承8的位置為節點的面傾斜共振稱為第1面傾斜共振。

並且，在電掃描器1'中，隨著驅動速度變快，還觀測到以掃描反射鏡2與反射鏡安裝件12的邊界位置為節點的面傾斜共振。在下面的說明中，將以掃描反射鏡2與反射鏡安裝件12的邊界位置為節點的面傾斜共振稱為第2面傾斜共振。在前側軸承8與框架殼體4之間的間隙大的情況下會引起第2面傾斜共振。

圖3是關於第1面傾斜共振的產生的說明圖。圖4是表示第1面傾斜共振的頻率與振幅之間的關係的例子的說明圖。在圖3中，將電掃描器1'的一部分結構適當地簡化而進行示出，並且對不需要說明的結構省略圖示。

在前側軸承8的外周側面19與框架殼體4的內表面41之間的間隙小於或等於幾μm時，電掃描器1'有時會產生第1面傾斜共振。在這裡，第1面傾斜共振的頻率設為f1。另外，第1面傾斜共振的振幅為h時的掃描反射鏡2的振動角設為以前側軸承8的位置為頂點的角度θ。

在電掃描器1'中，在以相同周期反覆進行旋轉體26的往復轉動的情況下，當轉動的頻率與旋轉體的固有振動數一致時，產生面傾斜共振。由於產生面傾斜共振，掃描反射鏡2的反射面在與反射面垂直的方向上周期性地進行位移。由於掃描反射鏡2的反射面在與反射面垂直的方向上進行位移，因此電掃描器1'在與雷射的掃描方向垂直的方向上使雷射的位置產生誤差。

對於產生第1面傾斜共振的電掃描器1'，通過對旋轉體26的重量平衡進行調整以使得振幅h儘可能變小，從而減小由第1面傾斜共振引起的雷射的位置誤差。舉一個例子，旋轉體26的重量平衡是通過在掃描反射鏡2的背面粘貼貼片而進行調整的。掃描反射鏡2的背面是與對雷射進行反射的反射面相反側的面。

圖5是關於第2面傾斜共振的產生的說明圖。圖6是表示第2面傾斜共振的頻率與振幅之間的關係的一個例子的說明圖。在圖5中，將電掃描器1'的一部分結構適當地簡化而進行示出，並且對不需要說明的結構省略圖示。

在前側軸承8的外周側面19與框架殼體4的內表面41之間的間隙大的情況下，電掃描器1'有時會產生第2面傾斜共振。在這裡，第2面傾斜共振的頻率設為f2。此外，假設頻率f2比頻率f1大。另外，在第2面傾斜共振的振幅為h時，掃描反射鏡2的振動角設為以掃描反射鏡2與反射鏡安裝件12的邊界位置為頂點的角度θ'。

在前側軸承8與框架殼體4之間的間隙大的情況下，具體地說，在間隙大於或等於幾μm的情況下，考慮到下述情況，即，由於發生與軸向垂直的方向上的旋轉體26的移動，因此前側軸承8對旋轉體26的振動進行抑制的效果減弱。

關於掃描反射鏡2中的與固定於反射鏡安裝件12側相反的端部與共振的支點之間的距離，與第1面傾斜共振相比，在第2面傾斜共振的情況下該距離更長。如果第1面傾斜共振的振幅和第2面傾斜共振的振幅相同而都為h，則振動角θ'比振動角θ大。即，成為θ'＞θ這樣的關係。

在將雷射加工裝置所具有的透鏡的焦點距離設為F的情況下，由第1面傾斜共振造成的加工位置的偏差表示為Δx＝2Fθ。另外，由第2面傾斜共振造成的加工位置的偏差表示為Δx』＝2Fθ』。由於θ』＞θ，因此Δx』＞Δx的關係成立。因此，即使能夠將第1面傾斜共振和第2面傾斜共振設為相同的振幅h，在第2面傾斜共振的情況下，與第1面傾斜共振的情況相比，加工位置的偏差變大。

電掃描器1'在產生了第2面傾斜共振的狀態下，有時不規則地產生第2面傾斜共振和第1面傾斜共振。電掃描器1'有時還混合產生第1面傾斜共振和第2面傾斜共振。圖7是關於產生第1面傾斜共振及第2面傾斜共振的情況下的共振的頻率與振幅之間的關係的說明圖。

在混合有不同頻率的共振的情況下，電掃描器1'無法達到使得針對雙方的面傾斜共振而減小振幅這樣的旋轉體26的重量平衡。舉一個例子，在對頻率是f1的第1面傾斜共振和頻率是f2的第2面傾斜共振中的第2面傾斜共振進行了抑制振幅的調整的情況下，有時會增大第1面傾斜共振的振幅。另外，在對第1面傾斜共振進行了抑制振幅的調整的情況下，有時會增大第2面傾斜共振的振幅。

希望電掃描器1'能夠在改善加工位置的精度的基礎上、儘可能地抑制成為不利因素的第2面傾斜共振。由於在通過旋轉體26的重量平衡的調整而減小共振的振幅h時存在極限，因此希望電掃描器1'能夠從產生原因出發而改善第2面傾斜共振。並且，電掃描器1'為了在產生第2面傾斜共振的狀況下抑制第1面傾斜共振的產生、以及對第1面傾斜共振和第2面傾斜共振的混合進行抑制，希望能夠從產生原因出發而改善第2面傾斜共振。

在以通常的製造精度組裝的電掃描器1'中，很難嚴格地實施針對10μm的尺寸的公差管理。即使設計為前側軸承8與框架殼體4之間的間隙小於或等於幾μm，實際上該間隙有時也會大於或等於設計值。因此，難以穩定地製造出該間隙滿足所希望的尺寸條件的電掃描器1'。在將不滿足上述的尺寸條件的電掃描器1'的產品作為不合格品的情況下，會大幅度降低電掃描器1'的成品率。

在實施方式1涉及的電掃描器1中，以從外側將前側軸承8覆蓋的方式而在框架殼體4設置有振動吸收部件25，因此如果由旋轉軸3的晃動導致前側軸承8振動而與振動吸收部件25進行碰撞，則動能變換成熱能，對面傾斜共振進行抑制。換言之，實施方式1涉及的電掃描器1通過振動吸收部件25而對伴隨旋轉體26的旋轉發生的前側軸承8的振動進行吸收。因此，電掃描器1在前側軸承8與振動吸收部件25之間的間隙大的情況下，也能夠有效地對以前側軸承8的周圍的間隙為原因而產生的旋轉體26的振動進行抑制。

通過設置振動吸收部件25，從而電掃描器1能夠從產生原因出發，對以前側軸承8的周圍的間隙為原因而產生的第2面傾斜共振進行改善。電掃描器1對不規則地產生第2面傾斜共振及第1面傾斜共振的狀態、以及混合第1面傾斜共振和第2面傾斜共振的狀態均能夠進行抑制。

電掃描器1通過振動吸收部件25的設置而減小第2面傾斜共振，由此能夠為了專門減小由第1面傾斜共振產生的振幅而實施旋轉體26的重量平衡的調整。

如上所述，電掃描器1取得下述效果，即，能夠減小面傾斜共振，能夠實現高位置精度。即使不依賴於前側軸承8與框架殼體4之間的間隙的嚴格的公差管理，也能夠減小面傾斜共振，因此電掃描器1能夠實現成品率的提高。

實施方式2.

圖8是表示本發明的實施方式2涉及的電掃描器的結構的剖視圖。對與實施方式1相同的部分標註相同的標號，並適當地省略重複的說明。實施方式2涉及的電掃描器20在框架殼體4沒有設置振動吸收部件25。為了能夠針對軸向上的旋轉體26的尺寸變化而使前側軸承8在軸向上自由地進行位移，在前側軸承8的外周側面19與框架殼體4的內周面41之間設置有間隙。另外，在實施方式2中，將掃描反射鏡2和旋轉軸3連結的連結部件即反射鏡安裝件12'是由防振合金形成的。作為能夠應用於反射鏡安裝件12'的防振合金的一個例子，能夠例舉Mn-Cu-Ni-Fe合金。

在實施方式2涉及的電掃描器20中，由於反射鏡安裝件12'是由防振合金形成的，因此由第2面傾斜共振而發生的掃描反射鏡2的變形通過反射鏡安裝件12'而變換成熱能，對面傾斜共振進行抑制。換言之，掃描反射鏡2的變形通過反射鏡安裝件12'而變換成熱能，由此對掃描反射鏡2的振動進行抑制。舉一個例子，反射鏡安裝件12'對由前側軸承8的振動引起的、以掃描反射鏡2和旋轉軸3的結合部為節點的掃描反射鏡2的振動進行抑制。因此，電掃描器20能夠有效地對以前側軸承8的周圍的間隙為原因而產生的旋轉體26的振動進行抑制。通過採用具有軟鋼程度的彈性模量的Mn-Cu-Ni-Fe合金而形成反射鏡安裝件12'，從而反射鏡安裝件12'能夠將掃描反射鏡2的變形變換成熱能，而不會伴隨掃描反射鏡2的變形而發生變形。

實施方式3.

圖9是表示本發明的實施方式3涉及的電掃描器的結構的剖視圖。對與實施方式1相同的部分標註相同的標號，並適當地省略重複的說明。實施方式3涉及的電掃描器30在框架殼體4沒有設置振動吸收部件25。為了能夠針對軸向上的旋轉體26的尺寸變化而使前側軸承8在軸向上自由地進行位移，在前側軸承8的外周側面19與框架殼體4的內周面41之間設置有間隙。另外，在實施方式3中，將掃描反射鏡2和旋轉軸3連結的連結部件即安裝件按壓工具13'是由防振合金形成的。作為能夠應用於安裝件按壓工具13'的防振合金的一個例子，能夠例舉Mn-Cu-Ni-Fe合金。

在實施方式3涉及的電掃描器30中，由於安裝件按壓工具13'是由防振合金形成的，因此由第2面傾斜共振而發生的掃描反射鏡2的變形通過安裝件按壓工具13'而變換成熱能，對面傾斜共振進行抑制。換言之，掃描反射鏡2的變形通過安裝件按壓工具13'而變換成熱能，由此對掃描反射鏡2的振動進行抑制。舉一個例子，安裝件按壓工具13'對由前側軸承8的振動引起的、以掃描反射鏡2和旋轉軸3的結合部為節點的掃描反射鏡2的振動進行抑制。因此，電掃描器30能夠有效地對以前側軸承8的周圍的間隙為原因而產生的旋轉體26的振動進行抑制。通過採用具有軟鋼程度的彈性模量的Mn-Cu-Ni-Fe合金而形成安裝件按壓工具13'，從而安裝件按壓工具13'能夠將掃描反射鏡2的變形變換成熱能，而不會伴隨掃描反射鏡2的變形而發生變形。

實施方式4.

圖10是表示本發明的實施方式4涉及的電掃描器的結構的剖視圖。對與實施方式1相同的部分標註相同的標號，並適當地省略重複的說明。在實施方式4的電掃描器40中，在框架殼體4及振動吸收部件25形成有通孔11a、11b，在通孔11a、11b設置有球頭柱塞10。

通孔11a形成於框架殼體4。通孔11b形成于振動吸收部件25。通孔11a將框架殼體4的外周面與框架殼體4的內周面之間貫穿。通孔11b將振動吸收部件25的外周面與振動吸收部件25的內周面251之間貫穿。通孔11a及通孔11b同軸地配置，且通孔11a、11b是垂直於與旋轉軸3平行的方向即軸向而形成的。通孔11b的內部空間4a側的端部處於前側軸承8的外周側面19的位置。在通孔11a、11b的內表面形成有螺紋槽。

作為振動抑制構造的球頭柱塞10配置於通孔11a、11b。球頭柱塞10對由旋轉軸3的驅動引起的前側軸承8的振動進行抑制。球頭柱塞10從框架殼體4的外表面向通孔11a、11b內進行螺入，由此插入至通孔11a、11b。

圖11是表示球頭柱塞的結構的剖視圖。球頭柱塞10具有球形部件21、主體部22以及螺旋彈簧23。主體部22具有下端封閉、並且上端開放的圓筒形狀。在主體部22的側面形成有螺紋槽。

作為抵接部件的球形部件21以將一部分凸出至主體部22的上端之上的狀態而配置於主體部22。球形部件21能夠在主體部22的上端旋轉。球形部件21與前側軸承8的外周側面19抵接。

作為彈性部件的螺旋彈簧23配置於主體部22的內部。螺旋彈簧23對球形部件21施加向前側軸承8的方向推起球形部件21的力。螺旋彈簧23的上端與球形部件21抵接。螺旋彈簧23的下端與主體部22內部的底面抵接。

在製造電掃描器40時，將球頭柱塞10在通孔11a、11b內旋入至球形部件21與前側軸承8抵接的位置為止。在球頭柱塞10的旋入時使用工具。舉一個工具的例子，例如螺絲刀。

在球形部件21到達至前側軸承8之後，通過進一步地將球頭柱塞10少量地螺入，從而使球形部件21成為以預先設定的力輕微地推壓前側軸承8的狀態。對於球頭柱塞10是否已經螺入至輕微地推壓前側軸承8的狀態，能夠根據對在螺入球頭柱塞10時的扭矩進行測定後的結果而進行判斷。此外，也可以通過在球形部件21到達至前側軸承8之後將螺絲刀旋轉預先設定的量，從而決定球頭柱塞10的位置。球頭柱塞10在定位之後，使用粘接劑進行固定。

實施方式4涉及的電掃描器40通過使球頭柱塞10的球形部件21與前側軸承8的外周側面19抵接，從而以與軸向垂直地作用的力按壓前側軸承8。電掃描器40能夠有效地對以前側軸承8的周圍的間隙為原因而產生的旋轉體26的振動進行抑制。此外，電掃描器40也可以一邊觀測共振的產生狀態，一邊對球頭柱塞10的位置進行調整。

通過設置球頭柱塞10，電掃描器40能夠從產生原因出發，對以前側軸承8的周圍的間隙為原因而產生的第2面傾斜共振進行改善。電掃描器40對不規則地產生第2面傾斜共振及第1面傾斜共振的狀態、以及混合第1面傾斜共振和第2面傾斜共振的狀態均能夠進行抑制。

電掃描器40通過球頭柱塞10的設置而減小第2面傾斜共振，由此能夠為了專門減小由第1面傾斜共振產生的振幅而實施旋轉體26的重量平衡的調整。經過球頭柱塞10的位置調整和旋轉體的重量平衡的調整，電掃描器40能夠有效地減小高速驅動時的面傾斜共振。

球形部件21與軸向上的前側軸承8的位移聯動地進行旋轉。球形部件21一邊維持與前側軸承8的外周側面19抵接的狀態，一邊與軸向上的前側軸承8的位移相對應地處於可動。

在電掃描器40中，通過將在與前側軸承8抵接的狀態下自由旋轉的球形部件21包含於作為振動抑制構造的球頭柱塞10，從而能夠一邊吸收由熱膨脹引起的旋轉體26的尺寸變化，一邊對旋轉體26的振動進行抑制。

在第1面傾斜共振的振幅大且通過球頭柱塞10無法完全地吸收第1面傾斜共振的情況下，前側軸承8與振動吸收部件25進行碰撞，由此與實施方式1相同地，動能變換成熱能，面傾斜共振減小。

通過同時使用球頭柱塞10和振動吸收部件25，從而與單獨使用振動吸收部件25的情況相比，能夠進一步地提高面傾斜共振的減小效果。此外，實施方式2的電掃描器20或者實施方式3的電掃描器30也能夠同時使用球頭柱塞。在實施方式2的電掃描器20或者實施方式3的電掃描器30中同時使用球頭柱塞的情況下，形成下述結構即可，即，在框架殼體4形成與旋轉軸3正交的通孔，使配置於通孔的球頭柱塞與前側軸承8的外周面抵接。通過同時使用球頭柱塞和反射鏡安裝件12'或者安裝件按壓工具13'，從而與單獨使用反射鏡安裝件12'或者安裝件按壓工具13'的情況相比，能夠進一步地提高面傾斜共振的減小效果。

此外，在上述的說明中，例舉了將球形部件21抵接於前側軸承8的球頭柱塞10，但抵接於前側軸承8的部件不必須為球形。即，只要能夠以與軸向垂直地作用的力按壓前側軸承8，就也可以使用球頭柱塞10以外的部件。

實施方式5.

圖12是本發明的實施方式5涉及的雷射加工裝置的結構圖。雷射加工裝置50是通過脈衝雷射的照射而對加工對象物開孔加工出微細孔的裝置。雷射加工裝置50實施下述加工處理，即，依次掃描在加工對象物設定的多個加工位置，在多個循環中進行針對各加工位置的雷射照射。

雷射加工裝置50具有雷射振蕩器51、偏轉鏡52、Y軸電掃描器53、X軸電掃描器54、掃描反射鏡55、56、fθ透鏡57、電控驅動器60、以及控制裝置61。

作為加工對象物的工件58舉個具體的例子，為印刷基板。工件58載置於未圖示的XY工作檯。XY工作檯使工件58向包含X軸方向及Y軸方向的二維方向進行移動。

作為雷射光源的雷射振蕩器51射出雷射62。雷射62是以脈衝狀輸出的雷射束。印刷基板的加工的雷射束採用波長大於或等於9μm而小於或等於10μm的紅外光、波長為0.5μm的紫外光中的任意光。偏轉鏡52反射來自雷射振蕩器51的雷射62，使該雷射62向掃描反射鏡55行進。

掃描反射鏡55反射來自雷射振蕩器51的雷射62。掃描反射鏡55是使射入的雷射62偏轉的反射鏡。Y軸電掃描器53驅動掃描反射鏡55。掃描反射鏡56反射來自掃描反射鏡55的雷射62。掃描反射鏡56是使射入的雷射62偏轉的反射鏡。X軸電掃描器54驅動掃描反射鏡56。

掃描反射鏡55與Y軸電掃描器53的旋轉軸連結。Y軸電掃描器53使旋轉體以旋轉軸為中心軸地進行往復旋轉。Y軸電掃描器53沿Y軸方向對工件58處的雷射62的照射位置進行掃描。

掃描反射鏡56與X軸電掃描器54的旋轉軸連結。X軸電掃描器54使旋轉體以旋轉軸為中心軸地進行往復旋轉。X軸電掃描器54沿X軸方向對工件58處的雷射62的照射位置進行掃描。

fθ透鏡57使來自掃描反射鏡56的雷射62成為與工件58的加工表面垂直的雷射63。fθ透鏡57使雷射63聚光至工件58內的加工位置59。電控驅動器60驅動Y軸電掃描器53及X軸電掃描器54。

作為控制部的控制裝置61控制雷射加工裝置50的整體動作。控制裝置61對雷射振蕩器51的雷射62的振蕩、由電控驅動器60實現的Y軸電掃描器53及X軸電掃描器54的驅動進行控制。另外，控制裝置61對驅動XY工作檯的未圖示的電動機進行控制。

Y軸電掃描器53及X軸電掃描器54具有與實施方式1涉及的電掃描器1相同的結構。因此，Y軸電掃描器53及X軸電掃描器54能夠減小面傾斜共振，能夠實現高位置精度。雷射加工裝置50取得下述效果，即，能夠使雷射63向準確的加工位置59行進，能夠進行高精度的加工。

Y軸電掃描器53及X軸電掃描器54也可以具有與實施方式2涉及的電掃描器20、實施方式3涉及的電掃描器30以及實施方式4涉及的電掃描器40中的任意電掃描器相同的結構。雷射加工裝置50可以使Y軸電掃描器53及X軸電掃描器54中的至少任一者具有與實施方式1至4的電掃描器1、20、30、40中的任意電掃描器相同的結構。無論哪種情況，雷射加工裝置50都能夠使雷射63向準確的加工位置59行進，能夠實現高精度的加工。

標號的說明

1、1'、20、30、40 電掃描器，2、55、56 掃描反射鏡，3 旋轉軸，4 框架殼體，5 磁體，6 線圈，7 鐵心，8 前側軸承，9 後側軸承，10 球頭柱塞，11a、11b 通孔，12、12' 反射鏡安裝件，13、13' 安裝件按壓工具，14 緊固件，15 按壓板，16 預緊彈簧，17 墊圈，18 導線，19 外周側面，21 球形部件，22 主體部，23 螺旋彈簧，25 振動吸收部件，26 旋轉體，27 固定體，28 角度檢測器，29 圓盤，31 檢測器，41、251 內周面，50 雷射加工裝置，51 雷射振蕩器，52 偏轉鏡，53 Y軸電掃描器，54 X軸電掃描器，57 fθ透鏡，58 工件，59 加工位置，60 電控驅動器，61 控制裝置，62、63 雷射。