實體空心波導的製備裝置的製作方法

2023-09-12 20:09:50

專利名稱：實體空心波導的製備裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型有關一種空腔波導，用於傳輸雷射器的電磁輻射，主要應用在醫療，工業和軍事方面。
背景技術：
CO2雷射器廣泛應用於醫學，工業和軍事，大量的光纖和空心波導被用作雷射的傳輸介質。相對於以往用於通信的石英光纖，對于波長比較大的高能量CO2雷射，空腔波導被證實具有優異的傳輸特性，具有巨大的商業優勢。用來傳輸電磁波的具有電介質塗層的空心波導早在1950年開始就有所研究。但是直到1983年，用來傳輸紅外光波段的CO2雷射具有電介質層的空心波導才得以研製成功。(M.Miygi等在1983年的《應用物理快報》雜誌上發表了題為「Fabrication of Germanium-coatedNickel Hollow Waveguides for Infrared Transmission，，的文章)。從此，其他科研人員相繼提出各種空心波導的製造方法。空心波導現在廣泛用於醫療，工業加工及光傳輸等各個領域。尤其是波長在 10. 6 μ m和0. 6328 μ m的雷射特別適合在空心波導中傳輸。硬空心波導由不鏽鋼和在不鏽鋼內壁上鋁陶瓷管組成，已廣泛用於在硬內窺鏡內傳輸CO2雷射(參考美國專利N0: 4，917，083)。這些波導，受制於長度和承受功率，當雷射光源非正常的入射到波導中時，容易局部過熱或者融化。並且，由於陶瓷管缺乏內延展性而不易彎曲，因此不宜在柔性波導中應用。一些熟知的金屬空心波導由於沒有足夠的柔韌性，易局部過熱，限制了他們的最大輸入功率。另一種塑料型柔性空心波導的內徑較大，但是功率傳輸效率非常低。以下美國專利曾公布了空心波導和雷射器的光管N0 4, 652，083、NO 4，688，892、NO :4，805, 987、NO :4，913，505 和 NO :4，930, 863，這些專利作為參考。發明內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種實體空心波導及其製備裝置，本實用新型的實體、空心的柔性波導和硬波導，應用面廣，能用來傳輸紅外和可見光輻射。本實用新型所採用的技術方案是實體空心波導，包括實體空心管，實體空心管的內壁還設有增反電介質薄膜，所述實體空心管可採用銀、金、鋇、鉻、銅、鉬、鎳、錫、鎢、鉛、 鋅、鐵中的任何一種，當實體空心管採用銀時，增反電介質薄膜採用氟化銀、氯化銀、溴化銀或碘化銀中的任何一種。所述的實體空心波導的製備裝置，包括讓拋光液在實體空心管中流動的裝置，該裝置包括第一分液漏鬥、第一管接頭和第一燒杯，第一分液漏鬥通過第一閥門和第一管接頭相連，實體空心管接至第一管接頭的另一端，實體空心管的下端設有第一燒杯。所述的實體空心波導的製備裝置，包括用去離子水清洗的超聲波清洗裝置，該裝置包括第二燒杯、第一超聲波清洗機和支架，第二燒杯通過支架夾持，第二燒杯還安放在第一超聲波清洗機內，第二燒杯內設有去離子水，實體空心管浸入去離子水中。所述的實體空心波導的製備裝置，包括讓NH4OH溶液在實體空心管中流動的裝置，該裝置包括第二分液漏鬥、第二管接頭和第二燒杯，第二分液漏鬥依次通過第二閥門和第三閥門接至第二管接頭上，第二管接頭的另一端接至實體空心管，實體空心管之下設有第二燒杯。所述的實體空心波導的製備裝置，包括用NH4OH溶液清洗的超聲波清洗裝置，該裝置包括第三燒杯、第二超聲波清洗機和支架，第三燒杯通過支架夾持，第三燒杯還安放在第二超聲波清洗機內，第三燒杯內設有NH4OH溶液，實體空心管浸入NH4OH溶液中。所述的實體空心波導的製備裝置，包括讓NH4OH溶液在實體空心管中流動的裝置， 該裝置包括第一泵浦裝置、第一耦合器和第四燒杯，第一泵浦裝置包含兩個埠，其兩埠間設有第一減壓閥，第一泵浦裝置的入口端接有吸管，第一泵浦裝置的出口端接有第一耦合器，第一耦合器的另一端夾持實體空心管，第四燒杯內設有NH4OH溶液，吸管的入口和實體空心管的一端開口均浸入NH4OH溶液中。所述的實體空心波導的製備裝置，包括通過管子抽取去離子水的裝置，該裝置包括第二泵浦裝置、過濾器、預濾器、第二耦合器和第五燒杯，第二泵浦裝置包含兩個埠，其兩埠間設有第二減壓閥，第二泵浦裝置的出口端接有第二耦合器，第二耦合器的另一端夾持實體空心管，第二泵浦裝置的入口端接至過濾器的出口端，過濾器的入口端接至預濾器，預濾器的另一端接至吸管，第五燒杯中盛有去離子水，吸管的入口和實體空心管的一端開口浸入去離子水中。本實用新型的優點本實用新型的實體、空心的柔性波導和硬波導，應用面廣，能用來傳輸紅外和可見光輻射。本實用新型還提供了低成本、高效率的化學拋光和清潔的裝置，該裝置能用於製備實體空心波導。

圖1為本實用新型固體基材實體空心銀管；圖2為圖1中實體空心管的橫剖面；圖3為本實用新型中有電介質塗層固體實體空心銀波導結構；圖4為圖3中實體空心銀波導的橫剖面；圖5為本實用新型中CO2雷射(10.6μπι)單次反射的能量反射率隨空心管內壁薄膜厚度的改變而變化。薄膜材料的復折射率實部Ii1 = 2. 2，虛部Ic1 = 0. 0，實體空心管的基材復折射率實部 =14. 4，虛部1 = 56. 9 ；圖6為本實用新型中HeNe雷射(0. 633 μ m)單次反射的能量反射率隨空心管內壁薄膜厚度的改變而變化。薄膜材料的復折射率實部Ii1 = 2. 2，虛部Ic1 = 0. 0，實體空心管的基材復折射率實部 =14. 4，虛部1 = 56. 9 ；圖7為本實用新型中CO2雷射(10.6μπι)單次反射的能量反射率隨空心管內壁薄膜厚度的改變而變化。薄膜材料的復折射率實部Ii1 = 1.35，虛部1^ = 0.0，實體空心管的基材復折射率實部 =26. 0，虛部1 = 67. 3 ；圖8為本實用新型中CO2雷射(10.6μπι)單次反射的能量反射率隨空心管內壁薄膜厚度的改變而變化。薄膜材料的復折射率實部Ii1 = 1.95，虛部1^ = 0.0，實體空心管的基材復折射率實部 =14. 4，虛部1 = 56. 9 ；圖9為本實用新型中CO2雷射(10.6μπι)單次反射的能量反射率隨空心管內壁薄膜厚度的改變而變化。薄膜材料的復折射率實部Ii1 = 4. 0，虛部Ic1 = 0. 0，實體空心管的基材復折射率實部 =8. 7，虛部k2 = 58. 2 ；圖10為本實用新型中入射角(Φ)與反射次數隨實體空心彎曲銀波導(長度 50cm)曲率半徑的改變而變化圖，其中實體空心彎銀管波導的內徑為1mm，光束沿著導軸方向傳輸；圖11為本實用新型中入射角(Φ)與反射次數隨著實體空心彎曲銀波導(長度 50cm)曲率半徑的改變而變化圖，其中實體空心彎銀管波導的內徑是變化的，光束沿著導軸方向傳輸；圖12為本實用新型中光束在實體空心彎波導(長度50cm)中傳輸時反射次數隨著曲率半徑的改變而變化圖，其中實體空心彎銀管波導的內徑是變化的，光束沿著導軸方向傳輸；圖13為本實用新型中CO2雷射(10.6μπι)的透過率隨著實體空心彎曲銀波導的曲率半徑改變而變化圖。薄膜材料是厚度為0. 85 μ m的AgBr，直接塗覆在長度為50cm內徑為Imm的實體空心銀管內表面上；圖14a為本實用新型中一種通過銀管流過拋光液的裝置；圖14b為本實用新型中利用超聲波清洗機內去離子水清洗波導的實施案例；圖14c為本實用新型中在管子中流入50%氫氧化胺溶液的裝置；圖14d為本實用新型中50%氫氧化胺溶液超聲波清洗方法；圖He為本實用新型中任選圖14c或者圖14d中裝置來泵浦50%氫氧化胺溶液進入管子；圖14f為泵浦去離子水的裝置；圖15為本實用新型中，CO2雷射(10.6μπι)透過率隨著實體空心彎曲銀波導的曲率半徑變化的實驗結果。薄膜材料是0. 8 μ m厚度的AgBr，直接塗覆在長度為50cm內徑為 Imm的實體空心銀管內表面；圖16為本實用新型中，通過溴和碘液相反應形成滷化銀薄膜的裝置；圖17為氯氣相反應形成滷化銀的裝置；圖18為碘和溴汽相反應形成滷化銀的裝置；圖19為本實用新型中硬波導示意圖。
具體實施方式
有鑑於現有技術的缺點，本實用新型提供了一種方法，這種方法能將加強介質膜直接鍍在固體基材的內表面形成實體空心管。由於在空心管的最後成型過程中會導致其內表面的一些缺陷，嚴重影響內表面的光學質量，使製造直接塗覆的這種空心波導成為一個難點。電介質薄膜塗層或多或少地加重了表面的粗糙度，嚴重影響波導的傳輸特性，尤其是短波長雷射。本實用新型提供了在固態實體管的內表面直接生長一層薄膜的方法，使空心波導更商用化，延展性好，無論是紅外和可見光都具有更高的功率傳輸效率。該本實用新型提供了一個低成本和高製造效率的方法。本實用新型還提供一種用來拋光和清洗空心波導內表面的方法，使在內表面形成一個增反電介質薄膜之前，改善內表面的光學平滑度。本實用新型提供一種低成本、高效率的化學拋光和清潔的方法和儀器。本實用新型提供一種低成本、高效率方法來製造商用的、實體的、空心的柔性波導和硬波導，用來傳輸紅外和可見光輻射。本實用新型提供一種簡單容易的方法來製造低成本、有商業價值的、實體的、空心的柔性波導和硬波導。即通過直接在固態基材實體空心管的內表面上形成單層電介質薄膜。以下金屬可以用來製造這種管子銀、鋁、金、鋇、鉻、銅、鉬、鎳、錫、鎢、鉛、鋅、鐵及它們的合金。本實用新型提供獲得高反射率電介質薄膜的一種方法，所述高反射率電介質薄膜對於可見光和紅外光傳輸都具有最佳薄膜厚度。實體空心管的固體基材和化學反應物通過化學液相、氣相或者汽相反應來生成電介質，即空心管材料本身也參與化學反應。本實用新型提供一種製造低成本、高效率空心波導的簡單方法，來傳輸CO2雷射和 HeNe雷射。還包括通過化學反應在空心波導內表面鍍上增反電介質薄膜的空心波導。本實用新型中，最佳的加強電介質薄膜是具有復折射率的材料，復折射率實部為Ii1約小於4. 5， 虛部為h。消光係數與薄膜吸收特性有關，接近0。本實用新型提供了計算金屬滷化物和金屬氧化物薄膜的最佳厚度的詳細設計思路，此薄膜厚度有利於CO2雷射和HeNe雷射在實體空心波導內部的傳輸。薄膜在實體管內壁以非常小的內徑生長，可以通過「重量增益」的方法來控制厚度。根據本實用新型，在實體空心管內表面形成一個電介質薄膜，光可以在這種有塗層的管內傳輸，例如(X)2雷射和HeNe雷射，本實用新型所用成本要比以前的方法少，當可見光在波導中傳輸時，這種波導比固體光纖和其他形式的空心波導更有優勢。本實用新型提供一種方法，具體是通過拋光和內部清潔，使實體空心金屬管內表面的光學平滑度達到鏡面一樣的光滑平整。此後，為了更有效的傳輸電磁輻射例如CO2雷射和HeNe雷射。金屬管內壁將直接形成一個適宜的電介質薄膜。本實用新型提供一種高效的非接觸化學拋光方法，來減少原來實體空心管內表面的粗糙程度，光潔度可提高100倍。本實用新型提供一種高效的非接觸化學清洗方法，來清潔實體空心管的內壁，且在非接觸化學拋光反應後不造成任何表面損傷。本實用新型還公布一種高效的拋光和清洗方法，來提高實體空心銀管內壁光潔度，可比前人技術提高100倍。本實用新型中，實體空心管由金屬和金屬合金製造，例如銀和標準純銀。這裡的金屬和金屬合金最好具有高導熱性、卓越的延展性和光特性(在可見光內的反射性能)。除此之外，金屬和金屬合金還應該可以同滷素反應，以形成一層薄的純淨金屬滷化物薄膜。更好地，這種薄膜擁有統一的電介質塗層，具有好的紅外特性和優良的粘附性。可供選擇的還有金屬氧化物薄膜，它也可以生成統一的電介質塗層。也有可能用到在任何傳統的氧化劑作用下形成的相應金屬氧化物。例如在醫學內窺鏡等某些應用中，需要CO2氣體吹洗波導中心。這裡的氣體淨化用於阻止由于波導內在氣壓而噴射出的液體和殘渣。但是在波導中的CO2氣體會導致熱透鏡效應和其他傳輸損耗，將引起波導增溫。而且彎曲(特別是彎曲得很緊時)會帶來局部增溫。本實用新型中的波導當在挺直情況下使用時傳輸損耗可以忽略不計，當彎曲到很小的曲率半徑時，沒有明顯的傳輸損耗。此外，本實用新型中高熱導性波導能消除由於彎曲過大帶來的局部增溫、在高功率下熱透鏡效應或者塗層損傷。因此，本實用新型避免了管內局部增溫的隱患。本實用新型可以應用於醫學領域，電介質塗層本質上不能溶於體液、生理鹽水或者類似溶液。本實用新型提供傳輸電磁輻射的實體波導，主要包括固態實體空心管、和一層薄的原生的電介質薄膜，大約有20 μ m厚。其中的電介質薄膜在實體空心管的內壁生長，此薄膜有一個復折射率，實部為Ii1 (約小於4. 5)，虛部為Ic1 (基本上等於0)。此電介質薄膜可以由金屬滷化物或者金屬氧化物組成。管子可以由具有復折射率(實部n2> 2.0，虛部1 <85)的材料組成。此波導可以用於外科雷射手術。除此之外，本實用新型中的波導可以用於工業領域，傳統方式是鏡面反射傳輸或者將雷射裝置直接安裝在X-Y工作檯上以定位光束傳輸，本實用新型中光在波導中傳輸會非常靈活。有鑑於此，本實用新型中的波導可以採用輕型X-Y工作檯來定位。在實際應用中，雷射需要安置在現有設備上，本實用新型中的波導可以用一種非常簡單的方式進行添加。由波導控制的能量可以用作工業上的功率傳輸器件，用來切割、焊接、熱處理、製造和其他工序。本實用新型中的波導還提供一種傳統方法不可做到的焊接、切割、焊接和化合的方法。本實用新型可以提供一種方法，這種方法用來製造傳輸電磁輻射的實體空心波導，包括實體空心管內壁的拋光和清潔，在拋光和清潔過的實體空心管內壁形成達20 μ m 厚度的電介質薄膜。本實用新型還提供拋光和清潔步驟，具體可以如下之一接觸機械清洗和拋光、非接觸化學清洗和拋光、機械化學混合模式的清洗和拋光。為便於對本實用新型的結構及達到的效果有進一步的了解，現配合附圖並舉較佳實施例詳細說明如下。如圖1所示，是一種由均勻材料15組成的固體基材實體空心銀管10，圖2是圖1 的橫剖面。橫剖面可以是多種幾何構型，最好是圓形和矩形。本實用新型還包括，實體空心管10的內壁25光滑度極高，內壁25用來傳輸在特定波長內的電磁輻射20。例如，一個擁有接近完全光滑內壁的實體空心銀管，用來傳輸HeNe雷射(波長大約0. 6 μ m)，以非常小入射角Φ (大約75° )入射時，可以達到超過96%的功率傳輸效率。但是這種實體空心波導用作傳輸CO2雷射功率(波長大約10.6 μ m)時效率不是很高。用作實體空心管的銀大約 99%純度，最好是商業級別銀。本實用新型中的實體空心管也可以由以下一種或多種材料製作成金、鋇、鉻、銅、鉬、鎳、錫、鎢、鉛、鋅、鐵及它們的合金。如圖3所示，增反電介質塗層的固體基材實體空心銀波導30用來傳輸在紅外和可見光波段的電磁輻射35。這裡的實體空心波導30包括一個固體基材實體空心銀管10，增反電介質薄膜40直接形成於實體銀管10的內壁25上，這裡管子10上的材料15作為化學反應物之一生成增反電介質薄膜40。45為增反電介質薄膜40的內壁。圖4為圖3的橫剖面。相對於前人設計的擁有多層管和多層鍍膜的空心波導來說，本實用新型效率非常高且經濟效益好。
7[0065]圖3和圖4中，增反電介質薄膜40在實體空心銀管10的內壁25上形成之前，內壁25必須經過拋光和清洗以提高空心銀管10的內牆觀的表面光滑度。通常情況下，實體銀管10原樣的內牆觀最初的表面光滑度非常差。若在內牆觀上直接形成增反電介質薄膜40，實質上加重了實體空心銀管內壁的粗糙，還會導致嚴重的散射損耗。特別是當可見光通過空心波導30時，粗糙內壁的散射損耗可以導致薄膜的吸收損耗。本實用新型還突出的表現在，內牆觀和實體空心銀管10原樣通過非接觸化學方法來進行拋光和清洗，或者接觸機械方法，例如管刷。拋光和清洗過程會改善雷射在實體空心波導30中的傳輸特性。本實用新型中管內壁的拋光可以通過非接觸化學拋光和清潔方法，使其達到理想狀態。化學拋光溶液可以根據使用目的由不同材料兌取。本實用新型中一種可用於銀管拋光的溶液包括100ml的去離子水(DI)、65g CrO3 和5ml的純HCl。這種溶液是混合性酸溶液。本實用新型中，可用實體空心銀管基材和滷元素作為化學反應物生成薄膜。由於在管子的拉拔加工過程中會導致其內表面的一些缺陷，這可能影響到波導性能，所以在鍍膜時最好選用光滑平整的內壁。因此，對銀管的拋光和清洗能夠改善內壁的拋光性能。薄膜電介質塗層能改善在內壁反射的光的垂直極化分量和平行極化分量的傳輸特性。這種波導性能取決於實體空心管的內壁拋光、薄膜的厚度和薄膜的形態。有幾種形成在銀表面的滷化物，他們都擁有立方晶體結構，各向同性，具有非雙折射性。各向同性性能非常重要，因為在薄膜上生長的雙折射晶體會促使光過多的散射，這裡的散射取決於晶體尺寸且與波長相關。金屬滷化物薄膜一般具有粘附性，即使經過重複彎曲，也不會破裂、剝落或者裂成碎片。所以，這種方法非常適用於製作軟波導和硬波導。例如金屬氧化物薄膜等其他的薄膜，會沉積在經過拋光和清洗的實體空心銀波導的內壁。本實用新型中的低成本實體空心銀波導對傳輸不同波長的混合雷射擁有更優異的性能，例如CO2雷射(大約10. 6 μ m)和HeNe雷射(大約0. 6 μ m)的混合雷射，這兩種雷射廣泛應用於外科手術、工業加工和軍事應用等其他領域。為了得到一個最佳的傳輸10. 6 μ m 和0.6μπι波段雷射的波導薄膜厚度，可以根據在實體反射金屬(比如銀管)表面的薄膜厚度來求解出平均偏振雷射傳輸性能。這裡的薄膜材料的復折射率實部Ii1 = 2. 2，虛部Ic1 = 0.0。實體空心管的基材復折射率n2= 14. 4，虛部1 = 56. 9，計算結果分別見圖5和圖6， 其中的計算模型為直接在實體空心銀基底上形成的滷化銀。薄膜的厚度與表面區域的單位面積重量相關。例如，在Imm內徑的銀管上生成的溴化銀(AgBr)的所產生的質量增量ΔΜ 與AgBr厚度H的關係為//(/^) = 11.56103^^
L(cm)上式中，L為管子的長度。本實用新型中的低成本實體空心波導對(X)2雷射和HeNe雷射都具有非常高的傳輸效率，在「傳輸窗口，，相關波段內，通過控制形成於實體空心管內部的薄膜厚度來製作空心波導。測量管子內壁的薄膜厚度非常難，尤其是內徑非常小的管子。目前市售的薄膜測量儀器都只為平坦表面且為可見光波長而設計。根據本實用新型的另一個實施案例，內徑非常小的管子內壁的薄膜厚度可以通過「重量增益」的方式成功的測量，而且薄膜厚度可以精確地控制，參考圖5和圖6。[0074]本實用新型中的「重量增益」測量法可以包括以下步驟測量實體空心管的尺寸和重量；測量實體空心管在拋光和清洗之後的尺寸和重量；測量實體空心管內壁形成了增反電介質後的重量。根據本實用新型中不同薄膜材料在不同基材的管子的應用，圖7、圖8和圖9是CO2 雷射單次反射的反射率隨薄膜厚度變化的圖示。結果表明在20 μ m的薄膜厚度內存在很多 「薄膜厚度窗口」，在非常小的入射角Φ (約等於70° )的正常情況測得的平均極化的(X)2 雷射的單次反射率可高達97. 5%，薄膜的復折射率實部Ii1小於4. 5，虛部Ic1約等於0，實體空心管的基底復折射率實部n2約大於2. 0，虛部1 約小於85。換句話說，用來傳輸電磁輻射的低成本和高效實體空心波導可以由直接形成各種固體基底上的增反電介質薄膜製成， 薄膜的復折射率實部約小於4. 5，虛部約等於0。某些實體空心金屬或金屬合金管的光學特性與銀或銀合金很類似，參考表1。表1實體空心管材料在10. 6 μ m波長時的傳輸特性參數
權利要求1.實體空心波導的製備裝置，其特徵在於包括讓拋光液在實體空心管(10)中流動的裝置，該裝置包括第一分液漏鬥(60)、第一管接頭(6 和第一燒杯(64)，第一分液漏鬥 (60)通過第一閥門(61)和第一管接頭(62)相連，實體空心管(10)接至第一管接頭(62) 的另一端，實體空心管(10)的下端設有第一燒杯(64)。
2.根據權利要求1所述的實體空心波導的製備裝置，其特徵在於包括用去離子水清洗的超聲波清洗裝置，該裝置包括第二燒杯(66)、第一超聲波清洗機(68)和支架(116)，第二燒杯(66)通過支架(116)夾持，第二燒杯(66)還安放在第一超聲波清洗機(68)內，第二燒杯(66)內設有去離子水，實體空心管(10)浸入去離子水中。
3.根據權利要求1所述的實體空心波導的製備裝置，其特徵在於包括讓NH40H溶液在實體空心管(10)中流動的裝置，該裝置包括第二分液漏鬥(70)、第二管接頭m和第二燒杯(73)，第二分液漏鬥(70)依次通過第二閥門(71)和第三閥門(117)接至第二管接頭 (72)上，第二管接頭(72)的另一端接至實體空心管(10)，實體空心管(10)之下設有第二燒杯(73)。
4.根據權利要求1所述的實體空心波導的製備裝置，其特徵在於包括用NH40H溶液清洗的超聲波清洗裝置，該裝置包括第三燒杯(75)、第二超聲波清洗機(76)和支架(116)， 第三燒杯(7 通過支架(116)夾持，第三燒杯(7 還安放在第二超聲波清洗機(76)內， 第三燒杯(75)內設有NH40H溶液，實體空心管(10)浸入NH40H溶液中。
5.根據權利要求1所述的實體空心波導的製備裝置，其特徵在於包括讓NH40H溶液在實體空心管(10)中流動的裝置，該裝置包括第一泵浦裝置(77)、第一耦合器(79)和第四燒杯(81)，第一泵浦裝置(77)包含兩個埠，其兩埠間設有第一減壓閥(78)，第一泵浦裝置(77)的入口端接有吸管(82)，第一泵浦裝置(77)的出口端接有第一耦合器(79)， 第一耦合器(79)的另一端夾持實體空心管(10)，第四燒杯(81)內設有NH40H溶液，吸管 (82)的入口和實體空心管(10)的一端開口均浸入NH40H溶液中。
6.根據權利要求1所述的實體空心波導的製備裝置，其特徵在於包括通過管子抽取去離子水的裝置，該裝置包括第二泵浦裝置(83)、過濾器(85)、預濾器(86)、第二耦合器(87)和第五燒杯(88)，第二泵浦裝置(8 包含兩個埠，其兩埠間設有第二減壓閥 (84)，第二泵浦裝置(8 的出口端接有第二耦合器(87)，第二耦合器(87)的另一端夾持實體空心管(10)，第二泵浦裝置(8 的入口端接至過濾器(8 的出口端，過濾器(8 的入口端接至預濾器(86)，預濾器(86)的另一端接至吸管(82)，第五燒杯(88)中盛有去離子水，吸管(82)的入口和實體空心管(10)的一端開口浸入去離子水中。
專利摘要本實用新型公開了一種實體空心波導及其製備裝置，該波導包括實體空心管(10)，實體空心管(10)的內壁還設有增反電介質薄膜(40)，所述實體空心管(10)可採用銀、金、鋇、鉻、銅、鉬、鎳、錫、鎢、鉛、鋅、鐵中的任何一種，當實體空心管(10)採用銀時，增反電介質薄膜(40)採用氟化銀、氯化銀、溴化銀或碘化銀中的任何一種。本實用新型的實體、空心的柔性波導和硬波導，應用面廣，能用來傳輸紅外和可見光輻射。
文檔編號G02B6/032GK202075448SQ20102064910
公開日2011年12月14日 申請日期2010年12月1日 優先權日2010年12月1日
發明者顧共恩 申請人:武漢奧新科技有限公司