一種基於離子注入平行限束光欄的結構的製作方法

2023-10-17 20:29:39

專利名稱：一種基於離子注入平行限束光欄的結構的製作方法
技術領域：
本發明是一種新型大傾角單片式離子注入機光路器件，特別涉及半導體製造離子注入工藝中所用的離子注入機，屬於半導體器件製造領域。
背景技術：
離子注入機是現代半導體集成電路製造中必不可少的工藝設備。現今的半導體集成電路製造工藝對離子注入機的要求越來越高。不僅對整機可靠性、束流純淨度、束流均勻性、注入角度等提出了更高的要求，而且對注入機的離子能量範圍、束斑形狀、離子束傳輸效率等也提出了很高的要求，並對其工藝和設備的要求越來越高。特別是對注入機光路系統的要求更加嚴格。為了提高注入機粒子光束的品質，有效地減少離子濺射汙染，得到穩定的高精度離子光束，本發明採用一垂直方向距離可調光欄，用於遮擋平行束在垂直方向一定範圍以外的離子束。上下光欄板為鋸齒型，並採用高純高密度石墨材料，可承受大功率離子束的轟擊，且具有光欄應有的銳邊效果。

發明內容
本發明專利是離子注入過程中，為遮擋平行束在垂直方向一定範圍以外的離子束，本發明通過以下技術方案實現一種離子注入限束光欄包括真空腔體(1)、上光欄板(2)、下光欄板(3)、伺服電機G)、滑動軸一(5)、滑動軸二(6)。所述的真空腔體(1)安裝伺服電機G)，相應位置開孔，穿過滑動軸一(5)、滑動軸二(6)；所述的滑動軸一(5)、滑動軸二(6)上端連接伺服電機，下端分別連接上光欄板⑵、下光欄板⑶；所述的伺服電機⑷連接滑動軸一(5)、 滑動軸二(6)，可同時驅動滑動軸一( 、滑動軸二(6)做等速相反的軸向調節運動；所述的上光欄板( 安裝在滑動軸一(5)的下端，所述的下光欄板C3)安裝在滑動軸二(6)的下端，所述的滑動軸一(5)和滑動軸二(6)的上端都與伺服電機⑷相連，在伺服電機⑷的驅動下進行等速相反的調節運動，實現上光欄板(2)與下光欄板(3)之間距離的大小調節。 上光欄板( 和下光欄板C3)為鋸齒型，可承受大功率離子束的轟擊，且具有光欄應有的銳邊效果。本發明主要特點是，滑動軸一(5)與滑動軸(6)在同一伺服電機(4)驅動下作等速相反的調節運動，實現上光欄板O)與下光欄板(3)之間距離的大小調節。離子束從一端通過限束光欄，平行束在垂直方向上處在上光欄板( 與下光欄板C3)之間間隙範圍以外的離子束會受到阻擋，只允許上光欄板(2)與下光欄板(3)之間間隙範圍內的離子束通過，有效的保持離子束的穩定性，獲得高精度離子束。


本發明的具體實施方式
。在圖中，相同的附圖標記表示相同的部件。
圖1是本發明的一種實施方式的示意圖。 具體實施方案下面結合附圖的具體實施例對本發明作進一步介紹，應該理解，這些描述都是說明性的，本發明不限於此。本發明的範圍僅由所附權利要求的範圍所限定。圖1給出一種基於離子注入平行限束光欄的結構，包括真空腔體(1)、上光欄板 O)、下光欄板(3)、伺服電機G)、滑動軸一(5)、滑動軸二(6)。所述的真空腔體(1)安裝伺服電機G)，相應位置開孔，穿過滑動軸一(5)、滑動軸二(6)；所述的滑動軸一(5)、滑動軸二(6)上端連接伺服電機G)，下端分別連接上光欄板O)、下光欄板(3)；所述的伺服電機(4)連接滑動軸一(5)、滑動軸二(6)，可同時驅動滑動軸一(5)、滑動軸二(6)做等速相反的軸向調節運動，伺服驅動可採用編碼位置檢測，精確控制運動調節量；所述的上光欄板 (2)安裝在滑動軸一(5)的下端，所述的下光欄板C3)安裝在滑動軸二(6)的下端，光欄板 O)、下光欄板C3)可採用高純石墨製作，降低離子束轟擊產生濺射汙染；所述的滑動軸一 (5)和滑動軸二(6)的上端都與伺服電機(4)相連，在伺服電機的驅動下進行等速相反的調節運動，實現上光欄板(2)與下光欄板(3)之間距離的大小調節，滑動軸一(5)、滑動軸二(6)與真空腔體(1)之間設計真空密封，克服運動對真空的影響。所述的上光欄板 (2)和下光欄板C3)為鋸齒型，可承受大功率離子束的轟擊，且具有光欄應有的銳邊效果。本發明可隨時按需求對垂直方向上下光欄距離進行有效調節，使其能有效阻止需求外的離子束對光束的汙染，上下光欄由同一個電機驅動，並且光欄是採用高純度石墨材料設計製作的，可承受大功率離子束的轟擊，具有光欄應有的銳邊效果，使用壽命長，可靠性高。本發明的特定實施例已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，或者慣用手段的直接替換，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求
1.一種基於離子注入平行限束光欄的結構，其特徵在於該結構包括真空腔體(1)、 上光欄板(2)、下光欄板(3)、伺服電機(4)、滑動軸一 (5)、滑動軸二 (6)。
2.如權利要求1所述的一種基於平行限束光欄，其特徵在於安裝在滑動軸一(5)下端的上光欄板( 和安裝在滑動軸二(6)下端的下光欄板(3)，可在伺服電機(4)的驅動下做等速相反的調節運動，實現上光欄板O)、下光欄板(3)之間距離的大小調節；
3.如權利要求1所述的一種基於平行限束光欄，其特徵在於上光欄板O)、下光欄板 (3)為鋸齒型，可承受大功率離子束的轟擊，且具有光欄應有的銳邊效果。
全文摘要
本發明公開了一種基於離子注入平行限束光欄的結構，涉及離子注入機，屬於半導體製造領域。該結構包括真空腔體(1)、上光欄板(2)、下光欄板(3)、伺服電機(4)、滑動軸一(5)、滑動軸二(6)。所述的上光欄板(2)安裝在滑動軸一(5)的下端，所述的下光欄板(3)安裝在滑動軸二(6)的下端，所述的滑動軸一(5)和滑動軸二(6)的上端都與伺服電機(4)相連，在伺服電機(4)的驅動下進行等速相反的調節運動，實現上光欄板(2)與下光欄板(3)之間距離的大小調節。上光欄板(2)和下光欄板(3)為鋸齒型，可承受大功率離子束的轟擊，且具有光欄應有的銳邊效果。
文檔編號H01J37/30GK102446684SQ20101051347
公開日2012年5月9日 申請日期2010年10月13日 優先權日2010年10月13日
發明者伍三忠, 劉世勇, 唐景庭, 孫勇, 曹遠翔 申請人:北京中科信電子裝備有限公司