基片容納託盤的製作方法

2023-10-22 23:06:12 2

專利名稱：：基片容納託盤的製作方法
技術領域：
：本發明涉及一種用於輸送方形或矩形基片的基片容納託盤(substrateaccommodatingtray)，該基片例如為用於顯示器等的玻璃基片。該玻璃基片用於生產例如液晶顯示裝置的顯示板。
背景技術：
：用於液晶顯示裝置的顯示板通常包括一對相對設置並密封在一起的顯示器玻璃基片，以及封入該對玻璃基片之間的液晶材料。為了生產這樣的液晶板，需要將玻璃基片輸送到顯示板生產車間。通常使用容納多個玻璃基片的玻璃基片容納箱來輸送玻璃基片。玻璃基片用於液晶顯示裝置和各種類型的顯示裝置的顯示板中。上述類型的玻璃基片容納箱也用於輸送用於除液晶顯示裝置之外的各種類型的顯示裝置上的玻璃基片。為了生產顯示板，需要相同類型的玻璃基片容納箱來輸送作為半成品的在玻璃基片上具有電極的顯示板。近來，具有0.7mm或更小厚度的玻璃基片廣泛應用於各種類型的顯示板中。隨著玻璃基片尺寸的增加，送往顯示板生產車間的玻璃基片的平面面積增加，從而具有1.3m或更大邊長的矩形玻璃基片得以應用。這樣大而薄的玻璃基片很容易翹曲。當多個這樣的玻璃基片被以一定間隔垂直放置在容納箱中時，玻璃基片在輸送中可能翹曲、互相接觸和破裂。為了避免這些情況，需要在箱子內的玻璃基片之間保持適當的距離。例如，對於具有0.7mm厚度和1.3m或者更大邊長的玻璃基片，在用寬20至30mm的支撐件沿著其邊緣垂直支撐時，在其中心可能翹曲90mm或更多。因此，在玻璃基片容納箱內，需要在箱子內的玻璃基片之間沿著水平方向保持至少100mm或更大的距離。通常使用具有一對平坦的吸附墊片的吸附手柄從玻璃基片收納箱中取出玻璃基片。在使用這樣的玻璃基片吸附手柄時，各吸附墊片需要插入兩個鄰近的玻璃基片之間，這就需要足夠的空間來插入吸附墊片。平坦的吸附墊片通常具有大約20mm的厚度。因此，在箱子內的玻璃基片之間的距離必須是防止甚至在玻璃基片翹曲時玻璃基片也不會互相接觸的足夠距離的總和。另外，還需要大約20mm的距離插入吸附墊片。由於放置在玻璃基片容納箱內的多個玻璃基片需要在基片之間具有合適的距離，能夠放置在具有規定尺寸的玻璃基片容納箱內的玻璃基片的數量受到限制。因此降低了輸送和儲存的空間利用率，也就是每單位體積能容納的玻璃基片的數量。具有1.3m或更大的邊長的每個玻璃基片大約重5kg。當在玻璃基片容納箱內放置的玻璃基片的數量為20或更多時，一名工人將無法搬運這些玻璃基片。為了解決這些問題，日本特開平專利公開No.10-287382公開了一種用於容納一個玻璃基片的基片託盤盒。基片託盤盒的基片容納區具有格狀結構。基片託盤盒含有可插入接合結構(insertableengagementstructure)，其中多個基片託盤盒可以垂直堆疊。這樣的基片託盤盒允許容納大而薄的玻璃基片而無翹曲，從而在輸送過程中不會破裂。由於能垂直堆疊更多的基片託盤盒以便輸送和儲存，因此提高了空間利用率。在日本特開平專利公開No.10-287382中公開的基片容納託盤內，放置的玻璃基片由支撐杆支撐，並且玻璃基片吸附手柄的各吸附墊片插入該玻璃基片下面的空間。這樣，用於吸附墊片的空間增加了基片容納託盤的尺寸。另外，由於該基片容納區成形為方格狀，託盤的強度有限，從而垂直堆疊的基片託盤的數量受到限制。為了解決這些問題，考慮一個基片容納託盤，其用於將玻璃基片放置在平坦狀支撐件上而不發生翹曲。然而，不發生翹曲地將玻璃基片放置在支撐件上時，支撐件與玻璃基片大面積接觸，因此，與支撐件的特性有關，玻璃基片在輸送過程中有可能破裂。為了防止玻璃基片破裂，可將合成樹脂泡沫體用作支撐件。合成樹脂泡沫體具有較好的彈性。然而，即使當支撐件是用合成樹脂泡沫體製成時，仍然存在以下問題。也就是說，與其特性有關，玻璃基片的表面受到支撐件的破壞。另外，由於玻璃基片的摩擦而產生粉屑，並粘附在玻璃基片上。為了防止粉屑粘附在玻璃基片上，考慮使支撐件具有抗靜電作用。例如，日本特開平專利公開No.2003-251769公開了抗靜電聚丙烯樹脂製成的泡沫層合薄片。該抗靜電聚丙烯樹脂的泡沫層合薄片用作重物(例如大尺寸的液晶板)的包裝。在該泡沫薄片內，混合有抗靜電劑的非泡沫聚丙烯樹脂層至少形成在泡沫聚丙烯樹脂層的一側，並且，該泡沫薄片適合用作液晶板的包裝材料。然而，這種抗靜電聚丙烯樹脂製成的泡沫層合薄片的彈性不足、剛性過高(即，高硬度)，從而引起玻璃基片破裂，或者因玻璃基片的摩擦而產生粉屑。在混合有抗靜電劑的非泡沫聚丙烯樹脂層內，由於玻璃基片的摩擦抗靜電劑很容易釋放出來，因此帶電性不能長時間穩定。另外，由於非泡沫樹脂層是具有泡沫層和非泡沫層的分層結構，因此不易生產。通過將抗靜電劑例如碳等混合到合成樹脂珠中作為原料並使其起泡而製成成型製品。由於泡沫板表面的易碎性增加，即該表面變得不牢固，在支撐重物例如玻璃基片時該成型製品會因碰撞而破碎。(參考日本特開平專利公開No.2003-251769的第段)此外，為了給泡沫薄片提供抗靜電性，而將具有導電性的抗靜電劑與作為有機材料的樹脂混合時，泡沫薄片表面的樹脂與玻璃基片的表面接觸，並轉移到其上。在溫度和溼度不變的條件下，例如，在潔淨室內，樹脂幾乎不轉移到玻璃基片上，並且是不可見的。因此，這對於玻璃基片上具有電極的液晶板等並不是大問題。然而，在溫度為大約70℃並且溼度為大約80％的條件下，例如在夏季通過卡車輸送期間，如果樹脂在用於液晶板之前轉移到玻璃基片上，則用於製造液晶板的精密生產的生產率降低。本發明可解決這些問題，並具有以下目的，即提供一種基片容納託盤有效地輸送和儲存例如顯示器玻璃基片等的基片。該基片容納託盤通過提供抗靜電摩擦能夠有效地輸送和儲存基片而沒有粉屑粘附在基片上，並且不會打破基片。該基片容納託盤不存在產生靜電摩擦的問題，即託盤的樹脂不會轉移到基片上。
發明內容根據本發明的一方面，提供了一種基片容納託盤，其具有平坦狀支撐件用來放置基片。該支撐件具有小於1014Ω/□的表面電阻，並包含能防止樹脂轉印到基片上的樹脂泡沫體。在本發明的一個實施例中，支撐件是成型製品(moldedobject)，其通過在聚乙烯樹脂珠上塗敷導電顆粒並使其在塗敷狀態下起泡。在本發明的一個實施例中，導電顆粒是碳顆粒。在本發明的一個實施例中，支撐件具有1014至108Ω/□的表面電阻。在本發明的一個實施例中，支撐件排列在被框架件包圍的內部區域上。在本發明的一個實施例中，多個支撐件排列在框架件的內部，從而使放置的基片不會翹曲。本發明的基片容納託盤包括用導電樹脂泡沫體製成的導電支撐件，該導電樹脂泡沫體上的樹脂不轉移到基片上。因此，當基片在高溫度和高溼度的條件下輸送和儲存時，該託盤能防止樹脂轉移到基片上。另外，由於容納的基片不會破裂並且不會粘附粉屑，當基片被加工成面板等時，該託盤能防止生產率降低。另外，由於可以長時間穩定抗靜電作用，因此可以長時間穩定地使用該託盤。圖1為用於本發明的基片容納託盤的示範實施例的平視圖和底視圖。圖2(a)為基片容納託盤沿著圖1的A-A線的部分剖視圖。圖2(b)為在兩個基片容納託盤垂直堆疊的狀態下相應於圖2(a)的部分剖視圖。具體實施例方式在下文，將通過參考實施例的方式描述本發明。圖1是用於本發明的基片容納託盤的示範實施例的平視圖和底視圖。圖2(a)是基片容納託盤沿著圖1的A-A線的部分剖視圖。在圖1中，圖中間虛線的左邊是平視圖，右邊是底視圖。基片容納託盤10用於容納和輸送矩形玻璃基片，該矩形玻璃基片用於使用液晶顯示板的顯示器；具體地，矩形或方形玻璃基片具有1.3m或更長的邊長以及0.7mm或更薄的厚度。基片容納託盤10包括矩形框架件12，以及四個平坦狀支撐件11，該支撐件11以與水平方向平行的方向並排布置在框架件12包圍的內部區域內。玻璃基片20(圖2(a))水平放置在該四個支撐件11上。框架件12具有矩形形狀，且包括一對縱向框架12a，以及一對橫向框架12b。框架12a具有沿縱向大約2000mm的長度，框架12b具有沿垂直於縱向的橫向大約1700mm的長度。縱向框架12a和橫向框架12b相互靠近，並通過連接件和鉚釘連接。各支撐件11具有相同的構造。各支撐件11為方形和平板形，由導電泡沫聚乙烯樹脂製成，並且厚度大約為15mm，邊長大約為800mm。該泡沫聚乙烯樹脂具有彈性和導電性，其中表面電阻小於1014Ω/□。各支撐件11通過模製而成，即在泡沫聚乙烯珠上塗敷碳顆粒作為原料，在塗敷狀態下在金屬模具上起泡並模製成預定形狀。在該工藝中，碳顆粒用作導電材料。例如支撐件11由AsahiKasei公司製造的名為「MEF-CB」的產品模製而成。融化塗敷在每個珠上的碳顆粒並通過使珠起泡而將其互相結合，從而，在支撐件11的內部當然存在結合的碳。因此，可認為支撐件11是導體，並且能防止帶電。在導電泡沫聚乙烯樹脂表面每單位面積的電阻(AsahiKasei公司製造的名為「MEF-CB」的產品)為107至108Ω，並且該導電泡沫聚乙烯樹脂用於各支撐件11。當通過聚乙烯樹脂與碳顆粒混合併使其在混合狀態起泡而製備成型製品時，該成型製品表面每單位面積的電阻為1011至1012Ω。因此，導電泡沫聚乙烯樹脂的導電性明顯提高。由於碳顆粒被融化並結合，導電泡沫聚乙烯樹脂的脆度降低，即支撐件11變得堅固，不會因為振動等而破裂，並且碳也不會由於摩擦而脫落，這不同於在碳顆粒和珠混合的狀態下起泡的情況。四個支撐件11的每個都布置在框架件12的內部，以便與框架件12的各轉角區接合。在框架件12上，沿著橫向框架12b放置了一對支撐件11，從而形成第一空間10a。第一空間10a在一對縱向框架12a之間的中間區域，具有固定寬度。因此，在框架件12內的對支撐件11被第一空間10a分成兩部分。支撐件13沿著第一空間10a與一對支撐件11的外圍部分接合。沿著橫向框架12b放置這些支撐件11。由於沿著橫向框架12放置一對支撐件11，在橫向框架12b的中心和支撐件13的中心之間形成第二空間(第二開口)10b。第二空間10b具有小於第一空間10a的固定寬度。因此，沿著橫向框架12b的各支撐件11也被第二空間10b分成兩部分。在支撐件11內，在框架件12的轉角附近配置方形開口11a。配置的方形開口11a的各邊平行於框架件12的縱向框架12a或橫向框架12b的任一邊。開口11a具有小於各支撐件11的1/4表面積的面積。沿著框架件12的橫向框架12b布置一對支撐件11，具有線束形狀(linearbeamshape)的支撐件13沿著縱向的整個邊與支撐件11接合安裝，該邊沿著第一空間10a。支撐件13由鋁製成，並構建在框架件12的一對縱向框架12a之間。在與支撐件13接合的各支撐件11內，平行各支撐件13插入一對加強件(reinforcementmember)14。加強件14布置在框架件12的一對縱向框架12a之間。加強件14由鋁管制成用於增加支撐件11的強度。各加強件14布置在一對縱向框架12a之間。因此各加強件14暴露於第二空間10b。各加強件14分別安裝在支撐件11上的通孔(throughhole)內。各通孔在各支撐件11的底面的邊上開口。利用各支撐件11的彈力加強件14和15從通孔的開口插入各自對應的通孔內，從而如此進行安裝。加強件14不暴露在放置了玻璃基片20的支撐件11的表面上。圖2(a)是沿著圖1的A-A線的部分剖視圖。沿著框架件12的縱向框架12a和橫向框架12b在支撐件11的各外圍部分配置框架接合區11e。框架接合區11e與框架12a和框架12b接合。各框架接合區11e具有確定的厚度，其上表面和下表面是水平的。在各支撐件11中，分別配置上投影區11f，這些上投影區11f從各框架接合區11e向上連續投影。對著框架接合區11e的上投影區11f的內區具有水平平面，並且該平面比框架接合區11e的上表面略高，比上投影區11f的上表面略低。玻璃基片20放置在該平面上。框架件12的縱向框架12a和橫向框架12b彼此具有相同的橫截面形狀，並且都是由例如模製鋁(moldedalumium)製成。在各框架12a和12b上，沿著整個外圍配置框架本體區12c，以便與支撐件11內的框架接合區11e的各邊接觸。該框架本體區12c具有中空、矩形平行管(paralleipiped)形狀的橫截面。框架本體區12c從框架接合區11e的上表面和下表面向上和向下投影。從框架本體區12c向上投影的末端部分設置得比上投影區11f的上表面高，框架本體區12c的下表面設置得比支撐件11的底面低。在框架本體區12c上，沿著整個外圍配置上接合區12d。該上接合區12d具有水平帶狀板形狀，並且與支撐件11的框架接合區11e的上表明接觸。在框架本體區12c內，配置了下接合區12e。該下接合區12e與框架接合區11e的下表面接觸。該下接合區12e附著在框架本體區12c的下邊，具有平坦、中空、矩形平行管形狀的截面，並在內側具有斜削(tapper)形的下表面。在框架本體區12c上，沿著整個外圍在大約與上接合區12d等高處配置凸緣區(flangesection)12f。該凸緣區12f對著上接合區12d並向外投影。在水平狀態轉移基片容納託盤10時，該凸緣區12f用於通過卡緊裝置等卡緊該基片容納託盤10。可以垂直堆疊基片容納託盤10。如圖2(b)所示，當各基片容納託盤10垂直堆疊時，框架件12的框架本體區12c的頂面與第二容納託盤10的框架本體區12c的底面接合，該第二容納託盤10置於第一容納託盤10之上以便得到支撐。可以定位框架本體12c的頂面並與框架本體區12c的底面接合。如圖2(b)所示，容納玻璃基片20的多個基片容納託盤10能垂直堆疊和輸送。在這種情況下，通過定位並將容納託盤10底部的框架本體區12c的頂面與容納託盤頂部的框架本體區12c的底面接合而接合在頂部的基片容納託盤10和在底部的基片容納託盤10。因而，垂直堆疊的基片容納託盤10不會在水平方向相互滑動。由於放置在各支撐件11上的玻璃基片20的表面設置得比框架件12的頂面低，因此玻璃基片20的表面不會與堆疊在頂部的基片容納託盤10接觸。在具有上述結構的基片容納託盤10內，將用於液晶板的玻璃基片20放置在底部區域11的頂面上，該玻璃基片20具有例如0.7mm或更小的厚度，以及1300mm或更大的邊長。玻璃基片20沒有電極等的表面與底部區域11的頂面接觸。玻璃基片20在水平狀態下由各支撐件11支撐而無翹曲。將玻璃基片20放置在包括具有彈性的導電泡沫聚乙烯樹脂的四個支撐件11上。支撐件11比起聚丙烯泡沫等具有更好的彈性和耐磨性。因此，可以防止玻璃基片20由於在輸送期間與基片容納託盤10碰撞等而破裂。另外，可以控制因與玻璃基片摩擦而產生粉屑。由於各支撐件11是可導電的，因此可以防止基片20帶電，從而粉屑不會粘附在玻璃基片20上。因為各支撐件11是通過在聚乙烯樹脂珠上塗敷碳作為導電材料並在塗敷狀態下起泡模製而成的，所以包含在各支撐件11內的聚乙烯樹脂甚至在高溫度和高溼度的條件下也不會轉移到玻璃基片20上。因此，在生產玻璃基片20以製備液晶顯示板時，可以防止生產率降低。在本發明的基片容納託盤10中，當取出所放置的玻璃基片20時，將移出銷(removingpin)31插入第一和第二空間10a和10b內，配置在相鄰的支撐件11之間，以及在各支撐件11中配置的第一開口11a內。(參照圖1)例如，四個移出銷31插入在各支撐件11中配置的開口11a內的轉角中，該轉角靠近各框架件12的轉角。兩個移出銷31插入各第二空間10b中靠近各橫向框架12b的位置，第二空間10b形成在框架12的橫向的中心處。三個移出銷31沿著各支撐件13插入第一空間10a內，該第一空間10a形成在框架件12的縱向的中心處。然後，總共12個移出銷31向上抬起容納在基片容納託盤10內的玻璃基片20，從而將玻璃基片20從基片容納託盤10內取出。在上述實施例中，玻璃基片20由四個支撐件11支撐。本發明不限於這一結構，只要放置的基片至少沒有翹曲，可以通過多個或一個支撐件支撐基片例如玻璃基片20等。在上述實施例中，基片容納託盤10用於容納液晶顯示板的玻璃基片20。由本發明的基片轉移裝置輸送的基片容納託盤並不限於用於這樣的基片，還可以是用於其它類型的顯示板的玻璃基片。由本發明的基片轉移裝置輸送的基片不限於玻璃基片，還可以是合成樹脂基片等。如上所述，本發明用本發明的優選實施例進行了解釋。本發明不限於該實施例。本發明的適用範圍應當僅通過權利要求書來詮釋。使用者可根據本發明優選的具體實施例的描述，基於本發明的描述和技術常識實施等效的範圍。在本說明書引用的專利、專利申請以及文獻用作與本說明書相關的參考，其內容與說明書中具體描述的內容相同。如上所述，在基片容納託盤中，可以高效輸送和儲存如顯示器玻璃基片等的基片而不會破裂和粘附粉屑，並且能防止生產率降低。基片容納託盤例如用於輸送方形或矩形基片如顯示器玻璃基片等，並且該玻璃基片用於生產例如液晶顯示裝置的顯示板。權利要求1.一種基片容納託盤，其具有用於放置基片的平坦狀支撐件，其中支撐件具有小於1014Ω/□的表面電阻，且包括能防止樹脂轉印到被放置的基片上的樹脂泡沫。2.根據權利要求1的基片容納託盤，其中支撐件包括聚乙烯樹脂泡沫。3.根據權利要求2的基片容納託盤，其中支撐件是成型製品，該成型製品通過在聚乙烯樹脂珠上塗敷導電顆粒並在該狀態下使其起泡而製成。4.根據權利要求3的基片容納託盤，其中導電顆粒是碳顆粒。5.根據權利要求1的基片容納託盤，其中支撐件具有107-108Ω/□的表面電阻。6.根據權利要求1的基片容納託盤，其中支撐件布置在由框架件圍繞的內部區域。7.根據權利要求6的基片容納託盤，其中在框架件的內部布置多個支撐件，以便使放置的基片不翹曲。全文摘要本發明可以高效率地輸送和儲存例如顯示器玻璃基片的基片而不會破裂和粘附粉屑。基片容納託盤包括框架件(12)和四個支撐件(11)，其中框架件(12)形成具有比玻璃基片大的矩形框架，支撐件(11)具有彈性，形成在框架件(12)圍繞的內部區域。框架件(12)形成有一對縱向框架(12a)和一對橫向框架(12b)，並且在接合框架件(12)時布置四個支撐件(11)。各支撐件(11)包括導電聚乙烯泡沫，其通過在合成樹脂珠上塗敷導電顆粒作為原料，並在該狀態下使其發泡模製而成。因此，在輸送和儲存期間能防止樹脂轉移到玻璃基片上。文檔編號B65D85/30GK1673051SQ20041009422公開日2005年9月28日申請日期2004年12月20日優先權日2003年12月19日發明者吉澤武德,柴田浩人申請人:夏普株式會社,賽的克株式會社