一種新型重錘的製作方法

2024-02-20 00:16:15

專利名稱：一種新型重錘的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及單晶製備機械領域，尤其是用於直拉法製備桂單晶時裝載籽晶用
的一種新型重錘。
背景技術：
在直拉法製備矽單晶時，有時由於設備振動或電機旋轉不穩定，會造成籽晶振動或擺動，使得矽單晶出現斷稜，尤其是在引晶、放肩、收肩、初級等徑等階段往往由於微小的幹擾造成拉晶失敗。因此，為提高拉晶成功率，設計一種抗幹擾能力強的重錘十分必要。

實用新型內容本實用新型的目的是提供一種新型重錘，可以有效保證籽晶提拉、旋轉的平穩，提高拉單晶質量。
為了達到上述目的，本實用新型所採用的技術方案為 —種新型重錘，包括有重錘的錘體，其特徵在於所述重錘錘體前端成型有連接軸，連接軸前端連接有鉬夾頭，所述鉬夾頭的端頭開有籽晶插孔，鉬夾頭的側壁上設有籽晶固定銷插孔，所述的籽晶固定銷插孔與籽晶插孔聯通；還包括有軟軸連接軸，所述重錘的錘體後端成型有連接環，所述重錘的錘體通過連接環上有內螺紋孔，所述的軟軸連接軸前端與連接環上的內螺紋孔旋合連接。[0006] 本實用新型具有以下優點 1)採用鉬材料作為籽晶夾具，可以提高重錘的耐高溫性能。 2)重力錘採用不鏽鋼材質，可以在保證重量的前提下降低重錘成本。 3)本實用新型相對較重，抗幹擾能力較一般產品增強。 4)採用本重錘裝置，可以提高籽晶轉速，使得單晶棒徑向電阻率分布更均勻。
圖1為本實用新型結構示意圖。
具體實施方式—種新型重錘，包括有重錘的錘體3，重錘的錘體前端成型有連接軸2，連接軸2前端連接有鉬夾頭l，鉬夾頭1的端頭開有籽晶插孔7，鉬夾頭1的側壁設有籽晶固定銷插孔6，籽晶插孔7與籽晶固定銷插孔6垂直相交，還包括有軟軸連接軸5，重錘的錘體3後端成型有連接環4，軟軸連接軸5與連接環4螺紋連接。 本實用新型主體分為兩部分，鉬夾頭1和重錘的錘體3，鉬夾頭為固定籽晶裝置，耐高溫；重錘的錘體3主要是增加重錘重力的作用，提高重錘整體的抗幹擾能力。[0014] 鉬夾頭1和重錘的錘體3通過連接軸2連接起來，重錘的錘體3通過連接環4和軟軸連接軸5連接，實現重錘的上下以及旋轉運動。
3[0015] 籽晶從籽晶插口 7放入重錘中，並向籽晶固定銷插口 6插入固定銷，固定籽晶。 本實用新型適用於提拉製備4 8英寸的單晶棒。
權利要求一種新型重錘，包括有重錘的錘體，其特徵在於所述重錘錘體前端成型有連接軸，連接軸前端連接有鉬夾頭，所述鉬夾頭的端頭開有籽晶插孔，鉬夾頭的側壁上設有籽晶固定銷插孔，所述的籽晶固定銷插孔與籽晶插孔聯通；還包括有軟軸連接軸，所述重錘的錘體後端成型有連接環，所述重錘的錘體通過連接環上有內螺紋孔，所述的軟軸連接軸前端與連接環上的內螺紋孔旋合連接。
專利摘要本實用新型涉及一種新型重錘，包括有重錘的錘體，重錘錘體前端成型有連接軸，連接軸前端連接有鉬夾頭，鉬夾頭的端頭開有籽晶插孔，鉬夾頭的側部設有籽晶固定銷插孔，還包括有軟軸連接軸，重錘的錘體後端成型有連接環，重錘的錘體通過連接環與軟軸連接軸連接。本實用新型適用於提拉製備4～8英寸的單晶棒。
文檔編號C30B15/00GK201495313SQ20092018724
公開日2010年6月2日 申請日期2009年8月31日 優先權日2009年8月31日
發明者劉天貴, 李春雷, 馬青, 高熙禮 申請人:合肥景坤新能源有限公司