一種臥式方形碳化矽燒結爐的製作方法

2024-03-29 21:51:05

本實用新型涉及一種碳化矽燒結爐。

背景技術：

碳材料具有高比強度、高比模量、耐熱、耐化學腐蝕、耐摩擦、導電、導熱等優異性能。碳化矽陶瓷材料具有高溫度強大，高溫度抗氧化性強、耐磨損性能好，熱穩定性佳，膨脹係數小，熱導率大，硬度高，抗熱震和耐化學腐蝕等優良特性。在航天航空、軍事工業、汽車、機械化工、化境保護、空間技術、信息電子、能源領域有著日益廣泛的應用，已經成為一種在很多工業領域性能優異的其他材料不可代替的結構陶瓷。目前，隨著工業的發展，市場對碳化矽陶瓷材料的需求越來越大。在碳化矽燒結過程中，影響碳化矽陶瓷燒結因素的有組元、應力、氣氛環境、催化、溫度，其中溫度處理尤其重要。但是現有的高溫燒結普遍存在以下幾個問題：1、溫度不均勻，產品的一致性不高；2、達不到理想溫度，不利於產品的燒結；3、安裝，調試複雜，故障效率高等。這些問題對碳化矽材料的進一步發展造成了阻礙。

技術實現要素：

本實用新型要解決的問題在於提供一種更為便捷、易控、高效的臥式方形碳化矽燒結爐。

為解決上述問題，本實用新型提供了一種臥式方形碳化矽燒結爐，包括爐體、真空泵、羅茨泵，所述真空泵和羅茨泵固定在基座上，所述真空泵通過真空管道與羅茨泵連接，所述羅茨泵通過羅茨管道與爐體連接，爐體底部設有與之固定的底座。所述爐體頂部設有防爆閥，爐體內設有與爐體固定連接的內支撐平臺，內支撐平臺上設有方形感應線圈，方形感應線圈的兩端延伸至爐體外，方形感應線圈的內部設有保溫層，所述保溫層內設有方形石墨坩堝。

作為本實用新型的進一步改進，所述方形感應線圈的頂部設有與爐體固定的支撐條，將方形感應線圈進一步與爐體固定。

作為本實用新型的進一步改進，所述真空泵與羅茨泵之間依次設有電磁真空帶壓差閥和真空波紋管，波紋管能有效緩解真空泵的振動，避免傳到爐體端。

作為本實用新型的進一步改進，所述羅茨泵與爐體之間設有過濾罐，將雜質過濾。

作為本實用新型的進一步改進，所述過濾罐的出口依次設有真空蝶閥和進爐波紋管。

作為本實用新型的進一步改進，所述過濾罐與羅茨泵之間設有羅茨泵出口波紋管，緩減羅茨泵的振動，避免振動傳給過濾罐。

本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型加熱溫度均勻，有利於產品燒結、重結晶。

2、本實用新型加熱溫度超高，且連續可調，帶40段控溫曲線，可完成複雜溫控要求。

3、本實用新型安裝調試簡單，易損件壽命大大增強。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖，其中：

圖1是本實用新型的示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。

參閱圖1，本實用新型提供了一種臥式方形碳化矽燒結爐，本實施例包括爐體4、真空泵12、羅茨泵21，所述真空泵12和羅茨泵21固定在基座11上，爐體4底部設有與之固定的底座5。電機16位於真空泵12的頂部，為真空泵12提供動力。所述真空泵12通過真空管道13與羅茨泵21連接，在真空泵12與羅茨泵21之間依次設有電磁真空帶壓差閥14和真空波紋管15。真空泵12的振動比較大，在其出口設置波紋管能有效緩減振動，避免將振動傳給下一級的羅茨泵21。所述羅茨泵21通過羅茨管道23與爐體4連接，在羅茨泵21與爐體4之間設有過濾罐31，過濾罐31通過固定的支架支撐在地面。過濾罐31能有效過濾空氣中的雜質，避免雜質進入到爐體內。過濾罐31的出口依次設有真空蝶閥32和進爐波紋管33。過濾罐31與羅茨泵21之間設有羅茨泵出口波紋管22。因為羅茨泵21的振動比較大，在羅茨泵21的進口和出口分別設置波紋管能有效緩減振動，避免將羅茨泵21的振動傳給真空泵12或者爐體4。爐體4底部設有與之固定的底座5。

所述爐體4頂部設有防爆閥42，能大幅提高設備的安全性能，防止事故的發生。爐體4內設有與爐體4固定連接的內支撐平臺46，內支撐平臺46上設有方形感應線圈45，方形感應線圈45的兩端延伸至爐體4外，方形感應線圈45的內部設有保溫層43，所述保溫層43內設有方形石墨坩堝44。保溫層43有效防止方形石墨坩堝44的熱量散發到外部，引起不必要的能量損失，同時也保護了外部設備受高溫影響。所述方形感應線圈45的頂部設有與爐體4固定的支撐41條，用來進一步固定方形感應線圈45。

本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型加熱溫度均勻，有利於產品燒結、重結晶。

2、本實用新型加熱溫度超高，且連續可調，帶40段控溫曲線，可完成複雜溫控要求。

3、本實用新型安裝調試簡單，易損件壽命大大增強。

以上所述僅為本實用新型的優選實施例而已，並不用於限制本實用新型，對於本領域的技術人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。