新風過濾器的製作方法
2023-12-04 07:17:36
專利名稱：新風過濾器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種過濾器。
背景技術：
目前，在半導體晶片廠(FAB)的空調系統通常採用新風初效過濾器。現有的新風 初效過濾器，請參見圖1，包括機架1和用於過濾新風的過濾棉2、主動軸3和被動軸4，所 述主動軸2和被動軸4分別樞接於所述機架1的兩側，所述過濾棉2的一端繞置在被動軸 4上，另一端繞置在用於回收過濾棉的主動軸3上。當過濾棉2使用一段時間後，過濾棉2髒了以後，就需要人工手動轉動主動軸3，從 而將髒的過濾棉部分回收卷在主動軸上，使得乾淨的過濾棉部分進入過濾狀態。當過濾棉 的所有部分髒了以後，該過濾棉就失效並需要更換新的過濾棉。如此，會造成材料及人力浪費。另外，由於現有的新風初效過濾器的運行特點是一定周期(即從過濾棉開始使用 至過濾棉髒度到不能達到要求時)才更新，由於過濾棉先後清潔度的變化幅度很大，因而 會造成新風風量周期大幅波動，進而影響FAB溫溼度的大幅波動，從而影響生產工藝，導致 產品良率下降。因此，如何提供一種減小過濾棉浪費的新風過濾器是本領域亟待解決的一個技術 問題。
實用新型內容本實用新型的目的在於提供一種新風過濾器，可以減少過濾棉的使用量，從而減 少耗材消耗並有利於環境保護。為了達到上述的目的，本實用新型採用如下技術方案一種新風過濾器，包括機架、用於過濾新風的過濾棉、主動軸和被動軸，所述主動 軸和被動軸分別樞接於所述機架的兩側，所述過濾棉的一端繞置在被動軸上，另一端繞置 在主動軸上，所述機架上設有用於清潔過濾棉的真空抽吸裝置。在上述的新風過濾器中，所述真空抽吸裝置包括驅動部件、真空吸槽和導軌，所述 真空吸槽外接真空源，所述導軌固設於機架上，所述驅動部件驅動真空吸槽沿所述導軌移 動。在上述的新風過濾器中，所述導軌包括兩根，兩根導軌的上、下端分別通過上限位 支架和下限位支架固定於所述機架。在上述的新風過濾器中，所述真空吸槽上設有抽吸口，所述抽吸口設於所述真空 吸槽靠近過濾棉的那側，所述抽吸口的周緣設有用於密封的軟性橡膠。在上述的新風過濾器中，所述軟性橡膠的寬度在0. 5-2mm之間。在上述的新風過濾器中，所述真空吸槽的長度大於所述過濾棉的寬度。在上述的新風過濾器中，所述驅動部件包括手柄和齒輪，所述齒輪通過手柄帶動，所述導軌是齒條，所述齒輪和所述齒條嚙合，所述齒輪與真空吸槽固定連接。在上述的新風過濾器中，所述驅動部件包括第一電機和齒輪，所述齒輪由第一電 機帶動，所述導軌是齒條，所述齒輪和所述齒條嚙合，所述齒輪與真空吸槽固定連接。在上述的新風過濾器中，所述真空抽吸裝置還包括用於控制主動軸運動的總控制 器、用於控制第一電機的第一控制器、用於監測過濾棉髒度的壓差傳感器和用於限制真空 吸槽移動位置的位置傳感器，所述總控制器設於機架上，所述第一控制器、壓差傳感器和位 置傳感器分別與所述總控制器連接。在上述的新風過濾器中，所述機架上還設有報警裝置，所述報警裝置和所述總控 制器電連接。本實用新型的有益效果如下本實用新型新風過濾器，結構簡單、使用方便，通過在現有的新風過濾器的機架上 設有用於清潔過濾棉的真空抽吸裝置，可以在一定程度上清潔過濾棉，延長過濾棉的使用 壽命。另外，通過將真空抽吸裝置設置成自動的真空抽吸裝置，不但可以減小操作人員的工 作量，提高工作效率，而且可以降低新風風量波動，從而降低新風風量波動對FAB溫溼度的 影響，保證生產工藝順利進行。
本實用新型的新風過濾器由以下的實施例及附圖給出。圖1是現有的新風過濾器的結構示意圖；圖2是實施例1的新風過濾器的結構示意圖；圖3是實施例2的新風過濾器的底板的結構示意圖；圖中，1-機架、2-過濾棉、3-主動軸、4-被動軸、51-手柄、51』 -第一電機、52-真 空吸槽、521-真空接口、53-齒條(或導軌)、54_第一控制器、55-壓差傳感器、56-位置傳 感器、61-上限位支架、62-下限位支架。
具體實施方式
以下將對本實用新型的新風過濾器作進一步的詳細描述。下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選 實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現本實用新型 的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對於本領域技術人員的廣泛知道，而並不作為對 本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特徵。在下列描述中，不詳細描述公知的功能 和結構，因為它們會使本實用新型由於不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例 的開發中，必須作出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商 業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是複雜和 耗費時間的，但是對於本領域技術人員來說僅僅是常規工作。為使本實用新型的目的、特徵更明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實 施方式作進一步的說明。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精準的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。[0029]實施例1請參閱圖2，這種新風過濾器，包括機架1、用於過濾新風的過濾棉2、主動軸3和被 動軸4。所述主動軸3和被動軸4分別樞接於所述機架1的兩側。所述過濾棉2的一端繞 置在被動軸4上，另一端繞置在用於回收過濾棉的主動軸3上。所述機架1上設有用於清 潔過濾棉2的真空抽吸裝置。所述真空抽吸裝置包括驅動部件、真空吸槽52和導軌53，所 述真空吸槽52外接真空源，所述導軌53固設於機架1上。所述導軌53有兩根，左右對稱 設置，兩根導軌53的上端通過上限位支架61連接固定於機架1，兩根導軌的下端通過下限 位支架62連接固定於機架1。所述驅動部件驅動真空吸槽52沿導軌53移動。其中，所述 驅動部件包括手柄51和齒輪(圖中未示意)，所述齒輪通過手柄51帶動，所述導軌是齒條 53，所述齒輪和所述齒條53嚙合，所述齒輪與真空吸槽52固定連接。所述真空吸槽是一矩 形框。為了使真空吸槽52能夠清潔過濾棉2的左右邊緣，所述真空吸槽52的長度應大於 所述過濾棉2的寬度。即所述矩形框的長邊大於所述過濾棉2的寬度(即橫向寬度)。所 述真空吸槽52上設有抽吸口，所述抽吸口設於所述真空吸槽52靠近過濾棉2的那側，所述 抽吸口的周緣設有密封用的軟性橡膠。所述軟性橡膠的寬度在0. 5-2mm之間，也就是說當 真空吸槽工作的時候，所述真空吸槽52和所述過濾棉2之間的距離在0. 5-2mm為宜。本實 施例中，所述軟性橡膠的寬度是1. 5mm。所述真空吸槽52上還設有用於外接真空源的真空 接口 521。使用時，請參閱圖2，當操作人員看見過濾棉2的進行過濾的部分比較髒時，將真 空吸槽52接通外部的真空源。同時，通過手柄51正向轉動轉動齒輪或反向轉動齒輪，使得 來帶動真空吸槽52向上或向下運動，從而在真空吸槽52移動的過程中抽吸過濾棉2，實現 清潔的功能，從而一定程度上延長過濾棉2的使用壽命。另外，由於可以及時用真空吸槽抽 吸過濾棉，使過濾棉的清潔度的保持在一定範圍內，因而，可以有效降低新風風量波動，從 而降低新風風量波動對FAB溫溼度的影響，保證生產工藝順利進行。實施例2請參閱圖3，本實施例與實施例1的區別在於所述真空抽吸裝置是自動真空抽吸 裝置。所述驅動部件包括第一電機51』和齒輪(圖中未示意)，所述齒輪由第一電機51』帶 動，所述導軌是齒條53，所述齒輪和所述齒條53嚙合，所述齒輪與真空吸槽52固定連接。 所述自動真空抽吸裝置還包括用於控制主動軸3運動的總控制器(圖中未示意)、用於控制 第一電機51』的第一控制器M、用於監測過濾棉2髒度的壓差傳感器55和用於限制真空吸 槽52移動位置的位置傳感器56，所述第一控制器M、壓差傳感器55和位置傳感器56分別 與所述總控制器連接。所述總控制器設於機架1上。所述位置傳感器56共兩個，分別設於 所述上限位支架61和下限位支架62上。所述壓差傳感器55設於所述真空吸槽52靠近過 濾棉2的那一端。使用方法如下請參閱圖3，首先，壓差傳感器55實施監測過濾棉2髒度，並將該 信息傳遞到總控制器進行處理。如果過濾棉2髒度達到一定程度，則真空吸槽52連通真空 源；同時總控制器命令第一控制器M驅動第一電機51』，使得第一電機51』帶動真空吸槽 52沿導軌向上或向下移動，直到過濾棉2的清潔度達標。如果真空吸槽52在上、下限位支 架61、62之間往返三次後，過濾棉2的清潔度還未達標，則總控制器將自動通過其對應的電 機驅動主動軸3，回收該段過濾棉2並釋放新過濾棉2。所述機架1上還設有報警裝置(圖中未示意)，所述報警裝置也和總控制器電連接。當上述某個環節未執行或出現異常情況 時，報警裝置報警，以便及時通知操作人員進行檢修。通過將真空抽吸裝置設置成自動的真 空抽吸裝置，不但可以減小操作人員的工作量，提高工作效率，由於可以及時用真空吸槽抽 吸過濾棉，使過濾棉的清潔度的保持在一定範圍內，因而，可以有效降低新風風量波動，從 而降低新風風量波動對FAB溫溼度的影響，保證生產工藝順利進行。 顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和範圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬於本實用新型權利要求及 其等同技術的範圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求1.一種新風過濾器，包括機架、用於過濾新風的過濾棉、主動軸和被動軸，所述主動軸 和被動軸分別樞接於所述機架的兩側，所述過濾棉的一端繞置在被動軸上，另一端繞置在 主動軸上，其特徵在於，所述機架上設有用於清潔過濾棉的真空抽吸裝置。
2.如權利要求1所述的新風過濾器，其特徵在於，所述真空抽吸裝置包括驅動部件、真 空吸槽和導軌，所述真空吸槽外接真空源，所述導軌固設於機架上，所述驅動部件驅動真空 吸槽沿所述導軌移動。
3.如權利要求2所述的新風過濾器，其特徵在於，所述導軌包括兩根，兩根導軌的上、 下端分別通過上限位支架和下限位支架固定於所述機架。
4.如權利要求2所述的新風過濾器，其特徵在於，所述真空吸槽上設有抽吸口，所述抽 吸口設於所述真空吸槽靠近過濾棉的那側，所述抽吸口的周緣設有用於密封的軟性橡膠。
5.如權利要求4所述的新風過濾器，其特徵在於，所述軟性橡膠的寬度在0.5-2mm之間。
6.如權利要求2所述的新風過濾器，其特徵在於，所述真空吸槽的長度大於所述過濾 棉的寬度。
7.如權利要求2所述的新風過濾器，其特徵在於，所述驅動部件包括手柄和齒輪，所述 齒輪通過手柄帶動，所述導軌是齒條，所述齒輪和所述齒條嚙合，所述齒輪與真空吸槽固定 連接。
8.如權利要求2所述的新風過濾器，其特徵在於，所述驅動部件包括第一電機和齒輪， 所述齒輪由第一電機帶動，所述導軌是齒條，所述齒輪和所述齒條嚙合，所述齒輪與真空吸 槽固定連接。
9.如權利要求8所述的新風過濾器，其特徵在於，所述真空抽吸裝置還包括用於控制 主動軸運動的總控制器、用於控制第一電機的第一控制器、用於監測過濾棉髒度的壓差傳 感器和用於限制真空吸槽移動位置的位置傳感器，所述總控制器設於機架上，所述第一控 制器、壓差傳感器和位置傳感器分別與所述總控制器連接。
10.如權利要求9所述的新風過濾器，其特徵在於，所述機架上還設有報警裝置，所述 報警裝置和所述總控制器電連接。
專利摘要本實用新型涉及一種過濾器。這種新風過濾器，包括機架和用於過濾新風的過濾棉、主動軸和被動軸，所述主動軸和被動軸分別樞接於所述機架的兩側，所述過濾棉的一端繞置在被動軸上，另一端繞置在用於回收過濾棉的主動軸上，所述機架上設有用於清潔過濾棉的真空抽吸裝置。本實用新型新風過濾器，結構簡單、使用方便，通過在現有的新風過濾器的機架上設有用於清潔過濾棉的真空抽吸裝置，可以在一定程度上清潔過濾棉，延長過濾棉的使用壽命。另外，通過將真空抽吸裝置設置成自動的真空抽吸裝置，不但可以減小操作人員的工作量，提高工作效率，而且可以降低新風風量波動，從而降低新風風量波動對FAB溫溼度的影響，保證生產工藝順利進行。
文檔編號B01D46/18GK201840951SQ20102051688
公開日2011年5月25日 申請日期2010年9月3日 優先權日2010年9月3日
發明者崔津生 申請人:中芯國際集成電路製造(上海)有限公司