音響聲阻、具備該音響聲阻的音響聲阻構件及音響設備的製作方法

2024-04-02 03:23:05

本發明涉及對音響設備的聲音的特性發揮作用的音響聲阻、具備該音響聲阻的音響聲阻構件及音響設備。

背景技術：

麥克風、揚聲器、耳機、頭戴式耳機等音響設備具備：將聲音與電信號相互變換的變換部；及收容有變換部的殼體。變換部具備對聲音進行輸出及/或輸入的音響元件，例如振動板。音響元件可以如一般的揚聲器那樣向殼體的外部露出，也可以如耳機及麥克風那樣收容在殼體的內部。在音響元件收容於殼體的內部的情況下，在該殼體設有通音口，該通音口是在音響元件與殼體的外部之間傳遞聲音的開口。

在音響設備的殼體上，除了有意設計成不設置的情況之外，通常設有通音口以外的開口。在雖然音響元件向外部露出，但是殼體自身密閉的情況下，或者雖然音響元件的通音口側的空間經由通音口而向外部開放，但是位於殼體內的相反側的空間密閉的情況下，伴隨音響元件的動作而在密閉空間側產生壓力變動。因此，除非進行周密的設計，否則由於壓力變動而音響元件的振動被阻礙，音響設備的聲音的輸出特性及/或輸入特性(以下，也簡稱為「音響設備的特性」)下降。在耳機等相對於音響元件的密閉空間側的容積特別小的情況下，壓力變動的影響大。通過在殼體設置通音口以外的開口能消除上述密閉，能夠提高音響元件的振動特性，即音響設備的特性。

在音響設備中，還有在包含通音口的殼體的開口與音響元件之間的空氣的路徑上配置音響聲阻的情況。音響聲阻是雖然具有通氣性、但是與未配置的狀態相比阻礙上述路徑中的空氣的流動的通氣阻力體。通過音響聲阻的配置，能夠控制上述路徑中的空氣的流動。聲音是空氣的振動，因此通過在音響元件與通音口之間配置音響聲阻，能夠控制從音響元件輸出的聲音及/或向音響元件輸入的聲音的特性，即音響設備的特性。而且，通過在通音口以外的開口與音響元件之間配置音響聲阻，能夠控制在音響元件的該開口側產生的空氣的流動，由此，控制音響元件的振動，能夠控制從音響元件輸出的聲音及/或向音響元件輸入的聲音的特性。

專利文獻1～3公開了配置有音響聲阻的音響設備。這些文獻公開的音響聲阻由海綿等多孔質體、無紡布、網眼織物等織布構成。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平8-205289號公報

專利文獻2：日本特開2004-200947號公報

專利文獻3：日本特開2006-50174號公報

技術實現要素：

發明要解決的課題

音響聲阻要求其不均例如通氣性的不均小。在不均大的情況下，配置有音響聲阻的音響設備的特性例如聲壓特性不穩定。這在僅具備一個變換部及殼體的音響設備中在制品間的特性的不均的點上當然會成為問題，尤其是在耳機及頭戴式耳機等具備左側及右側的多個單元的音響設備(各單元分別具備變換部及殼體)中特別成為問題。這是因為，在單元間如果輸出特性例如聲壓特性之差增大，則無法作為將一對單元組合的耳機及頭戴式耳機來使用。

本發明的目的之一在於提供一種與以往的音響聲阻相比能夠減小不均的音響聲阻、具備該音響聲阻的音響聲阻構件及音響設備。

用於解決課題的方案

本公開的音響聲阻是使用於音響設備的音響聲阻。所述音響設備具備：變換部，具備對聲音進行輸出及/或輸入的音響元件，並將聲音與電信號進行變換；及殼體，收容所述變換部且具有至少一個開口。在所述音響設備中，與所述至少一個開口連通的氣體的路徑存在於所述殼體內，所述音響元件配置於所述路徑。所述音響聲阻配置在所述路徑中的所述至少一個開口與所述音響元件之間，並且包含在厚度方向上具有通氣性的樹脂膜。所述樹脂膜是形成有在厚度方向上貫通的呈直線狀延伸的多個貫通孔的非多孔質的膜。

本公開的音響聲阻構件具備：上述本公開的音響聲阻；及接合於該音響聲阻的支承體。

本公開的音響設備具備：變換部，具備對聲音進行輸出及/或輸入的音響元件，並將聲音與電信號進行變換；及殼體，收容所述變換部且具有至少一個開口，與所述至少一個開口連通的氣體的路徑存在於所述殼體內，所述音響元件配置於所述路徑，所述音響設備還具備音響聲阻，所述音響聲阻配置在所述路徑中的所述至少一個開口與所述音響元件之間，並包含在厚度方向上具有通氣性的樹脂膜。所述音響聲阻是上述本公開的音響聲阻。

發明效果

根據本發明，實現與以往的音響聲阻相比能夠減小不均的音響聲阻、具備該音響聲阻的音響聲阻構件及音響設備。

附圖說明

圖1是示意性地表示具備本發明的音響聲阻的音響設備的一例的分解立體圖。

圖2是示意性地表示本發明的音響聲阻的一例的剖視圖。

圖3是示意性地表示本發明的音響聲阻的另一例的剖視圖。

圖4是示意性地表示在本發明的音響聲阻中貫通孔所延伸的方向上的該貫通孔間的關係的一例的俯視圖。

圖5是示意性地表示在本發明的音響聲阻中貫通孔所延伸的方向上的該貫通孔間的關係的另一例的俯視圖。

圖6是示意性地表示在本發明的音響聲阻中貫通孔所延伸的方向上的該貫通孔間的關係的又一例的剖視圖。

圖7是示意性地表示本發明的音響聲阻的又一例的剖視圖。

圖8是示意性地表示本發明的音響聲阻的與上述不同的一例的剖視圖。

圖9是示意性地表示本發明的音響聲阻的與上述不同的一例的剖視圖。

圖10是形成構成本發明的音響聲阻的樹脂膜的方法，是用於說明使用離子束照射及之後的化學蝕刻的方法中的離子束照射的概略的示意圖。

圖11是形成構成本發明的音響聲阻的樹脂膜的方法，是用於說明使用離子束照射及之後的化學蝕刻的方法中的離子束照射的一例的示意圖。

圖12是示意性地表示本發明的音響聲阻構件的一例的立體圖。

圖13是示意性地表示本發明的音響聲阻構件的另一例的俯視圖。

圖14是用於說明在實施例中進行的音響聲阻的通氣性變動率的測定中的樣品的測定點的圖。

具體實施方式

本公開的第一形態提供一種音響聲阻，使用於音響設備，其中，

所述音響設備具備：變換部，具備對聲音進行輸出及/或輸入的音響元件，並將聲音與電信號進行變換；及殼體，收容所述變換部且具有至少一個開口，

與所述至少一個開口連通的氣體的路徑存在於所述殼體內，所述音響元件配置於所述路徑，所述音響聲阻配置在所述路徑中的所述至少一個開口與所述音響元件之間，並且包含在厚度方向上具有通氣性的樹脂膜，所述樹脂膜是形成有在厚度方向上貫通的呈直線狀延伸的多個貫通孔的非多孔質的膜。

本公開的第二形態提供一種音響聲阻，以第一形態為基礎，其中，所述貫通孔的直徑為3.0μm以上且13.0μm以下。

本公開的第三形態提供一種音響聲阻，以第一或第二形態為基礎，其中，以覆蓋所述路徑的截面的方式配置。

本公開的第四形態提供一種音響聲阻，以第一至第三形態中任一形態為基礎，其中，還包括疏液層。

本公開的第五形態提供一種音響聲阻構件，具備：第一至第四形態中任一形態的音響聲阻；及接合於所述音響聲阻的支承體。

本公開的第六形態提供一種音響設備，所述音響設備具備：變換部，具備對聲音進行輸出及/或輸入的音響元件，並將聲音與電信號進行變換；及殼體，收容所述變換部且具有至少一個開口，與所述至少一個開口連通的氣體的路徑存在於所述殼體內，所述音響元件配置於所述路徑，所述音響設備還具備音響聲阻，該音響聲阻配置在所述路徑中的所述至少一個開口與所述音響元件之間，並包含在厚度方向上具有通氣性的樹脂膜，所述音響聲阻是第一至第四形態中任一形態的音響聲阻。

本公開的第七形態提供一種音響設備，以第六形態為基礎，其中，在所述殼體設有兩個以上的所述開口，所述兩個以上的開口包括在所述音響元件與所述殼體的外部之間傳遞所述聲音的通音口，至少在與不同於所述通音口的所述開口連通的所述路徑上配置所述音響聲阻。

本公開的第八形態提供一種音響設備，以第六或第七形態為基礎，其中，所述音響設備是耳機、耳機單元、頭戴式耳機、頭戴式耳機單元、頭戴式帶麥克風耳機、頭戴式帶麥克風耳機單元、聽筒、助聽器或可穿戴終端。

[音響聲阻]

圖1示出具備本發明的音響聲阻的音響設備的一例。圖1所示的音響設備是構成耳機的單側(右側或左側)的耳機單元1。耳機單元1也是本發明的音響設備的一例。

耳機單元1具備：變換部2，具備輸出聲音的音響元件即振動板21；前殼體3a及後殼體3b。變換部2收容在作為單元1的殼體3而一體化的前殼體3a及後殼體3b之間。變換部2具備振動板21、磁鐵22及框架23，並將它們一體化。振動板21是圓形的膜，在與圖示的面(表面)相反的一側的面(背面)設有圓筒狀的線圈。磁鐵22為圓板狀，在變換部2被一體化的狀態下，位於在振動板21的背面設置的線圈的開口部及環狀的框架23的開口部。振動板21的周緣部與框架23接合，除了周緣部之外的部分(主部)成為能夠對應於線圈的動作而自由振動的狀態。當向變換部21供給電信號(具有聲音的信息的電氣性的信號；聲音信號)時，與該信號對應的電流流過線圈，通過該電流與磁鐵22的電磁性的相互作用而在振動板21產生與聲音信號對應的物理性的振動，該振動作為聲音從振動板21輸出。即變換部2是將具有聲音的信息的電信號與聲音進行變換的變換器(transducer)。向變換部2的電信號從與單元1的後殼體3b側連接的線纜4向振動板21的背面的線圈環供給。線纜4與線圈的電連接省略圖示。

單元1的殼體3(3a、3b)具有開口。開口的一種是設於前殼體3a的通音口5。從振動板21輸出的聲音從振動板21的表面經由通音口5向單元1的外部傳遞。開口的另一種是設於後殼體3b的開口6。在後殼體3b設有2個開口6a、6b。

與開口6a、6b連通的氣體(如果是一般性的使用環境下，則是空氣)的路徑7存在於單元1的殼體3內。路徑7從各開口6a、6b通過設於框架23的開口24而達到振動板21的背面。換言之，作為音響元件的振動板21配置於路徑7的末端(與開口6a、6b相反的一側的末端)。需要說明的是，在圖1中，為了便於理解而直線性地表示路徑7，但既然路徑7是氣體的路徑，在殼體3內氣體從開口6a、6b連通的部分就可以成為路徑7。並且，在單元1中，音響聲阻8配置在路徑7上的開口6a、6b與振動板21之間。更具體而言，與框架23的各開口24的形狀對應的、具有作為環的一部分的形狀的音響聲阻8以閉塞各個開口24的方式接合於框架23。在圖1所示的單元1中，路徑7必然通過音響聲阻8。換言之，在單元1中，音響聲阻8以覆蓋路徑7的截面的方式配置。

音響聲阻8由在厚度方向上具有通氣性的樹脂膜81構成。樹脂膜81是形成有在厚度方向上貫通的呈直線狀地延伸的多個貫通孔的非多孔質的膜。

通過設置從音響元件通向開口6的通氣路徑7，可抑制例如作為音響元件的振動板21的動作(振動)的阻礙。尤其是在耳機單元1中，殼體3內部的容積，尤其是相對于振動板21而位於與通音口5相反的一側(背面側；後殼體側)的部分的容積小，因此其效果顯著。並且，通過在路徑7配置成為在該路徑7中流通的氣體的流動的阻力體的音響聲阻8，由此從作為音響設備的耳機單元1及具備該單元1的耳機輸出的聲音的特性，例如，從耳機單元1及耳機輸出的音質提高。音質的提高的更具體的例子是相對於向變換部2輸入的聲音信號而言更忠實的聲音的輸出、不需要的共鳴的減少、關於輸出的聲音的頻率特性的平坦化或特定的頻率區域的增強或減衰、及指向性或無指向性的實現等。圖1所示的例子是耳機單元，但是在輸出聲音的其他的音響設備中也能夠實現同樣的特性提高。而且，在輸入聲音的音響設備例如麥克風中，也能夠實現對應的特性提高。

包含樹脂膜81的音響聲阻8與由海綿等多孔質體、無紡布、網眼織物等織布構成的以往的音響聲阻相比，不均(特性及/或構造的不均，例如通氣性的不均)小。不均包括一個音響聲阻中的面內的不均、配置於音響設備的2個或2個以上的音響聲阻間的不均(除了有意在各音響聲阻間使通氣性等特性及/或構造變化的情況之外)、及如耳機那樣使用多個單元(在耳機中為左側耳機單元及右側耳機單元)時各單元具備的音響聲阻間的不均。通過該不均減小而能實現例如以下的效果。

能夠更可靠地實現由設置路徑7的情況及在路徑7配置音響聲阻8的情況產生的上述的效果，更具體而言音響設備的特性的提高。並且，特性的調整及特性的提高用的音響設備的設計的自由度提高。

一個音響聲阻中的面內不均的減小及配置於音響設備的2個以上的音響聲阻間的不均的減小還可提高例如音響設備特性(更具體的例子是聲壓特性)。而且例如在音響設備的製造時，能夠簡化或省略挑選不均儘可能小的音響聲阻的工序，或者以音響聲阻存在某種程度的大小的不均為前提，在該前提下為了儘可能地減小不均而以往實施的音響聲阻的形狀的調整、音響設備中的音響聲阻的配置狀態的調整、音響聲阻向構成音響設備的構件的接合狀態的調整、製造後的音響設備的周密的特性檢査這樣的工序。這會帶來音響設備的製造成品率的提高及製造成本的減少。在耳機等將2個以上的單元組合的音響設備中，通過各單元具備的音響聲阻間的不均的減小，能夠減小例如各單元間的輸出特性的不均。這在例如耳機的製造時，能簡化或省略挑選輸出特性近似或相同的單元作為左側及右側的單元並組合的工序。此外，以往正因為輸出特性的不均的存在，所以不能進行耳機單元單體的流通的情況是本領域技術人員的常識，但是如果單元間的輸出特性的不均小，則作為製造部件或更換部件而單元單體的流通也可能會進入視野，其意義非常大。

除此之外，能夠對包含形成有在厚度方向上貫通的呈直線狀延伸的多個貫通孔的非多孔質的樹脂膜81的音響聲阻8賦予防塵性。被賦予了防塵性的音響聲阻8除了使音響設備的特性提高的上述的功能以外，還表現出作為防塵構件的功能。通過這樣的音響聲阻8向路徑7的配置，例如，能夠抑制灰塵等異物從開口6侵入到音響設備的殼體3內的情況，能夠成為具有防塵功能的音響設備。音響聲阻8的防塵性的程度例如能夠通過樹脂膜81的貫通孔的直徑來控制。

對音響聲阻8，例如能夠通過在樹脂膜81設置疏液層來賦予防水性。被賦予了防水性的音響聲阻8除了使音響設備的特性提高的上述的功能以外，還表現出作為防水構件的功能。通過這樣的音響聲阻8的向路徑7的配置，例如，能夠抑制水從開口6浸入到音響設備的殼體3內的情況，能夠成為具有防水功能的音響設備。音響聲阻8的防水性的程度例如能夠通過疏液層的結構及樹脂膜81的貫通孔的直徑來控制。

能夠對音響聲阻8賦予防塵性和防水性的雙方。

音響聲阻8由於其材質而與以往的音響聲阻相比能夠提高時效穩定性。例如，有時使用由發泡聚氨酯構成的多孔質體作為音響聲阻，但是聚氨酯樹脂具有受大氣中的溼度影響的加水分解性，時效穩定性不能說是充分。相對於此，例如，包含由聚對苯二甲酸乙二醇酯(pet)構成的樹脂膜81的音響聲阻8表現出遠為良好的時效穩定性。

圖2示出音響聲阻8的一例。圖2所示的音響聲阻8由樹脂膜81構成。在樹脂膜81形成有在其厚度方向上貫通的多個貫通孔83。貫通孔83從樹脂膜81的一主面84a向另一主面84b延伸。樹脂膜81是非多孔質的樹脂膜，除了貫通孔83以外不具有沿其厚度方向能夠通氣的路徑。樹脂膜81典型的是除了貫通孔83之外為無孔的(實心的)樹脂膜。貫通孔83在樹脂膜81的雙方的主面具有開口。通過這樣的樹脂膜81的構造，能實現音響聲阻8中的不均，例如通氣性的不均的減小。

貫通孔83是該貫通孔的中心軸(軸線)86呈直線狀延伸的筆直孔。作為筆直孔的貫通孔83可以通過例如向樹脂膜的原膜的離子束照射及之後的化學蝕刻來形成。在離子束照射及蝕刻中，在樹脂膜81能夠形成直徑(開口徑)一致的該直徑的均勻度高的多個貫通孔83。樹脂膜81可以是通過向原膜的離子束照射及化學蝕刻而得到的膜。音響聲阻8中的貫通孔83的直徑的均勻度高的情況有助於音響聲阻8中的不均例如通氣性的不均的減小。需要說明的是，在圖2及表示音響聲阻的構造的圖2以後的圖中，為了便於理解貫通孔的形狀而誇張地描繪了其直徑。

在圖2所示的例子中，貫通孔83所延伸的方向是與樹脂膜81的主面84a、84b垂直的方向。貫通孔83隻要在樹脂膜81的厚度方向上貫通即可，貫通孔83所延伸的方向可以從與樹脂膜81的主面84a、84b垂直的方向傾斜。此時，可以是存在於樹脂膜81的全部的貫通孔83所延伸的方向相同(可以是中心軸86的方向一致)，也可以如圖3所示，樹脂膜81具有在相對於與該膜的主面84a、84b垂直的方向而傾斜的方向上延伸的貫通孔83(83a～83g)，該傾斜延伸的方向不同的貫通孔83a～83g混存於樹脂膜81。

在圖3所示的例子中，貫通孔83相對於與樹脂膜81的主面84a、84b垂直的方向而傾斜延伸(貫通樹脂膜81)，存在延伸方向互不相同的貫通孔83的組合。此時，在樹脂膜81也可以存在延伸方向相同的貫通孔83的組合(在圖3所示的例子中，貫通孔83a、83d、83g的延伸方向相同)。樹脂膜81可以具有在與該膜的主面84a、84b垂直的方向上延伸的貫通孔83和在相對於該方向傾斜的方向上延伸的貫通孔83這雙方。以下，將「組合」也簡稱為「組」。「組」並不局限於1個貫通孔與1個貫通孔的關係(成對(對))而是指1個或2個以上的貫通孔彼此的關係。存在具有相同特徵的貫通孔的組是指具有該特徵的貫通孔存在多個。

在圖3所示那樣的由傾斜延伸的方向不同的貫通孔83混存的樹脂膜81構成的音響聲阻8中，能夠使其傾斜程度及沿某方向延伸的貫通孔83的比例變化，因此能夠使路徑7中的氣體的流動的阻力更寬幅地變化，或者在不具有這樣的構造的與音響聲阻8不同的區域變化，由該阻力體8產生的音響設備的特性控制的自由度進一步提高。該自由度的高度有助於音響設備的特性及設計的自由度的提高。

關於圖3所示的貫通孔83，其傾斜延伸的方向(中心軸86延伸的方向)d1相對於與樹脂膜81的主面垂直的方向d2所成的角度θ1為例如45°以下，可以為30°以下。在角度θ1處於上述的範圍時，由音響聲阻8產生的音響設備的特性控制的自由度進一步提高。角度θ1的下限並沒有特別限定，但是為例如10°以上，也可以為20°以上。如果角度θ1過大，則音響聲阻8的機械強度存在減弱的傾向。在圖3所示的貫通孔83中，存在角度θ1互不相同的組。

在圖3所示那樣的由傾斜延伸的方向不同的貫通孔83混存的樹脂膜81構成的音響聲阻8中，從與樹脂膜81的主面垂直的方向觀察時(將貫通孔83延伸的方向向該主面投影時)，貫通孔83延伸的方向可以相互平行，樹脂膜81也可以具有該延伸方向互不相同的組(該延伸方向互不相同的貫通孔83存在於樹脂膜81)。在後者的情況下，能夠使路徑7中的氣體的流動的阻力更寬幅地變化，或者在不具有這樣的構造的與音響聲阻8不同的區域變化，由音響聲阻8產生的音響設備的特性控制的自由度進一步提高。

圖4示出從與樹脂膜81的主面垂直的方向觀察時，貫通孔83所延伸的方向相互平行的例子。在圖4所示的例子中，能觀察到3個貫通孔83(83h、83i、83j)，但是在與樹脂膜81的主面垂直的方向觀察時，各貫通孔83延伸的方向(從紙面近前側的主面中的貫通孔83的開口88a朝向相反側的主面中的貫通孔83的開口88b的方向)d3、d4、d5相互平行(後述的θ2為0°)。但是，各貫通孔83h、83i、83j的角度θ1互不相同，貫通孔83j的角度θ1最小，貫通孔83h的角度θ1最大。因此，各貫通孔83h、83i、83j延伸的方向立體性地不同。

圖5示出從與樹脂膜81的主面垂直的方向觀察時，貫通孔83延伸的方向互不相同的例子。在圖5所示的例子中，能觀察到3個貫通孔83(83k、83l、83m)，但是從與樹脂膜81的主面垂直的方向觀察時，各貫通孔83延伸的方向d6、d7、d8互不相同。在此，從與樹脂膜81的主面垂直的方向觀察時，貫通孔83k與83l成小於90°的角度θ2，從該主面向互不相同的方向延伸。另一方面，從與樹脂膜81的主面垂直的方向觀察時，貫通孔83k與83m成90°以上的角度θ2，從該主面向互不相同的方向延伸。如後者那樣，樹脂膜81具有從與該膜的主面垂直的方向觀察時成90°以上的角度θ2而從該主面向互不相同的方向延伸的貫通孔83的組。換言之，樹脂膜81具有從與該膜的主面垂直的方向觀察時從該主面向一定的方向d6延伸的貫通孔83k和從該主面向與該一定的方向d6成90°以上的角度θ2的方向d8延伸的貫通孔83m的組。此時，由音響聲阻8產生的音響設備的特性控制的自由度進一步提高。角度θ2為例如90°以上180°以下，即可以為180°。

在圖4所示那樣的由傾斜延伸的方向不同的貫通孔83混存的樹脂膜81構成的音響聲阻8中，可以是2個以上的貫通孔83在樹脂膜81內相互交叉。即，樹脂膜81可以具有在該膜81內相互交叉的貫通孔83的組。此時，能夠使路徑7中的氣體的流動的阻力更寬幅地變化，或者在與不具有這樣的構造的音響聲阻8不同的區域內變化，由音響聲阻8產生的音響設備的特性控制的自由度進一步提高。這樣的例子如圖6所示。在圖6所示的例子中，貫通孔83p與83q在樹脂膜81內相互交叉。

樹脂膜81中的(音響聲阻8中的)貫通孔83的延伸方向(貫通孔83的中心線86延伸的方向)例如能夠通過對該膜81的主面及截面進行基於掃描型電子顯微鏡(sem)的觀察來確認。

樹脂膜81的主面84a、84b中的貫通孔83的開口的形狀不受限定，但是典型的是圓形(中心線86延伸的方向與樹脂膜81的主面84a、84b垂直的情況)或者橢圓形(中心線86的延伸方向從與樹脂膜81的主面84a、84b垂直的方向傾斜的情況)。貫通孔83的開口的形狀不需要為嚴格的圓或橢圓，例如，容許與在後述的製造方法中實施的蝕刻的不均相伴的些許的形狀的紊亂。關於貫通孔83的截面的形狀也同樣。

在圖2～6所示的例子中，貫通孔83的直徑從樹脂膜81的一方的主面84a至另一方的主面84b幾乎不變化。即，貫通孔83的截面的形狀從主面84a至主面84b幾乎不變化。音響聲阻8具有的貫通孔83可以具有與中心線86延伸的方向垂直的截面87的面積沿樹脂膜81的厚度方向不變化的形狀，作為更具體的例子，貫通孔83可以具有截面87的面積從樹脂膜81的一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加及/或減少的形狀。如圖7所示，貫通孔83可以具有與中心線86延伸的方向垂直的截面87的面積從樹脂膜81的一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的形狀。此時，能夠使路徑7中的氣體的流動的阻力更寬幅地變化，或者在與不具有這樣的構造的音響聲阻8不同的區域變化，由該阻力體8產生的音響設備的特性控制的自由度進一步提高。圖7所示的貫通孔83是截面87的形狀沿著中心線86延伸的方向變化的、在音響聲阻8及樹脂膜81的膜厚方向上具有非對稱的形狀的貫通孔。

在貫通孔83具有與中心線86延伸的方向垂直的截面87的面積從樹脂膜81的一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的形狀的情況下，貫通孔83也可以具有截面87的面積從主面84a至主面84b連續地以大致恆定或恆定的增加率增加且為圓或橢圓的截面87的形狀，此時，貫通孔83的形狀成為以軸線86為中心線的圓錐或橢圓錐或者它們的一部分。根據使用了離子束照射及蝕刻的後述的製造方法，能夠形成包含具有截面87的形狀為圓或橢圓的貫通孔83的樹脂膜81的音響聲阻8。

在貫通孔83具有與中心線86延伸的方向垂直的截面87的面積從樹脂膜81的一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的形狀的情況下，主面84a中的相對小的貫通孔83的直徑(直徑a)與主面84b中的相對大的貫通孔的直徑(直徑b)之比a/b為例如80％以下，可以為75％以下，甚至70％以下。比a/b的下限沒有特別限定，為例如10％。

截面87的面積的增加可以從主面84a朝向主面84b連續增加，也可以逐級增加(即，可以存在截面87的面積恆定的區域)。截面87的面積的增加優選如圖7所示的例子那樣從主面84a朝向主面84b連續，更優選其增加率為大致恆定或恆定。根據使用了離子束照射及蝕刻的後述的製造方法，能夠形成包含具有截面87的面積從主面84a朝向主面84b連續增加的貫通孔83的樹脂膜81的音響聲阻8、及該面積的增加率大致恆定或恆定的音響聲阻8。

樹脂膜81中的這些貫通孔83的特徵可任意組合。例如，可以是具有與中心線86所延伸的方向垂直的截面87的面積從樹脂膜81的一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的形狀，並且該方向從與樹脂膜81的主面84a、84b垂直的方向傾斜的的貫通孔83。

貫通孔83的直徑為例如3.0μm以上且13.0μm以下。在貫通孔83的直徑處於該範圍的情況下，由音響聲阻8產生的路徑7中的氣體的流動的阻力成為特別適度的狀態，通過該阻力體8的配置而得到的上述的效果變得特別顯著。如圖7所示，貫通孔83具有與中心線86延伸的方向垂直的截面87的面積從樹脂膜81的一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的形狀的情況下，相對小的直徑(在圖7所示的例子中，為主面84a的貫通孔83的直徑)可以為3.0μm以上且13.0μm以下。

關於貫通孔83，將其開口的形狀看作圓時的該圓的直徑，換言之，具有與開口的截面積(開口面積)相同的面積的圓的直徑設為貫通孔83的直徑(開口徑)。貫通孔83的直徑通過例如對於利用顯微鏡觀察音響聲阻8或樹脂膜81的表面的圖像進行解析來求出。樹脂膜81中的貫通孔83的直徑關於各主面，不需要在存在於該主面的全部的貫通孔83的開口處一致，但是優選一致為在樹脂膜81的有效部分(作為音響聲阻8能夠使用的部分)實質上可看作相同值的程度(例如，標準偏差為平均值的10％以下)。根據使用了離子束照射及蝕刻的後述的製造方法，能夠形成這樣的直徑一致的樹脂膜81及音響聲阻8。

需要說明的是，在從與樹脂膜81的主面84a、84b垂直的方向傾斜的方向上延伸的貫通孔83的開口的形狀可以為橢圓。然而，即使在這樣的情況下，膜81內的貫通孔83的截面87的形狀也可看作圓，該圓的直徑與開口的形狀即橢圓的最小徑相等。因此，關於在上述傾斜的方向上延伸的貫通孔83且開口的形狀為橢圓的情況，可以將該最小徑作為貫通孔的開口徑。

音響聲阻8以遵照jisl1096b的規定而測定的格利(gurley)數表示，可以在厚度方向上具有0.01(秒/100cm3)以上且1.0(秒/100cm3)以下的通氣度。在通氣度處於該範圍時，由音響聲阻8產生的路徑7中的氣體的流動的阻力成為特別適度的狀態，通過該阻力體8的配置而得到的上述的效果變得特別顯著。

如圖7所示，在包含具有截面87的面積從一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的貫通孔83的樹脂膜81的音響聲阻8的情況下，從貫通孔83的直徑相對大的另一方的主面84b向貫通孔83的直徑相對小的一方的主面84a的該阻力體8的通氣度由格利數表示而可以處於上述範圍。

音響聲阻8的通氣性的不均小。例如，標準偏差σ相對於在音響聲阻8中的任意的40點測定的通氣度的平均值av之比σ/av(通氣性變動率σ/av)為0.3以下。該變動率可以為0.2以下，甚至0.1以下。

音響聲阻8中的(樹脂膜81中的)貫通孔83的密度(孔密度)沒有特別限定，例如為1×103個/cm2以上且1×109個/cm2以下。在孔密度處於該範圍的情況下，由音響聲阻8產生的路徑7中的氣體的流動的阻力成為特別適度的狀態，通過該阻力體8的配置而得到的上述的效果變得特別顯著。孔密度不需要在音響聲阻8及樹脂膜81的整體上恆定，但是優選在其有效部分，恆定為最大的孔密度成為最小的孔密度的1.5倍以下的程度。孔密度可通過例如對於利用顯微鏡觀察音響聲阻8或樹脂膜81的表面的圖像進行解析來求出。

音響聲阻8的(樹脂膜81的)開口率(主面中的貫通孔83的開口面積相對於該主面的面積的比例)為例如50％以下，可以為10％以上且45％以下，或者20％以上且40％以下。在開口率處於上述的範圍時，由音響聲阻8產生的路徑7中的氣體的流動的阻力成為特別適度的狀態，通過該阻力體8的配置而得到的上述的效果變得特別顯著。開口率可通過例如對於利用顯微鏡觀察音響聲阻8或樹脂膜81的表面的圖像進行解析來求出。

如圖7所示，在包含具有截面87的面積從一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的貫通孔83的樹脂膜81的音響聲阻8的情況下，貫通孔的直徑相對小的主面54a中的開口率可以處於上述範圍。

音響聲阻8的(樹脂膜81的)氣孔率為例如25％以上且45％以下，可以為30％以上且40％以下。在氣孔率處於上述的範圍的情況下，由音響聲阻8產生的路徑7中的氣體的流動的阻力成為特別適度的狀態，通過該阻力體8的配置而得到的上述的效果變得特別顯著。需要說明的是，如圖2所示，在具有截面87的面積在樹脂膜81內恆定的貫通孔83的樹脂膜81的情況下，其開口率與氣孔率相同。如圖7所示，在具有截面87的面積從一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的貫通孔83的樹脂膜81的情況下，氣孔率例如可以根據雙方的主面84a、84b中的開口率和通過觀察樹脂膜81的截面而掌握的貫通孔83的形狀利用計算來求出。

音響聲阻8的(樹脂膜81的)表觀密度為例如0.7g/cm3以上且1.3g/cm3以下，可以為0.8g/cm3以上且1.2g/cm3以下。在表觀密度處於上述的範圍的情況下，由音響聲阻8產生的路徑7中的氣體的流動的阻力成為特別適度的狀態，通過該阻力體8的配置而得到的上述的效果變得特別顯著。表觀密度可以將切斷成任意的尺寸的音響聲阻的重量w(g)除以體積v(cm3)來求出。

在音響設備中，除了如揚聲器的一種那樣音響元件向外部露出的設備之外，為了在收容於殼體內的音響元件與設備的外部之間傳遞聲音而在殼體設置通音口。在圖1所示的耳機單元1中，在前殼體3a設置通音口5。音響聲阻8可配置於成為音響元件與通音口之間的聲音的傳遞路徑的氣體的路徑。

在音響元件與通音口之間配置音響聲阻的情況下，能夠提高包含具有上述那樣的結構的樹脂膜81的音響聲阻8的通音特性的情況非常有利。例如，在音響聲阻8中，通過將樹脂膜81的貫通孔的直徑設為5.0μm以上且13.0μm以下，能夠使頻率100hz以上且5khz以下的音域中的該阻力體的插入損失為5db以下、3db以下、2db以下、甚至1db以下。而且，可以使頻率100hz以上且3khz以下的音域中的該阻力體的插入損失為5db以下、3db以下、2db以下、甚至1db以下。100hz以上且5khz以下的音域是人類通常的發聲、交談使用的音域，並且相當於在音樂等的重放時能夠最敏感地感覺到的音域。該音域中的插入損失小的情況使具備音響聲阻8的音響設備的市場中的吸引力提高。而且例如，考慮人的聲音域的中央值的頻率1khz下的該阻力體的插入損失可以設為5db以下、3db以下、2db以下、甚至1db以下。

樹脂膜81的厚度及音響聲阻8的厚度為例如5μm以上且100μm以下，優選為15μm以上且50μm以下。

構成樹脂膜81的材料是例如在後述的製造方法中能夠在非多孔質的樹脂膜即原膜上形成貫通孔83的材料。樹脂膜81由例如通過鹼性溶液、酸性溶液、或者添加了從氧化劑、有機溶劑及界面活性劑中選擇的至少1種的鹼性溶液或酸性溶液分解的樹脂構成。在該情況下，後述的製造方法中的基於離子束照射及化學蝕刻的向原膜的貫通孔83的形成變得更加容易。需要說明的是，上述的溶液是典型的蝕刻處理液。從另一方面來看，樹脂膜81由能夠進行基於例如加水分解或氧化分解的蝕刻的樹脂構成。原膜可以使用市售的膜。

樹脂膜81由例如從聚對苯二甲酸乙二醇酯(pet)、聚碳酸酯、聚醯亞胺、聚萘二甲酸乙二醇酯及聚偏二氟乙烯中選擇的至少1種樹脂構成。

音響聲阻8可以具備2層以上的樹脂膜81。這樣的音響聲阻8例如可以對具有2層以上的原膜的層疊體進行離子束照射及化學蝕刻而形成。

音響聲阻8根據需要，也可以具備樹脂膜81以外的任意的構件及/或層。

音響聲阻8可以還具備例如疏液層82。還具備疏液層82的音響聲阻8具有防水性。疏液層82例如可以對樹脂膜81進行疏液處理來形成。在圖8所示的例子中，疏液層82形成於樹脂膜81的雙方的主面84a、84b上和貫通孔83的表面。圖8所示的音響聲阻8除了形成疏液層82以外，具有與不具有疏液層的音響聲阻即圖2所示的音響聲阻8同樣的結構。

疏液層82可以僅形成於樹脂膜81的一方的主面上，也可以僅形成於一方的主面上和貫通孔83的表面。在形成疏液層82的情況下，優選至少形成於在配置於音響設備時水接觸的主面。

疏液層82是具有疏水性的層，優選一併具有疏油性。而且，疏液層82在與樹脂膜81的貫通孔83對應的位置具有開口85。疏液層82可以通過例如將疏水劑或疏水性的疏油劑利用稀釋劑稀釋而調製的處理液較薄地塗布在樹脂膜81上並乾燥而形成。疏水劑及疏水性的疏油劑是例如全氟烷基丙烯酸酯、全氟烷基甲基丙烯酸酯那樣的氟化物。疏液層82的厚度優選小於貫通孔83的直徑的1/2。

在樹脂膜81上較薄地塗布處理液而形成疏液層82的情況下，雖然也受貫通孔83的直徑的影響，但是該貫通孔的表面(內周面)也可以與樹脂膜81的主面上連續地由疏液層82包覆。

通過疏液層82賦予了防水性的音響聲阻8的防水性可以通過例如遵照jisl1092的耐水度試驗b法(高水壓法)的規定而測定的耐水壓來評價。耐水壓為例如2kpa以上。

音響聲阻8可以還具備例如通氣性支承層89。在圖9所示的音響聲阻8中，在圖7所示的音響聲阻8的樹脂膜81中的主面84b配置通氣性支承層89。通過通氣性支承層89的配置，作為音響聲阻8的強度提高，而且，處理性也提高。通氣性支承層89可以配置於樹脂膜81的一方的主面，也可以配置於雙方的主面。

通氣性支承層89是厚度方向的通氣度比樹脂膜81高的層。通氣性支承層89可以使用例如織布、無紡布、網、網眼織物。構成通氣性支承層89的材料是例如聚酯、聚乙烯、芳族聚醯胺樹脂。通氣性支承層89的形狀可以與樹脂膜81的形狀相同，也可以不同。例如，可以是具有僅配置於樹脂膜81的周緣部的形狀的(具體而言，在樹脂膜81為圓形的情況下，僅配置於其周緣部的環狀的)通氣性支承層89。通氣性支承層89例如通過與樹脂膜81的基於熱熔敷、粘結劑的粘結等手法配置。

音響聲阻8的面密度從該膜的強度、包含生產成品率及安裝精度的處理性、以及通音性的觀點出發而優選為5～100g/m2，更優選為10～50g/m2。

可以對音響聲阻8實施著色處理。雖然也受構成樹脂膜81的材料的種類的影響，但是未實施著色處理的音響聲阻8的延伸為例如透明或白色。在將這樣的音響聲阻8配置於殼體3的開口6的附近的情況下，該阻力體8有時引人注目。引人注目膜會刺激使用者的好奇心，由於針等的扎刺而作為音響聲阻的功能有時會受損。當對音響聲阻8實施著色處理時，例如，通過成為與殼體的顏色同色或近似的顏色的音響聲阻8，相對地能夠抑制使用者的注目。而且，在音響設備的設計及構思上，有時要求著色後的音響聲阻，通過著色處理，能夠滿足這樣的要求。

著色處理例如能夠通過對樹脂膜81進行染色處理或者使樹脂膜81包含著色劑而能夠實施。著色處理可以是例如以將包含于波長380nm以上且500nm以下的波長域的光吸收的方式實施。即，可以對音響聲阻8實施將包含于波長380nm以上且500nm以下的波長域的光吸收的著色處理。為此，例如，樹脂膜81含有具有將包含于波長380nm以上且500nm以下的波長域的光吸收的能力的著色劑，或者通過具有將包含于波長380nm以上且500nm以下的波長域的光吸收的能力的染料來染色。在該情況下，能夠將音響聲阻8著色成藍色、灰色、茶色、桃色、綠色、黃色等。音響聲阻8也可以被著色處理成黑色、灰色、茶色或桃色。

在音響聲阻8被著色處理成黑色或灰色的情況下，其著色的程度由以下所示的白色度w表示而優選處於15.0～40.0的範圍。遵照jisl1015的規定(追蹤法)使用色差計來測定音響聲阻8的主面的明度l、色澤a及彩度b，根據測定的這些值通過式w＝100-sqr[(100-l)2+(a2+b2)]能夠求出白色度w。白色度w的值越小，則音響聲阻8的顏色越成為黑色。

[音響聲阻的製造方法]

音響聲阻8的製造方法沒有特別限定，例如，可以通過以下說明的製造方法來製造。

在以下的製造方法中，通過對於原膜的離子束的照射和之後的蝕刻(化學蝕刻)來形成樹脂膜81。通過離子束照射及蝕刻而形成的樹脂膜81可以直接作為音響聲阻8，也可以根據需要，經過形成疏液層82的工序、著色處理工序、或者層疊通氣性支承層89的工序等進一步的工序而作為音響聲阻8。

在使用離子束照射及之後的蝕刻的方法中，例如，樹脂膜81具有的貫通孔83的直徑及其均勻度、以及中心線86的延伸方向、孔密度、開口率、氣孔率這樣的特性的控制容易，即，由音響聲阻8的配置產生的路徑7中的氣體的流動的阻力的控制的自由度升高。

原膜是在離子束照射及蝕刻後作為音響聲阻8而使用的區域中不具有沿其厚度方向能夠通氣的路徑的非多孔質的樹脂膜。原膜可以是無孔的膜。原膜為非多孔質的樹脂膜的情況是指，通過離子束照射及蝕刻而在原膜上形成貫通孔83並作為樹脂膜81時，與例如網眼織物等織物構造或無紡布構造等相比能夠減小該膜81的不均。

當向原膜照射離子束時，在該膜中的離子通過的部分，構成樹脂膜的聚合物鏈會產生與離子的碰撞引起的損傷。產生損傷的聚合物鏈與離子未碰撞的其他的部分的聚合物鏈相比容易化學蝕刻。因此，通過對照射了離子束的原膜進行化學蝕刻，能得到形成有沿著離子的碰撞的軌跡延伸的細孔(貫通孔)的樹脂膜。即，貫通孔83的中心線86延伸的方向是在離子束照射時離子通過原膜的方向。在原膜中的離子未通過的部分通常不形成細孔。

由原膜形成樹脂膜81的該方法可包括：向非多孔質的原膜照射離子束的工序(i)；及對照射了離子束的原膜進行化學蝕刻的工序(ii)。在工序(i)中，在原膜形成有沿該膜的厚度方向貫通的呈直線狀延伸的離子的碰撞的軌跡(離子軌道)。在工序(ii)中，通過化學蝕刻，在原膜上形成與通過工序(i)形成的離子軌道對應的貫通孔83，從而形成在厚度方向上具有通氣性的樹脂膜81。

在該方法中，能夠形成圖2所示那樣的、具有截面(與中心線86延伸的方向垂直的截面)87的面積從一方的主面84a朝向另一方的主面84b恆定或大致恆定的貫通孔83的樹脂膜81，也能夠形成具有該面積從一方的主面84a朝向另一方的主面84b增加的貫通孔83的樹脂膜81。前者的樹脂膜81例如可以將離子照射後的原膜直接進行化學蝕刻來形成。由於在原膜上形成的相當於離子軌道的區域通過蝕刻而除去，因此通過充分地取得化學蝕刻的時間而形成截面87的面積恆定或大致恆定的貫通孔83。

後者的樹脂膜81例如在工序(ii)中，執行從一方的主面開始的上述部分的蝕刻的程度比從另一方的主面開始的上述部分的蝕刻的程度大的化學蝕刻而能夠形成。作為更具體的例子，能夠通過在離子照射後的原膜中的一方的主面配置有掩模層的狀態下執行化學蝕刻而形成。在該化學蝕刻中，與從配置有掩模層的上述一方的主面開始的蝕刻相比，從上述另一方的主面開始的蝕刻的程度變大。通過實施這樣的非對稱蝕刻，更具體而言，離子照射後的原膜中的從一方的主面與從另一方的主面之間的進展速度不同的蝕刻，能夠形成具有與中心線86延伸的方向垂直的截面87的面積從樹脂膜81的一方的主面朝向另一方的主面變化的形狀的貫通孔83。需要說明的是，在形成未配置掩模層的前者的樹脂膜81時的蝕刻中，對於離子束照射後的原膜，均等的蝕刻從該原膜的雙方的主面進展。

以下，更具體地說明工序(i)及(ii)。

[工序(i)]

在工序(i)中，向原膜照射離子束。離子束由加速後的離子構成。通過離子束的照射，形成該射束中的離子發生了碰撞的原膜。

當向原膜照射離子束時，如圖10所示，射束中的離子101與原膜102碰撞，碰撞後的離子101在該膜102的內部殘留軌跡(離子軌道)103。以作為被照射物的原膜102的尺寸刻度來看，通常，離子101大致呈直線狀地與原膜102碰撞，因此在該膜102上形成呈直線狀地延伸的軌跡103。離子101通常貫通原膜102。

向原膜102照射離子束的方法不受限定。例如，將原膜102收容於腔室，在降低了腔室內的壓力之後(例如，為了抑制照射的離子101的能量的減衰而形成為高真空氣氛之後)，從射束線將離子101向原膜102照射。也可以向腔室內施加特定的氣體，還可以雖然將原膜102收容於腔室但是不使該腔室內的壓力減壓而以例如大氣壓實施離子束的照射。

可以準備卷繞有帶狀的原膜102的輥，一邊從該輥送出原膜102，一邊連續地向原膜102照射離子束。由此，能夠有效地形成樹脂膜81。也可以在上述的腔室內配置上述輥(送出輥)和卷繞離子束照射後的原膜102的卷繞輥，在形成為減壓、高真空等任意的氣氛的腔室內，一邊從送出輥送出帶狀的原膜102，一邊連續地向該膜照射離子束，將射束照射後的原膜102卷繞於卷繞輥。

構成原膜102的樹脂與構成樹脂膜81的樹脂相同，例如，是從pet、聚碳酸酯、聚醯亞胺、聚萘二甲酸乙二醇酯及聚偏二氟乙烯中選擇的至少1種。由上述的樹脂構成的原膜102具有離子101發生了碰撞的部分的化學蝕刻順暢地進展且其他的部分的化學蝕刻難以進展的特徵，原膜102中的與軌跡103對應的部分的化學蝕刻的控制變得容易。因此，通過這樣的原膜102的使用，例如，樹脂膜81的貫通孔83的形狀的控制變得更加容易。

原膜102的厚度為例如5～100μm。在工序(i)中的離子束照射的前後，通常，原膜102的厚度不變化。

照射離子束的原膜102例如是無孔的膜。在該情況下，只要除了工序(i)及(ii)以外不實施在該膜設置孔的進一步的工序，就能夠形成通過工序(i)及(ii)形成的貫通孔83以外的部分無孔的樹脂膜81。在實施了該進一步的工序時，形成具有通過工序(i)及(ii)形成的貫通孔83和通過該進一步的工序形成的孔的樹脂膜81。

向原膜102照射、碰撞的離子101的種類不受限定，但是從抑制與構成原膜102的樹脂的化學反應的情況出發，優選質量數比氖大的離子，具體而言從氬離子、氪離子及氙離子中選擇的至少1種離子。

離子101的能量(加速能量)典型的是100～1000mev。在使用厚度5～100μm左右的聚酯膜作為原膜102的情況下，離子種類為氬離子時的離子101的能量優選為100～600mev。向原膜102照射的離子101的能量根據離子種類及構成原膜102的樹脂的種類可以調整。

向原膜102照射的離子101的離子源不受限定。從離子源放出的離子101例如由離子加速器加速之後經由射束線向原膜102照射。離子加速器是例如回旋加速器，更具體的例子是avf回旋加速器。

成為離子101的路徑的射束線的壓力從抑制射束線中的離子101的能量減衰的觀點出發而優選為10-5～10-3pa左右的高真空。在收容照射離子101的原膜102的腔室的壓力未達到高真空的情況下，可以通過使離子101透過的隔壁來保持射束線與腔室的壓力差。隔壁例如由鈦膜或鋁膜構成。

離子101例如從與原膜102的主面垂直的方向照射於該膜。在圖10所示的例子中，進行這樣的照射。在該情況下，軌跡103與原膜102的主面垂直地延伸，因此通過之後的化學蝕刻，能得到形成有中心線86在與主面垂直的方向上延伸的貫通孔83的樹脂膜81。離子101可以從相對於原膜102的主面傾斜的方向照射於該膜。在該情況下，通過之後的化學蝕刻，能得到形成有中心線86在從與主面垂直的方向傾斜的方向上延伸的貫通孔83的樹脂膜81。對於原膜102照射離子101的方向能夠通過公知的手段來控制。圖3的角度θ1例如能夠通過離子束相對於原膜102的入射角來控制。

離子101例如以使多個離子101的飛躍成為相互平行的方式向原膜102照射。在圖10所示的例子中，進行這樣的照射。在該情況下，通過之後的化學蝕刻，得到形成有相互平行地延伸的多個貫通孔83的樹脂膜81。

離子101可以是以使多個離子101的飛躍成為相互不平行(例如相互隨機)的方式向原膜102照射。由此，例如，形成圖3～6所示的樹脂膜81。更具體而言，為了形成圖3～6所示的樹脂膜81，例如，可以將離子束從與原膜102的主面垂直的方向傾斜照射，並連續地或逐級地使該傾斜的方向變化。需要說明的是，離子束是多個離子相互平行地飛翔的射束，因此在樹脂膜81上通常存在沿相同方向延伸的貫通孔83的組(在樹脂膜81上通常存在沿相同方向延伸的多個貫通孔83)。

連續地或逐級地使該傾斜的方向變化的方法的例子如圖11所示。在圖11所示的例子中，從送出輥105送出帶狀的原膜102並使其通過具有規定的曲率的照射輥106，在通過該輥106期間照射離子束104，將照射後的原膜102卷繞於卷繞輥107。此時，離子束104中的離子101接連不斷地相互平行飛翔，因此原膜102在照射輥106上移動並且離子束對於原膜102的主面碰撞的角度(入射角θ1)變化。並且，如果連續地照射離子束104，則上述傾斜的方向連續地變化，如果斷續地照射離子束104，則上述傾斜的方向逐級地變化。這也可以說是利用離子束的照射定時的控制。而且，通過離子束104的截面形狀及對於原膜102的照射面的離子束104的射束線的截面積，能夠控制形成於原膜102的軌跡103的狀態(例如角度θ1)。

樹脂膜81的孔密度能夠通過向原膜102的離子束的照射條件(離子種類、離子的能量、離子的碰撞密度(照射密度)等)來控制。

離子101可以從2條以上的射束線向原膜102照射。

工序(i)可以在原膜102的主面例如上述一方的主面配置有掩模層的狀態下實施。在該情況下，例如，能夠將該掩模層利用於工序(ii)中的掩模層。

[工序(ii)]

在工序(ii)中，對於工序(i)中照射了離子束之後的原膜102中的離子101發生了碰撞的部分的至少一部分進行化學蝕刻，在該膜上形成沿著離子101的碰撞的軌跡103延伸的貫通孔83。這樣得到的樹脂膜81中的貫通孔83以外的部分只要不進一步實施使膜的狀態變化的工序，就基本上與離子束照射前的原膜102相同。

具體的蝕刻的手法只要遵照公知的手法即可。例如，只要將離子束照射後的原膜102在蝕刻處理液中以規定的溫度浸漬規定的時間即可。通過蝕刻溫度、蝕刻時間、蝕刻處理液的組成等蝕刻條件，例如，能夠控制貫通孔83的直徑。

蝕刻的溫度為例如40～150℃，蝕刻的時間為例如10秒～60分鐘。

化學蝕刻使用的蝕刻處理液沒有特別限定。蝕刻處理液是例如鹼性溶液、酸性溶液、或者添加了從氧化劑、有機溶劑及界面活性劑中選擇的至少1種的鹼性溶液或酸性溶液。鹼性溶液是例如氫氧化鈉、氫氧化鉀那樣的含鹼的溶液(典型的是水溶液)。酸性溶液是例如硝酸、硫酸那樣的含酸的溶液(典型的是水溶液)。氧化劑是例如重鉻酸鉀、過錳酸鉀、次氯酸鈉。有機溶劑是例如甲醇、乙醇、2-丙醇、乙二醇、氨基醇、n-甲基吡咯烷酮、n,n-二甲基甲醯胺。界面活性劑是例如烷基苯磺酸鹽、烷基硫酸鹽。

在工序(ii)中，可以在離子束照射後的原膜102的一方的主面上配置有掩模層的狀態下實施上述化學蝕刻。在該化學蝕刻中，關於原膜102中的離子101發生了碰撞的部分的蝕刻，與從配置有掩模層的上述一方的主面開始的蝕刻相比，從另一方的主面開始的蝕刻的程度變大。即，關於原膜102中的離子101發生了碰撞的部分的蝕刻，實施從該膜的雙方的主面開始的蝕刻非對稱地進展的化學蝕刻(非對稱蝕刻)。需要說明的是，「蝕刻的程度大」更具體而言是指例如關於上述部分的每單位時間的蝕刻量大，即關於上述部分的蝕刻速度大。

在工序(ii)中，可以通過向原膜102的一方的主面的、與原膜102中的離子101發生了碰撞的部分相比難以化學蝕刻的掩模層的配置，來實施抑制從該一方的主面開始的上述部分的蝕刻並使從原膜102的另一方的主面開始的上述部分的蝕刻進展的化學蝕刻。這樣的蝕刻例如能夠通過掩模層的種類及厚度的選擇、掩模層的配置、蝕刻條件的選擇等來實施。

掩模層的種類沒有特別限定，但是優選由與原膜102中的離子101發生了碰撞的部分相比難以化學蝕刻的材料構成的層。「難以蝕刻」更具體而言是指例如每單位時間蝕刻的量小，即，被蝕刻速度小。是否難以化學蝕刻能夠基於在工序(ii)中實際實施的非對稱蝕刻的條件(蝕刻處理液的種類、蝕刻溫度、蝕刻時間等)來判斷。在工序(ii)中一邊改變掩模層的種類及/或配置面一邊實施多次的非對稱蝕刻的情況下，只要基於各蝕刻的條件而對於各個蝕刻進行判斷即可。

掩模層在與原膜102中的離子101未碰撞的部分的對比中，既可以比該部分容易化學蝕刻，也可以比該部分難以化學蝕刻，但是優選比該部分難以化學蝕刻。在比該部分難以化學蝕刻的情況下，例如，能夠減薄非對稱蝕刻的實施所需的掩模層的厚度。

在工序(i)中，在向配置有掩模層的原膜102照射離子束的情況下，在該掩模層上也形成離子軌道。考慮到這一點，構成掩模層的材料優選為即使由於離子束的照射而其聚合物鏈也難以受到損傷的材料。

掩模層例如由從聚烯烴、聚苯乙烯、聚氯乙烯、聚乙烯醇及金屬箔中選擇的至少1種構成。這些材料難以化學蝕刻，並且即使通過離子束的照射也難以受到損傷。

在配置掩模層而實施非對稱蝕刻的情況下，只要配置在相當於實施該蝕刻的區域的、原膜102的一方的主面的至少一部分即可。根據需要，可以配置於原膜102的一方的主面的整體。

在原膜102的主面配置掩模層的方法只要是在實施非對稱蝕刻期間，掩模層不會從該主面剝離即可，並不受限定。掩模層例如通過粘著劑而配置於原膜102的主面。即在工序(ii)中，可以在掩模層通過粘著劑而貼合於上述一方的主面的狀態下，實施上述化學蝕刻(非對稱蝕刻)。基於粘著劑的掩模層的配置能夠比較容易地進行。而且，通過選擇粘著劑的種類，從非對稱蝕刻後的原膜102的掩模層的剝離變得容易。

在工序(ii)中實施非對稱蝕刻的情況下，可以實施多次該蝕刻。而且，可以與非對稱蝕刻一併實施從原膜102的雙方的主面均等地使軌跡103的蝕刻進展的對稱蝕刻。例如，可以在蝕刻的中途將掩模層從原膜102剝離，由此從非對稱蝕刻切換為對稱蝕刻的進展。或者，可以在實施了對稱蝕刻之後在原膜102配置掩模層，來實施非對稱蝕刻。

在工序(ii)中實施使用了掩模層的非對稱蝕刻的情況下，該蝕刻後的掩模層根據需要可以使其一部分或全部殘留於樹脂膜81。殘留的掩模層例如可以使用作為區分樹脂膜81中的上述一方的主面(配置有掩模層的主面)與上述另一方的主面的標記。

在工序(ii)中實施多次的蝕刻的情況下，在各次的蝕刻中可以使蝕刻條件變化。

樹脂膜81的製造方法也可以包含工序(i)、(ii)以外的任意的工序。

[音響聲阻構件]

本發明的音響聲阻構件的一例如圖12所示。圖12所示的音響聲阻構件91具備：從與主面垂直的方向觀察的形狀為圓形的音響聲阻8；及接合於該阻力體8的周緣部的環狀的片即支承體92。通過在音響聲阻8接合有支承體92的方式，音響聲阻8被加強，並且其處理性提高。而且，支承體92成為將音響聲阻構件91向音響設備配置時的安裝餘量，因此音響聲阻8的安裝作業變得容易。

支承體92的形狀不受限定。例如圖13所示，可以是接合於從與主面垂直的方向觀察的形狀為矩形的音響聲阻8的周緣部的、框狀的片即支承體92。如圖12、13所示，通過使支承體92的形狀成為音響聲阻8的周緣部的形狀，能抑制由支承體92的配置引起的音響聲阻8的特性的下降。而且，片狀的支承體92從音響聲阻8的處理性及向音響設備的配置性的觀點出發而優選。

構成支承體92的材料是例如樹脂、金屬及它們的複合材料。樹脂是例如聚乙烯、聚丙烯等聚烯烴；pet、聚碳酸酯等聚酯；聚醯亞胺或者它們的複合材料。金屬是例如不鏽鋼或鋁那樣的耐蝕性優異的金屬。

支承體92的厚度為例如5～500μm，優選為25～200μm。而且，著眼於作為安裝餘量的功能，環寬(框寬：外形與內徑之差)為0.5～2mm左右比較適當。支承體92可以使用由上述樹脂構成的發泡體。

音響聲阻8與支承體92的接合方法沒有特別限定，例如，可以採用加熱熔敷、超聲波熔敷、基於粘結劑的粘結、基於雙面膠帶的粘結等方法。

音響聲阻構件91可以具備2層以上的音響聲阻8及/或2層以上的支承體92。

[音響設備]

本發明的音響設備的一例是圖1所示的耳機單元1。耳機單元1的具體的結構如音響聲阻的說明中的上述那樣。

如圖1所示，在本發明的音響設備中，音響聲阻8配置在與該設備的殼體上設置的開口連通且配置有音響元件的氣體的路徑7中的、該開口及音響元件之間。「配置在開口及音響元件之間」包括向開口的配置，更具體而言，以閉塞開口的方式接合於殼體的狀態下的配置。在該情況下，既可以接合於殼體的內壁，也可以接合於外壁。

路徑7所連通的開口可以是通音口，也可以是通音口以外的開口。在圖1所示的耳機單元1中，在與通音口5不同的開口6上連通配置有音響聲阻8的路徑7。在本發明的音響設備中，例如，可以在音響設備的殼體設置2個以上的開口，這2個以上的開口包括在音響元件與殼體的外部之間傳遞聲音的通音口，至少在與不同於通音口的上述開口連通的路徑7上配置音響聲阻8。也可以在與通音口連通的路徑7和與通音口以外的開口連通的路徑7這雙方配置音響聲阻8。配置於音響設備的音響聲阻8可以為2個以上，配置於1條路徑7的音響聲阻8也可以為2個以上。

來自音響元件的路徑7可以與2個以上的開口連通，此時該2個以上的開口中的至少1個可以為通音口。換言之，來自音響元件的路徑7可以與通音口和通音口以外的開口連通。

路徑7的設計、路徑7中的配置音響聲阻8的位置及個數、以及音響聲阻8的特性(貫通孔徑、通氣度等)可以根據要求的音響設備的特性而自由設定。

音響聲阻8例如以將配置該阻力體8的路徑7閉塞的方式配置。音響聲阻8可以是以局部性地覆蓋路徑7的方式配置。

在音響聲阻8具有防塵性的情況下，通過其配置的狀態，能得到具有防塵性的音響設備。配置的狀態例如是將與路徑7連通的開口覆蓋那樣的配置。在音響聲阻8具有防水性的情況下，通過其配置的狀態，能得到具有防水性的音響設備。配置的狀態例如是將與路徑7連通的開口覆蓋那樣的配置。

音響聲阻8向路徑7的配置方法不受限定。在圖1所示的耳機單元1中，在設有構成路徑7的開口24的框架23上，以閉塞該開口24的方式接合音響聲阻8。通過在構成音響設備的構件上接合音響聲阻8而在路徑7配置該阻力體8的情況下，可以採用使用了雙面膠帶的粘貼、熱熔敷、高頻熔敷、超聲波熔敷等手法。在使用了雙面膠帶的粘貼中，也可以將該雙面膠帶利用作為支承體92，能夠更可靠且準確地接合音響聲阻8。

音響聲阻8的形狀不受限定。音響聲阻8的形狀例如為盤狀、圓筒狀、環狀及這些形狀的一部分(例如，環的一部分、月牙狀、半月狀等)。根據配置音響聲阻8的路徑7的形狀或路徑7的截面的形狀可以自由設定。

音響元件具有對於聲音進行輸出及/或輸入的功能。音響元件例如是振動板(振動薄膜、振動膜、隔膜)。

路徑7中的配置音響元件的位置不受限定，例如，音響元件可以配置在路徑7的末端。

變換部(transducer)具備音響元件，將聲音與電信號進行變換。在音響設備是如耳機等那樣輸出聲音的設備的情況下，在變換部，輸出與輸入的電信號(聲音信號)對應的聲音。在音響設備是如麥克風等那樣輸入聲音的設備的情況下，在變換部，輸出與輸入的聲音對應的電信號(聲音信號)。變換部的具體的結構沒有特別限定，可以包括音響元件在內與公知的變換部相同。

變換部向殼體內的收容方法及收容位置不受限定。殼體例如通過金屬、樹脂、玻璃及它們的複合材料形成。設置於殼體的開口(包括通音口)的位置及形狀不受限定。

本發明的音響設備不受限定，例如是耳機、頭戴式耳機、麥克風、頭戴式帶麥克風耳機、聽筒、助聽器及可穿戴終端。本發明的音響設備可以是噪音計等音響評價設備。本發明的音響設備可以是由2個以上的單元構成的音響設備的各單元。該單元例如是構成耳機單元、頭戴式耳機單元、麥克風單元、頭戴式帶麥克風耳機的各單元。

實施例

本發明沒有限定為以下所示的實施例。

(實施例1)

準備了形成有在厚度方向上貫通的多個貫通孔的非多孔質的市售的pet膜(it4ip制，tracketchedmembrane，厚度45μm)。該膜的貫通孔的直徑為3.0μm，孔密度為2.0×106個/cm2。

接下來，將準備的pet膜在保持為80℃的蝕刻處理液(氫氧化鉀濃度20質量％的水溶液)中浸漬30分鐘。在蝕刻結束後，從處理液中取出膜，浸漬在ro水(反滲透膜過濾水)中進行了清洗之後，利用50℃的乾燥烤爐進行乾燥，得到了形成有在厚度方向上貫通的多個貫通孔的非多孔質的樹脂膜。得到的樹脂膜的貫通孔的直徑為5.9μm，與該中心軸延伸的方向垂直的截面的面積在該膜的厚度方向上恆定。孔密度在蝕刻前後相同。

接下來，使用分散染料將乾燥後的樹脂膜染色。染色後的膜在肉眼觀察下為黑色。

接下來，將製作的黑色膜在疏液處理液中浸漬3秒之後，在常溫下放置30分鐘使其乾燥，在該膜的表面及貫通孔的內周面形成了疏液層。疏液處理液利用稀釋劑(信越化學制，fsthinner)進行稀釋而調製成疏液劑(信越化學制，x-70-029c)成為濃度0.7重量％。

這樣得到的樹脂膜(音響聲阻)的表觀密度為0.70g/cm3。

另外，通過通氣性變動率而評價了這樣得到的樹脂膜(音響聲阻)中的厚度方向的通氣性的不均。通氣性變動率如以下那樣求出。首先，如圖14所示，將得到的樹脂膜作為樣品201，沿著該樣品的主面中的正交的2個方向分別設定了20點，在樣品201整體上設定了40點的測定點202。接下來，遵照jisl1096b的規定，測定了各測定點202的樣品201的厚度方向的通氣度作為格利數。接下來，求出測定的40點的通氣度的平均值av及標準偏差σ，求出由標準偏差σ相對於平均值av之比σ/av表示的通氣性變動率。通過實施例1製作的音響聲阻的通氣性變動率為0.081。

(比較例1)

作為比較例1的音響聲阻，準備了市售的無紡布(旭化成纖維制，smashy15250)。該無紡布是通過紡粘法而形成的由聚對苯二甲酸乙二醇酯纖維構成的無紡布，其表觀密度為0.44g/cm3。

以該音響聲阻為樣品，與實施例1同樣地求出了通氣性變動率。各測定點202的位置與實施例1相同。比較例1的音響聲阻的通氣性變動率為0.150。

實施例1的音響聲阻的通氣性的不均小於比較例1的音響聲阻的通氣性的不均。

本發明只要不脫離其意圖及本質的特徵，就可以適用於其他的實施方式。本說明書公開的實施方式在所有點上是說明性的方式，並不限定於此。本發明的範圍不是由上述說明而是由附加的權利要求書公開，處於與權利要求書等同的意思及範圍內的全部變更包含於此。

產業上的可利用性

本發明的音響聲阻能夠使用於與以往的音響聲阻同樣的任意的用途。