液體有機金屬化合物的蒸發/進料系統的製作方法
2023-10-09 09:11:29 3
專利名稱：液體有機金屬化合物的蒸發/進料系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及對感應耦合等離子體(ICP)發射攝譜儀進行蒸發和進料液體有機金屬化合物的系統。
背景技術：
對於化合物半導體的晶體生長方法，現在最感興趣的是應用液體有機金屬化合物進行金屬有機化學汽相澱積(MOCVD)方法。MOCVD方法是一種在化合物半導體的外延薄膜的生產中通常採用的晶體生長方法。該方法由有機金屬化合物如(CH3)3Ga、(CH3)3In和(CH3)3Al作為反應物開始，應用其熱分解反應進行晶體生長從而形成薄膜。
因為由MOCVD方法產生的半導體薄膜的質量主要取決於用作反應物的有機金屬化合物的化學純度，因此從本技術開發的早期至今一直持續要求更高純度的有機金屬化合物。
但由於其具有非常高的化學活性和毒性，致使有機金屬化合物很難處理。在目前的情況下，只有幾種方法用於分析有機金屬化合物中的微量雜質。
迄今為止已經報導的大部分分析有機金屬化合物中微量雜質的方法都應用ICP發射攝譜儀作為分析儀器。從ICP測量過程中有機金屬化合物的形式以及將有機金屬化合物引入ICP的方法和裝置方面來說，本領域已知該技術通常被劃分為下列六種方法(1)水解方法有機化合物被水解形成水溶液，所述水溶液被霧化成氣溶膠並進料至ICP焰炬(torch)。參見Journal of CrystalGrowth，77(1986)，pp.47-54。
(2)溶液方法當有機金屬化合物用溶劑如二甲苯稀釋後，混合後的溶液被霧化成氣溶膠並進料至ICP焰炬。參見ANALYST，May1990，Vol.115。
(3)流動注入方法通過混合有機金屬化合物和二乙醚一旦形成加合物，則使其通過霧化器以形成氣溶膠。然後將所述氣溶膠引入到膜乾燥管中，其中將二乙醚從系統中脫除而只有剩餘的有機化合物被進料至ICP焰炬中。參見Spectrochimica Acta，Vol.44B.No.10，pp.1041-1048，1989。
(4)電熱蒸發方法將有機金屬化合物放入能夠瞬時加熱至溫度為約3,000℃的加熱器中。這樣產生的有機金屬化合物的蒸氣被載氣所載帶並直接引入到ICP焰炬中。參見Journal of AnalyticalAtomic Spectrometry，December 1994，Vol.9。
(5)直接蒸氣引入方法將載氣吹入填充在不鏽鋼容器內的有機金屬化合物中，並將所形成的有機金屬化合物的蒸氣直接引入到ICP焰炬中。參見Journal of Electronic Materials，Vol.18，No.5，1989。
(6)指數稀釋方法將預定量的有機金屬化合物放入加熱器中，在其中被加熱而產生蒸氣，而所述蒸氣與載氣一起被直接引入至ICP焰炬中。參見歐洲專利申請EP 0447747A2。
上述六種方法中每一種均具有優點和缺點。其中沒有哪一種可以被認為是分析和引導有機金屬化合物至ICP的完備方法。但指數稀釋方法(6)被認為是相對較好的，其原因是(i)有機金屬化合物的預處理是不必要的，(ii)由於有機金屬化合物可以不需稀釋而進行分析，從而可以進行高靈敏度的分析，(iii)雜質的濃度不隨時間變化，以及(iv)對於測量來說僅需少量樣品。
但在應用中，由於其必須應用分配器如注射器從裝填有有機金屬化合物的容器中取樣，致使指數稀釋方法存在有幾個問題。(i)在取樣操作和加入到加熱器的過程中，有可能通過中毒或灼燒而對人體造成傷害。(ii)在取樣操作過程中有機金屬化合物可能會被汙染。(iii)在每次分析時必須重複取樣。
發明概述本發明的目的是提供一種液體有機金屬化合物的蒸發和進料系統，該系統確保安全操作對人體有害的有機金屬化合物，並確保僅應用少量昂貴的有機金屬化合物可以按非常高的靈敏度和具有可重複性進行ICP分析。
本發明涉及一種液體有機金屬化合物的蒸發和進料系統，包括(1)液體反應物流道，該流道通過用於控制液體反應物流量的液體質量流量控制器連接裝有液體有機金屬化合物的液體反應物容器和用於蒸發液體反應物的蒸發器，(2)載氣流道，該流道通過載氣質量流量控制器連接載氣源與蒸發器，和(3)樣品氣流道，該流道通過設置在蒸發器下遊的在線監測器與ICP發射攝譜儀的樣品入口相連。其上設置有用於控制標定用標準氣流量的氣體質量流量控制器的標準氣流道與樣品氣流道相連。這種構造排除了應用分配器如注射器取樣液體有機金屬化合物的繁重和危險的操作，明顯提高了對人體的安全性，並避免了在取樣操作過程中汙染的危險。從而可以僅應用少量貴重有機金屬化合物以非常高的靈敏度和可重複的方式進行ICP分析。應用本發明的液體有機金屬化合物蒸發和進料系統，可以同時產生多種標定用標準氣，並且可以即時進行多種雜質的定性和定量分析。因此可以按高度安全並且可重複的方式進行靈敏度非常高的ICP分析。
按照本發明，提供一種液體有機金屬化合物的蒸發和進料系統，包括(1)其中裝有液體有機金屬化合物的液體反應物容器、用於蒸發液體有機金屬化合物的蒸發器、液體反應物流道，所述液體反應物流道連接所述容器和蒸發器，並且其上設置有用於控制液體有機金屬化合物流量的液體質量流量控制器，(2)載氣源、載氣流道，其中所述載氣流道連接所述載氣源和所述蒸發器，並且其上設置有用於控制載氣流量的氣體質量流量控制器，(3)樣品氣流道，所述樣品氣流道一端與所述蒸發器的氣體出口相連，另一端與ICP發射攝譜儀的樣品入口相連，並且其上設置有在線監測器，
(4)充有標定用標準氣的氣體鋼瓶、和連接所述氣體鋼瓶與樣品氣流道的標準氣流道，其連接位置在在線監測器的下遊，並且所述標準氣流道上設置有用於控制標準氣流量的氣體質量流量控制器。
在一種優選實施方案中，所述蒸發和進料系統包括多個標定用標準氣鋼瓶以及相應的多個標準氣流道，並且每個流道上均設置有用於控制相應的標準氣流量的氣體質量流量控制器。
附圖的簡要描述
圖1是示意性流程圖，其描述了本發明第一種實施方案的蒸發/進料系統。
圖2是可以在圖1的系統中應用的兩位式切斷閥的示意性描述。
圖3是可以在圖1的系統中應用的另一種兩位式切斷閥的示意性描述。
圖4是示意性流程圖，其描述了本發明第二種實施方案的蒸發/進料系統的一部分。
優選實施方案描述參照圖1，其中示意性描述了按照本發明第一種實施方案的液體有機金屬化合物的蒸發/進料系統。所述系統包括裝有液體有機金屬化合物(MO)的液體反應物容器1、氬氣等的載氣源2以及蒸發器3。液體反應物流道G1連接液體反應物容器1和蒸發器3從而進行流體連通。在流道G1中設置有液體質量流量控制器MFC-1用於控制液體有機金屬化合物的流量，並在流道G1上在控制器MFC-1的上遊和下遊分別設置有切換閥V1和V2。流道G1位於容器1一側的端部構造為汲取管，該汲取管的末端浸沒在液體有機金屬化合物中。所述系統還包括載氣流道G2，該流道連接載氣源2和蒸發器3從而進行流體連通。在載氣流道G2上設置有用於控制載氣流量的氣體質量流量控制器MFC-2，並在流道G2上在控制器MFC-2的上遊設置有切換閥V3。所述系統進一步包括流道G3，該流道G3連接載氣源2與容器1用於進行流體連通。在流道G3的上遊和下遊位置分別設置有壓力調節器4和切換閥V4。
與蒸發/進料系統相連的是感應耦合等離子體(ICP)發射攝譜儀(10)，其包括等離子體焰炬11、注射器12以及RF線圈13，這些部件協作產生等離子體火焰14。樣品氣流道G4連接蒸發器3的氣體出口和ICP攝譜儀10的樣品入口。在樣品氣流道G4上設置有在線監測器5，並且在流道G4上在監測器的下遊設置有切換閥V5。
在系統中進一步包括充有標定用標準氣的氣體鋼瓶6以及標準氣流道G5，所述標準氣流道G5連接氣體鋼瓶6與樣品氣流道G4從而進行流體連通，其連接位置在在線監測器5和切換閥V5之間。在標準氣流道G5中，從上遊側到下遊側依次設置有壓力調節器4′、用於控制標定用標準氣流量的氣體質量流量控制器MFC-3和切換閥V6。第二載氣流道G6從載氣源2延伸至標準氣流道G5處。更具體地，第二載氣流道G6有一端與載氣源2相連；在第二載氣流道G6上從上遊側到下遊側依次設置有切換閥V7、氣體質量流量控制器MFC-4和切換閥V8；並且第二載氣流道G6的另一端在切換閥V6的下遊處與標準氣流道G5相連。第三載氣流道G7從載氣源2延伸至標準氣流道G5處。更具體地，第三載氣流道G7有一端與載氣源2相連；其上設置有切換閥V9；並且第三載氣流道G7的另一端在壓力調節器4′和質量流量控制器MFC-3之間的位置上與標準氣流道G5相連。
所述系統進一步包括排放流道G8，其為標準氣流道G5在質量流量控制MFC-3和切換閥V6之間分支出來的，並且其上設置有切換閥V10。在該描述性實施方案中，另一排放流道G9還可以在在線監測器5和切換閥V5之間從樣品氣流道G4上分支出來，並且在其上設置有切換閥V11。
在蒸發器3內，氣/液混合區和噴嘴區緊密相鄰設置。在氣/液混合區內，在控制其流量的同時液體有機金屬化合物與載氣混合。這樣得到的氣/液混合物以噴霧形式從噴嘴區注入從而蒸發液體有機化合物。而這樣蒸發得到的有機金屬化合物的蒸氣與載氣一起採出至延伸到噴嘴區下遊的氣體出口管道。所述蒸發器3還配有加熱器(圖中未畫出)從而確保有機金屬化合物有效且穩定地蒸發為氣體。
在線監測器5是一種測量流過樣品氣流道G4的反應物濃度的設備，用於確定進料至ICP攝譜儀的反應物氣體的濃度是否為預先設定的值。所述在線監測器5在其中構造有IR吸收池和IR檢測器，並且其測量原理是使有機金屬化合物氣體流過IR吸收池，並通過IR檢測器測量氣體的IR吸收特性，並由此計算出濃度。其濃度已經由在線監測器5測量了的有機金屬化合物氣體通過樣品氣流道G4被直接導入ICP攝譜儀10。
為了進一步穩定在氣體流道中的有機金屬化合物氣體的濃度，如果需要，在確定時間間隔內關閉閥V5打開閥V11，通過流道G9排放氣體是有效的。當切換這些閥時，或多或少會發生壓力變化。為了減少這些壓力變化，應用如圖2所示的將切換閥V5和V11整合在一起的氣動兩位式切斷閥。這樣可以在沒有壓力變化的條件下瞬時改變流路。
當定量液體有機金屬化合物(MO)中剩餘的雜質濃度時必須有標定用標準氣。可以通過用高純度的氬氣稀釋含有相同元素的化合物作為所要分析的雜質來製備，並利用高性能分析儀如大氣壓電離-質譜儀(API-MS)來精確分析氣體濃度。標定用標準氣通過具有質量流量控制器MFC-3的流道G5被導入ICP攝譜儀10，在該過程中進入ICP攝譜儀的氣體流量可以通過質量流量控制器MFC-3而任意改變，從而繪出所要分析的雜質濃度的標定曲線(雜質濃度對ICP峰強度)。
在標定用標準氣中可以應用的化合物優選為含有目標金屬的、具有合適蒸氣壓的、並即使當多種化合物混合時也不進行複雜化學變化的物質。當矽為要檢測的雜質時優選化合物的例子為四甲基矽烷，而當鍺為要檢測的雜質時，優選化合物的例子為四甲基鍺烷。稀釋化合物用的氣體最優選為氬，並且其濃度通常為0.1-1,000ppm，更具體為1-100ppm。標定用標準氣應該通過高性能分析儀如API-MS檢測其精確的金屬含量。當標定用標準氣通過質量流量控制器MFC-3被導入ICP攝譜儀時，測量對應於各種元素的峰強度。應用峰強度對標準氣濃度的標定曲線，可以精確地確定在有機金屬化合物中雜質的濃度。
為了進一步穩定在氣體流道中標定用標準氣的濃度，如果需要，在確定時間間隔內關閉閥V6且打開閥V10，由流道G8排放氣體是有效的。當切換這些閥時，或多或少會發生壓力變化。為了減少這些壓力變化，應用如圖3所示的將切換閥V6和V10整合在一起的氣動兩位式切斷閥。這樣可以在沒有壓力變化的條件下瞬時改變流路。
當有機金屬化合物氣體或標定用標準氣被引導通過流道管道時，有機金屬化合物或金屬類物質被吸附到管道內壁上。這種沉積可具有記憶效果從而負面影響分析結果。為了消除這種影響，優選將為帶狀形式的加熱設備加熱器7附加到從蒸發器3延伸至在線監測器5的流道G4的管道區、從在線監測器5延伸至ICP攝譜儀10的流道G4的管道區、切換閥V6下遊的流道G5的管道區、切換閥V8下遊的流道G6的管道區、以及切換閥V11上遊的流道G9的管道區上。
另外為了瞬時消除標定用標準氣的記憶效果，吹掃氣可以沿流道G6經由切換閥V7、氣體質量流量控制器MFC-4和切換閥V8流動。
圖4描述了按照本發明第二種實施方案的液體有機金屬化合物的蒸發/進料系統。所述系統包括分別裝有兩種標定用標準氣的兩個氣體鋼瓶6a和6b。氣體鋼瓶6a和6b分別與標準氣流道G5a和G5b的一端相連，標準氣流道G5a和G5b分別具有壓力調節器4′a和4′b、用於控制標準氣流量的氣體質量流量控制器MFC-3a和MFC-3b、以及切換閥V6a和V6b。標準氣流道G5a和G5b的另一端與標準氣進料流道G5c的一端相連，而標準氣進料流道G5c的另一端與樣品氣流道G4相連，其連接點在在線監測器5和切換閥V5之間。流道G5a和G5b由具有閥V8a、V8b、V9a和V9b的流道G6和G7連接。從流道G5a和G5b上分支出具有閥V10a和V10b的排放流道G8a和G8b。所述系統的剩餘部分與圖1中的相同。
可以理解的是可以應用兩種以上的標定用標準氣，並且在這種情況下，它們的鋼瓶與相應數量的標準氣流道相連。
因為標定用標準氣對應於所要分析的雜質的類型，因此它們最終按所要分析的元素的數量而應用。為了簡化系統，多種元素標定用的標準氣可以通過用所有含有金屬的化合物作為測量對象注入單個壓力容器而製備。但有些化合物可能形成非揮發性化合物或通過化學反應變為其它化合物。然後這些化合物需被分成一些組，每組由即使當被混合在一起時仍保持不變的那些化合物組成。這就必須有多種標定用標準氣和相應的多個進料流道。當考慮ICP的操作和其它因素時，標定用標準氣的數量、氣體質量流量控制器的數量或氣體流道的數量優選為2-5。
在本發明第一或第二種實施方案的液體有機金屬化合物蒸發和進料系統中，建議對從裝填有液體有機金屬化合物(MO)的液體反應物容器1延伸至蒸發器3的液體反應物流道G1應用具有最小長度且外徑至多1/8英寸的流道，對剛好設置在反應物容器1下遊的主閥V1來說應用較小尺寸的閥，因為這樣在液體質量流量控制器MFC-1、蒸發器3、主閥V1或液體反應物流道G1內的死體積可以達到最小化。
在本發明第一或第二種實施方案的液體有機金屬化合物蒸發和進料系統中，從液體質量流量控制器MFC-1進料到蒸發器3的液體有機金屬化合物(MO)的流量優選為0.005-1g/min，更優選為0.01-0.1g/min。進料至蒸發器3的載氣流量優選為10-3,000ml/min，更優選為50-1,000ml/min。通過質量流量控制器MFC-3的標準氣的流量優選為0.1-100ml/min，更優選為1-10ml/min。
下面描述系統的操作。打開切換閥V3，使載氣流過載氣質量流量控制器MFC-2，其中流量已經預先設定，然後引導載氣通過氣體流道G4並經由在線監測器5從蒸發器3進入ICP攝譜儀。按這種狀態進行的ICP測量的結果為空白。
載氣通過壓力調節器4被調節至預定壓力，並通過切換閥V4輸送至液體反應物容器1中，從而增加容器1內的壓力。如果主閥V1在這種狀態下是打開的，則液體有機金屬化合物(MO)從容器1通過汲取管和主閥V1被朝著液體質量流量控制器MFC-1置換。如果切換閥V2是打開的，則液體有機金屬化合物到達質量流量控制器MFC-1從而啟動流量控制。
然後液體有機金屬化合物(MO)按預定流量通過流道G1至蒸發器3，在蒸發器3中被很大體積的載氣稀釋並與之混合，而所述載氣是由載氣源2經由氣體質量流量控制器MFC-2引入的。與此同時在蒸發器3中，有機金屬化合物立即被加熱至預定溫度，通常為150℃，並因此而完全蒸發。然後所述有機金屬化合物氣體以高速被引導至在線監測器5並通過流道G4。
在線監測器5測量被載氣稀釋並與之混合的有機金屬化合物氣體的濃度，並確定所述濃度是否為預定濃度。從在線監測器5流出的有機金屬化合物氣體通過流道G4並經由切換閥V5進入ICP攝譜儀10。
為了精確定量有機金屬化合物氣體中雜質的量，標定用標準氣可以通過質量流量控制器MFC-3並通過流道G5和G6而被引入到ICP攝譜儀10中。
在ICP分析中感興趣的液體有機金屬化合物(MO)並不具體限定，只要其可用作MOCVD的反應物即可。在微量分析所謂的化合物半導體材料如III-V族和II-VI族半導體時本發明是有效的。
有機金屬化合物的描述性的非限定性例子包括三甲基(或乙基)鎵、三甲基(或乙基)銦、三甲基(或乙基)鋁、二甲基(或乙基)鋅、叔-丁基膦和叔-丁基砷。所有的液體有機金屬化合物、有機化合物、金屬氫化物和金屬滷化物都是分析物，只要它們在正常溫度和大氣壓力下具有任意的蒸氣壓即可。可以理解的是如果作為測量對象的金屬雜質沒有蒸氣壓或者不能被載氣所輸送，則分析基本上是不可能的。
下面描述的是系統操作的實施例。
首先，點燃ICP-AES的等離子體焰炬，確定等離子體的穩定燃燒。打開切換閥V5，並且按照氣體質量流量控制器MFC-2控制的流量導入載氣(氬)。載氣流量被設定為500-700ml/min的水平，該水平對氬等離子體的持續穩定燃燒是必須的。此時載氣經由蒸發器3和在線監測器5被導入ICP攝譜儀10。
當壓力調節器4被設定為壓力2kg/cm2後，關閉切換閥V9，打開主閥V1，並且然後將主閥V4適度打開。在這種狀態下打開切換閥V2，隨後液體質量流量控制器MFC-1立即開始流量控制，按預定流量向蒸發器3的進料液體有機金屬化合物。當液體質量流量控制器MFC-1的設定值在0.01-0.1g/min的範圍內時，可以得到較好的分析結果。
液體有機金屬化合物(MO)到達蒸發器3，在其中其被很大體積的載氣稀釋且與之混合，並通過加熱器(圖中未畫出)瞬時被加熱至150℃。這樣產生的有機金屬化合物氣體被以高速輸送至在線監測器5並通過流道G4。通過在線監測器5測量濃度後，有機金屬化合物氣體通過氣體流道G4並經由切換閥V5被直接導入ICP中。為了進一步穩定在氣體流道內有機金屬化合物氣體的濃度，在關閉切換閥V5並打開切換閥V11的條件下由流道G9排放氣體約2-5分鐘是有效的。當切換這些閥時，或多或少會發生壓力變化。為了減少這些壓力變化，應用如圖2所示的將切換閥V5和V11整合在一起的氣動兩位式切斷閥。這樣可以在沒有壓力變化的條件下瞬時改變流路。
按這種方式，其濃度和流量均被明確預先確定的有機金屬化合物氣體被進料至ICP攝譜儀中。然後可以進行對人體高度安全的迅速的高精度的ICP分析。
在標定用標準氣中可以應用的化合物可以是含有目標金屬的、具有合適蒸氣壓的、並即使當多種化合物混合時也不進行複雜化學變化的化合物。當矽為要檢測的雜質時，優選化合物的例子為四甲基矽烷，而當鍺為要檢測的雜質時，優選化合物的例子為四甲基鍺烷。稀釋化合物用的氣體最優選為氬，並且其濃度通常為0.1-1,000ppm，更具體為1-100ppm。標定用標準氣應該通過高性能分析儀如API-MS檢測其精確的金屬含量。當標定用標準氣經由質量流量控制器MFC-3通過流道G5和G4被導入ICP攝譜儀時，測量對應於各種元素的峰強度。應用峰強度對標準氣濃度的標定曲線，可以精確地確定在有機金屬化合物中雜質的濃度。
為了進一步穩定氣體流道中標定用標準氣的濃度，在關閉切換閥V6並打開切換閥V10的條件下通過流道G8排放氣體約2-5分鐘是有效的。當切換這些閥時，或多或少會發生壓力變化。為了減少這些壓力變化，應用如圖3所示的將切換閥V6和V10整合在一起的氣動兩位式切斷閥。這樣可以在沒有壓力變化的條件下瞬時改變流路。
在本發明的液體有機金屬化合物的蒸發和進料系統中，從反應物容器流出的液體有機金屬化合物被精確測量，並通過質量流量控制器控制流量，然後在蒸發器中被蒸發並與載氣混合，完全蒸發的有機金屬化合物的濃度由在線監測器確定。這樣具有精確濃度的有機金屬化合物氣體可以一直被引入到ICP攝譜儀中。另外由於標定用標準氣可以直接進料至ICP攝譜儀，因此可以在線定性和定量分析在有機金屬化合物氣體中剩餘的雜質的濃度。這樣就排除了應用分配器如注射器取樣液體有機金屬化合物的繁重和危險的操作，明顯提高了對人體的安全性，並避免了在取樣操作過程中汙染的危險。從而可以應用少量貴重有機金屬化合物以非常高的靈敏度和可重複的方式進行ICP分析。
本發明的液體有機金屬化合物的蒸發和進料系統的另一優點是由於可以同時產生多種標定用標準氣，因此可以即時進行多種雜質的定性和定量分析。當這種標定用標準氣被分為幾組時，則阻止了用作標準氣的化合物間的化學反應。
因此可以按高度安全並且可重複的方式進行靈敏度非常高的ICP分析。
權利要求
1.一種液體有機金屬化合物的蒸發和進料系統，包括(1)其中裝有液體有機金屬化合物的液體反應物容器、用於蒸發液體有機金屬化合物的蒸發器、液體反應物流道，所述液體反應物流道連接所述容器和所述蒸發器，並且其上設置有用於控制液體有機金屬化合物流量的液體質量流量控制器，(2)載氣源、載氣流道，其中所述載氣流道連接所述載氣源和所述蒸發器，並且其上設置有用於控制載氣流量的氣體質量流量控制器，(3)樣品氣流道，所述樣品氣流道一端與所述蒸發器的氣體出口相連，另一端與ICP發射攝譜儀的樣品入口相連，並且其上設置有在線監測器，(4)充有標定用標準氣的氣體鋼瓶、和連接所述氣體鋼瓶與所述樣品氣流道的標準氣流道，其連接位置在所述在線監測器的下遊，並且所述標準氣流道上設置有用於控制標準氣流量的氣體質量流量控制器。
2.權利要求1的蒸發和進料系統，包括多個標定用標準氣鋼瓶以及相應的多個標準氣流道，其中所述多個標準氣流道中的每一個上均設置有用於控制相應的標準氣流量的氣體質量流量控制器。
全文摘要
一種液體有機金屬化合物的蒸發和進料系統，包括裝有液體有機金屬化合物MO的容器；用於蒸發MO的蒸發器；連接所述容器和蒸發器並且具有液體MO質量流量控制器的液體流道；載氣源；連接所述載氣源與蒸發器並且具有載氣質量流量控制器的載氣流道；連接所述蒸發器和ICP發射攝譜儀並且具有在線監測器的樣品氣流道；標定用標準氣鋼瓶；以及連接鋼瓶和在所述在線監測器下遊的樣品氣流道並且具有標準氣質量流量控制器的標準氣流道。
文檔編號C30B25/14GK1493717SQ0315859
公開日2004年5月5日 申請日期2003年9月19日 優先權日2002年9月19日
發明者平原和弘, 津寺貴信, 巖井大祐, , 信 申請人:信越化學工業株式會社