一種多步推進擴散工藝的製作方法

2023-10-05 23:28:54

一種多步推進擴散工藝的製作方法
【專利摘要】本發明公開了一種多步推進擴散工藝，屬於太陽能電池製造領域。該工藝採用了多步不同的雜質推進方式，通過改善雜質濃度分布解決了摻雜濃度和結深對短路電流密度和開路電壓對立問題，提高了太陽能電池效率。
【專利說明】一種多步推進擴散工藝

【技術領域】
[0001]本發明涉及太陽能電池製造【技術領域】，主要用來改善P型156多晶電池片經三氯氧磷擴散後磷雜貨濃度分布情況。

【背景技術】
[0002]提高太陽能電池的光電轉換效率和降低成本一直是光伏科學研究的主要方向。而要提高光電轉換效率，就必須同時獲得較高的短路電流密度、開路電壓和填充因子。太陽能電池理論計算結果表明，對於常規生產用太陽能電池材料而言，要想獲得較高的短路電流密度，則需要得到輕表面參雜濃度和較淺的結深；而要獲得較高的開路電壓，則需要得到較高的表面參雜濃度。較高的表面濃度能夠製備較好的歐姆接觸，也能夠減小太陽能電池的串聯電阻，而提高填充因子。然而，摻雜濃度和結深對短路電流密度和開路電壓的影響是對立的，只能取一個折中的摻雜濃度。


【發明內容】

[0003]為了解決摻雜濃度和結深對短路電流密度和開路電壓對立的影響問題，本工藝在傳統一步推進的擴散工藝基礎上，改採用多步不同推進方式改善太陽能電池表面雜質濃度及結深，獲得更優的短路電流密度和開路電壓，多晶156太陽能電池的效率提高到17.4%。
[0004]本發明通過以下技術方案實現:
[0005]1.一種多步推進擴散工藝，採用了不同的擴散雜質推進方式獲得更優的短路電流密度和開路電壓，提高了太陽能電池的效率
[0006]本發明具有如下顯著優點:
[0007]1.高低溫擴散雜質推進結合
[0008]2.有氧無氧擴散雜質推進結合。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步介紹，但不作為對本發明專利的限定。
[0010]圖1是多步推進擴散工藝流程
[0011]圖2是多步推進擴散工藝實例

【具體實施方式】
[0012]下面結合附圖對本發明作進一步的介紹，但是不作為對本發明的限定。
[0013]如附圖所示，編輯多步推進擴散工藝:放舟一升溫一氧化一擴散一高溫有氧推進—降溫無氧推進一擴散一低溫有氧推進一低溫無氧推進一降溫一取舟。
[0014]本發明專利的特定實施例已對本發明專利的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
【權利要求】
1.一種多步推進擴散工藝。其特徵在於:採用了多步不同的推進方式，通過改善雜質濃度分布解決了摻雜濃度和結深對短路電流密度和開路電壓對立問題，提高了太陽能電池效率。
2.如權利要求1所述的該工藝的推進，其特徵在於，高低溫分步推進。
3.如權利要求2所述的該工藝的推進，其特徵在於，有氧無氧分步推進。
【文檔編號】H01L21/228GK104299896SQ201310305904
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2013年7月18日 優先權日:2013年7月18日
【發明者】曾虎 申請人:北京中科信電子裝備有限公司