沉積裝置以及使用該裝置製造有機發光顯示器的方法
2023-05-12 00:54:56 3
沉積裝置以及使用該裝置製造有機發光顯示器的方法
【專利摘要】一種沉積裝置，包括：沉積源用於包含有沉積材料，該沉積源包括沿著第一方向位於兩個外側區域之間的中心區域，以及多個噴嘴沿著第一方向設置在沉積源的中心區域上，該多個噴嘴被配置為向著基板表面噴射沉積材料，其中，該噴嘴包括：第一噴嘴和第二噴嘴，第一噴嘴具有與基板表面平行並相對的末端，第二噴嘴具有相對於基板表面形成傾斜角的末端。
【專利說明】沉積裝置以及使用該裝置製造有機發光顯示器的方法
【技術領域】
[0001]示例性實施方式涉及沉積裝置以及使用該裝置製造有機發光(OLED)顯示器的方法，尤其涉及配置為通過控制沉積材料的噴射角從而防止陰影現象的沉積裝置和使用該裝置製造有機發光顯示器的方法。
【背景技術】
[0002]在顯示設備中，有機發光顯示器展現出寬視角、優異的對比度和快的響應速度，因此作為下一代顯示設備而備受矚目。通常，有機發光顯示器包括設置在陽極與陰極之間的發光層，在發光層重新組合在陽極和陰極生成的空穴和電子以進行發光，進而呈現色彩。然而，在這種結構下，當未在各個電極與發光層之間選擇性地增加和插入額外的中間層，例如電子注入層(EIL)、電子傳輸層(ETL)、空穴傳輸層(HTL)和空穴注入層(HIL)時，則很難實現高效率的發光。
[0003]在【背景技術】部分公開的上述信息僅用於增進對於本發明的【背景技術】的理解，並且，因此它可能包含本【技術領域】的本國普通技術人員已知的、並不構成現有技術的信息。
【發明內容】
[0004]示例性實施方式提供了一種在基板上增加沉積材料的入射角的沉積裝置。
[0005]示例性實施方式還提供了一種增加沉積均勻性和沉積效率的有機發光顯示器的製造方法。
[0006]根據示例性實施方式的沉積裝置，包括:用於容納沉積材料並包括沿著第一方向位於兩個外側區域之間的中心區域的沉積源，以及沿著第一方向設置在沉積源的中心區域上的多個噴嘴，該多個噴嘴被配置為向基板表面噴射所述沉積材料，其中，該噴嘴包括第一噴嘴和第二噴嘴，第一噴嘴具有與基板表面平行並面對基板的末端，所述第二噴嘴具有相對於基板表面形成傾斜角的末端。
[0007]可以對齊在第一方向上的基板的中心與在第一方向上的沉積源的中心，並且沉積源的中心區域可以具有長度LI:
【權利要求】
1.一種沉積裝置，包括: 沉積源，用於容納沉積材料，並包括沿著第一方向位於兩個外側區域之間的中心區域；以及 多個噴嘴，沿著所述第一方向設置在所述沉積源的所述中心區域上，所述多個噴嘴被配置為向基板表面噴射所述沉積材料， 其中，所述噴嘴包括第一噴嘴和第二噴嘴，所述第一噴嘴具有與所述基板表面平行並面對所述基板的末端，所述第二噴嘴具有相對於所述基板表面形成傾斜角的末端。
2.根據權利要求1所述的沉積裝置，其中， 所述沉積源和所述基板的中心在所述第一方向上是對齊的，並且所述沉積源的所述中心區域具有長度LI:
3.根據權利要求1所述的沉積裝置，其中， 所述傾斜角為43度至53度。
4.根據權利要求1所述的沉積裝置，其中， 所述傾斜角為25度至35度。
5.根據權利要求1所述的沉積裝置，其中，所述噴嘴包括: 沿所述第一方向設置的所述第一噴嘴的列；以及 沿所述第一方向設置的所述第二噴嘴的列， 所述第一噴嘴形成的列與所述第二噴嘴形成的列在與所述第一方向相交的第二方向上平行並相隔。
6.根據權利要求1所述的沉積裝置，其中， 在所述第一方向上，所述多個噴嘴相對於所述沉積源的所述中心區域被對稱地設置。
7.—種有機發光顯不器的製造方法,包括: 提供沉積裝置，所述沉積裝置包括: 沉積源，被配置為用於容納沉積材料，並包括沿著第一方向位於兩個外側區域之間的中心區域，以及 多個噴嘴，沿著所述第一方向設置在所述沉積源的所述中心區域上，所述多個噴嘴包括:具有與基板表面平行並面對所述基板的末端的第一噴嘴、以及具有相對於所述基板表面形成傾斜角的末端的第二噴嘴； 將所述基板設置成面對所述噴嘴；以及 通過所述噴嘴向所述基板噴射所述沉積材料，並且在與所述第一方向相交的第二方向上移動所述沉積源。
8.根據權利要求7所述的方法，其中，設置所述基板的步驟包括: 在所述第一方向上對齊所述沉積源和所述基板的中心，並且所述中心區域具有長度LI:
9.根據權利要求7所述的方法，其中， 以43度至53度的角度形成所述傾斜角。
10.根據權利要求7所述的方法，其中， 以25度至35度的角度形成所述傾斜角。
11.根據權利要求7所述的方法，其中，所述噴嘴包括: 沿所述第一方向設置的所述第一噴嘴的列；以及 沿所述第一方向設置的所述第二噴嘴的列， 所述第一噴嘴形成 的列與所述第二噴嘴形成的列在與所述第一方向相交的第二方向上平行並相隔。
12.根據權利要求7所述的方法，其中， 相對於所述沉積源的所述中心區域，在所述第一方向上對稱地設置所述多個噴嘴。
【文檔編號】H01L51/56GK103726017SQ201310361961
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年8月19日 優先權日:2012年10月12日
【發明者】李相信 申請人:三星顯示有限公司