新四季網

離子注入機非均勻磁場邊緣特性校正器的製作方法

2023-04-24 17:16:46

專利名稱:離子注入機非均勻磁場邊緣特性校正器的製作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種磁場邊緣特性校正設備,尤其涉及一種離子注入機非均勻磁場邊緣特性校正器。
背景技術:
隨著半導體特徵線寬的不斷縮小,在半導體工藝過程中的離子注入工藝中,對注入參雜時的各項注入參數的要求也越來越高,其中一項對靜電掃描產生的掃描束的束平行度提出了很高要求,在採用非均勻磁場對束的角度進行校正時,由於邊緣磁場的影響,會降低束角度校正的效果。

發明內容
本發明新型是為了儘量減少邊緣磁場的影響,採用了一種非均勻磁場邊緣校正技術,保證了束角度校正器的校正效果。本發明主要是在非均勻磁場的邊緣磁場外層,有意的產生另一非均勻磁場,其非均勻分布的規律和原非均勻磁場相反,磁場方向相反,而其邊緣磁場特性相近,因此兩者疊加後的邊緣磁場較原非均勻磁場就有很大的改善,更加接近理想設計的邊緣分布。
本實用新型通過以下技術方案實現離子注入機非均勻磁場邊緣特性校正器包括非均勻磁場入口上校正磁極,非均勻磁場入口下校正磁極,非均勻磁場出口下校正磁極,非均勻磁場出口上校正磁極,非均勻磁場上磁極,非均勻磁場下磁極,非均勻磁場上勵磁線圈,非均勻磁場磁軛,非均勻磁場下勵磁線圈。
其中非均勻磁場磁軛上螺釘連接有非均勻磁場上磁極和非均勻磁場下磁極,兩磁極的之間在豎直方向的距離由裡往外逐漸增大,產生所需的角度校正非均勻磁場;非均勻磁場上磁極上側螺釘連接非均勻磁場上勵磁線圈,非均勻磁場下磁極下側螺釘連接非均勻磁場下勵磁線圈;非均勻磁場入口上校正磁極螺釘連接在非均勻磁場入口上側,非均勻磁場入口下校正磁極螺釘連接在非均勻磁場入口下側,兩磁極的之間在豎直方向的距離由外往裡逐漸增大,在入口產生入口邊緣磁場的校正磁場;非均勻磁場出口上校正磁極螺釘連接在非均勻磁場出口上側,非均勻磁場出口下校正磁極螺釘連接在非均勻磁場出口下側,兩磁極的之間在豎直方向的距離由外往裡逐漸增大,在出口產生出口邊緣磁場的校正磁場。
本實用新型具有如下顯著特點1.校正所需非均勻磁場由外加的磁軛迴路產生;2.校正所需非均勻磁場無需外加勵磁組件,直接取自原非均勻磁場。


圖1為本實用新型的原理結構圖。
其中1-非均勻磁場入口上校正磁極
2-非均勻磁場入口下校正磁極3-非均勻磁場出口下校正磁極4-非均勻磁場出口上校正磁極5-非均勻磁場的上磁極6-非均勻磁場的下磁極7-非均勻磁場的上勵磁線圈8-原非均勻磁場的磁軛9-非均勻磁場的下勵磁線圈。
10-非均勻磁場入口11-非均勻磁場出口具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步介紹,但不作為對本實用新型的限定。
如圖1所示,離子注入機非均勻磁場邊緣特性校正器包括非均勻磁場入口上校正磁極1,非均勻磁場入口下校正磁極2,非均勻磁場出口下校正磁極3,非均勻磁場出口上校正磁極4,非均勻磁場上磁極5,非均勻磁場下磁極6,非均勻磁場上勵磁線圈7,非均勻磁場磁軛8,非均勻磁場下勵磁線圈9。
其中非均勻磁場磁軛8上螺釘連接有非均勻磁場上磁極5和非均勻磁場下磁極6,兩磁極的之間在豎直方向的距離由裡往外逐漸增大,產生所需的角度校正非均勻磁場;非均勻磁場上磁極5上側螺釘連接非均勻磁場上勵磁線圈7,非均勻磁場下磁極6下側螺釘連接非均勻磁場下勵磁線圈9;非均勻磁場入口上校正磁極1螺釘連接在非均勻磁場入口10上側,非均勻磁場入口下校正磁極2螺釘連接在非均勻磁場入口10下側,兩磁極的之間在豎直方向的距離由外往裡逐漸增大,在入口產生入口邊緣磁場的校正磁場;非均勻磁場出口上校正磁極3螺釘連接在非均勻磁場出口11上側,非均勻磁場出口下校正磁極4螺釘連接在非均勻磁場出口11下側,兩磁極的之間在豎直方向的距離由外往裡逐漸增大,在出口產生出口邊緣磁場的校正磁場。
本發明新型的特定實施例已對本實用新型的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言,在不背離本實用新型精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動,都構成對本發明新型專利的侵犯,將承擔相應的法律責任。
權利要求1.一種離子注入機非均勻磁場邊緣特性校正器,包括非均勻磁場上磁極,非均勻磁場下磁極,非均勻磁場上勵磁線圈,非均勻磁場磁軛,非均勻磁場下勵磁線圈,其特徵在於還包括非均勻磁場入口上校正磁極,非均勻磁場入口下校正磁極,非均勻磁場出口下校正磁極,非均勻磁場出口上校正磁極,其中非均勻磁場磁軛上螺釘連接有非均勻磁場上磁極和非均勻磁場下磁極,兩磁極的之間在豎直方向的距離由裡往外逐漸增大;非均勻磁場上磁極上側螺釘連接非均勻磁場上勵磁線圈,非均勻磁場下磁極下側螺釘連接非均勻磁場下勵磁線圈;非均勻磁場入口上校正磁極螺釘連接在非均勻磁場入口上側,非均勻磁場入口下校正磁極螺釘連接在非均勻磁場入口下側,兩磁極的之間在豎直方向的距離由外往裡逐漸增大;非均勻磁場出口上校正磁極螺釘連接在非均勻磁場出口上側,非均勻磁場出口下校正磁極螺釘連接在非均勻磁場出口下側,兩磁極的之間在豎直方向的距離由外往裡逐漸增大。
專利摘要本實用新型公開了一種離子注入機非均勻磁場邊緣特性校正器,包括非均勻磁場入口上校正磁極,非均勻磁場入口下校正磁極,非均勻磁場出口下校正磁極,非均勻磁場出口上校正磁極,非均勻磁場上磁極,非均勻磁場下磁極,非均勻磁場上勵磁線圈,非均勻磁場磁軛,非均勻磁場下勵磁線圈。非均勻磁場的邊緣磁場外層,產生另一非均勻磁場,其非均勻分布的規律和原非均勻磁場相反,磁場方向相反,而其邊緣磁場特性相近,因此兩者疊加後的邊緣磁場較原非均勻磁場就有很大的改善,更加接近理想設計的邊緣分布。
文檔編號H01L21/265GK2906907SQ20052014250
公開日2007年5月30日 申請日期2005年12月5日 優先權日2005年12月5日
發明者唐景庭, 伍三忠, 郭健輝, 彭立波, 王迪平, 孫勇, 許波濤, 易文杰, 姚志丹, 孫雪平, 謝均宇 申請人:北京中科信電子裝備有限公司

同类文章

一種新型多功能組合攝影箱的製作方法

一種新型多功能組合攝影箱的製作方法【專利摘要】本實用新型公開了一種新型多功能組合攝影箱,包括敞開式箱體和前攝影蓋,在箱體頂部設有移動式光源盒,在箱體底部設有LED脫影板,LED脫影板放置在底板上;移動式光源盒包括上蓋,上蓋內設有光源,上蓋部設有磨沙透光片,磨沙透光片將光源封閉在上蓋內;所述LED脫影

壓縮模式圖樣重疊檢測方法與裝置與流程

本發明涉及通信領域,特別涉及一種壓縮模式圖樣重疊檢測方法與裝置。背景技術:在寬帶碼分多址(WCDMA,WidebandCodeDivisionMultipleAccess)系統頻分復用(FDD,FrequencyDivisionDuplex)模式下,為了進行異頻硬切換、FDD到時分復用(TDD,Ti

個性化檯曆的製作方法

專利名稱::個性化檯曆的製作方法技術領域::本實用新型涉及一種檯曆,尤其涉及一種既顯示月曆、又能插入照片的個性化檯曆,屬於生活文化藝術用品領域。背景技術::公知的立式檯曆每頁皆由月曆和畫面兩部分構成,這兩部分都是事先印刷好,固定而不能更換的。畫面或為風景,或為模特、明星。功能單一局限性較大。特別是畫

一種實現縮放的視頻解碼方法

專利名稱:一種實現縮放的視頻解碼方法技術領域:本發明涉及視頻信號處理領域,特別是一種實現縮放的視頻解碼方法。背景技術: Mpeg標準是由運動圖像專家組(Moving Picture Expert Group,MPEG)開發的用於視頻和音頻壓縮的一系列演進的標準。按照Mpeg標準,視頻圖像壓縮編碼後包

基於加熱模壓的纖維增強PBT複合材料成型工藝的製作方法

本發明涉及一種基於加熱模壓的纖維增強pbt複合材料成型工藝。背景技術:熱塑性複合材料與傳統熱固性複合材料相比其具有較好的韌性和抗衝擊性能,此外其還具有可回收利用等優點。熱塑性塑料在液態時流動能力差,使得其與纖維結合浸潤困難。環狀對苯二甲酸丁二醇酯(cbt)是一種環狀預聚物,該材料力學性能差不適合做纖

一種pe滾塑儲槽的製作方法

專利名稱:一種pe滾塑儲槽的製作方法技術領域:一種PE滾塑儲槽一、 技術領域 本實用新型涉及一種PE滾塑儲槽,主要用於化工、染料、醫藥、農藥、冶金、稀土、機械、電子、電力、環保、紡織、釀造、釀造、食品、給水、排水等行業儲存液體使用。二、 背景技術 目前,化工液體耐腐蝕貯運設備,普遍使用傳統的玻璃鋼容

釘的製作方法

專利名稱:釘的製作方法技術領域:本實用新型涉及一種釘,尤其涉及一種可提供方便拔除的鐵(鋼)釘。背景技術:考慮到廢木材回收後再加工利用作業的方便性與安全性,根據環保規定,廢木材的回收是必須將釘於廢木材上的鐵(鋼)釘拔除。如圖1、圖2所示,目前用以釘入木材的鐵(鋼)釘10主要是在一釘體11的一端形成一尖

直流氧噴裝置的製作方法

專利名稱:直流氧噴裝置的製作方法技術領域:本實用新型涉及ー種醫療器械,具體地說是ー種直流氧噴裝置。背景技術:臨床上的放療過程極易造成患者的局部皮膚損傷和炎症,被稱為「放射性皮炎」。目前對於放射性皮炎的主要治療措施是塗抹藥膏,而放射性皮炎患者多伴有局部疼痛,對於止痛,多是通過ロ服或靜脈注射進行止痛治療

新型熱網閥門操作手輪的製作方法

專利名稱:新型熱網閥門操作手輪的製作方法技術領域:新型熱網閥門操作手輪技術領域:本實用新型涉及一種新型熱網閥門操作手輪,屬於機械領域。背景技術::閥門作為流體控制裝置應用廣泛,手輪傳動的閥門使用比例佔90%以上。國家標準中提及手輪所起作用為傳動功能,不作為閥門的運輸、起吊裝置,不承受軸向力。現有閥門

用來自動讀取管狀容器所載識別碼的裝置的製作方法

專利名稱:用來自動讀取管狀容器所載識別碼的裝置的製作方法背景技術:1-本發明所屬領域本發明涉及一種用來自動讀取管狀容器所載識別碼的裝置,其中的管狀容器被放在循環於配送鏈上的文檔匣或託架裝置中。本發明特別適用於,然而並非僅僅專用於,對引入自動分析系統的血液樣本試管之類的自動識別。本發明還涉及專為實現讀