等離子噴塗靶材噴嘴的製作方法

2023-04-27 11:12:21

等離子噴塗靶材噴嘴的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種等離子噴塗靶材噴嘴，包括噴嘴本體，所述噴嘴本體中部設有貫通的通孔，所述通孔形成供噴塗材料通過的通道，所述通道的內壁面設有導電層。本實用新型的等離子噴塗靶材噴嘴，用於噴塗濺射靶材，其通過在內壁設置導電層，既保持了噴嘴良好的導熱係數，同時噴嘴內壁又能耐點槍瞬間的電弧衝蝕和等離子體的高溫高壓衝蝕，使等離子噴塗在噴塗旋轉濺射靶材時的噴嘴壽命大大提高，同時又降低了耗材成本；適用於較長時間的連續噴塗作業以及對塗層質量要求較高的噴塗工作。
【專利說明】等離子噴塗靶材噴嘴

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種噴嘴，尤其涉及一種等離子噴塗靶材噴嘴。

【背景技術】
[0002]在等離子噴塗旋轉濺射靶材中，一般採用噴槍進行噴塗。目前使用的噴槍的噴嘴大都採用無氧銅加工而成，具有成本低和導熱效果好的優點，然而，這種無氧銅加工製成的噴嘴，其內壁不耐於噴槍瞬間的電弧衝蝕和等離子體的高溫高壓衝蝕，使得該種噴嘴適用於短時間、對塗層要求不高的一般性等離子噴塗工作。
實用新型內容
[0003]本實用新型要解決的技術問題在於，提供一種改進的等離子噴塗靶材噴嘴。
[0004]本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是:提供一種等離子噴塗靶材噴嘴，包括噴嘴本體，所述噴嘴本體中部設有貫通的通孔，所述通孔形成供噴塗材料通過的通道，所述通道的內壁面設有導電層。
[0005]優選地，所述導電層為鎢層或鈰鎢合金層。
[0006]優選地，所述導電層的厚度為10-100 μπι。
[0007]優選地，所述通道的出口端呈錐形。
[0008]優選地，所述噴嘴本體為無氧銅噴嘴本體。
[0009]優選地，所述噴嘴本體包括柱體，所述柱體外周上設有環形定位槽。
[0010]優選地，所述柱體包括相連接的第一端和第二端，所述環形定位槽設置在所述第一端上，所述第二端的外周側面設有錐形面，所述通道的出口端位於所述第二端上。
[0011]本實用新型的等離子噴塗靶材噴嘴，用於噴塗濺射靶材，其通過在內壁設置導電層，既保持了噴嘴良好的導熱係數，同時噴嘴內壁又能耐點槍瞬間的電弧衝蝕和等離子體的高溫高壓衝蝕，使等離子噴塗在噴塗旋轉濺射靶材時的噴嘴壽命大大提高，同時又降低了耗材成本；適用於較長時間的連續噴塗作業以及對塗層質量要求較高的噴塗工作。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]下面將結合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明，附圖中:
[0013]圖1是本實用新型一實施例的等離子噴塗靶材噴嘴的剖面結構示意圖。

【具體實施方式】
[0014]為了對本實用新型的技術特徵、目的和效果有更加清楚的理解，現對照附圖詳細說明本實用新型的【具體實施方式】。
[0015]如圖1所示，本實用新型一實施例的等離子噴塗靶材噴嘴，用於噴塗濺射靶材，該噴嘴包括噴嘴本體10 ;噴嘴本體10中部設有貫通的通孔，通孔形成供噴塗材料通過的通道20，通道20的內壁面設有導電層30。該導電層30在保持了噴嘴良好的導熱係數的同時，使得噴嘴內壁又能耐點槍瞬間的電弧衝蝕和等離子體的高溫高壓衝蝕，使等離子噴塗在噴塗旋轉濺射靶材時的噴嘴壽命大大提高，同時又降低了耗材成本；適用於較長時間的連續噴塗作業以及對塗層質量要求較高的噴塗工作。
[0016]其中，導電層30為耐電弧、耐高溫高壓的導電層；導電層30優選為鶴層或鍾鶴合金層。導電層30的厚度為10-100 μ m。該導電層30可採用電鍍方法加工在通道20的內壁面上，易加工且成本低。
[0017]噴嘴本體10採用無氧銅加工形成，為無氧銅噴嘴本體。通道20在噴嘴本體10內具有進口端21和出口端22，其中出口端22呈錐形，噴塗材料從進口端21進入通道20後在出口端22噴射出來。
[0018]具體地，噴嘴本體10包括柱體11，通道20貫通該柱體11相對兩端。柱體11外周上設有環形定位槽12，用於與噴槍配合，將噴嘴固定在噴槍上。該柱體11可包括相連接的第一端111和第二端112，環形定位槽12設置在第一端111外周上，第二端112的外周側面設有錐形面113，使得該第二端112外觀上呈錐形，美觀。通道20的出口端22位於第二端112 上。
[0019]該噴嘴製作時，先採用無氧銅加工形成具有通道20的噴嘴本體10，清洗除油後在通道20內壁面外的噴嘴本體10其他表面塗覆液體聚四氟乙烯進行保護，待聚四氟乙烯凝固後即可對通道20內壁面進行電鍍形成導電層30。
[0020]以上所述僅為本實用新型的實施例，並非因此限制本實用新型的專利範圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的【技術領域】，均同理包括在本實用新型的專利保護範圍內。
【權利要求】
1.一種等離子噴塗靶材噴嘴，包括噴嘴本體(10)，所述噴嘴本體(10)中部設有貫通的通孔，所述通孔形成供噴塗材料通過的通道(20)，其特徵在於，所述通道(20)的內壁面設有導電層(30);所述導電層(30)為鎢層或鈰鎢合金層，所述導電層(30)的厚度為10-100 μmD
2.根據權利要求1所述的等離子噴塗靶材噴嘴，其特徵在於，所述通道(20)的出口端(22)呈錐形。
3.根據權利要求1所述的等離子噴塗靶材噴嘴，其特徵在於，所述噴嘴本體(10)為無氧銅噴嘴本體。
4.根據權利要求1所述的等離子噴塗靶材噴嘴，其特徵在於，所述噴嘴本體(10)包括柱體(11)，所述柱體(11)外周上設有環形定位槽(12)。
5.根據權利要求4所述的等離子噴塗靶材噴嘴，其特徵在於，所述柱體(11)包括相連接的第一端(111)和第二端(112)，所述環形定位槽(12)設置在所述第一端(111)上，所述第二端(112)的外周側面設有錐形面(113)，所述通道(20)的出口端(22)位於所述第二端(112)上。
【文檔編號】C23C4/12GK204224687SQ201420675768
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年11月12日 優先權日:2014年11月12日
【發明者】黃勇彪, 林文寶 申請人:深圳市眾誠達應用材料科技有限公司