一種具有平行束測量作用的法拉第裝置的製作方法
2023-04-27 15:24:06
專利名稱：一種具有平行束測量作用的法拉第裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及離子注入機，更具體地說，本實用新型涉及一種法拉第裝置，尤其是一種具有平行束測量作用的法拉第裝置。
背景技術：
在離子注入機中，注片的均勻性和束流的平行度都直接影響著晶片的質量和性能，在注入離子束形狀要求不高的情況下，離子注入機中一般採用直接靜電(水平、垂直)掃描的方式進行注入即可以滿足要求。然而，隨著IC業的迅速發展，電路集成度的不斷增加，線條的粗細、離子束角度的差別都將明顯影響器件的工藝性能，原有的離子注入方法也顯然不能滿足要求，因而尋找一種能夠根據注片要求調整束流的均勻性和平行度的方法是必要的。
發明內容
本實用新型即是針對上述現有技術中存在的不足而提出的一種結構簡單、精度高、具有平行束測量作用的法拉第裝置。
本實用新型是通過如下技術方案來實現的一種具有平行束測量作用的法拉第裝置，該裝置包括一測束法拉第杯、一密封接頭、一腔體、一導杆座、一直線滾珠軸承、一導杆、一支撐板、一殼體、一滾珠絲槓副與直線導軌副組合、一聯軸器、一編碼電機、一後支撐板、一同步帶輪機構和一滑塊；所述的導杆座、支撐板、殼體均安裝在腔體的一側面，所述的測束法拉第杯設置在另一側，所述的導杆座、導杆、支撐板、滾珠絲槓副與直線導軌副組合、編碼電機、後支撐板、同步帶輪機構和滑塊設置在殼體內部；所述的導杆一端穿過設置在導杆座內的直線滾珠軸承、通過密封接頭與測束法拉第杯連接，另一端與滑塊連接；所述的滑塊底面位於滾珠絲槓副與直線導軌副組合的水平面上；所述的滾珠絲槓副與直線導軌副組合固定安裝在支撐板上，一端與同步帶輪機構連接；所述的同步帶輪機構與編碼電機連接，且相對安裝固定在後支撐板上。
本實用新型具有以下顯著優點1.法拉第杯的水平往返運動靈活、平穩、重複性好；2.行程能夠達到330m，測量範圍可以覆蓋現有的各種尺寸的晶片；3.位置控制的精度很高，可以達到±0.2mm。
圖1為本實用新型的一種具有平行束測量作用的法拉第裝置結構圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本發明作進一步的介紹，但不作為對本實用新型的限定。
參考圖1，一種具有平行束測量作用的法拉第裝置，包括一測束法拉第杯1、一密封接頭2、一大腔體3、一導杆座4、一直線滾珠軸承5、一導杆6、一支撐板7、一殼體8、一滾珠絲槓副與直線導軌副組合9、一聯軸器10、一編碼電機11、一後支撐板12、一同步帶輪機構12。
所述的大腔體3是整個裝置的機座，導杆座4、支撐板7、殼體8均安裝在大腔體3的一側面，導杆6一端穿過設置在導杆座4內的直線滾珠軸承5、通過密封接頭2與測束法拉第杯1連接，另一端與滑塊14連接，滑塊14的底面位於滾珠絲槓副與直線導軌副組合9的水平面上，滾珠絲槓副與直線導軌副組合9固定安裝在支撐板7上，一端與同步帶輪機構13連接，同步帶輪機構13與編碼電機11連接，且相對安裝固定在後支撐板12上。
該裝置在實際應用過程中，編碼電機11可選用伺服直流電機，其迴轉軸的轉動驅動同步帶輪機構13轉動，使得滾珠絲槓副與直線導軌副組合9上的滑塊14左右運動，滑塊14通過聯軸器10與導杆6相連接，從而帶動測束法蘭第杯1的左右往返運動。
測量束線的平行度時，在束線不被掃開的前提下，首先不加主高壓，移動法拉第的側束法拉第杯左右移動找到束流的第一位置；然後加主高壓，移動法拉第的測束法拉第杯再左右移動一次找到束流的第二位置。這樣根據第一位置與第二位置之間的距離、偏轉出口到法拉第移動面的距離就可以計算出束流的平行度。
本實用新型的特定實施例已對本實用新型的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本實用新型精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本實用新型專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求1.一種具有平行束測量作用的法拉第裝置，其特徵在於該裝置包括一測束法拉第杯、一密封接頭、一腔體、一導杆座、一直線滾珠軸承、一導杆、一支撐板、一殼體、一滾珠絲槓副與直線導軌副組合、一聯軸器、一編碼電機、一後支撐板、一同步帶輪機構和一滑塊；所述的導杆座、支撐板、殼體均安裝在腔體的一側面，所述的測束法拉第杯設置在另一側，所述的導杆座、導杆、支撐板、滾珠絲槓副與直線導軌副組合、編碼電機、後支撐板、同步帶輪機構和滑塊設置在殼體內部；所述的導杆一端穿過設置在導杆座內的直線滾珠軸承、通過密封接頭與測束法拉第杯連接，另一端與滑塊連接；所述的滑塊底面位於滾珠絲槓副與直線導軌副組合的水平面上；所述的滾珠絲槓副與直線導軌副組合固定安裝在支撐板上，一端與同步帶輪機構連接；所述的同步帶輪機構與編碼電機連接，且相對安裝固定在後支撐板上。
專利摘要本實用新型公開了一種具有平行束測量作用的法拉第裝置，該裝置包括一測束法拉第杯、一密封接頭、一腔體、一導杆座、一直線滾珠軸承、一導杆、一支撐板、一殼體、一滾珠絲槓副與直線導軌副組合、一聯軸器、一編碼電機、一後支撐板、一同步帶輪機構和一滑塊；所述的導杆一端穿過設置在導杆座內的直線滾珠軸承、通過密封接頭與測束法拉第杯連接，另一端與滑塊連接；所述的滑塊底面位於滾珠絲槓副與直線導軌副組合的水平面上；所述的滾珠絲槓副與直線導軌副組合固定安裝在支撐板上，一端與同步帶輪機構連接；所述的同步帶輪機構與編碼電機連接，安裝固定在後支撐板上。本實用新型的法拉第杯水平運動靈活、平穩、重複性好，測量範圍廣，精度高。
文檔編號H01L21/265GK2779602SQ20052001126
公開日2006年5月10日 申請日期2005年3月31日 優先權日2005年3月31日
發明者易文杰 申請人:北京中科信電子裝備有限公司