Pvd工藝的半導體生產設備的製作方法

2023-09-19 01:34:35 2

專利名稱：Pvd工藝的半導體生產設備的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體生產設備，具體涉及一種PVD工藝的半導體生產設備。
背景技術：
目前使用的進行PVD (Physical Vapor D印osition物理氣相沉積)工藝的半導體 生產設備，是美國應用材料公司生產的ENDURA設備。該設備配備有漏電流保護開關，但無 漏電流監視系統，如有單個部件產生漏電流，會導致設備整體下電，這給設備的故障診斷和 設備的修復帶來很多問題。

實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種PVD工藝的半導體生產設備，它可以 對PVD工藝設備的漏電流進行在線監測。為解決上述技術問題，本實用新型PVD工藝的半導體生產設備的技術解決方案 為包括PVD工藝設備；所述PVD工藝設備設置有漏電流監視系統。所述漏電流監視系統包括多個感應線圈、數據採集器、數據處理裝置，所述PVD工 藝設備的各用電部件中線分別設有外接的感應線圈，感應線圈通過信號線連接數據採集 器，數據採集器連接數據處理裝置。所述多個感應線圈共用一個數據採集器。本實用新型可以達到的技術效果是本實用新型通過對PVD工藝設備設置漏電流監視系統，能夠實現對設備各用電部 件中線的漏電流監視。
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細的說明

圖1是本實用新型PVD工藝的半導體生產設備的示意圖。圖中附圖標記說明1、2. ..η為各設備中線，10為感應線圈，20為數據採集器，30為PC電腦。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型PVD工藝的半導體生產設備，包括PVD工藝設備 (ENDURA)，設備各用電部件中線1、2... η分別設有外接的感應線圈10，感應線圈10通過信 號線連接數據採集器20，數據採集器20連接數據處理裝置(PC電腦)30。多個感應線圈10 共用一個數據採集器20。[0016]本實用新型通過感應線圈檢測PVD工藝設備用電部件中線的電流，並將採集到的 電流信號傳遞至數據採集器，數據採集器將輸入的電流信號轉換至輸出ANALOG (模擬)信 號並經過USB接口傳送至PC電腦，PC電腦顯示並記錄電流信號數據，且設定報警值，同時對 輸入的電流信號的變化趨勢進行分析判斷，若某一路漏電流超過設定值則顯示報警信號， 從而實現對設備各用電部件中線的漏電流監視，實現設備的漏電流監視功能。本實用新型在監測設備漏電流的過程中，能夠通過漏電流的變化防止設備下電，在設備下電狀態下也可通過監視履歷判斷有瞬間漏電流的部件。
權利要求一種PVD工藝的半導體生產設備，包括PVD工藝設備；其特徵在於所述PVD工藝設備設置有漏電流監視系統。
2.根據權利要求1所述的PVD工藝的半導體生產設備，其特徵在於所述漏電流監視 系統包括多個感應線圈、數據採集器、數據處理裝置，所述PVD工藝設備的各用電部件中線 分別設有外接的感應線圈，感應線圈通過信號線連接數據採集器，數據採集器連接數據處 理裝置。
3.根據權利要求2所述的PVD工藝的半導體生產設備，其特徵在於所述多個感應線 圈共用一個數據採集器。
專利摘要本實用新型公開了一種PVD工藝的半導體生產設備，包括PVD工藝設備；所述PVD工藝設備設置有漏電流監視系統。所述漏電流監視系統包括多個感應線圈、數據採集器、數據處理裝置，所述PVD工藝設備的各用電部件中線分別設有外接的感應線圈，感應線圈通過信號線連接數據採集器，數據採集器連接數據處理裝置。本實用新型通過對PVD工藝設備設置漏電流監視系統，能夠實現對設備各用電部件中線的漏電流監視。
文檔編號H01L21/00GK201576664SQ20092007472
公開日2010年9月8日 申請日期2009年11月26日 優先權日2009年11月26日
發明者嚴駿, 蔣金弟 申請人:上海華虹Nec電子有限公司